JPS63169015A - Manufacture of laminated ceramic chip capacitor - Google Patents

Manufacture of laminated ceramic chip capacitor

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Publication number
JPS63169015A
JPS63169015A JP62000914A JP91487A JPS63169015A JP S63169015 A JPS63169015 A JP S63169015A JP 62000914 A JP62000914 A JP 62000914A JP 91487 A JP91487 A JP 91487A JP S63169015 A JPS63169015 A JP S63169015A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
forming
internal electrode
chip capacitor
ceramic chip
Prior art date
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Pending
Application number
JP62000914A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
中村 恒
黒田 孝之
大谷 凡夫
康男 若畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS63169015A publication Critical patent/JPS63169015A/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はチップコンデンサー、特をこ積層型セラミック
チップコンデンサーの製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a method for manufacturing a chip capacitor, particularly a multilayer ceramic chip capacitor.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、電子機器の軽薄短小化および高性能化に対する要
求が増大してくるに従い、リードレス型のチップ部品が
多くの電子機器に用いられるようになり、電子機器の高
密度化に大きな役割を果し【いる。
In recent years, as the demand for lighter, thinner, shorter, and higher performance electronic devices has increased, leadless chip components have come to be used in many electronic devices, playing a major role in increasing the density of electronic devices. There is.

このような状況の下にあって、Jα近ではチップコンデ
ンサー、特に積層型セラミックチップコンデンサーの需
要が急速に増加しており、広範な電子機器に使用される
ようになっている。
Under these circumstances, demand for chip capacitors, especially multilayer ceramic chip capacitors, is rapidly increasing in the vicinity of Jα, and they are now being used in a wide range of electronic devices.

かかる積層型セラミックチップコンデンサーの断面図を
第2図に示す。第2図において、1はセラミック誘電体
層であり、2は内部電極層であり、3は外部電極拍子で
ある。
A cross-sectional view of such a multilayer ceramic chip capacitor is shown in FIG. In FIG. 2, 1 is a ceramic dielectric layer, 2 is an internal electrode layer, and 3 is an external electrode.

このような積層型セラミックチップコンデンサーは従来
機のような方法で作られている。
Such multilayer ceramic chip capacitors are manufactured using conventional methods.

例えばチタン酸バリウム等のようなセラミック誘電体材
料とブチラール樹脂等のようなバインダー材料を混練し
た混合物を作り、この混合物をシート状に成形加工して
、いわゆるグリーンシートを形成する。
For example, a mixture is prepared by kneading a ceramic dielectric material such as barium titanate and a binder material such as butyral resin, and this mixture is formed into a sheet to form a so-called green sheet.

次に上記グリーンシートの一方の主表面にパラジウムも
しくは白金等の貴金属系の導電性ペーストを用いてスク
リーン印刷法により塗布して複数の内部電極層を必要パ
ターン状に形成し1次いで、このグリーンシートの必要
枚数を積層した後、このグリーンシート積層体を固片状
)こ切断加工し1得られた固片状グリーンシート積層体
を、例えば1200〜1300℃の高温で焼結して固片
状のセラミックコンデンサー素子を作る。
Next, a conductive paste made of a noble metal such as palladium or platinum is coated on one main surface of the green sheet by screen printing to form a plurality of internal electrode layers in the required pattern. After laminating the required number of green sheets, the green sheet laminate is cut into solid pieces.1 The obtained solid green sheet laminate is sintered at a high temperature of, for example, 1200 to 1300°C to form solid pieces. make ceramic capacitor elements.

次にこのセラミックコンデンサー素子の上記内部電極層
が露出した相対する両端部に、銀または銀−パラジウム
系の等電ペーストを選択的に塗布し、800〜900℃
の温度で焼結して外部電極端子を形成する。
Next, silver or silver-palladium-based isoelectric paste is selectively applied to both opposing ends of the ceramic capacitor element where the internal electrode layers are exposed, and the temperature is increased to 800 to 900°C.
The external electrode terminal is formed by sintering at a temperature of .

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上述した従来の積層型セラミックチップコンデンサーの
÷+!造方法においては、内部電極層を形成するに当っ
て、パラジウムもしくは白金等の貴金属の導電性ペース
トを用いて、スクリ−ン印刷法によって塗布し形成する
方法を用い”でいるため、内部電極層の厚さを薄く、し
かも均一に制御することが技術的に困難を極め、現状で
は5μ程度の厚さが限界になっている。従って内部電極
層形成材料に上述したような貴金属を使用していること
から内部電極層の厚さが厚いということはそのコストの
面で経済的に問題があり、更に薄くすることが望まれて
いる。
÷+! of the conventional multilayer ceramic chip capacitor mentioned above! In the manufacturing method, when forming the internal electrode layer, a conductive paste of noble metal such as palladium or platinum is applied and formed by screen printing method. It is technically extremely difficult to control the thickness of the electrode thinly and uniformly, and the current limit is a thickness of about 5μ.Therefore, it is necessary to use the noble metals mentioned above as the material for forming the internal electrode layer. Therefore, a thick internal electrode layer is economically problematic in terms of cost, and it is desired to make it even thinner.

また上述したようにスクリーン印刷法を使用する関係上
、セラミック誘導体を構成するグリーンシートも薄く形
成するのに限界があり、特に積層し−て大容量のコンデ
ンサーを作らんとする場、各層間の耐圧性に信頼性を確
保し幹いという不都合かあった。
Furthermore, as mentioned above, due to the screen printing method used, there is a limit to how thin the green sheets that make up the ceramic dielectric can be formed, especially when laminating them to make a large capacity capacitor. There was an inconvenience that it was difficult to ensure reliability in terms of pressure resistance.

従って本発明の目的は上述した問題点を解決することに
あり、内部電極11・1を薄くかつ均一に形成でき、高
11’1 層%大容量のセラミックチップコンテンサー
をIIQ i:2できる方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a method that allows the internal electrodes 11.1 to be formed thinly and uniformly, and that allows a ceramic chip capacitor with a high capacity of 11'1 layer % to be made with IIQ i:2. It is about providing.

〔問題点を解決するための平膜〕[Flat membrane to solve problems]

本発明はセラミック誘電体材料および非水溶性樹脂バイ
ンター材料を混練した混合物をシート状に成形加工して
グリーンシートを形成する工程、上記グリーンシートの
一方の主表面に複数の内部電極層を形成する工程、上記
グリーンシートの必要枚数を積層し、次いで固片状に上
記グリーンシート8′(履体を切断加工する工程、得ら
れた固片状グリーンシート積層体を焼結する工程、上記
固片状焼結体の内部電極層が露出した相対する両端部に
外部電極端子を形成する工程からなり、上記グリーンシ
ートの一方の主表面に複数の内部電極層を形成する工程
を無電解めっき法番こよって導電性金属層を選択的に形
成させて行なう積層型セラミックチップコンデンサーの
製造方法である。
The present invention involves a process of forming a green sheet by kneading a mixture of a ceramic dielectric material and a water-insoluble resin binder material, and forming a plurality of internal electrode layers on one main surface of the green sheet. step, laminating the required number of green sheets, and then cutting the green sheet 8' into solid pieces (cutting the footwear body; sintering the obtained solid piece green sheet laminate; The step of forming external electrode terminals on the opposite ends of exposed internal electrode layers of the shaped sintered body is an electroless plating method. This is a method for manufacturing a multilayer ceramic chip capacitor in which a conductive metal layer is selectively formed.

上述した方法において、本発明で使用する内部電極層を
形成する工程を除いて、他の工程は従来の方法と同様に
実施することができる。
In the method described above, except for the step of forming the internal electrode layer used in the present invention, other steps can be performed in the same manner as in conventional methods.

〔作 用〕[For production]

本発明の方法によれば、グリーンシートの表面上、従っ
てセラミック誘電体層の表面上に非常に薄くかつ均一に
内部電極層を形成できるので内部電極層材料の使用量を
少なくして経済的に有効なものとすることができ、かつ
充積Ieij化でき、小型で大室Aの積1ゴ型セラミッ
クチップコンデンサーを作ることができる。
According to the method of the present invention, the internal electrode layer can be formed very thinly and uniformly on the surface of the green sheet, and thus on the surface of the ceramic dielectric layer, thereby reducing the amount of internal electrode layer material used and making it economical. It is possible to make a compact ceramic chip capacitor with a large chamber A and a single-layer ceramic chip capacitor.

〔実施例〕〔Example〕

以下に本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図A−Dは本発明の一実施例による債届型セラミッ
クチップコンデンサーの製造工程の説明図である。
FIGS. 1A to 1D are explanatory diagrams of the manufacturing process of a bond type ceramic chip capacitor according to an embodiment of the present invention.

本実施例では先ず第1図Aに示すように、チタン酸バリ
ウムもしくは酸化チタンからなる誘電体セラミック材料
の微粉末をブチラール樹脂等の非水溶性樹脂に分散させ
、これを混辣して混合物を作り、この混合物を用いてシ
ート吠に成形加工し、第1図りに示すセラミック誘電体
層4を形成するためのいわゆるグリーンシート4を作製
した。
In this example, first, as shown in FIG. 1A, fine powder of a dielectric ceramic material made of barium titanate or titanium oxide is dispersed in a water-insoluble resin such as butyral resin, and this is mixed to form a mixture. A so-called green sheet 4 for forming a ceramic dielectric layer 4 shown in the first figure was prepared by molding the mixture into a sheet.

次にこのグリーンシート4に活性化処理を施して、その
一方の主表面上に本発明によれば、先ず#:N ’ri
は了めつきの触媒核となる、例えば金属パラジウムの微
粒子核を選択的に付着させ、次いで無電解めっき液に浸
漬することによって、上記活性化処理を施した部分に導
電性金属を析出させて所望するパターン状に内部電極層
を形成した。
Next, this green sheet 4 is subjected to activation treatment, and according to the present invention, #:N'ri
A conductive metal is deposited on the activated area by selectively adhering, for example, a fine particle nucleus of metallic palladium, which will become a catalyst nucleus, and then immersed in an electroless plating solution. An internal electrode layer was formed in a pattern.

この工程を更に具体的に説明すると、上記活性化処理は
、所望する内部、電極層5を形成すべきグリーンシート
4上の部分にのみ施す必要がある。このため本実施例で
はグリーンシート4の他方の面、即ち内部電極層を形成
しない面は全面的にポリエステルフィルムで包覆して活
性化層が付着しないように保設し、ポリエステルフィル
ムで被覆していない面、即ち内部電極層5を形成する面
に、例えばパラジウムのコロイド溶液からはる活性化処
理液をスタンピング法または印刷法によって所望内部電
極層5を形成すべき部分をこのみ検布することによって
行なった。
To explain this step in more detail, the above activation process needs to be performed only on the desired interior and on the green sheet 4 where the electrode layer 5 is to be formed. For this reason, in this example, the other surface of the green sheet 4, that is, the surface on which the internal electrode layer is not formed, is entirely covered with a polyester film to prevent the activation layer from adhering, and is covered with a polyester film. On the other side, that is, the side on which the internal electrode layer 5 is to be formed, apply an activation treatment solution such as a colloidal solution of palladium by a stamping method or a printing method to detect only the part where the desired internal electrode layer 5 is to be formed. It was done by

次に無電解めっきによって内部型W4Fj5を析出形成
するのであるが、この無電解めつき法により析出される
導電性金属層としては、後で実施するセラミックグリー
ンシートの焼結温度に【(えられる金属で形成しなけれ
ばならない。このため本実施例ではセラミック材料とし
てチタン酸バリウムまたは酸化チタン系のものを使用し
たので、その焼結温度である1200〜1300℃に耐
える金属とし【パラジウムまたはその合金を含有する無
電解めっき液を使用した。
Next, the internal mold W4Fj5 is deposited and formed by electroless plating, and the conductive metal layer deposited by this electroless plating method is made at It must be made of metal.For this reason, barium titanate or titanium oxide was used as the ceramic material in this example, so a metal that can withstand the sintering temperature of 1200 to 1300°C was used (palladium or its alloy). An electroless plating solution containing .

本実施例で使用したパラジウムの無電解めっき浴液の組
成を下記に示す。
The composition of the palladium electroless plating bath used in this example is shown below.

PdCj、           0.01 not/
 7NH40H(28%水溶液)        20
0m(/Jチオグ!J コールt*         
 20w/INaHtPO*            
  0.05mol/1上記各成分に水を加えて全容f
lllとした。
PdCj, 0.01 not/
7NH40H (28% aqueous solution) 20
0m (/J Chiog! J Call t*
20w/INaHtPO*
Add water to 0.05 mol/1 of the above ingredients to make the total volume f
llll.

温度40℃で前述したように活性化処理を施したセラミ
ックグリーンシート4を浸漬し、次いで水洗した。
The ceramic green sheet 4 that had been activated as described above was immersed at a temperature of 40° C., and then washed with water.

次に上述したようにパラジウムの無電解めっきを行なっ
てセラミックグリーンシート4の表面に金属パラジウム
の内部電極層5を形成したグリーンシート4を目的とす
る電気容量のコンデンサーが得られるようその必要枚数
を第1図Bに示すように(図では4枚示しである)積層
し、更に最上層には図示してないが内部電極層を形成し
てないグリーンシート1枚を接電してプレスを用いて一
体的に圧縮成形した。このとき後で固片状に切断加工し
たとき、第1図Cおよび第1図りに示すように、相対す
る両端部に内部電極層5をそれぞれ1枚おきに交互に露
出させる必要がある。このため第2図Bに一点鎖線1 
、 J’およびmにて示す線に沿って切断したとき、交
互に上記内部電極層自体の端を切断するように各グリー
ンシート4を交互にずらして積層した。
Next, as described above, electroless plating of palladium is performed to form the internal electrode layer 5 of metal palladium on the surface of the ceramic green sheet 4.The required number of green sheets 4 is determined so as to obtain a capacitor of the intended capacitance. As shown in Figure 1B, the sheets are laminated (four sheets are shown in the figure), and one green sheet (not shown) with no internal electrode layer formed on the top layer is electrically connected and a press is used. It was integrally compression molded. At this time, when it is later cut into solid pieces, it is necessary to alternately expose every other internal electrode layer 5 at opposite ends, as shown in FIG. 1C and the first diagram. For this reason, the dashed line 1 in Figure 2B
, J' and m, the green sheets 4 were alternately staggered and laminated so that the ends of the internal electrode layers themselves were alternately cut.

次に第2図Bに一点鎖線1 、 l’およびmで示す如
く、それらに沿って切断加工して固片状のグリーンセラ
ミックコンデンサー素子6を作った(第1図C参照)。
Next, as shown by the dashed-dotted lines 1, l' and m in FIG. 2B, the green ceramic capacitor element 6 in the form of a solid piece was produced by cutting along the dashed-dotted lines 1, l' and m (see FIG. 1C).

次に得られた上記固片状グリーンセラミックコンデンサ
ー素子6を1200〜1300℃で焼成した。
Next, the obtained solid green ceramic capacitor element 6 was fired at 1200 to 1300°C.

次に上記固片状の焼結セラミックーコンデンサー素子6
の内部電極層5がz7出する相対する両端部に第1図p
に示すように銀または銀−パラジウム系のメタルグレー
ズペーストを選択的に塗布して、これを800〜900
℃で焼成して外部電極り;ソ子7を形成した。
Next, the solid piece-shaped sintered ceramic capacitor element 6
The inner electrode layer 5 of the
Selectively apply silver or silver-palladium metal glaze paste as shown in
C. to form an external electrode 7.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明から明らかなように、本発明による積層型セ
ラミックチップコンデンサーは、セラミック誘電体グリ
ーンシート上に直接無電解めっきによって内部電極層を
形成するので、内部電極層の厚さを3く、しかも均一に
形成することができるので経済的にすぐれているばかり
でなく、確実に再現性よく形成でき、また印刷法の場合
と異なり、操作上セラミック誘電体層をも極力薄くする
ことができる。従って高g1層で高容量のコンデンサー
を作る場合、コンデンサーの全体の厚さを小さくするこ
とができる。
As is clear from the above description, in the multilayer ceramic chip capacitor according to the present invention, the internal electrode layer is formed directly on the ceramic dielectric green sheet by electroless plating. Since it can be formed uniformly, it is not only economically superior, but it can also be reliably formed with good reproducibility, and unlike the printing method, the ceramic dielectric layer can be made as thin as possible in terms of operation. Therefore, when making a high capacity capacitor with a high g1 layer, the overall thickness of the capacitor can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図A−Dは本発明の一実施例による積層型セラミッ
クチップコンデンサーの製造工程の説明図であり、第1
図Aは個々のセラミックグリーンシート上に内部電極層
を形成した斜視図、第1図Bはセラミックグリーンシー
トの積層を示す分解斜視図、第1図Cは固片状コンデン
サー(−:子の斜視図、第1図りおよび第2図はチップ
コンデンサーの断面図である。 4・・・セラミック話電体層(またはグリーンシー))
、5・・・内部電極屑、6・・・チップコンデンサー素
子、7・・・外部?!!極端子。 特許出願人  松下電器産業株式会社 第1図D 第2図
1A to 1D are explanatory diagrams of the manufacturing process of a multilayer ceramic chip capacitor according to an embodiment of the present invention, and FIG.
Figure A is a perspective view of internal electrode layers formed on individual ceramic green sheets, Figure 1B is an exploded perspective view showing the lamination of ceramic green sheets, and Figure 1C is a solid flake capacitor (-: child's perspective view). Figures 1 and 2 are cross-sectional views of a chip capacitor. 4...Ceramic phone layer (or green sea))
, 5... Internal electrode scrap, 6... Chip capacitor element, 7... External? ! ! Extreme terminal. Patent applicant Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Figure 1D Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、セラミック誘電体材料および非水溶性樹脂バインダ
ー材料を混練した混合物をシート状に成形加工してグリ
ーンシートを形成する工程、上記グリーンシートの一方
の主表面に複数の内部電極層を形成する工程、上記グリ
ーンシートの必要枚数を積層し、次いで固片状に上記グ
リーンシート積層体を切断加工する工程、得られた固片
状グリーンシート積層体を焼結する工程、上記固片状焼
結体の内部電極層が露出した相対する両端部に外部電極
端子を形成する工程からなり、上記グリーンシートの一
方の主表面に複数の内部電極層を形成する工程を無電解
めつき法によつて導電性金属層を選択的に析出させて行
なうことを特徴とする積層型セラミックチップコンデン
サーの製造方法。 2、無電解めつき法によつて析出させる導電性金属とし
てパラジウムまたはその合金を使用する特許請求の範囲
第1項記載の積層型セラミックチップコンデンサーの製
造方法。
[Claims] 1. A step of forming a green sheet by kneading a mixture of a ceramic dielectric material and a water-insoluble resin binder material into a sheet shape, and forming a green sheet on one main surface of the green sheet. a step of forming an electrode layer, a step of laminating a required number of green sheets, a step of cutting the green sheet laminate into solid pieces, a step of sintering the obtained solid green sheet laminate, the above steps. This process consists of forming external electrode terminals at both exposed ends of the internal electrode layer of the solid piece-like sintered body, and the process of forming a plurality of internal electrode layers on one main surface of the green sheet is an electroless method. A method for manufacturing a multilayer ceramic chip capacitor, characterized in that a conductive metal layer is selectively deposited by a plating method. 2. The method for manufacturing a multilayer ceramic chip capacitor according to claim 1, wherein palladium or an alloy thereof is used as the conductive metal deposited by electroless plating.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6255037B1 (en) 1996-04-26 2001-07-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for producing monolithic electronic parts
JP2004200190A (en) * 2002-12-16 2004-07-15 Kunihito Kawamoto Method for forming metal film and method for manufacturing ceramic electronic component

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6255037B1 (en) 1996-04-26 2001-07-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for producing monolithic electronic parts
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