JPS6319231U - - Google Patents
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- JPS6319231U JPS6319231U JP11245086U JP11245086U JPS6319231U JP S6319231 U JPS6319231 U JP S6319231U JP 11245086 U JP11245086 U JP 11245086U JP 11245086 U JP11245086 U JP 11245086U JP S6319231 U JPS6319231 U JP S6319231U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- sensing member
- fork vibrator
- vibration
- pressure sensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案に係る圧力センサの一実施例の
縦断面図、第２図は第１図の圧力センサの動作説
明図、第３図は第１図の変形例の縦断面図、第４
図および第５図は夫々本考案に係る圧力センサの
他の２つの実施例の縦断面図、第６図は従来の圧
力センサの縦断面図である。 １１…ケース、１３…圧力検知部材、１４…音
叉振動子、１５…駆動用圧電素子、１６…振動検
出用圧電素子、１７…マグネツト、１８…磁性体
、１８′…マグネツト、１９…磁性体。
縦断面図、第２図は第１図の圧力センサの動作説
明図、第３図は第１図の変形例の縦断面図、第４
図および第５図は夫々本考案に係る圧力センサの
他の２つの実施例の縦断面図、第６図は従来の圧
力センサの縦断面図である。 １１…ケース、１３…圧力検知部材、１４…音
叉振動子、１５…駆動用圧電素子、１６…振動検
出用圧電素子、１７…マグネツト、１８…磁性体
、１８′…マグネツト、１９…磁性体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 周縁部にて支持され、外部から圧力を受けて支
持位置から変位する圧力検知部材と、 この圧力検知部材と対向して配置されてなる音
叉振動子と、 この音叉振動子に接着されてこの音叉振動子を
振動させる音叉振動子の駆動用圧電素子と、 上記音叉振動子に接着されてその振動を検出す
る振動検出用圧電素子と、 上記圧力検知部材と音叉振動子の少なくとも一
方に固定されてなり、上記圧力検知部材と音叉振
動子との間に磁気力を作用させるマグネツトとを
備えており、 上記圧圧力検知部材に作用する圧力変化が上記
音叉振動子の振動の変化として振動検出用圧電素
子から取り出されるようにしたことを特徴とする
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11245086U JPS6319231U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11245086U JPS6319231U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319231U true JPS6319231U (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=30993340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11245086U Pending JPS6319231U (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319231U (ja) |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP11245086U patent/JPS6319231U/ja active Pending
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