JPS63176500A - 電気めつき用遮蔽板 - Google Patents
電気めつき用遮蔽板Info
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- JPS63176500A JPS63176500A JP62008696A JP869687A JPS63176500A JP S63176500 A JPS63176500 A JP S63176500A JP 62008696 A JP62008696 A JP 62008696A JP 869687 A JP869687 A JP 869687A JP S63176500 A JPS63176500 A JP S63176500A
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- JP
- Japan
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- plate
- holes
- plated
- shielding plate
- electroplating
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/008—Current shielding devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電気めっき用遮蔽板に関するものである。
（従来の技術）
電気めっきにおいて、特にラックに被めっき物を吊るし
て行うラックめっきの場合には、ラックの周辺部に吊る
した被めっき物の方がラックの中央部に吊るした被めっ
き物よりもめっきが厚く付く傾向がある。
て行うラックめっきの場合には、ラックの周辺部に吊る
した被めっき物の方がラックの中央部に吊るした被めっ
き物よりもめっきが厚く付く傾向がある。
このような傾向は、被めっき物が吊るしである領域内で
みると、該領域の中央部よりも領域の端縁部側に電流密
度が高く分布する傾向にあることによる。
みると、該領域の中央部よりも領域の端縁部側に電流密
度が高く分布する傾向にあることによる。
このような電流密度分布のばらつきによるめっき厚のば
らつきを防止するため、従来においては、第６図に示す
ように、陽極と陰極すなわち被めっき物との間に、中央
部に透孔３ｏを備えた遮蔽板３２をめっき液中に挿入し
て周辺を遮蔽することにより、電流密度の分布が極力均
一になるようにしている。
らつきを防止するため、従来においては、第６図に示す
ように、陽極と陰極すなわち被めっき物との間に、中央
部に透孔３ｏを備えた遮蔽板３２をめっき液中に挿入し
て周辺を遮蔽することにより、電流密度の分布が極力均
一になるようにしている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来の電気めっき用遮蔽板にあって
も次のような問題点を有している。
も次のような問題点を有している。
すなわち電流密度分布のばららきの要因はめっき液組成
、極板との距離、極板の面積等種々存在する。また被め
っき物の種類、特に大きさく形状、表面積等）等が異な
ることによっても電流密度分布にばらつきが見られるこ
とが判明した。このような条件下にあって、前者のめっ
き液組成等の要因は、浴組成の選定や浴管理等を慎重に
行うことによって回避できる。しかしながら、後者のよ
うに被めっき物の種類が異なることによる要因は如何と
もし難い。
、極板との距離、極板の面積等種々存在する。また被め
っき物の種類、特に大きさく形状、表面積等）等が異な
ることによっても電流密度分布にばらつきが見られるこ
とが判明した。このような条件下にあって、前者のめっ
き液組成等の要因は、浴組成の選定や浴管理等を慎重に
行うことによって回避できる。しかしながら、後者のよ
うに被めっき物の種類が異なることによる要因は如何と
もし難い。
］シたがって従来においては被めっき物の種類ご１とに
、例えば開孔率の異なる遮蔽板を準備してお・・き、種
類が異なるごとにその都度遮蔽板を交換するようにして
いた。
、例えば開孔率の異なる遮蔽板を準備してお・・き、種
類が異なるごとにその都度遮蔽板を交換するようにして
いた。
しかしながらこれでは交換の手間も要するし、また被め
っき物の種類ごとに異なる遮蔽板を用意するのは不経済
でもあり、また煩雑であった。
っき物の種類ごとに異なる遮蔽板を用意するのは不経済
でもあり、また煩雑であった。
そこで本発明は上記問題点を解消すべくなされたもので
あり、その目的とするところは、被めっき物の種類その
他の要因に応じて開孔率を可変できる電気めっき用遮蔽
板を提供するにある。
あり、その目的とするところは、被めっき物の種類その
他の要因に応じて開孔率を可変できる電気めっき用遮蔽
板を提供するにある。
（発明の概要）
上記目的による本発明に係る電気めっき用遮蔽板によれ
ば、透孔を備え、めっき液中に挿入されて、被めっき物
に対する電流密度の均一化を図る電気めっき用遮蔽板に
おいて、透孔を有する複数枚の孔あき板を、スライド位
置で当該透孔がずれることによって開孔率を可変にすべ
く、スライド自在に重ね合わせて成ることを特徴として
いる。
ば、透孔を備え、めっき液中に挿入されて、被めっき物
に対する電流密度の均一化を図る電気めっき用遮蔽板に
おいて、透孔を有する複数枚の孔あき板を、スライド位
置で当該透孔がずれることによって開孔率を可変にすべ
く、スライド自在に重ね合わせて成ることを特徴として
いる。
（作用）
第１図に示す実施例についての作用を説明する。
孔あき板たる裏板１４を、孔あき板たる表板１２に対し
て、その透孔１８が透孔１６に対して一致する位置から
図示のごとくずれる位置まで回転して、透孔１６と透孔
１８との開孔率を種々変えて使用することができる。こ
れにより遮蔽率が種々変化するので、被めっき物に対す
る電流密度の調整が可能となる。
て、その透孔１８が透孔１６に対して一致する位置から
図示のごとくずれる位置まで回転して、透孔１６と透孔
１８との開孔率を種々変えて使用することができる。こ
れにより遮蔽率が種々変化するので、被めっき物に対す
る電流密度の調整が可能となる。
（実施例）
以下には本発明の好適な一実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明に係る電気めっき用遮蔽板１０の背面図
、第２図はその平面図を示す。
、第２図はその平面図を示す。
この実施例による電気めっき用遮蔽板１０は、表板１２
に対して裏板１４がその中心を中心として回転自在に重
ね合わせられている。表板１２と裏板１４の中央には同
一大きさの比較的大径の透孔１６．１８が穿設され、ま
た同一ラジアル位置（図では６方向）へ４個ずつの透孔
２０．２２がやはり同一位置、同一大きさで穿設されて
いる。
に対して裏板１４がその中心を中心として回転自在に重
ね合わせられている。表板１２と裏板１４の中央には同
一大きさの比較的大径の透孔１６．１８が穿設され、ま
た同一ラジアル位置（図では６方向）へ４個ずつの透孔
２０．２２がやはり同一位置、同一大きさで穿設されて
いる。
、なお中央部の透孔１６．１８の方がラジアル位置に、
裏板１４の透孔１８縁から起立する筒軸２４が表板１２
の透孔１６に嵌入すると共に裏板１２表面から突出する
筒軸２４先端が外方に折り曲げられることによって、筒
軸２４を軸として回転自在に設けられている。この表板
１２と裏板１４との回転機構は上記に限られないことは
言うまでもなく、例えば裏板１４を円板状に設けて、こ
の円板の外周を案内する断面り字状の案内部（図示せず
）を表板１２に設けて回転させるなど種々の機構を採用
しうる。
裏板１４の透孔１８縁から起立する筒軸２４が表板１２
の透孔１６に嵌入すると共に裏板１２表面から突出する
筒軸２４先端が外方に折り曲げられることによって、筒
軸２４を軸として回転自在に設けられている。この表板
１２と裏板１４との回転機構は上記に限られないことは
言うまでもなく、例えば裏板１４を円板状に設けて、こ
の円板の外周を案内する断面り字状の案内部（図示せず
）を表板１２に設けて回転させるなど種々の機構を採用
しうる。
なお表板１２と裏板１４とは任意の回転位置で停止しう
るよう適宜なストッパ機構を設けると好適である。スト
ッパ機構としては例えば表板１２と裏板１４との間が凹
凸係合するよう構成することができる（図示せず）。
るよう適宜なストッパ機構を設けると好適である。スト
ッパ機構としては例えば表板１２と裏板１４との間が凹
凸係合するよう構成することができる（図示せず）。
本実施例は以上のように構成されている。
遮蔽板ｌＯは従来と同じようにめっき液中に、極板と被
めっき物との間に位置するよう挿入して使用される。
めっき物との間に位置するよう挿入して使用される。
その際、表板１２に対して第１図のように裏板１４を、
その透孔２０と透孔２２とがずれて重なるように回転さ
せて用いると、遮蔽板１０の中央部の透孔１６．１８の
開孔率に対して端縁部側の透孔２０．２２の開孔率が外
側にいけばいく程小さくなるようにして用いることがで
きる。
その透孔２０と透孔２２とがずれて重なるように回転さ
せて用いると、遮蔽板１０の中央部の透孔１６．１８の
開孔率に対して端縁部側の透孔２０．２２の開孔率が外
側にいけばいく程小さくなるようにして用いることがで
きる。
また、回転の角度によって中心部から端縁部にかけての
開孔率の差を連続的に可変させることが可能となる。
開孔率の差を連続的に可変させることが可能となる。
上記の中心部と端縁部側の開孔率（表板１２に対する裏
板１４の回転角）の設定は、被めっき物の種類に応じて
選択することになる。特定の被めっき物に対してとの開
孔率が最適かは、種々の開孔率に対する被めっき物のめ
っき厚のばらつきを実験的にあらかじめ求めておいて、
最適な範囲の開孔率で使用するとよい。
板１４の回転角）の設定は、被めっき物の種類に応じて
選択することになる。特定の被めっき物に対してとの開
孔率が最適かは、種々の開孔率に対する被めっき物のめ
っき厚のばらつきを実験的にあらかじめ求めておいて、
最適な範囲の開孔率で使用するとよい。
第３１！ｉは製品Ａと製品Ｂについての、表板１２に対
する裏板１４の種々の回転角におけるめっき、厚のばら
つきを実験的に求めた例を示す、この製゛品Ａと製品Ｂ
の例では、製品Ａの場合には約２゜の回転角が最適であ
り、製品Ｂの場合には約３゜の回転角が最適であった。
する裏板１４の種々の回転角におけるめっき、厚のばら
つきを実験的に求めた例を示す、この製゛品Ａと製品Ｂ
の例では、製品Ａの場合には約２゜の回転角が最適であ
り、製品Ｂの場合には約３゜の回転角が最適であった。
なお、めっき液の組成変化、極板との距離等、電流密度
分布変動（めっき厚のばらつき）の他の要因に対しても
、遮蔽板１０の開孔率（回転角）との因果関係を実験的
に解明しておくことによって、異なる製品のみならず、
異なるめっき液組成等に応じても最適な開孔率で用いる
ことができ、よりきめ細かなめっき管理が行える。
分布変動（めっき厚のばらつき）の他の要因に対しても
、遮蔽板１０の開孔率（回転角）との因果関係を実験的
に解明しておくことによって、異なる製品のみならず、
異なるめっき液組成等に応じても最適な開孔率で用いる
ことができ、よりきめ細かなめっき管理が行える。
上記実施例で図面中透孔２０．２２は円形の例を挙げた
が、その形状は楕円あるいは多角形等であってもよく、
またその大きさく特にラジアル方向）も必ずしも同一で
なくともよい。
が、その形状は楕円あるいは多角形等であってもよく、
またその大きさく特にラジアル方向）も必ずしも同一で
なくともよい。
また、表板１２に対して裏板１４を前記したようにその
外周で案内するようにして回転させる機構においては、
その中心部の透孔１６．１８を非円形にして、該中心部
の透孔１６．１８間の開孔率を変動させうるようにして
もよい。
外周で案内するようにして回転させる機構においては、
その中心部の透孔１６．１８を非円形にして、該中心部
の透孔１６．１８間の開孔率を変動させうるようにして
もよい。
第４図（ａ）、（ｂ）は他の実施例を示す、。
本実施例では表板１２に対して裏板１４をレール２６．
２６によって水平方向、あるいは鉛直方向にスライドす
るよう構成している。
２６によって水平方向、あるいは鉛直方向にスライドす
るよう構成している。
本実施例においても、遮蔽板１０の中央部と端縁部とで
それぞれ開孔率を変動させることができる。
それぞれ開孔率を変動させることができる。
第５図（ａ）、（ｂ）はさらに他の実施例を示す。
本実施例では、裏板１４の中心部の透孔１８を筒軸２４
の外径よりも大径にして一板１４が表板１２に対して任
意の方向に所定範囲に亘ってずれることができるように
し、かつ表板１２に対して回転することができるように
なっている。なおこのために第１図に示した筒軸２４の
折り曲げ部を、本実施例では図示のごとく幅広に形成し
ている。
の外径よりも大径にして一板１４が表板１２に対して任
意の方向に所定範囲に亘ってずれることができるように
し、かつ表板１２に対して回転することができるように
なっている。なおこのために第１図に示した筒軸２４の
折り曲げ部を、本実施例では図示のごとく幅広に形成し
ている。
本実施例においては、裏板１４が表板１２に対して任意
の方向に移動可能な機能がさらに付加されているから、
各部の透孔の開孔率をさらに種々変化させうる。
の方向に移動可能な機能がさらに付加されているから、
各部の透孔の開孔率をさらに種々変化させうる。
； なお以上の各実施例において、孔あき板として・表
板と裏板との２枚を用いたが、もちろん３枚以上の複数
枚の孔あき板を用いて、これを重ね合わせるようにして
もよい、この場合に例えば１枚目の孔あき板に対して２
枚目の孔あき板を水平方向にスライド可能とし、３枚目
の孔あき板を回転自在とするなど、スライド方向を種々
選択することができる。
板と裏板との２枚を用いたが、もちろん３枚以上の複数
枚の孔あき板を用いて、これを重ね合わせるようにして
もよい、この場合に例えば１枚目の孔あき板に対して２
枚目の孔あき板を水平方向にスライド可能とし、３枚目
の孔あき板を回転自在とするなど、スライド方向を種々
選択することができる。
なお本発明においてスライドとは、水平方向あるいは任
意の方向への動き、および回転動の両者を含む概念とす
る。
意の方向への動き、および回転動の両者を含む概念とす
る。
以上本発明の好適な実施例を種々説明したが、本発明は
上記実施例に限定されないことはもちろんであり、細部
の形状、構成、配置等の変更実施は本発明の精神を逸脱
しない範囲内で本発明に属することはもちろんである。
上記実施例に限定されないことはもちろんであり、細部
の形状、構成、配置等の変更実施は本発明の精神を逸脱
しない範囲内で本発明に属することはもちろんである。
（発明の効果）
以上のように本発明に係る電気めっき用遮蔽板によれば
、孔あき板を複数枚スライド自在に重ね・合わせたこと
によって孔の開孔率を種々に連続的；に可変でき、被め
っき物の種類に応じて最適の開！孔率で使用でき、めっ
き厚を均一にすることができる。
、孔あき板を複数枚スライド自在に重ね・合わせたこと
によって孔の開孔率を種々に連続的；に可変でき、被め
っき物の種類に応じて最適の開！孔率で使用でき、めっ
き厚を均一にすることができる。
、また、めっき液の組成の変動等めっき条件の変動によ
る電流密度分布の変動に対しても開孔率を変えることで
電流密度を均一化させることが可能となり、めっき管理
が一段ときめ細か（、かつ容易に行うことができるよう
になった。
る電流密度分布の変動に対しても開孔率を変えることで
電流密度を均一化させることが可能となり、めっき管理
が一段ときめ細か（、かつ容易に行うことができるよう
になった。
第１図は本発明に係る電気めっき用遮蔽板の好適な一実
施例を示す背面図、第２図はその平面図を示す、第３図
は第１図に示す遮蔽板の表板と裏板の回転角変化に対す
るめっき厚のばらつきを示すグラフ、第４図（ａ）、（
ｂ）および第５図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ他の実施例
を示し、（ａ）はその背面図、（ｂ）は平面図である。 第６図はめっき液に従来の遮蔽板を挿入した状態の説明
図である。 １０・・・電気めっき用遮蔽板、 １２・・・表板、 １４・・・裏板、 １６・・・透孔
、 １８・・・透孔、 ２０．２２・・・透孔、 ２４
・・・筒軸、 ２６・・・レール。
施例を示す背面図、第２図はその平面図を示す、第３図
は第１図に示す遮蔽板の表板と裏板の回転角変化に対す
るめっき厚のばらつきを示すグラフ、第４図（ａ）、（
ｂ）および第５図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ他の実施例
を示し、（ａ）はその背面図、（ｂ）は平面図である。 第６図はめっき液に従来の遮蔽板を挿入した状態の説明
図である。 １０・・・電気めっき用遮蔽板、 １２・・・表板、 １４・・・裏板、 １６・・・透孔
、 １８・・・透孔、 ２０．２２・・・透孔、 ２４
・・・筒軸、 ２６・・・レール。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透孔を備え、めっき液中に挿入されて、被めっき物
に対する電流密度の均一化を図る電気めっき用遮蔽板に
おいて、 透孔を有する複数枚の孔あき板を、スライ ド位置で当該透孔がずれることによって開孔率を可変に
すべく、スライド自在に重ね合わせて成る電気めっき用
遮蔽板。 ２、複数枚の孔あき板が任意方向に動くように重ね合わ
せて成る特許請求の範囲第１項記載の電気めっき用遮蔽
板。 ３、複数枚の孔あき板が回転するように重ね合わせて成
る特許請求の範囲第１項記載の電気めっき用遮蔽板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008696A JPS63176500A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電気めつき用遮蔽板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008696A JPS63176500A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電気めつき用遮蔽板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63176500A true JPS63176500A (ja) | 1988-07-20 |
Family
ID=11700084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008696A Pending JPS63176500A (ja) | 1987-01-16 | 1987-01-16 | 電気めつき用遮蔽板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63176500A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145791A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Eagle Ind Co Ltd | めっき装置とめっき方法およびめっき用遮蔽板 |
| JPH0444373U (ja) * | 1990-08-15 | 1992-04-15 | ||
| EP1524338A4 (en) * | 2002-07-18 | 2008-02-27 | Ebara Corp | ELECTRODEPOSITION DEVICE |
| KR100855808B1 (ko) * | 2006-11-21 | 2008-09-01 | 삼성전기주식회사 | 전해 도금 장치 |
| JP2010138433A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置製造装置及び半導体装置製造方法 |
| JP2014129592A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-10 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 電解メッキ遮蔽板及びこれを有する電解メッキ装置 |
| JP7204060B1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-01-13 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置用抵抗体、及び、めっき装置 |
| TWI843117B (zh) * | 2022-06-02 | 2024-05-21 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 用於鍍覆裝置之阻抗體、及鍍覆裝置 |
| JP7679563B1 (ja) * | 2024-06-27 | 2025-05-19 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5633500A (en) * | 1979-08-28 | 1981-04-03 | Fujitsu Ltd | Averaging apparatus of distribution of plating electric current |
| JPS60155700A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-08-15 | ダイナミツク、デイスク、インコ−ポレイテツド | 基板上に磁性体層を付着する装置および方法 |
-
1987
- 1987-01-16 JP JP62008696A patent/JPS63176500A/ja active Pending
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| KR20230165748A (ko) * | 2022-05-27 | 2023-12-05 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 도금 장치용 저항체 및 도금 장치 |
| CN119096009A (zh) * | 2022-05-27 | 2024-12-06 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置用电阻体以及镀覆装置 |
| CN119096009B (zh) * | 2022-05-27 | 2025-11-21 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置用电阻体以及镀覆装置 |
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| WO2026004072A1 (ja) * | 2024-06-27 | 2026-01-02 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置 |
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