JPS63192179A - マ−ク読取装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造工程において、鏡面状態のウェ
ハー又は露光！スフなどの対象物体を撮像し、そこに表
わされた文字あるいはコードその他のマークを読取る際
などく用いられる装置に関する。

〔従来の技術〕

第４図は従来用いられているこの種の装置を示し、第５
図に示されるような対象物体３に対し、これを一定角度
から照明する角形光フアイバー照明装置２、対象物体３
に対して１′：）イン撮像するラインセンサー１、対象
物体３を縦移動するＸ−Ｙテーブル４、このＸ−Ｙテー
ブル４を操作する機構制御部５、ラインセンサー１よシ
送られた情報から文字を認識するための文字認識部６お
よびこれら機構制御部５と文字認識部６との間でデータ
の通信を行なうためのＲ８２３２Ｃ方式の通信線７によ
って構成される。

次に動作について説明する。機構制御部５によりｘ−Ｙ
テーブル４を操作して対象物体３を矢印！で示すように
読み込み位置まで搬送した後、信号線７によシ文字認識
部６に読み込み開始信号を送る。文字認識部６は、この
信号を受信した後、ライ／センサ１によシｌラインスキ
ャンし、文字８を読取る。９は視野を示す。その後、機
構制御部５に対してテーブル移動信号を送シ、次のライ
／を同様にスキャンする。このような操作を繰シ返し読
取文字の画像をメモリに取シ込む。次に、スキャン信号
の処理方法について第６図を用いて説明する。

今、第６図（ａ）に示すようなスキャン信号が得られた
とする。この信号を微分することにより、微小時間変位
量ΔｔＫ対する信号レベル変位量ΔＬＫ対応する微分信
号を得る。これを同図（ｂ）に示す。

この微分信号を、さらに一定レベルのしきい値Ｌｔｈｔ
−基準として二値化し、同図（ｃ）に示すような二値化
信号を得る。以上の処理を、１ライン時間ｔ−２５６分
割して実行し、結果を文字認識部６に内蔵した二値化メ
モリに取シ込む。

以上の処理によって取り込まれたデータを処理すること
により文字ｔ−認識した後、通信線７により、機構制御
部５に対して結果を送る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の文字読取装置は以上のように構成されているため
、対象物体を移動させるＸ−Ｙテーブルを必要とし、装
置構成が複雑になるとともに画像撮取に時間がかかる。

また機構部からのノイズが通信部に影響をし、通信エラ
ーを生じた夛、第３図にＡで示すように外乱ノイズが二
値化信号に影響しやすいなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、機械的可動部がなく、画像撮像時間が短くで
きるとともに、読取り信頼性の高い装置を得ることを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るマーク読取装置は、テレビカメラを利用
するとともに、このテレビカメラからの画像信号にエン
ハンス処理（輪郭強調処理）を施す手段、エンハンス処
理した画像信号の明度によ　　　　゛るヒストグラムか
ら二値化のためのしきい値を設定する手段およびこのし
きい値により、エンハンス処理した画像信号を二値化す
る手段を設けたものである。

〔作用〕

テレビカメラの利用により、二次元画像が静止させたま
ま撮像される。またマーク部の画像信号を強調すること
Ｋよシ背景部との信号レベル差が大きくな９、二値化の
ためのしきい値レベルの設定が容易になるとともに、マ
ーク輪郭部の画像のばらつきが少なくなって、誤判事が
減少する〇〔実施例〕 以下、この発明の詳細な説明する。第１図において、Ｃ
ＣＤカメラ（光電素子形カメラ）１９は、対象物体３の
文字を撮像するもので、ラインセンサー１が一次元的に
撮像するのに対し、二次元的に撮像するものである。次
に、このＣＣＤカメラ１９で撮像した画像に対して文字
部分に強調を行なうエンハンス処理部２０、処理された
画像を記憶する画像記憶メモリ２１、ビデオ信号を二値
化するための二値化回路２２、二値化された画像を記憶
する二値化画儂メモリ２３およびマルチパス２４によシ
メモリ２１．２３にアクセスするマイクロコンピュータ
−２５から画像処理部が構成されている。

次に、第２図を用いて、エンハンス処理部２０における
動作について説明する。ＣＣＤカメラ１９から得られた
同図（ａ）に示すようなビデオ信号を時間軸に対して微
分して、同図（ｄ）に示すような信号を得る。次に、こ
の微分信号を反転し、増幅して同図（ｃ）Ｋ示すような
信号を得、さら（この信号を微分して同図（ｄ）Ｋ示す
ような信号を得る。この信号は、もと、のビデオ信号（
第２図（ａ））におけるエツジ強調信号である。したが
って、ビデオ信号にこの二次微分信号を加算することＫ
よシ、同図（ｅ）に示すようなエンハンス信号が得られ
る。

このようなエンハンス処理を行なった場合の効果を、第
３図を用いて説明する。同図（ａ）は第２図（ａ）Ｋ相
当するビデオ信号を示し、同図（ｂ）は第２図（ｅ）に
相当するエンハンス信号を示す。これに対し同図（ｅ）
　、　（ｄ）は、それぞれの場合の記憶画像の各ドツト
の明度によるヒストグラムを示したものである。

同図（ｃ）に示すように、エンハンス処理を行なってい
ない場合は、背景における明度分布く対して文字部の分
布が一様でない。したがって、二値化する場合のしきい
値Ｌｔｈの設定が容易でない。これに対し、同図（ｄ）
から明らかなように、エンハンス処理後は、背景におけ
る分布と文字部の分布とに二分され、しきい値の設定が
容易である。すなわちＬｔｂｌからＬｔｈ２の範囲内で
適当なレベルＬｔｈｔ”選択することができる。

このようにしてエンハンス処理をかけた後の明度分布か
らしきい値を設定し、このしきい値によりニ値化回路２
２で二値化を行ない、その二値画儂によって文字認識を
行なう。第２図（＆）にＡで示すようなノイズがあって
も、同図Ｇｅ）から明らかなようくい二値化信号に影響
を与えることはない。

なお、上記実施例では文字に対してエンハンス処理を行
ない、その読取信頼性を上げたが、同一処理をウェハー
パターン欠陥、ゴミ付着認識装置等で行なうことによシ
、欠陥部、ゴミ付着部が強調され上記実施例と同様の効
果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、テレビカメラを使用
することＫより、機械的可動部をなくし、光学部の小形
化、ノイズの削減などの効果が得られる。また、エンハ
ンス処理を行なうことによシ二値化画像処理の安定性が
高まシ、精度の高い読取が行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示す図で、第
１図は読取装置の構成図、第２図はエンハンス処理を説
明するための波形図、第３図はエンハンス処理の効果を
説明するための波形図およびヒストグラム、第４図は従
来例を示す構成図、第５図は対象物体の一例を示す平面
図、第６図は第４図の動作を説明するための波形図であ
る。 ３・・・・対象物体、１９・拳・・ＣＣＤカメラ、２０
・・・・エンハンス処理部、２１・・・争画偉記憶メモ
リ、２２・・・・二値化回路、２３・・・・二値化画像
メモリ、２５・−・・マイクロコンピュータ−０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対象物体に付されたマークを撮像するテレビカメラと、
   このテレビカメラからの画像信号にエンハンス処理を施
   す手段と、エンハンス処理した画像信号の明度をヒスト
   グラムにとり、このヒストグラムから二値化のためのし
   きい値を設定する手段と、設定したしきい値により上記
   エンハンス処理した画像信号を二値化する手段と、二値
   画像からマークを認識する手段とを備えたことを特徴と
   するマーク読取装置。