JPS63185465A - 集塵装置 - Google Patents
集塵装置Info
- Publication number
- JPS63185465A JPS63185465A JP62017653A JP1765387A JPS63185465A JP S63185465 A JPS63185465 A JP S63185465A JP 62017653 A JP62017653 A JP 62017653A JP 1765387 A JP1765387 A JP 1765387A JP S63185465 A JPS63185465 A JP S63185465A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- vacuum
- electrode
- dust collector
- source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空装置内で主として真空槽内の機械可動接触
部から発生する塵を集める集塵装置に関するものである
。
部から発生する塵を集める集塵装置に関するものである
。
従来の技術
近年、半導体の高集積化に伴い真空装置内の特に真空槽
内の機械可動接触部からの発塵が問題視される傾向にあ
る。ところが、未だに積極的な集塵対策を施したものは
なく、発塵源からの塵の流出防止のためのダストシール
が施されているにすぎない。
内の機械可動接触部からの発塵が問題視される傾向にあ
る。ところが、未だに積極的な集塵対策を施したものは
なく、発塵源からの塵の流出防止のためのダストシール
が施されているにすぎない。
以下図面を参照しながら、上述した従来のダストシール
の一例について説明する。
の一例について説明する。
第２図及び第３図は従来のダストシールを用いた真空用
玉軸受の断面図及び第２図のＡ−Ａ断面図である。
玉軸受の断面図及び第２図のＡ−Ａ断面図である。
第２図及び第３図で１は内輪、２は転動体である玉、３
及び４は玉２を整列配置する保持器、６は保持器３，４
を結合するネジ、６は外輪、７は外輪６にはめこまれた
ダストシールである。
及び４は玉２を整列配置する保持器、６は保持器３，４
を結合するネジ、６は外輪、７は外輪６にはめこまれた
ダストシールである。
以上のように構成された真空用玉軸受について、以下そ
の動作について説明する。
の動作について説明する。
まず外輪６を固定すれば、内輪１をＢ方向へ回転すれば
玉２は保持器３．４に保持された状態で同じくＢ方向へ
転動する。
玉２は保持器３．４に保持された状態で同じくＢ方向へ
転動する。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、真空、特に超高真
空以下になると潤滑剤としてグリースの使用ができなく
なり、固体潤滑剤を使用せねばならない。固体潤滑剤は
はく離しやすいため、これら固体潤滑剤または摩耗粉は
ダストシール７と内輪１のすき間より真空中へ流出して
しまうという問題点を有していた。
空以下になると潤滑剤としてグリースの使用ができなく
なり、固体潤滑剤を使用せねばならない。固体潤滑剤は
はく離しやすいため、これら固体潤滑剤または摩耗粉は
ダストシール７と内輪１のすき間より真空中へ流出して
しまうという問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、真空中で発生した塵を発生
源近傍で積極的に集める働きをする集塵装置を提供する
ものである。
源近傍で積極的に集める働きをする集塵装置を提供する
ものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明は、真空中で正電位
にある電極と、β線発生源とβ線照射により電子放出を
行う金属体とを、発塵源近傍に備えたものである。
にある電極と、β線発生源とβ線照射により電子放出を
行う金属体とを、発塵源近傍に備えたものである。
作 用
本発明の作用は、発塵源より発生、飛散した塵の微粉を
、β線発生源から発したβ線の金属体への照射によりつ
くりだされる電子により帯電させ、その塵を正電位にあ
る電極へ静電吸着させるものである。
、β線発生源から発したβ線の金属体への照射によりつ
くりだされる電子により帯電させ、その塵を正電位にあ
る電極へ静電吸着させるものである。
実施例
以下本発明の一実施例の集塵装置について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における集塵装置を利用した
真空用玉軸受の断面図である。第１図において８は電子
放出を行う金属体としておよび発塵源の一部品としての
内輪、９は発塵源の他の部品としての玉、１０及び１１
は玉９を整列配置するとともにβ線発生源のＮ１６３を
含むリング１２を有する保持器、１３は保持器１０．１
１を結合するネジ、１４は電子放出を行う金属体として
および発塵源の一部品としての外輪、１５．１６は外輪
１４に絶縁体よりなるネジ１７により絶縁性セラミック
リング１８を介して固定され凹形の溝１９を有する電極
、２ｏは電源、２１は配線である。
真空用玉軸受の断面図である。第１図において８は電子
放出を行う金属体としておよび発塵源の一部品としての
内輪、９は発塵源の他の部品としての玉、１０及び１１
は玉９を整列配置するとともにβ線発生源のＮ１６３を
含むリング１２を有する保持器、１３は保持器１０．１
１を結合するネジ、１４は電子放出を行う金属体として
および発塵源の一部品としての外輪、１５．１６は外輪
１４に絶縁体よりなるネジ１７により絶縁性セラミック
リング１８を介して固定され凹形の溝１９を有する電極
、２ｏは電源、２１は配線である。
以上のように構成された集塵装置を利用した真空用玉軸
受について、以下第１図を用いてその動作を説明する。
受について、以下第１図を用いてその動作を説明する。
まず外輪１４を固定すれば、内輪８がＣ方向へ回転する
と玉９は保持器１０．１１に保持された状態で同じくＣ
方向へ転動する。その際発生する塵は、リング１２より
発生したβ線の照射で内輪８、外輪１４の金属面から発
生した二次電子により負に帯電する。電極１５．１６は
正に印加されているので帯電した塵は電極１５．１６の
凹部１９へ引き寄せられ集積される。
と玉９は保持器１０．１１に保持された状態で同じくＣ
方向へ転動する。その際発生する塵は、リング１２より
発生したβ線の照射で内輪８、外輪１４の金属面から発
生した二次電子により負に帯電する。電極１５．１６は
正に印加されているので帯電した塵は電極１５．１６の
凹部１９へ引き寄せられ集積される。
以上のように本実施例によれば、β線発生源にＮ１６３
の放射性同位元素を含む材料を用い及び電子放出を行
う金属体を内輪及び外輪とすることで特別の電子発生装
置を必要とせず、また電極への電圧印加を停止した状態
でも凹形の溝に集めた塵を保持しつづけることができる
。
の放射性同位元素を含む材料を用い及び電子放出を行
う金属体を内輪及び外輪とすることで特別の電子発生装
置を必要とせず、また電極への電圧印加を停止した状態
でも凹形の溝に集めた塵を保持しつづけることができる
。
なお、以上の実施例においては、本発明の集塵装置を真
空用玉軸受に適用した場合について述べたが、発塵が問
題となる真空装置内に用いる物であって、二部品が互い
に摺動し、その摺動部において塵が発生する物について
一般に適用できるものである。
空用玉軸受に適用した場合について述べたが、発塵が問
題となる真空装置内に用いる物であって、二部品が互い
に摺動し、その摺動部において塵が発生する物について
一般に適用できるものである。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、真空中で正電位に
ある電極と、β線発生源と、β線照射により電子放出を
行う金属体とを、発塵源近傍に備えたもので、ガスを用
いた放電による帯電を伴わないため真空雰囲気を大きく
乱すことなく、しかもβ線照射による電子発生を行うた
め比較的真空度の悪い雰囲気中でも動作させることが可
能である。
ある電極と、β線発生源と、β線照射により電子放出を
行う金属体とを、発塵源近傍に備えたもので、ガスを用
いた放電による帯電を伴わないため真空雰囲気を大きく
乱すことなく、しかもβ線照射による電子発生を行うた
め比較的真空度の悪い雰囲気中でも動作させることが可
能である。
第１図は本発明の一実施例における集塵装置を利用した
真空玉軸受の断面図、第２図は従来の真空玉軸受の断面
図、第３図は第２図のＡ−Ａ断面図である。 ８・・・・・・内輪（電子放出を行う金属体）、１２・
・・・・・Ｉ） ング（β線発生源）、１４・・・・・
・外輪（電子放出を行う金属体）、１５．１６・・・・
・・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
真空玉軸受の断面図、第２図は従来の真空玉軸受の断面
図、第３図は第２図のＡ−Ａ断面図である。 ８・・・・・・内輪（電子放出を行う金属体）、１２・
・・・・・Ｉ） ング（β線発生源）、１４・・・・・
・外輪（電子放出を行う金属体）、１５．１６・・・・
・・電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (2)
- （１）真空中で正電位にある電極と、β線発生源と、前
記β線発生源からのβ線で電子放出を行う金属体とを発
塵源近傍に備えたことを特徴とする集塵装置。 - （２）真空中で正電位にある電極には、水平方向に少な
くとも１つの凹形の溝を発塵方向に有することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の集塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62017653A JPS63185465A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 集塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62017653A JPS63185465A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 集塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63185465A true JPS63185465A (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=11949810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62017653A Pending JPS63185465A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 集塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63185465A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111058A (en) * | 1980-01-07 | 1981-09-02 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Vacuum purification device |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP62017653A patent/JPS63185465A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56111058A (en) * | 1980-01-07 | 1981-09-02 | Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Vacuum purification device |
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