JPS631877A - マイクロエレクトロバルブ - Google Patents
マイクロエレクトロバルブInfo
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- JPS631877A JPS631877A JP62154258A JP15425887A JPS631877A JP S631877 A JPS631877 A JP S631877A JP 62154258 A JP62154258 A JP 62154258A JP 15425887 A JP15425887 A JP 15425887A JP S631877 A JPS631877 A JP S631877A
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0603—Multiple-way valves
- F16K31/0624—Lift valves
- F16K31/0634—Lift valves with fixed seats positioned between movable valve members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
- F16K11/048—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves with valve seats positioned between movable valve members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0603—Multiple-way valves
- F16K31/0641—Multiple-way valves the valve member being a diaphragm
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
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- Y10T137/8667—Reciprocating valve
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、２箇所又は３箇所の流路を有するマイクロエ
レクトロバルブ、特に浸食性又は不純物介在の液体を含
む全ての流体に対して適用できるマイクロエレクトロバ
ルブに関するものであり、より具体的には２枚のシーリ
ングメンブレンを備えたマイクロエレクトロバルブに関
するものである。
レクトロバルブ、特に浸食性又は不純物介在の液体を含
む全ての流体に対して適用できるマイクロエレクトロバ
ルブに関するものであり、より具体的には２枚のシーリ
ングメンブレンを備えたマイクロエレクトロバルブに関
するものである。
従来の技術
手動又は自動の２箇所もしくは３箇所の流路を有するバ
ルブは、パイプ内の流体を閉じること又は２本の分岐パ
イプのうち一方のパイプから他方のパイプへ流れ方向を
代えるために使用されることは知られている。このため
、これらのパイプが接続されるバルブボディは、位置に
よりオリフィスを開き又は閉じる可動アッセンブリを一
般に備えている。３箇所の流路を有するバルブにおいて
は、可動アッセンブリは一方のオリフィスを閉じだとき
に他方のオリフィスが開かれ又この逆が行われるように
構成される。この構造は、例えば可撓性シーリングエレ
メントを有する回動プレート又は２つの対向するオリフ
ィス間を移動する２つの面を有した閉鎖用フラップによ
り得られる。これらのアッセンブリは、モータにより駆
動され、或いはエレクトロバルブにあっては電磁石によ
り駆動されるのであるが、繰返し使用される場合にもシ
ールが適切に維持されるように配慮される必要がある。
ルブは、パイプ内の流体を閉じること又は２本の分岐パ
イプのうち一方のパイプから他方のパイプへ流れ方向を
代えるために使用されることは知られている。このため
、これらのパイプが接続されるバルブボディは、位置に
よりオリフィスを開き又は閉じる可動アッセンブリを一
般に備えている。３箇所の流路を有するバルブにおいて
は、可動アッセンブリは一方のオリフィスを閉じだとき
に他方のオリフィスが開かれ又この逆が行われるように
構成される。この構造は、例えば可撓性シーリングエレ
メントを有する回動プレート又は２つの対向するオリフ
ィス間を移動する２つの面を有した閉鎖用フラップによ
り得られる。これらのアッセンブリは、モータにより駆
動され、或いはエレクトロバルブにあっては電磁石によ
り駆動されるのであるが、繰返し使用される場合にもシ
ールが適切に維持されるように配慮される必要がある。
このためリターンスプリングを備えた補助的な装置が備
えられることが多いが、この場合は構造が複雑となり又
重合が増すこととなる。
えられることが多いが、この場合は構造が複雑となり又
重合が増すこととなる。
このことは通常の使用においては大きな問題となるとは
限らないが、常圧においてメインパイプから技パイプへ
水流を方向づけるような場合、例えば医学の分野におけ
るような特定の分野での使用の場合には同様というわけ
には行かず、従来の工レフトロバルブは使用し得なかっ
た。このような場合は、エレクトロバルブからの液体の
洩れが生じる虞れがあり、或いは逆に何らかの外部環境
により影響され、又は汚染される虞れがある。−方、マ
イクロバルブは小型であり、軽量であり、低出力の電磁
石で駆動され得ることが望まれることが多い。
限らないが、常圧においてメインパイプから技パイプへ
水流を方向づけるような場合、例えば医学の分野におけ
るような特定の分野での使用の場合には同様というわけ
には行かず、従来の工レフトロバルブは使用し得なかっ
た。このような場合は、エレクトロバルブからの液体の
洩れが生じる虞れがあり、或いは逆に何らかの外部環境
により影響され、又は汚染される虞れがある。−方、マ
イクロバルブは小型であり、軽量であり、低出力の電磁
石で駆動され得ることが望まれることが多い。
これらの問題に対処するものとして１又は２以上のプラ
スチック材料製メンブレンからなる低剛性閉鎖メンバを
使用し、バルブシートの役割をなす円錐状部材に対して
該メンバを当接させるという手段を採ることが知られて
いる。この場合、シールが適切に行われるように、円錐
状部材の表面及びメンブレンの表面は完全性を以て加工
されねばならず、その場合にも作動の拘束や不十分な閉
鎖を生じる虞れがあり、特に液体が不純物を含んでいる
場合にその虞れが強くなる。
スチック材料製メンブレンからなる低剛性閉鎖メンバを
使用し、バルブシートの役割をなす円錐状部材に対して
該メンバを当接させるという手段を採ることが知られて
いる。この場合、シールが適切に行われるように、円錐
状部材の表面及びメンブレンの表面は完全性を以て加工
されねばならず、その場合にも作動の拘束や不十分な閉
鎖を生じる虞れがあり、特に液体が不純物を含んでいる
場合にその虞れが強くなる。
他の公知の技術として、フランス国特許公開第２１２９
６０２号明細書に記載のごとくゴム性リングを装着した
２枚のメンブレンにより形成されたスプールを電気的に
制御し、スプールのボディを通る流体用パイプが接続さ
れた環状チャネルを各メンブレンが閉じるようにし、中
央の孔を通るピストンが２枚のメンブレンに挾まれるよ
うにした構造のものがある。この公知技術においては、
シールはチャネルのエツジ上のメンブレンにおける中央
部分によって形成され、従って該中央部分は比較的広い
面積のバルブシートに接することとなる。このため、ス
プールに作用する流体圧は制限されることとなる。又こ
の公知技術においては、導入用パイプが中央孔内に出現
しているので、両方向からの洗浄のためにスプールを作
動させることがなければ、洗浄は中央孔の一方からのみ
行われることとなる。
６０２号明細書に記載のごとくゴム性リングを装着した
２枚のメンブレンにより形成されたスプールを電気的に
制御し、スプールのボディを通る流体用パイプが接続さ
れた環状チャネルを各メンブレンが閉じるようにし、中
央の孔を通るピストンが２枚のメンブレンに挾まれるよ
うにした構造のものがある。この公知技術においては、
シールはチャネルのエツジ上のメンブレンにおける中央
部分によって形成され、従って該中央部分は比較的広い
面積のバルブシートに接することとなる。このため、ス
プールに作用する流体圧は制限されることとなる。又こ
の公知技術においては、導入用パイプが中央孔内に出現
しているので、両方向からの洗浄のためにスプールを作
動させることがなければ、洗浄は中央孔の一方からのみ
行われることとなる。
本発明の目的は、これらの問題点を解決し、シール性の
確保及び小型化の要請に答えることができ、前述の如き
特定の用途に適用することができ、構造及び使用方法が
簡単であり、小型化されている割りには高い圧力に耐え
ることができ、浸食性及び／又は不純物介在の液体にも
適用することができ、洗浄を迅速に且つ十分に行うこと
ができる２路又は３路を釘したマイクロエレクトロバル
ブを提供することにある。
確保及び小型化の要請に答えることができ、前述の如き
特定の用途に適用することができ、構造及び使用方法が
簡単であり、小型化されている割りには高い圧力に耐え
ることができ、浸食性及び／又は不純物介在の液体にも
適用することができ、洗浄を迅速に且つ十分に行うこと
ができる２路又は３路を釘したマイクロエレクトロバル
ブを提供することにある。
問題点を解決するための手段
本発明は、前記目的を達成するために以下の特徴を備え
るマイクロエレクトロバルブを提供する。
るマイクロエレクトロバルブを提供する。
即ち、バルブボディの内部チャンバにおける液体導入用
及び放出用パイプの閉鎖メンバとして作用する可動アッ
センブリは、バルブボディの両側に装着された２枚の可
撓性メンブレンにより主要部が構成され、該メインボデ
ィにはこれを貫通する中央孔が設けられている。各可撓
性部材は離心した小さい部分でシール性を伴った閉鎖を
し、カップ内に開口を有する液体放出用パイプはこれに
対応して離心位置に設けられ、液体導入用パＩプもカッ
プ内における中央孔から離れた位置に開口を有している
。
及び放出用パイプの閉鎖メンバとして作用する可動アッ
センブリは、バルブボディの両側に装着された２枚の可
撓性メンブレンにより主要部が構成され、該メインボデ
ィにはこれを貫通する中央孔が設けられている。各可撓
性部材は離心した小さい部分でシール性を伴った閉鎖を
し、カップ内に開口を有する液体放出用パイプはこれに
対応して離心位置に設けられ、液体導入用パＩプもカッ
プ内における中央孔から離れた位置に開口を有している
。
各カップに対して少くとも１本のパイプが、該カップか
ら隆起したリング内に開口を有し、該隆起したリングは
メンブレンによる閉鎖メンバのためのシートを形成して
いる。
ら隆起したリング内に開口を有し、該隆起したリングは
メンブレンによる閉鎖メンバのためのシートを形成して
いる。
又−つのカップ内に開く少くとも１本のパイプはこのカ
ップの底面に形成された凹所に開口を有する。
ップの底面に形成された凹所に開口を有する。
本発明の一実施態Ｆ羨においては、前記可動アッセンブ
リのコアは相互に独立した２つの部分により形成され、
該部分はシリンダと切欠き部を有するプレートとにより
形成され、高さ方向に貫通する軸孔が設けられ、メイン
ボディにおける対向する２つの面は中央孔を有したエン
ドピースて覆われ、該エンドピースは前記メンブレンを
カップの縁部との間に挟持するようにされる。
リのコアは相互に独立した２つの部分により形成され、
該部分はシリンダと切欠き部を有するプレートとにより
形成され、高さ方向に貫通する軸孔が設けられ、メイン
ボディにおける対向する２つの面は中央孔を有したエン
ドピースて覆われ、該エンドピースは前記メンブレンを
カップの縁部との間に挟持するようにされる。
前記可動アッセンブリにおける他の部分即ち端部プラグ
、メンブレン、中央のコア及び電磁石の可動コアの係合
部材は、該可動アッセンブリを通って延びるねじ棒によ
り相互に結合され、固定される。
、メンブレン、中央のコア及び電磁石の可動コアの係合
部材は、該可動アッセンブリを通って延びるねじ棒によ
り相互に結合され、固定される。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面と共に説明する。
図に示すバルブは、四角形状のケースを形成するメイン
ボディ （１）により主要部が形成されている。メイン
ボディ（１）における相対向する面は皿穴形状に凹陥せ
しめられ、下部メンブレン（４）及び上部メンブレン（
５）を各々収容するカップ（２）及び（３）を形成して
いる。カップ（２）及び（３）と同心状に中央孔（６）
がメインボディ （１）を貫通して延びている。メイン
ボディ （１）には、中央孔（６）の軸線を横切る方向
に延びる３本のパイプが該メインボディの一方の側に設
けられている。流体を放出するための下部パイプ（７）
は、カップ（２）の底面から隆起したリングの内側に開
いている。該リングは、中央に小さいオリフィスを有す
るメンブレン（４）により形成された閉鎖メンバのだめ
のシート（８）を形成している。同様に、流体放出用の
上部パイプ（９）は、カップ（３）の底面から隆起した
リングの内側に開いており、該リングは他の同じ形状の
メンブレン（５）により形成された閉鎖メンバのための
シート（１０）を形成している。従って、可撓性メンブ
レン（４）、（５）の各々は、各カップ内において中央
孔（６）から離れて位置するパイプ（７）、（９）を、
中心から作かにずれた位置でシール性を以て閉じている
。上部パイプ（９）と同じ高さの位置に、流体導入用の
第３のパイプ（１１）が設けられている。パイプ（１１
）もカップ（３）内に開いているが、中央孔（６）に関
しシート（１０）と反対側におけるカップ底面に形成さ
れた凹所（１２）内に開き、その位置はやはり中央孔か
ら離反せしめられている。
ボディ （１）により主要部が形成されている。メイン
ボディ（１）における相対向する面は皿穴形状に凹陥せ
しめられ、下部メンブレン（４）及び上部メンブレン（
５）を各々収容するカップ（２）及び（３）を形成して
いる。カップ（２）及び（３）と同心状に中央孔（６）
がメインボディ （１）を貫通して延びている。メイン
ボディ （１）には、中央孔（６）の軸線を横切る方向
に延びる３本のパイプが該メインボディの一方の側に設
けられている。流体を放出するための下部パイプ（７）
は、カップ（２）の底面から隆起したリングの内側に開
いている。該リングは、中央に小さいオリフィスを有す
るメンブレン（４）により形成された閉鎖メンバのだめ
のシート（８）を形成している。同様に、流体放出用の
上部パイプ（９）は、カップ（３）の底面から隆起した
リングの内側に開いており、該リングは他の同じ形状の
メンブレン（５）により形成された閉鎖メンバのための
シート（１０）を形成している。従って、可撓性メンブ
レン（４）、（５）の各々は、各カップ内において中央
孔（６）から離れて位置するパイプ（７）、（９）を、
中心から作かにずれた位置でシール性を以て閉じている
。上部パイプ（９）と同じ高さの位置に、流体導入用の
第３のパイプ（１１）が設けられている。パイプ（１１
）もカップ（３）内に開いているが、中央孔（６）に関
しシート（１０）と反対側におけるカップ底面に形成さ
れた凹所（１２）内に開き、その位置はやはり中央孔か
ら離反せしめられている。
中央孔（６）には２つの独立した部分（１８ａ）、（１
８ｂ）からなるコア（１８）が通されている。コア（１
８）の各部分は、中央孔（６）より僅かに小さい直径の
シリンダ（１３）とプレート（１４）から形成されてい
る。プレー） （１４）は、各カップの底部に設けられ
たオリフィス（８）、（１０）、（１２）の位置を少く
とも越える直径を有している。プレート（：１４）は−
方の側に切欠き部（１５）を有している。コア（１８）
は、その高さ方向に貫通して延びる軸孔（１６）が設け
られており、該軸孔はシリンダ（１３）の端部に截頭円
錐形状の凹部を有している。２つのニレ′メント（１８
ａ）及び（１８ｂ）は、対称ニ設ケられ、相互にシリン
ダ（１３）を当接させている。
８ｂ）からなるコア（１８）が通されている。コア（１
８）の各部分は、中央孔（６）より僅かに小さい直径の
シリンダ（１３）とプレート（１４）から形成されてい
る。プレー） （１４）は、各カップの底部に設けられ
たオリフィス（８）、（１０）、（１２）の位置を少く
とも越える直径を有している。プレート（：１４）は−
方の側に切欠き部（１５）を有している。コア（１８）
は、その高さ方向に貫通して延びる軸孔（１６）が設け
られており、該軸孔はシリンダ（１３）の端部に截頭円
錐形状の凹部を有している。２つのニレ′メント（１８
ａ）及び（１８ｂ）は、対称ニ設ケられ、相互にシリン
ダ（１３）を当接させている。
上部及び下部のプレート（１４）は各々カップ（２）及
び（３）内に位置している。截頭円錐形状の凹所（１７
）はシール（１９）のハウジングとしての役割をなす。
び（３）内に位置している。截頭円錐形状の凹所（１７
）はシール（１９）のハウジングとしての役割をなす。
２つのメンブレン（４）及び（５）並びにコア（１８）
は、これら自身の占める位置に応じて、カップ（２）、
（３）に通じるパイプのいずれかを閉じる移動アッセン
ブリを構成する。これらのメンブレンは、流体が２本の
パイプ間を流れるマイクロバルブにおける内部チャンバ
を区画する。
は、これら自身の占める位置に応じて、カップ（２）、
（３）に通じるパイプのいずれかを閉じる移動アッセン
ブリを構成する。これらのメンブレンは、流体が２本の
パイプ間を流れるマイクロバルブにおける内部チャンバ
を区画する。
バルブのメインボディ （１）は矩形のエンドピース（
２０）により蓋をされている。エンドピース（２０）は
、中央に開口（２１）を備え、メインボディ （１）の
カップ（１３）に対応する形状をＨしている。エンドピ
ース（２０）には該エンドピースをメインボディ （１
）に固定するための孔が設けられている。メインボディ
（１）はこの固定のためのオリフィス（２２）を備え
、メンブレン（５）を挟持する形でこの固定が行われる
。
２０）により蓋をされている。エンドピース（２０）は
、中央に開口（２１）を備え、メインボディ （１）の
カップ（１３）に対応する形状をＨしている。エンドピ
ース（２０）には該エンドピースをメインボディ （１
）に固定するための孔が設けられている。メインボディ
（１）はこの固定のためのオリフィス（２２）を備え
、メンブレン（５）を挟持する形でこの固定が行われる
。
エンドピース（２０）は、メインボディ （１）より大
きい直径を有し、直径方向に突出した部分は、該突出部
分に設けられた孔（２３）によってマイクロエレクトロ
バルブを固定するのに使用される。
きい直径を有し、直径方向に突出した部分は、該突出部
分に設けられた孔（２３）によってマイクロエレクトロ
バルブを固定するのに使用される。
エンドピース（２０）における中央孔（２１）は、上部
プラグ（２４）を受入れる役割をする。上部プラグ（２
４）は、コア（１８）の軸孔（１６）と−致する直径の
中央オリフィスが設けられている。このオリフィスはね
じ棒（２５）のヘッドを受入れるように面取りが施され
ている。ねじ棒（２５）は、後述するようにメインボデ
ィを通される。メインボディ （１）におけるエンドピ
ース（２０）と反対側には矩形のスペーサ（２６）が設
けられている。スペーサ（２６）は−定の高さを有し中
央孔（２７）が設けられており、上部はメインボディの
カップ（２）に対応する形状とされている。オリフィス
（２２）によりメインボディ （１）にスペーサ（２６
）を固定する際に、メンブレン（４）がこれらの間に挟
持される。スペーサ（２６）における中央孔（２７）は
、全体が円柱形状の係合メンバ（２８）を受入れる。係
合メンバ（２８）は、ねじ棒（２５）先端部を受入れる
ように中央に設けられたねじ孔（２つ）を備えている。
プラグ（２４）を受入れる役割をする。上部プラグ（２
４）は、コア（１８）の軸孔（１６）と−致する直径の
中央オリフィスが設けられている。このオリフィスはね
じ棒（２５）のヘッドを受入れるように面取りが施され
ている。ねじ棒（２５）は、後述するようにメインボデ
ィを通される。メインボディ （１）におけるエンドピ
ース（２０）と反対側には矩形のスペーサ（２６）が設
けられている。スペーサ（２６）は−定の高さを有し中
央孔（２７）が設けられており、上部はメインボディの
カップ（２）に対応する形状とされている。オリフィス
（２２）によりメインボディ （１）にスペーサ（２６
）を固定する際に、メンブレン（４）がこれらの間に挟
持される。スペーサ（２６）における中央孔（２７）は
、全体が円柱形状の係合メンバ（２８）を受入れる。係
合メンバ（２８）は、ねじ棒（２５）先端部を受入れる
ように中央に設けられたねじ孔（２つ）を備えている。
係合メンバ（２８）には、スプリング（３１）を支持す
るための肩部（３０）が設けられている。係合メンバ（
２８）の下部には断面Ｔ字状の凹所（３２）が形成され
ている。該凹所には、電磁石（３５）の可動コア（３４
）と−体にされた係合用スタッド（３３）が係合してい
る。
るための肩部（３０）が設けられている。係合メンバ（
２８）の下部には断面Ｔ字状の凹所（３２）が形成され
ている。該凹所には、電磁石（３５）の可動コア（３４
）と−体にされた係合用スタッド（３３）が係合してい
る。
スプリング（３１）は係合メンバ（２８）と電磁石（３
５）との間に抑大されている。
５）との間に抑大されている。
第１図に示すマイクロエレクトロバルブは、第２図に示
すエレメントの組立てによって構成される。メインボデ
ィ （１）の中央孔には２つのコアエレメント（１８ａ
）及び（１８ｂ）が通され、プレート（１４）はカップ
（２）及び（３）の底面に当接し、切欠き部（１５）は
、カップ（２）、（３）の底面から隆起したシート（８
）及び（１０）の近くに位置せしめられる。截頭円錐形
状の凹所（１７）には予めシール（１つ）が配置される
。該シールはコアエレメント（１８ａ）、（１８ｂ）の
両者の間に緊締される。プラグ（２４）、メンブレン（
５）及び第１のコアエレメント（１８ａ）を通るねじ棒
（１５）により、係合メンバ（２８）はねじ孔（２つ）
に基いて第２のコアエレメント（１８ｂ）に固定される
。メンブレン（４）は係合メンバ（２８）とコアエレメ
ント（１８ｂ）との間に挿入されている。ねじ棒（５）
を締結することにより、係合メンバ（２８）とコア（１
８）との間にあるメンブレン（４）、及びプラグ（２４
）とコア（１８）との間にあるメンブレン（５）は各々
これらに挾まれることとなる。
すエレメントの組立てによって構成される。メインボデ
ィ （１）の中央孔には２つのコアエレメント（１８ａ
）及び（１８ｂ）が通され、プレート（１４）はカップ
（２）及び（３）の底面に当接し、切欠き部（１５）は
、カップ（２）、（３）の底面から隆起したシート（８
）及び（１０）の近くに位置せしめられる。截頭円錐形
状の凹所（１７）には予めシール（１つ）が配置される
。該シールはコアエレメント（１８ａ）、（１８ｂ）の
両者の間に緊締される。プラグ（２４）、メンブレン（
５）及び第１のコアエレメント（１８ａ）を通るねじ棒
（１５）により、係合メンバ（２８）はねじ孔（２つ）
に基いて第２のコアエレメント（１８ｂ）に固定される
。メンブレン（４）は係合メンバ（２８）とコアエレメ
ント（１８ｂ）との間に挿入されている。ねじ棒（５）
を締結することにより、係合メンバ（２８）とコア（１
８）との間にあるメンブレン（４）、及びプラグ（２４
）とコア（１８）との間にあるメンブレン（５）は各々
これらに挾まれることとなる。
このようにして組立てられた各部材は、メンブレン（４
）及び（５）によりメインボディ （１）に固定される
。メンブレン（４）及び（５）は各々カップ（２）及び
（３）内に位置し、これらのメンブレンのエツジは、メ
インボディ （１）を通るオリフィス（２２）に基いて
エンドピース（２０）及びスペーサ（２６）がそれぞれ
の側に固定されると、これらにより挟持される。
）及び（５）によりメインボディ （１）に固定される
。メンブレン（４）及び（５）は各々カップ（２）及び
（３）内に位置し、これらのメンブレンのエツジは、メ
インボディ （１）を通るオリフィス（２２）に基いて
エンドピース（２０）及びスペーサ（２６）がそれぞれ
の側に固定されると、これらにより挟持される。
次にコア（３４）のスタッド（３３）が凹所（３２）内
に係合せしめられる。電磁石（３５）がスペーサに固定
されると、第１図に示す組立て状態が得られる。
に係合せしめられる。電磁石（３５）がスペーサに固定
されると、第１図に示す組立て状態が得られる。
マイクロエレクトロバルブの作動は以下の通りである。
流体はパイプ（１１）から流入する。メンブレン（４）
、（５）及びコア（１８）は第１図に示す非作動位置に
ある。電磁石（３５）は励起されていないので、係合メ
ンバ（２８）の肩部（３０）に当接しているスプリング
（３１）は、これらメンブレン（４）、（５）及びコア
（１８）を垂直方向に一ヒ昇せしめている。下部メンブ
レン（４）は、これによりシート（８）に接触し、押圧
され、その結果パイプ（７）をシール性を以て閉じてい
る。−方、メンブレン（５）は、上昇位置にありシート
（１０）から離反しておりパイプ（９）を開いている。
、（５）及びコア（１８）は第１図に示す非作動位置に
ある。電磁石（３５）は励起されていないので、係合メ
ンバ（２８）の肩部（３０）に当接しているスプリング
（３１）は、これらメンブレン（４）、（５）及びコア
（１８）を垂直方向に一ヒ昇せしめている。下部メンブ
レン（４）は、これによりシート（８）に接触し、押圧
され、その結果パイプ（７）をシール性を以て閉じてい
る。−方、メンブレン（５）は、上昇位置にありシート
（１０）から離反しておりパイプ（９）を開いている。
流体はパイプ（１）からパイプ（９）へ自由に流れ、中
央孔（６）におけるコア（１８）周囲に流入する。コア
（１８）の開口（１６）は小型のシール（１９）により
シールされ、開口（２１）及び（２７）はカップ（３）
及び（２）周縁で可撓性メンブレンを挟持することによ
りシールされている。従って、バルブとその外部との間
には流体に対するシールが形成されている。
央孔（６）におけるコア（１８）周囲に流入する。コア
（１８）の開口（１６）は小型のシール（１９）により
シールされ、開口（２１）及び（２７）はカップ（３）
及び（２）周縁で可撓性メンブレンを挟持することによ
りシールされている。従って、バルブとその外部との間
には流体に対するシールが形成されている。
電磁石（３５）が励起されると、コア（３４）は、スタ
ッド（３３）を通じて係合メンバ（２８）に対し下方へ
の牽引力を作用させる。これにより、メンブレン（４）
、（５）及びコア（１８）はスプリング（３１）に抗し
て下降する。メンブレン（４）はシート（８）から離反
し、メンブレン（５）は下降してシート（１０）に接し
パイプ（９）を閉じる。この後は、流体はパイプ（１１
）からパイプ（７）へ流れる。メンブレン（５）は下降
してもカップ（３）内のパイプ（１１）の流入口を閉じ
ることはない。即ち、前述の凹所（１２）は、メンブレ
ン（５）の位置にかかわらずマイクロエレクトロバルブ
の内側とパイプ（１１）との間の連通状態を保つ。メン
ブレン（４）、（５）及びコア（１８）からなる可動ア
ッセンブリの動作範囲を小さくすることにより、例えば
４〜６ワツトという低容量の電磁石を使用することがで
き、バルブの小型化が可能となる。シーリングシート（
８）及び（１０）も小型であり、バルブのブロックを生
じる虞れのある屑や廃物などのような介在物を含む液体
が使用された場合には、流体がオリフィスを通過するこ
とにより該介在物は除去される。流れの閉鎖はメンブレ
ン（４）及び（５）のいずれかが小径のシートに接する
ことにより得られるのであり、該シートはこれらのメン
ブレンと同心状とはされていないので、この閉鎖は従来
のバルブにおける場合に比較して明らかに高い圧力を伴
って行われる。
ッド（３３）を通じて係合メンバ（２８）に対し下方へ
の牽引力を作用させる。これにより、メンブレン（４）
、（５）及びコア（１８）はスプリング（３１）に抗し
て下降する。メンブレン（４）はシート（８）から離反
し、メンブレン（５）は下降してシート（１０）に接し
パイプ（９）を閉じる。この後は、流体はパイプ（１１
）からパイプ（７）へ流れる。メンブレン（５）は下降
してもカップ（３）内のパイプ（１１）の流入口を閉じ
ることはない。即ち、前述の凹所（１２）は、メンブレ
ン（５）の位置にかかわらずマイクロエレクトロバルブ
の内側とパイプ（１１）との間の連通状態を保つ。メン
ブレン（４）、（５）及びコア（１８）からなる可動ア
ッセンブリの動作範囲を小さくすることにより、例えば
４〜６ワツトという低容量の電磁石を使用することがで
き、バルブの小型化が可能となる。シーリングシート（
８）及び（１０）も小型であり、バルブのブロックを生
じる虞れのある屑や廃物などのような介在物を含む液体
が使用された場合には、流体がオリフィスを通過するこ
とにより該介在物は除去される。流れの閉鎖はメンブレ
ン（４）及び（５）のいずれかが小径のシートに接する
ことにより得られるのであり、該シートはこれらのメン
ブレンと同心状とはされていないので、この閉鎖は従来
のバルブにおける場合に比較して明らかに高い圧力を伴
って行われる。
このように構成されている結果、マイクロエレクトロバ
ルブに伴うデッドボリューム、即ち中央孔（６）におけ
るコア（１８）まわりに収容される流体の容積は制限さ
れる。従って、バルブの清掃は、少量の流体により行わ
れ得る。
ルブに伴うデッドボリューム、即ち中央孔（６）におけ
るコア（１８）まわりに収容される流体の容積は制限さ
れる。従って、バルブの清掃は、少量の流体により行わ
れ得る。
供給パイプ（１１）が−方のカップに開き洗浄液は他方
のカップからパイプ（７）へ流れるので洗浄液は中央孔
全体を洗浄することとなる。
のカップからパイプ（７）へ流れるので洗浄液は中央孔
全体を洗浄することとなる。
プラグ（２４）はエンドピース（２０）の上端と同一平
面上にあり、プラグ（２４）をスプリング（３１）に抗
して押圧することにより人手により操作され得る。
面上にあり、プラグ（２４）をスプリング（３１）に抗
して押圧することにより人手により操作され得る。
この小型のバルブは、エンドピース（２ｏ）により一つ
のバッテリに数個を固定することができる。パイプ（７
）、（９）、（１１）がケースの同一側に配置されてい
ることにより、位置決めが容易となる。
のバッテリに数個を固定することができる。パイプ（７
）、（９）、（１１）がケースの同一側に配置されてい
ることにより、位置決めが容易となる。
浸食性流体に対する耐性を有する材料により構成部材を
形成することが望ましく、この場合は医学分野における
分析装置、食料その他の製造分野への適用に適している
。
形成することが望ましく、この場合は医学分野における
分析装置、食料その他の製造分野への適用に適している
。
図は本発明の実施例を示すもので、第１図はマイクロエ
レクトロバルブの縦断正面図、第２図は第１図に示すバ
ルブを分解して示す断面図、第３図は第１図に示すバル
ブの平面図、第４図は第２図に示すバルブのメインボデ
ィのＴＶ−ＴＶ線に沿う断面図である。 （１）・・・メインボディ （２）、（３）・・・カップ （４）、（５）・・・メンブレン （６）・・・中央孔 （７）・・・流体放出用パイプ （８）・・・バルブシート （９）・・・流体放出用パイプ （１０）・・・バルブシート （１２）・・・凹所 （１３）・・・シリンダ （１４）・・・プレート （１６）・・・軸孔 （１７）・・・截頭円錐形状の凹所 （１８）・・・コア （１８ａ）、（１８ｂ）・・・コアにおける相互に独立
したエレメント （１９）・・・シール （２０）・・・エンドピース （２５）・・・ねじ棒 （２７）・・・中央孔 （２８）・・・係合メンバ （３１）・・・スプリング （３５）・・・電磁石 （以 上） ＦＩＧ、１ ＦＩＧ ２
レクトロバルブの縦断正面図、第２図は第１図に示すバ
ルブを分解して示す断面図、第３図は第１図に示すバル
ブの平面図、第４図は第２図に示すバルブのメインボデ
ィのＴＶ−ＴＶ線に沿う断面図である。 （１）・・・メインボディ （２）、（３）・・・カップ （４）、（５）・・・メンブレン （６）・・・中央孔 （７）・・・流体放出用パイプ （８）・・・バルブシート （９）・・・流体放出用パイプ （１０）・・・バルブシート （１２）・・・凹所 （１３）・・・シリンダ （１４）・・・プレート （１６）・・・軸孔 （１７）・・・截頭円錐形状の凹所 （１８）・・・コア （１８ａ）、（１８ｂ）・・・コアにおける相互に独立
したエレメント （１９）・・・シール （２０）・・・エンドピース （２５）・・・ねじ棒 （２７）・・・中央孔 （２８）・・・係合メンバ （３１）・・・スプリング （３５）・・・電磁石 （以 上） ＦＩＧ、１ ＦＩＧ ２
Claims (10)
- （１）少くとも２箇所の流路を有したマイクロエレクト
ロバルブであって、カップを形成するように対向する面
に皿穴状凹所を有したケースと、各々のカップ内に開い
た液体放出用パイプとを備え、前記ケースは、液体の流
入及び流出を行うパイプが開いている内部チャンバと、
電磁石の可動コアにより駆動され閉鎖メンバとして作用
する可動アッセンブリとを収容しており、前記可動アッ
センブリは、前記コアの両側に装着された２枚の可撓性
メンブレンを備えており、前記コアはマイクロエレクト
ロバルブのメインボディに形成された中央孔を通って延
びており、前記可撓性メンブレンの各々は、該メンブレ
ンの離心位置における微小部分でシール性を伴った閉鎖
を行うようにされており、前記液体放出用パイプは前記
中央孔から離反して位置し、前記液体導入用パイプは前
記中央孔から離反した位置において前記カップの一つに
開いていることを特徴とするマイクロエレクトロバルブ
。 - （２）前記各液体放出用パイプは前記カップ内側に設け
られたリング内に開いており、該リングは前記カップの
底面から突出し、各メンブレンによる閉鎖メンバのため
のシートを形成している特許請求の範囲第１項に記載の
マイクロエレクトロバルブ。 - （３）前記液体導入用パイプが、前記カップの底面に形
成された凹所内に開いている特許請求の範囲第１項に記
載のマイクロエレクトロバルブ。 - （４）３本の前記パイプが、前記ケースにおける前記メ
インボディを形成している側と同じ側から延びている特
許請求の範囲第１項に記載のマイクロエレクトロバルブ
。 - （５）前記可動アッセンブリのコアが相互に独立した２
つの部分から形成されており、該２つの部分の各々はシ
リンダと該シリンダ端部に設けられ切欠き部を有したプ
レートとにより形成されており、該コアには高さ方向に
貫通する軸孔が設けられている特許請求の範囲第１項に
記載のマイクロエレクトロバルブ。 - （６）前記コアを形成する２つの部分が前記シリンダの
端部を相互に当接させており、該シリンダ端部に形成さ
れた截頭円錐形状の凹所はシール部材を収容するように
形成されている特許請求の範囲第５項に記載のマイクロ
エレクトロバルブ。 - （７）前記メインボディにおける対向する２つの面が、
中央孔を有するエンドピースにより覆われており、該エ
ンドピースは前記メインボディに固定されて前記メンブ
レンの各々を前記カップ縁部に対して挟持しており、該
エンドピースにおける中央孔は前記メンブレンに接する
上部プラグを収容するように形成されている特許請求の
範囲第１項に記載のマイクロエレクトロバルブ。 - （８）前記エンドピースが電磁石を支持するスペースを
有するように形成されており、該エンドピースの中央孔
は前記電磁石の可動コアの係合メンバを収容するように
形成されている特許請求の範囲第７項に記載のマイクロ
エレクトロバルブ。 - （９）前記可動コアの係合メンバと前記電磁石との間に
スプリングが挿入されている特許請求の範囲第８項に記
載のマイクロエレクトロバルブ。 - （１０）前記可動アッセンブリが、前記上部プラグ、第
１のメンブレン、前記コア及び第２のメンブレンを通り
前記係合メンバのねじ孔に螺入されたボルトにより一体
に結合されている特許請求の範囲第１項、第７項又は第
８項に記載のマイクロエレクトロバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8608908A FR2600395B1 (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | |
| FR8608908 | 1986-06-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631877A true JPS631877A (ja) | 1988-01-06 |
| JPH0711316B2 JPH0711316B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=9336510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62154258A Expired - Lifetime JPH0711316B2 (ja) | 1986-06-20 | 1987-06-19 | マイクロエレクトロバルブ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4766933A (ja) |
| EP (1) | EP0250298B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0711316B2 (ja) |
| AT (1) | ATE50342T1 (ja) |
| DE (1) | DE3761700D1 (ja) |
| FR (1) | FR2600395B1 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0319618B1 (en) * | 1987-12-07 | 1992-07-22 | Akos Sule | Solenoid valve |
| FR2609518B1 (fr) * | 1987-01-12 | 1990-12-28 | Abx Sa | Microelectrovanne de commutation a une seule membrane |
| US5924441A (en) * | 1996-09-11 | 1999-07-20 | Fluoroware, Inc. | Diaphragm valve |
| CN1318787C (zh) * | 2004-10-26 | 2007-05-30 | 大众阀门有限公司 | 阀门启闭件双密封装置 |
| MX2008011599A (es) * | 2006-03-15 | 2009-02-10 | Norgren Gmbh | Valvula de diafragma de una pieza de membrana doble. |
| US8297314B2 (en) * | 2006-06-21 | 2012-10-30 | Hunter Industries, Inc. | Solenoid actuated pilot valve for irrigation system valve |
| US7503346B1 (en) * | 2006-06-21 | 2009-03-17 | Hunter Industries, Inc. | Solenoid actuated pilot valve for irrigation system valve |
| CN102062232B (zh) * | 2009-11-18 | 2013-04-10 | 白玉申 | 微型隔膜阀 |
| DE102012211427A1 (de) * | 2012-07-02 | 2014-01-02 | Kuhnke Automation Gmbh & Co. Kg | Mediengetrenntes Ventil |
| CN104696544A (zh) * | 2015-03-24 | 2015-06-10 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种双膜片电磁阀 |
| CN105179769B (zh) * | 2015-09-17 | 2017-07-18 | 成都卡斯特精密铸造有限公司 | 一种压差柱塞自动调压阀 |
| FR3095844B1 (fr) | 2019-05-07 | 2021-04-16 | A Raymond Et Cie | Dispositif de fixation d’une première pièce à une seconde pièce |
| FR3096012B1 (fr) | 2019-05-17 | 2021-04-16 | A Raymond Et Cie | système de distribution d’un fluide pour véhicule, distributeur fluidique associé et procédé d’éjection de fluide utilisant d’un tel système |
| FR3096011B1 (fr) | 2019-05-17 | 2021-11-12 | A Raymond Et Cie | distributeur fluidique pour un système de distribution de fluide pour véhicule et procédé d’éjection d’un fluide utilisant un tel système |
| JP2021162089A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 特許機器株式会社 | 流体サーボバルブ及び流体サーボ装置 |
Citations (2)
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| DE1903838B2 (de) * | 1969-01-27 | 1972-12-14 | Samson-Apparatebau Ag, 6000 Frankfurt | Logisches dreiwegeventil |
| CH535399A (de) * | 1971-03-11 | 1973-03-31 | Hoffmann La Roche | Elektromechanisch gesteuertes Ventil |
| DE2645448C2 (de) * | 1976-10-08 | 1979-07-19 | Wabco Westinghouse Gmbh, 3000 Hannover | Drossel für die gedrosselte Entlüftung in Wegeventilen |
| IL53914A (en) * | 1978-01-30 | 1980-09-16 | Givat Chaim Ichud | Two-postion three-way valve |
| US4181154A (en) * | 1978-02-27 | 1980-01-01 | Ara Services, Inc. | Deflector valve for fluids |
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-
1986
- 1986-06-20 FR FR8608908A patent/FR2600395B1/fr not_active Expired
-
1987
- 1987-06-11 AT AT87401310T patent/ATE50342T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-06-11 EP EP87401310A patent/EP0250298B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-11 DE DE8787401310T patent/DE3761700D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-19 US US07/064,060 patent/US4766933A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-19 JP JP62154258A patent/JPH0711316B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5224222U (ja) * | 1975-08-11 | 1977-02-21 | ||
| JPS5586981A (en) * | 1978-12-23 | 1980-07-01 | Bosch Gmbh Robert | Electromagnetic valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0250298A1 (fr) | 1987-12-23 |
| ATE50342T1 (de) | 1990-02-15 |
| DE3761700D1 (de) | 1990-03-15 |
| FR2600395B1 (ja) | 1988-11-04 |
| JPH0711316B2 (ja) | 1995-02-08 |
| US4766933A (en) | 1988-08-30 |
| FR2600395A1 (ja) | 1987-12-24 |
| EP0250298B1 (fr) | 1990-02-07 |
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