JPS63193028A - 密閉パツケ−ジおよび密閉容器のハ−メチツクシ−ルの完全性を試験する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、一般に、例えば密閉されたパッケージおよび
容器のハーメチックシールの完全性のような機械的シス
テムの物理的性質を自動的に、正確に、かつ簡単に測定
するための試験計装に関する。特に、本発明は、密閉さ
れたパッケージおよび容器の自動的、非破壊試験および
分類のための、圧力および位置センサ、ならびにアナロ
グおよびディジタル信号処理技術を用いる電子測定計装
に関する。

多くの製品製造分野に於いて、製品をその中にハーメチ
ックシールしなければならない密閉容器および密閉パッ
ケージが要求されている。中に入っている製品を保護し
かつ製品へのおよび製品からの空気などの透過を防止す
る種々の容器およびパッケージの型がある。これに関連
して、空気に暴露されると急速に安定性が低下する製品
に用いられる包装材料の計画の分野に於いて莫大な研究
が行われてきたが、製品の安定性に対する最大の衝撃は
包装材料バリヤーではなくて、むしろパッケージシール
であることがわかった。事実、材料が最も高価でかつ最
も不透性であっても、それで作られたパッケージが十分
に密閉されなければ製品の保護を与えない。また、質の
高いシール特性を有する低価格の材料が質の低いパッケ
ージシールを有する高価な箔積層物からなるパッケージ
よりも性能がすぐれていることもあり得る。

ハーメチックシールの完全性に関する研究の主題となっ
た容器およびパッケージの型には、金属罐、可撓性嚢、
ろう紙容器、びん、袋、バイアル、カートン、ストリッ
プパッケージ、ブリスター、嚢などが含まれている。上
に挙げた型の容器およびパッケージは多くの点で異なっ
ているが、これらの間には、かかる容器またはパッケー
ジ中に製品を入れてその中にハーメチックシールすると
、一般にヘッドスペースが残り、このヘッドスベースは
、例えばソーダ水容器のように加圧されるか、あるいは
例えば食品容器または滅菌済み製品を入れたパッケージ
のように真空下に減圧される可能性があるという共通性
がある。あるいは別法では、製品を包囲圧力でパッケー
ジ内にハーメチックシールすることがあり褥る。さらに
、ハーメチックされるパッケージの初期内圧がどんなで
あろうとも、その中にヘッドスペースが存在するという
事実はシールの視覚検査をしないですむ一般的な種類の
ハーメチックシール試験技術を可能にする。

例えば、高速商業環境では視覚検査は全く実行不可能な
ので、通常、電子顕微鏡が用いられる。

上記問題から見て、主な疑問は密閉されたパッケージ、
容器などのシールの完全性をリアルタイムで如何に有効
に測定するかということとこれを達成するための手段を
どんな装置が提供するのかということであったことが明
らかになる。また、各容器またはパッケージのシールに
要求されるハーメチックシール完全性の度合は各用途に
よって異なるので、理想的な試験システムはそのパッケ
ージの種類に対する受容限界に基づいた密閉容器の類別
および分類の手段をも提供するものでなければならない
。さらに、理想的な試験計装システムはプラスチック容
器、箔包装、金属線、プラスチック袋のような種々の包
装形態および材料を取扱うことができなければならない
。さらに、この試験は、多量の不合格パッケージシール
が生産されないうちに、作業員がハーメチックシールに
関する問題を修正するため包装装置の性能についての即
時の結果を得なければならない製造環境中で実行可能で
なければならない。また、理想的な試験計装システムは
、特別なパッケージの種類についてのハーメチックシー
ルの受容限界に関する世界的な標準の開発に有用な情報
をもたらし、それによって結果として包装費用が節約さ
れると共に包装材料の最適化に有用となる手段を提供す
るものでもなければならない。さらに、この試験は、こ
れらの測定およびハーメチックシールの分類を、密閉容
器およびその内容物に損傷を与えずに実施可能であるこ
とが肝要である。

現在、密閉容器および密閉パッケージのハーメチックシ
ール完全性の自動的、非破壊試験および分類のために数
多くの種々の型の試験装置が用いられている。

例えば、マツセージ（Ｍａｓｓａｇｅ）の米国特許第３
．８３７．２１５号は密閉パッケージおよび密閉容器の
自動的非破壊試験および分類のための方法および装置を
記載している。容器は密閉された真空または圧力室を通
して送られ、器壁に作用する圧力差勾配のために膨張ま
たは収縮する。真空下または圧力下の密閉容器の漏洩速
度の大きさは容器壁移動（すなわち変位）、壁の移動速
度、および試験装置によって制御できない試験容器変数
のための誤差をなくす誤差補正を含む一連の測定によっ
て計算される。この方法では、計算された漏洩速度の大
きさは間隔圧力変動、壁厚などのような制御されない変
数によって低下されない。壁厚は異なるが漏洩速度が同
じ容器は、たとえ器壁移動が異なったとしても同一の漏
洩速度として計算され、記録される。しかし、マツセー
ジ（Ｍａｓｓａｇｅ）の方法によれば、次の４つの誤差
の範ちゅうに分類できるすべての物理的容器変数を考慮
に入れて、特異的な誤差をなくす技術を一緒に用いると
きにしかか−る方法は成功できない。

１、初期膨張−これには初期膨張またはふくれの実際量
に関するすべての物理的パラメーターが含まれる。これ
には、壁厚の変動、容器内圧、容器の強さ、容積変動、
モジュール、材料熱処理、輪郭マーキング（ｅｏｎｔｏ
ｕｌ”　ｓａｒｋｌｎｇ）ダイの輪郭マーキングおよび
衝撃、ならびに外部包囲圧によって生ずる誤差が含まれ
る。

２、経時関連収縮誤差−これには、試験中の温度変化、
試験室圧力の安定性、試験室位置の安定性、およ・び試
験台上面の安定性による誤差が含まれる。

３、開始点誤差および非直線性−これには、容器の高さ
の変動、センサ位置に関する試験台に於ける容器の配向
と精度、形および形状因子、壁の平坦さ、一様性などが
含まれる。

４、動的範囲一容器の変動の種類が莫大なので、試験測
定計装が取扱う信号の範囲は莫大なものになるであろう
。（Ｉ　Ｉｎの動作範囲内で１／１０００１ｎの移動を
検出するよりも２０／１ｏｏｏｌｎの動作範囲内で１／
１ｏ００１ｎの移動を検出する方がずっと容易である。

）測定を狭い範囲に制限することによって、システムの
精度および速度は非常に増加される。

以上のような問題点ならびにそれに対する先行技術の解
決方法を顧慮し、従って本発明の主要な面は、少なくと
も１つの半可撓性表面を有する密閉されたパッケージお
よび容器のハーメチックシールの完全性を、パッケージ
が外部的に加圧または減圧（すなわち真空）された条件
下で試験されるかどうかには無関係に試験するための方
法および装置を提供することになる。

本発明は、容器またはパッケージの漏洩速度を計算する
ことを必要とせず、また誤差補正技術の利用をも必要と
せず、むしろ試験室内圧力に比例する第１データ信号と
密閉試験パッケージの半可撓性表面の変位に比例する第
２データ信号との間の相聞の度合の計算に基づいて試験
パッケージの気密性に関する決定をする、密閉されたパ
ッケージおよび容器のハーメチックシールの完全性を試
験するための方法および装置をも提供する。

本発明はさらに、容器またはパッケージの大きさ、壁厚
、それらの変動、間隔パッケージ加圧、参照位置、ある
いは試験パッケージ内の充填物のレベルのようなプロセ
ス作動変数には依存しない方法および装置を提供する。

本発明は、オペレータが容器の漏洩速度または容器壁速
度に基づいて計算することなくハーメチックシール完全
性の合格尺度をプログラミングすることができ、かつ１
つのパッケージの種類のハーメチックシール完全性の合
格限界を簡単に変化させることができる方法および装置
を提供するようにも設計される。

本発明はまた、食品、医薬品、または汚染物質からハー
メチックシールされなければならない他の物質のような
腐敗しやすいものの密閉パッケージまたは容器のハーメ
チックシール完全性の高速インプロセス品質管理に適用
される方法および装置をも提供する。

本発明は、さらに、インプロセス、オンラインで、かつ
密閉容器を開いたり、損傷したりあるいは永久的に破壊
したりすることを必要とせずに、ハーメチックシールさ
れたパッケージの外部分析を行う方法および装置をも提
供する。

本システムの方法および装置は、試験室内に於けるパッ
ケージ壁変位センサの正確な位置調整機構または試験室
内測定に於ける圧力の正確度をも必要としない。

本発明は、試験サイクルの時間間隔中に抜取られたパッ
ケージ変位データ値と試験室圧力データ値とからの線形
回帰関数の計算を含む、密閉された試験パッケージおよ
び容器のハーメチックシール完全性を試験するための方
法および装置を提供するために開発された。かかる統計
的解析には、試験時間間隔中の１つの線形回帰関数、あ
るいは相隣る回帰関数の傾斜の比較がどこでパッケージ
の排気が起こるかを示す、試験時間間隔の種々のセグメ
ント中の複数の線形回帰関数の計算が含まれ得る。

さらに、本発明の方法および装置は、より良い包装効率
の統計的履歴を維持するため、合格／不合格データに加
えてハーメチックシール完全性データを提供しかつ記録
する。

本発明の方法および装置は、プラスチック容器、箔包装
、金属罐、プラスチック袋のような種々の包装形態およ
び材料を取扱う能力をも有している。

さらに、本発明の方法および装置は、製品の初期包装に
有用であるばかりでなく、製品の貯蔵寿命を測定するよ
うなその後の試験にも有用である。

要するに、本発明は、その面の１つから、それぞれ圧力
勾配または真空勾配にかけられたときへこみまたは膨張
のような僅かな移動が可能である少なくとも１つの可撓
性または半可撓性成分または部分または表面を有する密
閉されたパッケージおよび容器のハーメチックシール完
全性を試験するための方法および装置を含む。

本発明は、主として、良好に密閉されたバッケージが、
合理的な真空圧力範囲にわたって、真空の印加（すなわ
ち試験パッケージが中に入っている試験室の減圧）に応
じて比例的に膨張する相関原理で作用する。かかる場合
には、真空／膨張曲線は直線性を示す。逆に、ハーメチ
ックシール完全性が低いかあるいは全く密閉されていな
い密閉パッケージは、真空条件の増加に応じて全く膨張
しないか、あるいは最初に膨張した後、真空型試験室中
ヘパッケージヘッドスペースが排気するときにつぶれる
かのいずれかである。この場合には、真空／膨張曲線は
非直線性を示す。

一般に、密閉されたパッケージまたは容器のハーメチッ
クシール完全性の試験方法は、試験室内へ少なくとも１
つの可撓性表面を有する密叩試験パッケージを入れる工
程と、試験サイクルの時間間隔にわたって試験室内圧力
を第１値から第２値へ徐々に変化させる工程とを含む。

試験室内圧力と密閉試験パッケージの可撓性表面の変位
（すなわち膨張または収縮）との両方を測定し、それぞ
れ、試験室内圧力に比例する第１アナログデータ信号と
密閉試験パッケージの可撓性表面の変位に比例する第２
アナログデータ信号とを発生させる。次に、第１アナロ
グデータ信号と第２アナログデータ信号とから相関関数
を計算して、密閉試験パッケージのハーメチックシール
完全性の尺度を与えるようにする。

かくして、本発明のさらにもう１つの結果は、制御され
た条件下で印加真空にかけられるとき、膨張することが
できる任意の密閉パッケージのハーメチックシール完全
性を測定するための試験装置を提供することである。

従って、本発明は、その工程、部分、成分ならびに相互
関係と共に、本明細書中に示されかつその範囲が添付の
特許請求の範囲によって示される方法および装置からな
る。

本発明のその他の目的は以下に説明されかつ本発明の他
の目的は、本発明がそれに関している技術の当業者には
一部分明らかであろうし、かつ一部分は以下に明らかに
なるであろう。

本発明の一層の理解のために、添付図面と関連して読ま
れるべきである以下の好ましい実施態様の詳細な説明を
示す。

次に、密閉パッケージのハーメチックシール完全性の試
験方法および装置の詳細を最善の形式の実施態様で示す
。しかし、これらの詳細を示す前に、２，３の所見を示
すのが適切と信する。

第６図について簡単に説明すると、この図には本発明の
試験装置の３つの主成分、すなわち試験台２、中央プロ
グラミング装置３、オペレーターコンソール４が示され
ている。この図の試験装置システム１は、実質的に同じ
方法で加圧下または減圧（すなわち真空）下のいずれか
で容器およびパッケージを試験するが、図に示した好ま
しい実施態様は真空条件下でパッケージを試験するシス
テムである。

次に、特に第１図および第２図について説明すると、こ
れらの図には、それぞれ気密なパッケージと気密でない
パッケージの両方のパッケージ変位曲線と真空曲線とを
特徴とするグラフ図を示す。

それと関連して、もし可撓性嚢または半可撓性パッケー
ジを減圧されつつある試験室中へ入れたとすると、それ
に応じて、密閉パッケージは試験室の減圧に応答してそ
の内部“ヘッドスペース”圧力を等しくするために膨張
する。気密なパッケージは試験室へ外部真空を印加して
いる限り膨張しかつその膨張した体積を維持する。第１
図には、この条件での変位（すなわち膨張）対時間のプ
ロットを示す。対照的に、気密でないパッケージは、同
一条件下で、初め膨張した後、真空がパッケージから空
気を除去するにつれて、そのシール中の漏洩によって徐
々にへこむ。第２図にはこの条件での変位対時間プロッ
トが示しである。制御された条件下でパッケージが膨張
する速度またはへこむ速度はパッケージの気密度の関数
である。

また、合理的な真空の範囲にわたって、密閉の良好なパ
ッケージは真空圧の減少と共に比例して（すなわち直線
的に）膨張し、真空圧データに対するパッケージ膨張デ
ータの回帰分析は高い相関係数を伴う線形回帰関数をも
たらし、ハーメチックシール完全性の高いパッケージの
場合には、パッケージの膨張と真空圧との間の高度の相
関を示す。逆に、密閉されてないかまたは密閉性の悪い
パッケージは、膨張しないか、あるいは初め膨張し、次
にパッケージのヘッドスペースが試験室内へ排気するに
つれてへこむ。この場合には、真空圧データに対するパ
ッケージ変位（すなわち膨張）データの回帰分析は試験
サイクルの期間中、低い相関係数を伴う線形回帰関数を
もたらし、パッケージ膨張と真空圧との間の低い相関度
を示す。本発明はこの基本的概念に基づくものであり、
このことは本発明の方法および装置をより詳細に説明す
るにつれて一層明瞭になるであろう。

次に第３図について説明すると、本発明の方法によって
ハーメチックシール完全性の信頼できる尺度を得るため
に発生されかつ処理されなければならない２つの必要な
非周期的信号（すなわち波形）を明らかに示す単純化さ
れた機能図が示されている。特に、第３図の単純化され
た機能図は、その左側に、試験パッケージ６、線形変数
差動変圧器（Ｌｌｎｅａｒ　Ｖａｒａｂｌｅ　ＤｉｆＴ
ｅｒｅｎｔｌａｌＴｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ　　（ＬＶＤ
Ｔ）　）型位置または変位センサ（すなわちトランスデ
ユーサ）７、好ましくは試験室内に置かれた圧力センサ
８と共に試験室５を示す。機能図の右側には、計算装置
、好ましくは必要かつ十分なメモリストレージを有する
マイクロコンビ二一夕がある。

特に、パッケージを試験室内に入れ、かつＬＶＤＴ型位
置センサ７を試験パッケージ６の可撓性表面と接触させ
たら、試験サイクル中その時点以後、この位置センサ７
は減少する試験室圧力下での膨張の結果としてのパッケ
ージの厚さのいかなる変化をも測定する能力がなければ
ならない。

試験サイクル中、試験室５の圧力レベルの減少に応答す
る、試験パッケージ６の可撓性表面の移動の指示を与え
る信号が位置センサ７から発生されなければならない。

この好ましい実施態様に於いては、試験プローブ１２に
対する試験パッケージ表面の変位に応答するＬＶＤＴ７
のコアロッド（図には示してない）の移動によってこの
信号が発生される。この信号はライン１３Ａで示され、
試験室５から上方へ延び、マイクロコンピュータＩＯの
ブロックへ送られる。ライン１３Ａの上に示しであるよ
うに、典型的な気密でないパッケージから試験サイクル
中に得られる変位対時間波形がある。このラインの下に
は典型的な気密パッケージから試験サイクル中に得られ
る変位対時間波形がある。

これらの波形を、本明細書中では試験パッケージ６の可
撓性表面の変位に比例する第２アナログデータ信号と呼
び、この信号は、次の処理のためにマイクロコンピュー
タＩＯへ送られる。

発生されかつマイクロコンピュータへ送られねばならな
い第２信号は対応するパッケージ変位に於ける真空状態
を示す試験室５内の真空圧信号である。試験サイクル中
に発生されかつマイクロコンピュータｌＯへ送られる真
空圧信号は試験室５の底部からマイクロコンピュータ中
に達するライン１３Ｂとして示されている。典型的な真
空圧波形が真空信号ライン１３Ｂの下に示されており、
膨張（すなわち変位）波形がマイクロコンピュータへ送
られると同じ期間中、該真空圧波形がマイクロコンピュ
ータへ送られることを示す。

確率過程の統計的解析のような数学的解析により、真空
圧信号とパッケージ膨張（すなわち変位）信号との間の
相関推定値をマイクロコンピュータ１０を用いて計算し
、密閉パッケージおよび密閉容器のハーメチックシール
完全性の信頼できかつ正確な尺度を得るようにすること
ができる。別法では、試験サイクルの持続時間中、パッ
ケージ膨張信号と真空圧信号との回帰分析を行うことに
よって、パッケージ膨張信号が真空圧信号に依存しなく
なる時点を決定することができ、それによって試験パッ
ケージが空気を漏洩し始める条件に関する情報を与え、
その結果、ハーメチックシール完全性の信頼できる尺度
を与える。これに関連して、第９Ａ図および第９Ｂ図を
参照されたい。特に、第９Ｂ図には、この好ましい実施
態様に於いて、回帰分析が、例えば（１）真空圧の任意
に区切られた時間間隔中の抜取り真空圧データに対する
抜取りパッケージ膨張データのセグメント型線形回帰分
析を行いかつ（１１）相隣る線形回帰関数の計算された
傾斜を比較してパッケージ膨張が真空圧に依存しなくな
る真空圧値を決定し、試験パッケージのハーメチックシ
ール完全性をも決定することを含むことができる。

次に第４図について説明すると、本発明の方法のアナロ
グおよびディジタル信号処理作業をより詳細に示すもう
１つの機能図が示しである。パッケージのハーメチック
シール完全性のかかる試験方法によれば、少なくとも１
つの可撓性表面を有する密閉された試験パッケージ６を
試験室内に入れ、かつＬＶＤＴ型位置（すなわち膨張）
センサ７を半可撓性表面に関して：Ａ整して、センサ７
のプローブ１２が試験室圧力の減少に応答するパッケー
ジ６の極く僅かな膨張をも測定するように該表面に接触
するようにする。試験サイクルの時間間隔中、試験室内
圧力レベルを第１値から第２値へ徐々に変化させ、その
間中、試験室圧力に比例する第１アナログデータ信号Ｓ
、（ｔ）１４およびパッケージ膨張（すなわち可撓性表
面変位）に比例する第２アナログデータ信号Ｓ、（ｔ）
１５の両方を、それぞれ圧力（すなわち真空）センサ８
および位置（すなわち膨張）センサ７から発生させる。

基準化、センサ検定、および（または）視覚表示のため
に必要ならば、次に第１および第２アナログデータ信号
の一方または両方を、それぞれ線形アナログ増幅器で増
幅する。第１アナログデータ信号Ｓ　　（ｔ）に沿った
点から、試験サイクル時間間隔Ｔにわたって時間間隔Ｔ
　　（０≦ｔ≦Ｔおよび１０５１５３０秒）で、サンプ
ラ１８によって真空圧試料値が取られて第１離散データ
信号５ｐ（ｋＴ　　）を発生し、該信号を、次にディジ
タル変換器１９によって計数化して第１ディジタルデー
タ系列Ｓｐ　（Ｎ、）を生成させ、該系列を、次に、例
えばランダムアクセスメモリ（Ｒａｎｄｏ層Ａｃｃｅｓ
ｓＭｅｍｏｒｙ）のような揮発性メモリストレージ２０
に記憶させる。

同様に、第２アナログデータ信号Ｓ、（ｔ）ｔ５に沿っ
た点から、試験サイクル時間間隔Ｔにわたって時間間隔
ｋＴ　　で、サンプラ２１によつて真空圧試料値が取ら
れて第２離散データ信号Ｓ。

（ｋＴ　　）を発生し、該信号を、次にディジタル変換
器２２で計数化しかつ揮発型メモリストレージに記憶さ
せる。これらの２つの離散データ系列５（Ｎ）およびＳ
ｄ　（Ｎ、）のプロットを２ｋ つの重なってはいるが異なるグラフ図として、好寥しく
は試験サイクルの遂行中、カソードレイチューブ（Ｃａ
ｔｈｏｄｅ　Ｒａｙ　Ｔｕｂｅ　（ＣＲＴ））視覚表示
ユニット上に視覚表示する。

試験サイクル中、下記のことを確認するため、幾つかの
リアルタイム試験操作を行う。

（４）　　パッケージ漏洩の早期検知のための試験室圧
力の減少に応じて試験パッケージが連続的に膨張するか
どうか、 （ｉ　ｉａ）試験サイクルが制御された圧力条件下に作
動させているかどうか、あるいは、 （１１ｂ）計算されたハーメチックシール完全性尺度の
実験的に決定された標準に対する信頼できる比較を確か
めるように、いやしくも真空条件下で。

質問（１）に関しては、第４図中の第２離散データ系列
Ｓ、（Ｎｋ）を試験サイクルの初期段階（すなわち最初
の１０個の試験データ試料、約５秒後）で検査して、試
験パッケージ６の可撓性表面が、試験パッケージの大き
い漏洩が無いことを示す連続的膨張を行うか否かを決定
する。もし試験パッケージ６がこの時間間隔中、連続膨
張を行わなかった場合には、試験サイクルが停止され、
視覚表示ユニット１２０のスクリーンに“パッケージは
気密でない”というメツセージが現われる。好ましい実
施態様に於てかかる不合格が決定される方法は、例えば
第２離散データ信号Ｓ、（Ｎｋ）の最後の５個の試料デ
ータ値に基づいてパッケージ膨張の“ローリング平均を
計算し、存在する試料データ値とローリング平均とを比
較することによる。これは第４図の計算試験操作Ａで行
われ、この時間間隔中、膨張し続けていることが決定さ
れるならば試験サイクルがその全時間間隔の間進行する
ことを保証する。

質問（ｉｌａ）に関しては、第４図の第１データ系列Ｓ
、（Ｎｋ）を試験サイクルの初期段階（例えば最初の４
個の試料データ点、約２秒後）中に分析して、真空ポン
プ９が適正に働いていることを示す試験室５の圧力が減
少（すなわち真空が増加）しているか否かを決定する。

これは第４図の計算試験操作Ｂで行われ、この時間間隔
中、試験室圧力が連続的に減少していない場合には、試
験サイクルを停止し、視覚表示装置１２０のスクリーン
に“真空エラー１のメツセージが現われる。

質問（Ｉｌｂ）に関しては、全試験サイクル中、第１離
散データ系列Ｓ　　（ｔ）を分析して試験サイクルが制
御された圧力条件下で作動しているか否かを決定する。

この決定は、試験サイクルの全試験時間間隔中、限界圧
力値分析をリアルタイムで行うことによってなされる。

この分析は、第４図の計算試験操作Ｃによって行われ、
予め定義された限界圧力値を、Ｔ−０，５秒およびＴ−
３０秒に対し、それぞれ１秒、１５秒、３０秒の時間に
於ける第１離散データ系列Ｓ、（Ｎ、）の対応値と比較
し、第１離散データ系列の対応値が対応する予め定義さ
れた限界圧力値に等しくない場合には、試験サイクルを
停止し、試験サイクルが制御された圧力条件下で行われ
なかった指示として、視覚表示装置１２０上に“真空エ
ラーメツセージ°を表示することを含む。

もし、試験サイクルの終わりに、第４図の計算試験操作
Ａ、ＢまたはＣのいずれもがエラーメツセージを出さず
かつ試験サイクルが自然に終了する場合には、第４図の
マイクロコンビ二一夕が、それぞれ記憶された第１およ
び第２離散データ系列５（Ｎ）およびＳｄ　（Ｎｋ）か
ら、密閉試ｋ 験パッケージのハーメチックシール完全性の尺度として
統計に基づいた相関推定値の計算を始める。

本発明の好ましい実施態様に於ては、第４図中の操作り
で示される統計に基づいた相関推定値は相関係数である
が、他の統計的尺度も本発明の目的を果たす。

この際、部分的に本発明の方法の数学面の基礎となる確
率過程の統計的解析の原理および概念を簡単に総説する
のが適当である。

一般的な統計的使用に於て、相関とは２つの変数の独立
性からの離脱を意味する。この広い意味で、相関度を測
定しかつ恐らくはデータの性質に適応する幾つかの係数
、例えば、２値物の関連係数、より広い分類のための分
割係数、順位物の順位相関がある。

狭義に於て、相関とは２つの連続変数の依存性の度合を
意味する。ファンノストランドの科学百科事典（Ｖａｎ
　Ｎｏ５ｔｒａｎｄ’ｓ　５ｃｉｅｎｔｉｆ’１ｃＥｎ
ｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ）第６版、第１巻、　７９２−　
７９３頁の“相関”中、およびチャンバーの技術および
科学辞典（Ｃｈａｍｂｅｒ’ｓ　Ｄｉｃｔｉｏｎａｒｙ
　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ａｎｄＳｃｌｅｎｃｅ
）、　（１９７４）、第１巻、２７７頁の“相関”中に
も示されているように、２変数Ｘおよびｙの間の相関の
尺度は、ピアソンの（Ｐｅａｒｓｏｎ’ｓ）係数とも呼
ばれる相関係数によって与えられる。もし変量がＸ　ｔ
　、Ｘ　２１　””　Ｘ　Ｍおよび）’１　、）’２　
””１Ｍの値をとり、平均値がそれぞれ又およびｙであ
る場合、あるいは２変量値の組（ｘｌ、ｙｌ）・・・（
ｘ、ｙ）・・・”Ｍ”Ｍ）が与えられるとＩ き、相関係数は によって与えられ、すなわちそれぞれの分散の積の平方
根でＸとｙの共分散を割ったものに等しい。

特に、Ｘとｙの平均値はそれぞれ で与えられ、統計的尺度ｒは限界値＋１または−１の間
で変化することができる。変数が完全に独立である場合
には０の値が得られるが、厳密には変数が正規（ガウス
）形で同時分布するときにのみ独立性を意味する。もし
ｒ−±１であれば、完全な相関があり、一方の変量を他
方の変量から計算することができる。

この際、本発明の方法が好ましくはそれに関するが、も
っばらそれに関するものではない統計的線形模型の特別
な類を簡単に論することが適当である。

ＭＩＴプレス（ＨＩＴ　Ｐｒｅｓｓ）　（１９７７）に
よる英語訳の数学百科辞典（Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｌａ
　Ｄｉｃｔｉｏｎａｒｙ　ｏｆＭａｔｈｅｓａｔｌｃｓ
）の１２２２〜１２２３頁に示されているように、理論
的な数学的解析に於ては、線形［型の統計的解析には（
１）回帰分析と（ｌｌ）分散分析と（１１１）共分散分
析とがあることが知られているが、これらを相互に明瞭
に区別することはできない。特に、回帰分析の数学に関
しては、１未満の相関係数で線形を０関している任意の
２つのランダム変数は、第１の変数の与えられた値に対
して第２の変数の条件つき期待値の挙動を示すことが知
られている。

この挙動は通常回帰現象として知られている。

統計学に於て、回帰という用語は幾らか異なった２つの
意味を有するが、両方の場合に於て分析は同じである。

第１の場合は、Ｘの値とＸの与えられた値に対するｙの
値の平均との間に関係がある、例えばＸ。

ｙの２変量分布に関する。これはＸに対するｙの回帰で
ある。この観点から、回帰関係は数学の関数関係の確率
状態への一般化と考えることができ、Ｘに対するｙの回
帰は与えられたＸの値に対するｙの分布の平均の依存性
を示す。

第２の場合は、より一般的な観点からＸはランダム変数
である必要はなくかつ確率的変動がもっばらｙにあり、
従って関数関係はｙ　＝　ｆ　（ｘ）＋ε〔ここでε（
および従ってｙ）はランダム変数である〕の型のもので
ある確率過程に関する。

しかし、両方の場合に於て、関係のパラメータは、通常
最小二乗法、すなわち残差εの平方の和を最小にするこ
とによって推定される。これはεがあらゆるＸの値に対
して一定の分散を有する正規分布をもつならば最適であ
る。Ｘに対するｙの回帰が線形である（すなわち与えら
れたＸの値に対する。ｙ値の分布の平均の依存性を示す
）かどうかを決定するためには、Ｘおよびｙの抜取りデ
ータに対して“回帰線”を描くことによって、２つの変
数の抜取りデータのグラフ分析を行うことが有用である
。最も一般的な意味に於て、回帰線はかかる組のデータ
の傾向を示す働きがある。２変数の場合、この回帰線は
回帰係数によって特定化される２変量回帰関数によって
決定される。

回帰に関しては、Ｄ、ファンノストランド社（Ｄ、　Ｖ
ａｎ　Ｎｏ５ｔｒａｎｄ　Ｃｏｔａｐａｎｙ、　Ｉｎｃ
）出版のジームズおよびジェームズ著、数学辞典ＣＪａ
ｍｅｓ　＆　Ｊａｓ＋ｅｓＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓ　Ｄ
ｉｃｔｉｏｎａｒｙ）　、第３版中に、もし２変数ｙお
よびＸが、ｙ、”Ｅ、（ｘ、）が与えられたＸに対する
ｙの“条件つき期待直”であるように相関しているなら
ば、関数Ｅｙ　　（ｘｓ　）中の係数は回帰係数である
ことが示されている。かくして、もしｙ膳Ｅ　　（Ｘ　
　）　−１１Ｉａ　＋　ｂ　ｘ　ｓであｌ　　　ｙ　　
　す るならば、ａおよびｂは回帰係数である。時には、ｂの
みが回帰係数と呼ばれる。線形２変量回帰関数ｙ−ａ＋
ｂｘ中の回帰係数の最小二乗推定値は下記式 〔上記式中、又はＸの平均または期待値であり、ｙはｙ
の平均または期待値である〕 から°得られる。もし、少な（ともｙがランダム変数で
ある場合には、これらの推定値は最小分散、不偏、一致
推定値である。

また、ファンノストランドの科学百科辞典（ＶａｎＮｏ
ｓｔｒａｎｄ’ｓ　５ｃ１ｅｎｔｌｆｌｃ　Ｅｎｃｙｃ
ｌｏｐｅｄｉａ）　、　ｍ６版。

第２巻、　２４２Ｂ頁の“回帰°中に示されているよう
に、多変量複体には種々の一般化がある。１つの変数ｙ
は、例えば下記線形で、幾つかの他の変数に回帰される
ことができる。

上記線形は与えられたＸの値に従ってｙの平均が変化す
る仕方を示す。再び、Ｘ値自体はランダム藏数である必
要はないが、例えば制御された試験実験で予め決定する
ことができた。それ以上の一般化には、Ｘ値の他の関数
、例えばそのべきである場合、あるいはランダム変数の
１つの観測値から別の観測値へ独立でない場合が含まれ
る。

回帰関数の適合の良さはｙの分散の比としてランダム要
素Ｅの分散によって判断され、小さい値は良好な適合を
意味する。別法では、重相関係数の二乗として知られて
いる補量Ｒ”−１−ｖａｒ　／ｗａｒ　ｙを用いること
ができる。相関推定値および回帰分析のさらに詳細な議
論はマグロ−ヒルブックカンパニー（ＭｃＧｒａｖ−Ｈ
ｌｌｌ　Ｂｏｏｋ　Ｃｏｍｐａｎｙ）出版のＧ、Ａ、コ
ーンおよびＴ、Ｍ、コーン（Ｇ、　Ａ、　Ｋｏｒｎａｎ
ｄ　Ｔ、　Ｍ、　Ｋｏｒｎ）著、科学者および技術者の
ための数学ハンドブック（Ｍａｔｈｅｓａｔｌｃｓ　Ｈ
ａｎｄｂｏｏｋ　（’ｏｒＳｃｌｅｎｔｌｓｔｓ　ａｎ
ｄ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｓ）　ｒ第２拡大改訂版（１９８
ｇ）の８０５〜６１１頁、６９７〜７０３頁および７１
２頁および７１３頁に記載されている。

本明細書中で前述したように、本発明の基礎となる概念
は、高度の完全性シール（すなわち無漏洩）を有する密
閉パッケージは真空の比例的増加（すなわち試験室圧力
の減少）と共に直線的に膨張するが、空気の漏洩がある
パッケージは直線的に膨張しないということである。さ
らに、好ましい実施態様に於て、試験室圧は、制御され
た条件下で変化させられるべきであるので、独立変数と
呼ぶのが適正である。従って、上で論じた第２の場合は
本発明の確率過程を正しく特徴づけており、同様に、１
に近い値の相関係数はパッケージの膨張と真空圧の増加
との間の高度の依存性を示し、これは高度のハーメチッ
クシール完全性を示す。

かくして、これら２つの統計的尺度（すなわちＦ目間係
数と線形回帰関数）は、別々に、または−緒にとるとき
、ハーメチックシール完全性の信頼できる尺度を与え、
かつ肢険パッケージの不合格または合格の信頼できる基
礎を！！供する。

下に示す相関係数の１つの特別な式はパッケージの膨張
と試験室真空条件との間の相関度の信頼できる尺度を与
える。

上記式中、（ｘ１＋　　Ｘ２　＊　　Ｘ３　・・・Ｘ）
４　）　−ＸＭは第１離散データ系列Ｓ、（Ｎ、）のベ
クトル表現であり、（ｙ、ｙｙ　　・・・ｙ）＝ｙ）４
は１　　　２　°　　３Ｍ 第２離散データ系列Ｓ、（Ｎｋ）のベクトル表現である
。また、Ｍは試験時間間隔Ｔ中、抜取られたサンプルデ
ータ対（ｘｋ、ｙｋ）の全数に等しい。試験時間間隔Ｔ
−３０秒中、第１および第２アナログデータ信号のおの
おのから６０個の試料を取ると信頼できる試験結果を与
えることがわかった。

上記の式は、試験サイクル中に得られた統計的データの
性質のためにかつ性質に合わせて設計されかつ実験的に
試験されかつ痕跡気体監視技術を用いる他のハーメチッ
クシール完全性試験と比較された。

しかし、式（１）で与えられる相関係数の一般式も、本
発明の試験装置システム１を用い、かつ本発明の範囲お
よび精神を逸脱することなく、相関推定値の計算に用い
ることができる。

パッケージ膨張と真空データ試料との間に線形依存性が
存在するかどうかを決定するため、線形回帰方程式の回
帰係数から上記最小二乗式を用いて回帰線を計算した。

この回帰線を次に試験室真空圧に対するパッケージ膨張
の対応する試料値に対してプロットして、真空圧値と与
えられた真空圧に対するパッケージの膨張値との間の相
関を決定する。

要するに、この場合、本発明の方法の好ましい実施態様
に於ける相関推定値は真空圧と対応するパッケージ膨張
との間の相関係数である。また、パッケージ膨張変数と
真空圧変数とが、相関係数が１未満であれば常に、線形
相関することが知られているので、ハーメチックシール
完全性の付加的な統計的尺度として、第２離散データ系
列に対する第１離散データ系列の回帰分析をも行う。第
１離散データ系列と第２離散データ系列（それぞれ試験
室真空圧と、試験パッケージ−張とを示す）との間の、
相関係数；こよって指示されるような相関度に基づいて
、本発明のマイクロコンビエータは密閉試験パッケージ
のハーメチックシール完全性に関する“進め／止まれ”
の決定をする。

第５Ａ図および第５Ｂ図について説明すると、本発明の
試験室の好ましい実施態様と別の実施態様とをそれぞれ
の図中に示す。好ましい実施態様に於ては、試験室５′
は、基底３１１璧３２、蝶番ドア３３、頂部パネル３４
を有する封包物３０を含む。ドア３３が頂部パネル３４
から外側へ回転して開くように、ドアの底部に蝶番があ
る。試験室５′は位置（すなわち変位または膨張）セン
サ７、位置センサ位置調整機構３Ｂ、特定の試験パッケ
ージ６′を保持するためのインサート３８を含むトレー
８７を含む。

位置センサ７は、好ましくはＬＶＤＴ型変換器であって
、円筒形変圧器３９とその中を通る自由浮動性コアロッ
ド４０とからなり、円筒形変圧器３９内をコアロッド４
０が動くとき、円筒形変圧器３９に対するコアロッド４
０の変位に比例して電圧信号が発生されるようになって
いる。コアロッド４０の１端は試験プローブ１２に看い
ており、プローブ１２は試験パッケージ６′の膨張する
表面によって変位させられたとき、線形作動の範囲にわ
たって、パッケージの膨張度に直線的に比例するＬＶＤ
Ｔ型変換器から電圧信号を生ずる。

位置センサ位置：Ａ整機構３６は、一般に鉛直プラット
ホーム移動袋！４１と位置センサ７の位置調整のための
カンチレバー型移動袋Ｗ４２とからなる。

鉛直プラットホーム移動装置！４１はステップ電動機、
水圧装置、空気シリンダなどのいずれでもよい昇降機構
４４で支持されたプラットホームからなる。

概略的な簡単さのために、プラットホームはシリンダ４
Ｂで支持され、シリンダ４Ｂ中にはピストン４５の一端
が摺動自在に連結しており、ピストン４５の他端は試験
室５′の基底３１に取付けられている。

試験トレー３７の上方へ達しているプラットホーム４３
の端部には穴４７がおいており、その穴４７の中を支持
シャフト４８が摺動自在に通過する。支持シャフト４８
の下端にはＬＶＤＴ型変換器７が支持され、シャフト４
８の上端には、支持シャフト４８の下方移動の限界を定
めるためにノブ４９が付いている。

カンチレバー型移動装置４２は、昇降機構４１の上方の
プラットホーム４３の上の中央に取付けられたブラケッ
ト５０と、第１０！線部材５２と第２直線部材５３とを
有するカンチレバ一部材５１とを含む。第１直線部材５
２は、その一端で釣合いおもり５４に連結していて、ブ
ラケット５０を通るスピンドル５５の周りに旋回する。

第１部材５２の他端近くに穴５Ｂがおいており、その穴
５６を通って支持シャフト４８が通っており、第１部材
５２がノブ４９とプラットホーム４３との間にあるよう
になっている。カンチレバ一部材５１の第２部材５３は
蝶番ドア３３へ向かって伸び、ドアが閉鎖位置にあると
きにはドアと接触する。かかる配置で、カンチレバー型
移動袋５Ｅ４２のカンチレバー作動によって、蝶番ドア
３３が開いたと−き、ＬＶＤＴ型変換器７は試験トレー
３７から離れて上方へ鉛直に持ち上げられる。同様に、
ドア３３が閉じるとき、カンチレバ一部材５１の第２部
材５３が係合され、下方へ変位し、その結果、ＬＶＤＴ
型変換器７は試験トレー３７へ向かって下降する。特に
、カンチレバー型移動装置４２の゛機能はＬＶＤＴ型変
換器７のコース自動位ｒａ調整である。

対照的に、鉛直プラットホーム移動装置４１の機能は、
ＬＶＤＴ型変換′ａ７の微細制御可能位置調整を与えて
、プローブ１２がパッケージ６′の半可撓性（すなわち
膨張性）表面との接触を丁度確立するようにし、それに
よってＬＶＤＴ型変換器７の位置２！Ｉがその線形作動
範囲内にあるようにすることである。鉛直プラットホー
ム移動袋ｆｆ１４１は、プラットホーム４３の鉛直移動
を測定しかつ移動限界を制御する通常の論理回路（図に
は示してない）によって１１１ｍされ、ＬＶＤＴ型変換
器７がその所定の最大線形作動範囲にわたって利用され
得るようにする。かかるａ１定は、光学的または機械的
中断スイッチ（図には示してない）または技術上公知の
Ｆｆ意の池の手段で行うことができる。

第５Ｂ図について説明すると、本発明の試験室５″のも
う１つの別な実施！！３様を、今度は詳細に説明する。

このもう１つの実施態様では、好ましい実施態様と同様
に、試験室５′は壁３２″と頂部パネル３４′と基底３
１’とを有するが、摺動自在引出し６２に取付けられた
前面引出しパネル６１からなる摺動自在試験室引出しＢ
Ｏをも有する。摺動自在引出し６２のキャビティ内には
、試験パッケージを中へ簡単に挿入できかつ試験サイク
ル中固定保持できるインサート６３が取付けられている
。試験室５′内には、摺動自在引出し６２が、ステップ
電動機６５と案内バー（図には示してない）と平行に配
置かれたリードスクリュー６６とを含む水平移動装置Ｂ
４上に取付けられかつ該装置Ｂ４に沿って走行する。水
平移動装置６４はプラットホーム従動部Ｂ７をも含み、
摺動自在引出しが従動部６７に連結されかつ従動部６７
が摺動自在引出し６２を案内バーとリードスクリュー６
６とに沿って水平に移動させ、試験パッケージを外部か
ら挿入したり、取り出したりできるようになっている。

ステップ電動機はかさ歯車６８でリードスクリュー６６
に連結されることができ、リードスクリューはその両端
を、取付具７１の直交配置された取付は用ブラケット６
９および７０で支持される。前面引出しパネル６１に対
する押入れであるブラケット７０にはローラ７４が取付
けられていて、摺動自在引出し６２の無摩擦移動ができ
るようになっている。

プラットホーム従動部６７が案内バーとリードスクリュ
ー６６とに沿って、適当な範囲にわたって走行し、（１
）前面引出しパネル６１と前面壁８６と両者間に介在す
るガスケット７２との間の正しい密閉を確立し、かつ（
２）試験パッケージの挿入および除去が容易にできるこ
とを保障するため、２個の限界スイッチ７３Ａおよび７
３Ｂが必要な論理制御回路（図には示してない）に加え
て設けられている。

随意に、水平移動装置７１の代わりにばね装荷型水平移
動装置を用いて同じ機械的機能を達成することができる
。試験室５″内には、第５Ａ図に示したものと同様な機
能および作動を有する鉛直プラットホーム移動装置７５
が示されているが、幾らかの違いが認められる。第５Ｂ
図の鉛直プラットホーム移動装置７５は第１および第２
ブラケツト７７および７Ｂと、互いに平行に置かれたブ
ラケット７７および７８で支持される鉛直に配置された
リードスクリュー７９および案内バー８０とを有する取
付具７６を含む。鉛直プラットホーム移動装置７５はプ
ラットホーム従動部８１をも含み、従動部８１にはＬＶ
ＤＴ型変換型子換器７けられかつ従動部８１は、出力制
御信号（図には示してない）に応答してステップ電動機
８３がリードスクリュー７９を回転させるとき、案内バ
ー８０とリードスクリュー７９とに沿って鉛直に走行す
る。また、プラットホーム従動部８１は、（１）試験プ
ローブを損傷することおよび（２）ＬＶＤＴ円筒形コイ
ルのサチュレーションを避けるように適当な範囲にわた
って、案内バー８０およびリードスクリュー７９に沿っ
て鉛直に走行することを保障するために、必要な論理制
御回路（図には示してない）に加えて、２個の限界スイ
ッチ８２Ａおよび８２Ｂが設けられている。

試験室５′および５″内の大気を除去するため、真空口
８４が設けられており、試験室へ大気が出入できる速度
をある程度制御する。また、それぞれ圧力センサ８およ
び位置センサ７で発生されるｆ：号Ｓ　　（ｔ）および
Ｓ、（ｔ）を試験室の外部へ送るため、試験室壁を通し
て出力口８５が設けられている。

次に第６図について説明する。この図には、３つの主要
成分、すなわち試験台装置２と中央プログラミング装置
３とオペレーターコンソール装置４とからなる本発明の
試験装置システム１のシステム一覧ブロック回路図が示
されており、各装置を以下に詳細に説明する。第６図の
システムブロック回路図は幾らか一般化された性格のも
のであるが、本発明の試験装置システムの種々の成分の
相互接続および相互関係は明らかに示されている。

試験台装置２は、真空ポンプシステム９０に連結された
、例えば第５Ａ図または第５Ｂ図に示すような試験室５
を含む。本発明の好ましい実施態様に於て、真空ポンプ
システム９０は比較的大型保持タンク９２を排気するよ
うに連結される真空ポンプ９１を含む。大型保持タンク
９２は適当なパイプによって第１ソレノイド９４弁を通
して小型保持タンク９３に連結している。小型保持タン
ク９３は圧力センサ９５を含み、第２ソレノイド弁９７
を通って排気ライン９６へ連結している。排気ライン９
６は第３ソレノイド弁９９を通って空気リリーフ口９８
へ連結している。排気ライン９Ｂは適当な取付は手段に
よって試験室５へ連結している。

試験室５内には、圧力センサ８および位置（すなわち変
位または膨張）センサ７が取付けられている。特に、種
々の型の位置セーンサを本発明では用いることができ、
かつ前述したように、有用であることがわかったものは
ＬＶＤＴ型変換器である。しかし、使用することができ
る他の型の位置センサは近接変換器およびオブトエレク
トロニク変換＝である。センサ７および８の出力は適当
なケーブルへ接続され、試験室５を通して形成される適
当な口を通して試験室外へ送られる。これら２つの出力
から、アナログ信号Ｓ、（ｔ）およびＳ　　（ｔ）が中
央プログラミング装置３へ送られる。

本発明の好ましい実施態様に於て、中央プログラミング
装置３はシュアルチャネルプリプロセッサ１０Ｇを含む
。シュアルチャネルプリプロセッサーＯＯは、それぞれ
変換された圧力および変位信号、Ｓ　　（ｔ）およびＳ
ｄ　（ｔ）のためのＸチャネルおよびＹチャネルを有す
る。ＸチャネルおよびＹチャネルのおのおのはそれぞれ
のアナログ信号処理装置それぞれ１０１および１０２な
らびにアナログディジタル（Ａ／Ｄ）変換器それぞれ１
０３および１０４を有する。各アナログ信号処理装置は
、本質的に、それぞれＸチャネルおよびＹチャネルのた
めの電圧制御信号１１０および１１１によって外部的に
ｉ＄１１ａ可能な利得制御（および理想的濾過）能力を
有する線形アナログ増幅器である。アナログ信号処理装
置１０１および１０２の機能はコードされる命令に従っ
てアナログ入力信号を電圧制御信号１１０およびＵｔへ
基準化することである。対照的に、Ａ／Ｄ変換器１０３
および１０４の機能は、基準化されたアナログ入力信号
を、（１）第１にアナログ入力信号Ａ　　Ｓ　　（ｔ）
およびＡ２ｓ、（ｔ）ｐ を抜取り速度Ｔｓで抜取ってそれぞれＡ　ｒ　Ｓ　。

（ｋＴ　　）およびＡ、Ｓ、（ｋＴ、）を発生し、（２
）その後で、かかる離散データ系列の離散試料を凛準レ
ベルへ量子化（ｑｕａｎｔｉｚｅ）　Ｌ、、かつ（３）
かかる層数試料へ２進数を割り当てることによって計数
化することである。抜取りおよび変換過程中、Ｘチャネ
ルおよびＹチャネルの両方からのディジタル数系列〔例
えば、Ｎ（ｘρ　。

Ｎ　（ｘ　）　”・−Ｎ　（ｘ　ｋ）　＝・、Ｎ　（ｘ
　Ｍ）およびＮ　（ｙ　　）　−Ｎ　（ｙ　２）・・・
、Ｎ（ｙｋ）　　・・・。

Ｎ（ｙ）、ここでＮ　（ｘ　ｋ）およびＮ（ｙｋ）はロ
ジック′１１またはロジック′０”レベルであることが
できる〕がマイクロコンピュータ−０内のＲＡＭデータ
メモリに記憶される。

中央プログラミング装置３もディジタルマイクロコンピ
ュータ１０と、次節でさらに詳しく論じる複数のインタ
ーフェイス装置とを含む。ディジタルマイクロコンピュ
ータ１０はパーサタイル中央処理装置１　（ＣＰＵ）　
、プログラムメモリ（ＲＯんり、データメモリ（ＲＡＭ
）、オシレータアンドクロック回路、フレキシブル人力
／出力（Ｉ　１０）構造を含むシングルチップマイクロ
コンピュータであることができる。

第６図に於て、ディジタルマイクロコンピュータＩＯの
表現はブロックの形ではあるが、それにも拘らず、シン
グルチップマイクロコンピュータの種々のサブ装置を示
し、＜１）命令に対して事象の系列を協働させかつ実行
する内部制御装置、（２）演算論理装置、（３）特殊な
レジスタおよびアドレス演算装置、（４）メモリおよび
（５）１１０回路のような機能的部分からなる。

ここではそれぞれＸ　Ｍ”　（Ｘ　ｔ　＊　　Ｘ　２・
・・、ＸＭ）およびＹ）４−（３’ｌ、ｙ２・・・、ｙ
）、）　　と　じ　て示される計数化データ系列Ｓ、（
Ｎ、）　　およびＳ、（Ｎｋ）は、それらがＡ／Ｄ変換
器１０３および１０４から発生されているとき、ディジ
タルマイクロコンピュータＩＯのＲＡＭデータメモリへ
供給される。

ディジタルマイクロコンビ二一夕は主として制御装置と
して用いるために意図されたものであり、かくしてフレ
キシブルＩ１０構造をもつように設計されているので、
本発明の試験装置システム１中に用いられる種々の電気
的ならびに機械的装置からの制御およびデータ信号は、
１１．Ｉ２゜１　　　　１　　　　１　　　　　Ｉ　　
　　　１　　　　１　　　　１゜３°　　　４°　　　
５°　　　８’　　　　７°　　　８°　　　９Ｉｔｏ
”ｔｔで示される必要なインターフェイス装置を通して
Ｉ１０パッチロへ接続される。

マイクロコンピュータｌＯからの制御信号１０５゜１０
８　、１０７は、インターフェイス装置１１を通して第
１、第２および第３ソレノイド制御弁９４．９７゜９９
へ連絡される。小型保持タンク９４中の圧力センサ９５
からの変換された圧力信号は、Ａ／Ｄ変換器であるイン
ターフェイス装置Ｉ２を通してマイクロコンピュータｌ
Ｏへ連絡される。マイクロコン絡される。マイクロコン
ピュータ１０からの線形アナログ増幅器信号１１０およ
び１１１はインターフェイス装置Ｉ４を通して、それぞ
れ線形アナログ増幅器ｌｏｔおよび１０２へ連絡される
。マイクロコンピュータＩＯからのサンプラー制御信号
はインターフェイス装置■５を通してそれぞれサンプラ
ー１８および２１へ連絡される。マイクロコンピュータ
ＩＯからの位置センサ制御信号はインターフェイス装置
工。を通して位置センサ移動装置１１５へ連絡される。

そして、Ａ／Ｄ変換器１０３および１０４からのディジ
タルデータ系列Ｘ）４およびｙＭは、それぞれインター
フェイス装置Ｉ７を通してマイクロコンピュータｌＯへ
伝達される。

次に、本発明の試験装置システム１中の第３成分すなわ
ちオペレーターコンソール装置４について説明する。装
置４は、本発明の好ましい実施態様に於て、ｘ−７点プ
ロット、英数字文字、グラフ図または絵画図がその上に
表示される陰極線管（ＣＲＴ）視覚表示装置１２０を含
む。オペレーターコンソールは、命令および入来データ
を書き込むための英数字文字キーボード装置１２１、質
問をしたりまたは作動方式を選択したりするための前面
パネルに取付けられた機能導板装置１２２、およびｘ−
７点プロット、英数字文字、グラフ図または絵画図の明
瞭なコピーを作るためのプリンタ装置をも含む。キーボ
ード装置１２１は、システムパラメータ、例えば相関係
数合格値、限界圧力値、進め／止まれ限界値、抜取り時
間間隔Ｔ　　（ミリ秒）、試験サイクル時間間隔Ｔ（秒
）、線形アナログ増幅器１０１および１０２の利得、お
よび他のパラメータを所望され得るように決めるために
設けられている。機能選択装置１２２は開始スイッチ、
リセット／アボートスイッチ、真空プロフィルスイッチ
、表示／回帰スイッチ、変換器検定スイッチ、およびプ
リンタデータ形供給スイッチを含む。

マイクロコンピュータ−０からの複数のディジタル信号
１２４はインターフェイス装置Ｉ８を通してＣＲＴ表示
装置１２０へ伝達される。英数字キーボード１２１から
の複数のディジタルコード信号１２５はインターフェイ
ス装置Ｉ９を通してマイクロコンピュータｌＯへ連絡さ
れる。機能選択装置１２２からの複数のディジタル信号
１２６はインターフェイス装置■ｌｏを通してマイクロ
コンピュータ１０へ伝達され、マイクロコンピュータ１
０からの複数のディジタル信号１２７はインターフェイ
ス装置■１１を通してプリンタ装置１２３へ伝達される
。

機能的に上述したようなすべてのかかるインターフェイ
ス装置’ｔ＝ｌｔｔは、本発明が関する技術上で公知で
あり、本明細書中でこれ以上注意を払う必要はない。

これに関連して、本発明のパッケージのハーメチックシ
ニル完全性の試験方法が第６図に示しかつ前述した試験
装置システム内で実現されたと言えば十分である。さら
に、本発明の方法はＰＬＭ−８０コンピユ一タ言語で表
現されるパッケージ試験装置のためのコンピュータプロ
グラムの実施態様として実現されたが、本発明の範囲お
よび精神から逸脱することなく、異なる言語で表現され
た構造的に異なるプログラムで実施することができた。

さらに、本発明の方法は、該プログラム中のアナログお
よびディジタル回路ならびにアナログおよびディジタル
処理を利用しても同様に実現することができた。

次に、それぞれ本発明の試験室の好ましい実施態様およ
びもう１つの実施！！様を示す第５Ａ図および第５Ｂ図
を参照しながら、本発明の試験装置システム１の作動を
説明する。

試験の目的で、第５Ａ図の試験室５′中に試験パッケー
ジを入れるために、オペレータが次の操作を行う。前面
パネル３３を外側へ開くと、釣合いおもり５４がスピン
ドル５５の周りを下方へ旋凹するので、第２直線部材５
３を上方へ回転させる。二のカンチレバー原理による作
用の結果、位置センサ７は試験トレー３７およびインサ
ート３８から離れて上方へ移動する。次に、新しい試験
パッケージをインサート３８のキャビティ内に挿入し、
その後で前面ドア３３押し込んで閉じると、第２直線部
材５３は押し下げられ、釣合いおもり５４が押し上げら
れ、位置センサ７がパッケージ６とほぼ接触するように
下げられる。

試験の目的で第５Ｂ図の試験室５′内に試験パッケージ
６を入れるため、オペレータは下記の操作を行う。論理
および制御回路（図には示してない）をオペレータが作
動させると、ステップ電動機８３が付勢され、位置セン
サ７とその試験プローブ１２とは試験トレー８８からの
安全範囲より上方へ鉛直に移動させられる。次に、この
サイクルの終わりに、ステップ電動機６５を同じ論理お
よび制御回路で付勢し、プラットホーム従動部６７を案
内バー（図には示してない）に沿って水平に移動させ、
その結果として、摺動自在の試験室引出し６２を前面壁
パネル８Ｂを越えて水平に移動させる。

その後、試験パッケージをトレーインサート８３のキャ
ビティ８８中へ挿入し、オペレータがステップ電動機Ｂ
５を反対方向に作動させることによって、摺動自在の試
験室引出し６２を試験室５′内へ摺動して戻させる。前
面引出しパネルＢ１がガスケット７２および前面パネル
８Ｂと係合すると、それらの間に適正なシールが形成さ
れ、ステップ電動機８３が再び付勢されて位置センサ７
を押し下げ、可撓性パッケージ表面と丁度接触するよう
にさせる。

次に、第６．７．８．９Ａ、　９Ｂ図、待に第７図につ
いて説明する。第７図には、第６図に示した試験装置シ
ステム１で実施可能なメインパッケージテスタープログ
ラム（Ｍａｉｎ　Ｐａｃｋａｇｅ　ＴｅｓｔｅｒＰｒｏ
ｇｒａｍ）の高レベルコンピュータプログラミングフロ
ーチャート１３０が示されている。このコンピュータプ
ログラミングフローチャート１３０は本発明の方法が実
施された主プログラムの定義のためのグラフ的表現を提
供する。第８図には、メインパッケージテスタープログ
ラム（Ｍａｌｎ　ＰａｃｋａｇｅＴｅｓｔｅｒ　Ｐｒｏ
ｇｒａ層）内に組み入れられかつ下述のようにプログラ
ム中の特定の段階で呼び出されて作動するベーシックテ
ストサブプログラム（ＢａｓｌｃＴｅｓｔ　Ｓｕｂｐｒ
ｏｇｒａｍ）１３１の高レベルコンピュータプログラミ
ングフローチャートが示されている。

第７図に戻って、左上の隅に於ける“パワーオン０ブロ
ツク１３２でプログラムは開始し、次に、ブロック１３
３で、キーボード、プリンタ、および他のフロントパネ
ルに取付けた機能選択装置スイッチを含むマイクロコン
ピュータシステムの初期設定を行う。

ブロック１３４で示されるように、セットゲインプロセ
デュアは、ブロック１３５に於けるアクションフラッグ
が誤りであるときに行われる。このプロセデュアはＬＶ
ＤＴ型位置型位置センエフて発生されたアナログ信号の
利得の、機能選択装置１２２の４位置利得スイッチによ
る制御を与える。

このスイッチは、ＬＶＤＴをサチユレーションさせるこ
となく最高の増幅が得られるようにセットされねばなら
ない。密閉パッケージの代表的な試料について試験を行
った後、正しい選択が明らかになる。もし試料パッケー
ジをあまりにも高い増幅で試験するならば、視覚表示装
置１２０のスクリーンにエラーメツセージ″ＬＶＤＴサ
チュレーション−利得を下げて下さい″が現われる。そ
の時、オペレータは利得を次の最低のセツティングにし
て、試験に戻らねばならない。範囲内になったら、ブロ
ック１８Ｂで示されるように、プログラムは“レディ　
スクリーン°をプツトアップする。

次に、ブロック１３７で示されるように、キーボード装
置１２Ｇがレディになった後、ブロック１３８で示され
るメニューキーを押し下げて、ブロック１３９で示され
るパラメーターセットプロセデュアを用いて試験装置シ
ステム１の試験パラメータをセットすることができる。

このプロセデュアは（１）試験真空プロフィルを構成す
る真空限界値、（２）抜取り時間間隔Ｔ　（ミリ秒）、
（３）試料時間間隔Ｔ（秒’）　、（４）　１抜取り時
間間隔当たりの表示点の数、および（５）進め／止まれ
相関係数逍のセツティングを提供する。これらのパラメ
ータがセットされたら、ブロック１４０゜１４１　、１
４２　、１４３または１４４で示されるような、機能選
択装置のフロントパネルスイッチの任意の１つを選ぶこ
とができる。

ブロック１４０に於いて、第８図のベーシックテストサ
ブプログラムを呼び出して実行させることができる。も
し選択されたら、ブロック１４５に於いてベーシックテ
ストサブプログラムを作動に呼出して実行させ、ブロッ
ク１４８に於いて実行から得られた試験結果は、ブロッ
ク１４７　、１４８　、１４９　。

１５０　、１５１でそれぞれ示されるように、ケースφ
、ケース１、ケース２、ケース３、またはケース４のよ
うなケース番号で分類される。その後で、ケース番号に
よる試験結果がＣＲＴ表示装置上に表示され、もしプリ
ンタ装置が可能であればハードコピー試験結果プリント
アウトがプリンタ装置から得られる。試験結果がケース
φで、“良好な試験”を示した場合には、ブロック１５
２に於いて、計算相関値をプリセット進め／止まれ値と
比較する。相関値がプリセット値より大きいか等しい場
合には、ブロック１５３で示されるように、“パッケー
ジ合格°メツセージρ（視覚表示スクリーン上に表示さ
れ、計算相関値がプリセット進め／止まれ値よりも小さ
い場合には、ブロック１５４で示されるように、′パッ
ケージ不合格゛メツセージが視覚表示スクリーン上に表
示される。いずれの場合に於ても、ブロック１５５で示
されるように、試験サイクル終了時に於ける相関値と真
空圧とが視覚表示装置１２０上に表示され、もしプリン
タ装置１２３が可能であれば、該装置１２３から試験結
果のプリントアウトが得られる。メインパッケージテス
タープログラムが終了したら、新しい試験サイクルを開
始するために、ブロック１５６に於けるアクションフラ
ッグをリセットする。試験結果がケース１で、コア位置
センサがＬＶＤＴの円筒形変圧器中あまりに遠すぎるた
めのサチュレーションエラーを示す場合には、視覚表示
装置１２０は“サチュレーションエラー（Ｓａｔｕｒａ
ｔｌｏｎ　Ｅｒｒｏｒ）”を示し、もしプリンタ装置１
２３が可能であれば、“無し／試験“を示すプリントア
ウトを出す。

試験結果がケース２で、膨張を示さず、従って“悪いパ
ッケージ°を示す場合には、表示装置１２０は“パッド
パッケージ”を表示し、もし可能ならば、プリンタ装置
１２３が“パッケージ不合格。

を示すプリントアウトを打ち出す。試験結果がケース３
で、“真空が増加していない°ことを示す場合には、視
覚表示装置１２０は“真空不増加エラー“を表示し、も
し可能ならば、プリンタ装置１２３が“試験なし゛を示
すプリントアウトを打ち出す。

最後に、試験結果がケース４で、“真空範囲外″を示す
場合には、ＣＲＴ表示装置は“真空範囲エラー゛を表示
し、もし可能であれば、プリンタ装置は“試験なし“を
示すプリントアウトを打ち出す。

ブロック１４１に於て、リセット／アボートスイッチを
選ぶことができる。この機能は、何らかの“メツセージ
スクリーン°からプログラムを自動的に除去し、システ
ムを“レディ　スクリーン”へ戻すことである。任意の
追加試験のみをレディスクリーンから実行することがで
きる。このスイッチは進行中の任意の試験を失敗にもさ
せる。

ブロック１４３に於て、真空プロフィル試験プロセデュ
アを選択することができる。この試験プロセデュアは試
験室の真空曲線の調節を提供する。

このスイッチを選んだ場合、真空ポンプが始動し、真空
圧がプロットされる。本発明の好ましい実施態様に於て
、３つの真空圧限界値がプロットされ、数値的に表示さ
れる。何らかの実際の真空調節は、真空リリーフ弁９８
で行われる。真空調節の結果は視覚表示装置１２０上に
直ちに表示される。もし限界圧力値のいずれかを変えな
ければならない場合には、上述したように、ブロック１
３９に於て、パラメータセットプロセデュアによって変
化させることができる。

ブロック１４４に於て、回帰分析試験プロセデュアを選
択して作動させることができる。この機能を選択すると
、最も前の試験の測定されかつ抜取られた膨張および真
空試料点がグラフ的に表示され、前述したように、回帰
分析の原理に従って、回帰線が計算される。特に第９Ａ
図および第９Ｂ図を参照すると、前述したように、ベー
シックテストプログラムのこの段階に於いて、抜取り真
空圧に対する抜取りパッケージ膨張データのセグメント
型回帰分析を随意に行うことができることが認められる
。第９Ｂ図に示すように、かかるセグメント型回帰分析
は（１）抜取り真空圧データをサブ時間間隔（例えばＩ
、　ｎ、　ｍ、　ＩＶ、　Ｖ）に分割することと、（１
１）これらのサブ時間間隔中の線形回帰関数Ｆ　Ｉ　、
Ｆ　ｎ、　　Ｆ　ｍ、　　Ｆ　ｒｖ、　　Ｆ　ｖの傾斜
（すなわちｂｌ、ｂ２−　ｂａ　、ｂ４８　ｂｓ　）を
計算することと、（１１１）相隣る線形回帰関数の傾斜
を比較して真空圧に対するパッケージ膨張の依存性が低
下し始めかつ試験パッケージのハーメチックシール完全
性も低下し始める真空圧の値を決定することを含む。

計算プロセデュアの用語で表現される、抜取り真空圧デ
ータに対する抜取りパッケージ膨張データのセグメント
型回帰分析は、下記工程（１）試験室内圧力（こ比例す
る第１離散データ系列を生成させかつ試験パッケージの
半可撓性表面の変位に比例するＭ２Ｊｌ散デー少データ
系列させる工程と、（１１）第１および第２離散データ
系列を等しいかつ対応するサブ系列に分割する工程と、
（１１１）各サブ時間間隔中の線形回帰関数の回帰係数
（すなわち傾斜およびｙ切片）を計算する工程と、（ｌ
ｖ）ｍ隣る線形回帰関数の回帰係数を比較して、真空圧
に対するパッケージ膨張の依存性が低下し始めかつ試験
パッケージのハーメチックシール完全性も減少し始める
真空圧の値を決定する工程とを含む。

この状態に於ても、線形回帰関数の回帰係数（例えば傾
斜およびｙ切片）のような回帰分析データも表示される
。しかし、試験時間間隔中および同様にサブ時間間隔中
、試験が流産されたならば、を目間データは無効となり
、エラーメツセージ“有効な回帰情報が存在しない”が
表示される。

次に第８図については、ベーシックテストサブプログラ
ムのためのコンビニ−タブログラミングフローチャート
が示されている。特に、このサブプログラムは第７図の
ブロック１４５に於て作動状態に呼び出される。第８図
のブロック１７０に於て、ベーシックテストサブプログ
ラムはまず試験パッケージの可撓性表面がＬＶＤＴ位置
センサ７の試験プローブＩ２の動的範囲内にあるかどう
かを決定するために試験を行う。もし範囲内になければ
、ベーシックテストサブプログラムがブロック１７１で
示される！！！プラットホームプロセデュアを呼び出し
てプローブ１２をかかる作動限界内にもたらす。プラッ
トホーム調整が不十分である場合には、ブロック１７３
で示されるように、ベーシックテストサブプログラムは
マイクロコンピュータ１０をイニシャライズし、視覚表
示装置上に、ブロック１７３で示されるように、“ベー
シックテスト完全な誤り°を表示する。

次に、ブロック１７５に於いて、マイクロコンピュータ
ｌＯからの命令で真空ポンプ９１が電力を受は取る。こ
のとき、真空ポンプ９１は大型保持タンクを排気するが
、ソレノイド弁９４は閉じたまＮである。このことは真
空ポンプ９１を連続的に運転させて、小型保持タンク９
３を排気せずに大容量リザーバを真空に保つ。そうして
いる間に、ソレノイド弁９７が閉じられ、９９が開かれ
、それによって方囲圧力を試験室５へ入らせる。次にマ
イクロコンピュータ１Ｇがソレノイド弁９９を閉じ、０
９８を密閉する。次に、マイクロコンピュータｌＯはソ
レノイド弁９４を開いて小型保持タンク９３を適当なオ
ペレータプログラミング試験圧力に変化させる。小型保
持タンク９３は次第に真空になり、遂には圧力センサ９
５がマイクロコンピュータ−０に小型保持タンク９念内
が適正な圧力に達したことを知らせる。

その時点に於て、マイクロコンピュータＩＯはソレノイ
ド弁９４を閉じ、ソレノイド弁９７を開いて試験室５を
減圧し始める。試験室を減圧している間中、圧力センサ
８が前述のようにして試験室５の瞬間的時間間隔圧力を
連続的に監視する。

試験室内圧力に比例する第１アナログデータ信号Ｓ　　
（ｔ）および試験パッケージ６の可撓性表面の変位（す
なわち膨張）に比例する第２アナログデータ信号Ｓ、（
ｔ）の両方を、次に、第４図および第６図に示した信号
プリプロセッサー００のＸチャネルおよびｙチャネルへ
それぞれ印加する。第１および第２アナログデータ信号
Ｓ　　（ｔ）およびＳ、（ｔ）をそれぞれ、それぞれの
線形アナログ増幅器１０１および１０２によって基準化
する。次に、Ｓ　　（ｔ）およびＳｄ　（ｔ）を、それ
ぞれサンプラ１８および２１によって”抜取り速度ＴＳ
で抜取って、それぞれ５（ｋＴ）およびｓｄ（ｋＴ８）
を生成させ、５ｐ（ｋＴｓ）およびＳｄ　（ｋＴｓ）を
、それぞれ量子化器■９および２２で量子化しかつ２進
数表現を割り当てて、それぞれ、第１および第２．ｌｉ
ｌ散データ系列Ｓ、（Ｎ、）およびＳａ　　（Ｎｉ、　
）を生成させる。この上記信号処理および変換プロセス
はブロック１７Ｂに於て可能にされる。ブロック１７７
　、１７８　、１７９で示されるように、プリセット試
験サイクル時間間隔Ｔ中、抜取り過程が続き、その経過
時間はブロック１８０で示されるように、視覚表示装置
１２０上に表示されている。

ベーシックテストサブプログラムでブロック１７７に達
したとき、マイクロコンピュータ１０が、各試料値に対
して、ブロック１７８　、１８０　、１８−１　。

１８３　、　１８５　、　１８６　、　１８８　、１１
ｉ９　、１９０　、１９２　。

１９３　、１９４　、１９６　、１９７　、１９８を通
ってブロック１７７に戻ることを含む、抜取りされた各
離散データ値に対する論理ルー、ブを通って論理的に横
断することか認められる。

ブロック１７７に於いて、ベーシックテストサブプログ
ラムは、論理ルー・ブ中の論理的段階を通過する試料値
数を計算することによって試験が完全かどうかを決定し
、ブロック１９４で次の試料値対（ｘｋ、ｙｋ　）が論
理ループ中での処理のため準備ができているかどうかを
決定する。

ブロック１８０で示されるように、ベーシックテストの
経過時間が更新され、新データ試料対（ｘ、、ｙｋ）Ｈ
の処理時に視覚表示装置１２０のスクリーン上に表示さ
れる。また、ブロックｔａｔに於いて示されるように、
毎回の論理ループ通過中、ＬＶＤＴ型位置型位置センサ
ナュレーションの状態にあるかどうかを試験する。もし
サチュレーション状態であればブロック１８２に於いて
示されるように、“サチュレーションエラー”メツセー
ジが視覚表示袋ｆｔ！２０上に表示され、ベーシックテ
ストサブプログラムは、ＬＤＶＴ位置セ位置センサナュ
レーションされているとプローブ位置の信頼できる測定
を行うことができないのでベーシックテストサブプログ
ラムはイグジットされる。

ブロック１８３に於て示されるように、次々の各真空圧
およびパッケージ膨張データ点対が抜取られ、ディジタ
ル数値へ変換されるとき、次に、おのおのは、次の相関
値計算および（または）回帰分析のためそれぞれのデー
タキュー（すなわちメモリストレージ）に入れられる。

ブロック１８４に於て示されるように、１真空試料当た
りのＸ軸表示点の数に関する計数は、論理ループの各サ
イクル中に、本発明の式に従って計算され、例えば１真
空表示点当たり２真空試料点である。

真空が連続的に増加しているかどうかを決定するため、
真空連続増加プロセデュアを、３０秒試験サイクルの最
初の５秒に等しい１０未満の試料カウントに対して実行
し、取られた真空試料点最大数はＮ１−８０である。か
かるプロセデュアはブロック１８５および１８６で示さ
れ、もしその最初の５秒間中に真空圧が連続的に増加し
ていないことが決定されると、“真空不増加メツセージ
”が視覚表示装置１２０上に生成され、ベーシックテス
トサブプログラムはイグジットされる。

ブロック１８８に於て示されるように、ベーシックテス
トサブプログラムは、おのおのの新らしいデータ値を抜
取り、視覚表示装置１２０上に、パッケージ膨張および
真空圧曲線をそれぞれ連続的にグラフ的にプロットする
ために、４プロツトヒストグラムアンドプロツトバキユ
ーム“を要求する。

試験サイクルの持続時間中ずっとパッケージが連続的に
膨張しているかどうかを決定するため、ブロック１８９
および１９Ｇに於て示される試験プロセデュアを行う。

ブロック１９Ｇに於て示されるように、３０秒の試験時
間間隔を有するＭ−６０試料試験サイクル中、最初の２
０試料デ一タ点のような、試験サイクルのある部分にわ
たって連続試験パッケージ膨張を試験する。この試験プ
ロセデュアは、ＬＶＤＴ位置セ位置センサナ現在のパッ
ケージ膨張試料値を、ローリング平均バッファメモリ中
に記憶されている最後の５個またはその位のパッケージ
膨張試料値の“ローリング平均°と比較することを含む
。もし新パッケージ試料値がローリング平均試料値を越
えないならば、ブロック１９０および１９１で示される
ように、“バッドパッケージ”のエラーメツセージが生
じ、視覚表示装置１２０上に表示され、かつベーシック
テストプログラムはイグジットされる。

ブロック１９２および１９３に於て示されるように、試
験室の圧力曲線を、予め選んだ真空圧試験点に於て３つ
のプリセット限界圧力値と比較する。これは、１つの種
類のパッケージに対して意味のある比較データを作るた
めに制御された圧力条件下で試験サイクルが行われるこ
とを保証することである。ブロック１９２および１９３
で示されるように、３つの所定真空試験点に於ける真空
圧試料値を３つの対応する真空圧限界値と比較する。も
し３つ　　　　　″の真空試験試料のいずれか１つが対
応する真空圧限界値を越えないならばブロック１９３お
よび１９９に於て“真空エラー２メツセージが生じ、視
覚表示装置１２０上に表示され、そのベーシックテスト
サブプログラムはイグジットされる。

ブロック１９４および１９５に於て示されるように、マ
イクロコンピュータ１０中のＲＡ　Ｍデータメモリから
の最後の試験試料追討を受取ったとき、試験は完了し、
そのベーシックテストサブプログラムはイグジットされ
る。しかし、もし最後の試料追討が試験サイクル中に到
着しなかったならば、ブロック１９Ｂに於て示されるよ
うに、古い平均パッケージ膨張試料が“ローリング平均
“を再計算することによって更新される。この平均をと
る作業の主目的はＬＶＤＴ型位置型位置センサラに現わ
れる可能性がありかつパッケージ膨張データ試料値に影
響を与える可能性がある過渡的スパイクを除去するよう
に平滑化機能を与えることである。

また、ブロック１９１に於て示されるように、もし第１
データ試料対が処理されているならば、ブロック１９Ｂ
に於て示されるように、現在の真空試料値が、ブロック
１８Ｂで示される論理ループを通る次の横断中に漸増真
空試験プロセデュアのために、最後の真空試料値の代わ
りに用いられる。また、ブロック１９ｇに於て示される
ように、ＬＶＤＴ位置セ位置センサナ値は膨張データ試
料のローリング平均の初期値である。しかし、もし第１
データ試料対（ｘｔ　、ｙｔ　）が処理されていないな
らば、ブロック１７７に於ける論理ループの開始への送
り返しが起こる。

Ｍ−６０試料試験サイクルの最後のデータ試料対（Ｘ　
ｅｏ＝　　Ｙ　ｇｏ）の処理後、マイクロコンピュータ
ｌＯはソレノイド９７が閉じかつソレノイド９９が開く
ように命令し、それによって試験室内の真空圧をメイン
パッケージテスタープログラムが前述したようにその作
動を続行する。

（１）漸増真空の失敗、または（ｉｔ）パッケージ漸増
膨張の失敗、または（ｉｉｉ）ＬＶＤＴ位置セ位置セン
サナュレーションの検知、または（１ｖ）真空試験試料
のプリセット真空圧力限界値への適合の失敗の結果とし
てベーシックテストサブプログラムがイグジットされる
ことが起こらない場合には、第７図のブロック１５２に
於ける相関推定値が前述の式に従って計算される。

本発明が関する技術分野の当業者には本明細書中に記載
した本発明の変更を行うことが可能であろうが、かかる
変更はすべて、本発明の特許請求の範囲によって定義さ
れる本発明の範囲および精神内に含まれるべきものと考
える。

【図面の簡単な説明】

Ｍ１図は、垂直軸に沿って示される試験パッケージの可
撓性表面の変位と水平軸に沿って示される試験サイクル
中の時間経過とを示すハーメチックシールされた空気漏
洩の無い試験パッケージのグラフ図であって、垂直軸に
沿って真空の大きさが配向されている該グラフに重ねら
れた真空曲線をも示す図であり、 第２図は、垂直軸に沿って示される試験パッケージの可
撓性表面の変位と水平軸に沿って示される試験サイクル
中の時間の経過とを示す、空気が漏洩し、ハーメチック
シールされていない試験パッケージのグラフ図であって
、垂直軸に沿って真空の大きさが配向されている該グラ
フ図に重ねられた真空曲線をも示す図であり、 第３図は、本発明の方法によって、密閉パッケージのハ
ーメチックシール完全性の尺度を得るために発生されか
つ処理されねばならない必要な信号波形を示す単純化さ
れた機能図であり、第４図は、本発明の方法の試験サイ
クル時間間隔中に行われる種のアナログおよびディジタ
ル信号処理操作を示す詳細な機能図であり、第５Ａ図は
、鉛直プラットホーム移動装置と位置センサのためのカ
ンチレバー型移動装置と試験トレー内の試験パッケージ
と線形変数差動変換器（ＬＶＤＴ）型位置センサとを示
す、本発明の試験室の好ましい実施態様の概略図の断面
図であり、第５Ｂ図は、位置センサのための鉛直移動装
置と水平移動装置上に置かれた摺動自在の試験室引き出
しとを示す、本発明の試験室のもう１つの実施！！３様
の概略図の断面図であり、 第６図は、試験台装置と中央プログラミング装置とオペ
レーターコンソール装置とを示す、本発明の試験装置シ
ステムのブロック回路図の系統図であり、 第７図は、密閉パッケージのハーメチックシール完全性
の試験に於て実施される種々の工程を部分的に示し、か
つそれから得られた結果を示す、本発明のマイクロコン
ピュータ実現に用いられるメインパッケージテスター（
システム）プログラムのための高レベルコンピュータプ
ログラミングフローチャートであり、 第８図は、第７図に示されたメインパッケージテスター
プログラム内に組み込まれる本発明のベーシックテスト
サブプログラムのための高レベルコンピュータプログラ
ミングフローチャートであり、 第９Ａ図は、垂直軸に沿って示される密閉試験パッケー
ジの可撓性表面の変位（すなわち膨張）の抜取りデータ
値と水平軸に沿って示される本発明の試験室の真空圧の
抜取りデータ値とを示す、空気漏洩の無い、ハーメチッ
クシールされた密閉試験パッケージのグラフ図であって
、全試験時間間隔にわたって計算され、該グラフ図に重
ねられた線形回帰関数をも示す図であり、 第９Ｂ図は、垂直軸に沿って示される試験パッケージの
可撓性表面の変位の抜取りデータ値と水平軸に沿って示
される本発明の試験室の真空圧の抜取りデータ値とを示
す、空気が漏洩するハーメチックシールされていない試
験パッケージのグラフ図であって、かつおのおのが分割
されたサブ時間間隔にわたって計算されている複数の線
形回帰関数をも示し、かつ相隣る線形回帰関数の傾斜の
変化がパッケージ変位の真空圧に対する依存性の離脱を
示すグラフ図である。 特許出願人　　ワーナーーランバート・コンパ二一 −Ｐ時間 一時間 １１３．５人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）少なくとも１つの半可撓性表面を有する密閉された
   試験パッケージを試験室内に入れる工程と、 試験サイクルの時間間隔にわたって、該試験室内の圧力
   を第１の値から第２の値へ徐々に変化させる工程と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該試験室内の圧力と該
   密閉試験パッケージの該半可撓性表面の変位との両方を
   測定する工程と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該試験室内の圧力に比
   例する第１アナログデータ信号と該密閉試験パッケージ
   の該半可撓性表面の変位に比例する第２アナログデータ
   信号とを発生させる工程と、 該第１アナログデータ信号と該第２アナログデータ信号
   とから相関関数を計算して、該密閉試験パッケージのハ
   ーメチックシールの完全性の尺度を与える工程と の工程系列からなる、パッケージおよび容器のハーメチ
   ックシールの完全性を試験する方法。 ２）該試験サイクルにわたって、該第１アナログデータ
   信号が該試験室内圧力に比例する第１離散データ系列に
   変換され、かつ該第２アナログデータ信号が該密閉試験
   パッケージの該半可撓性表面の変位に比例する第２離散
   データ系列へ変換されかつ該相関関数が相関推定値であ
   る、特許請求の範囲第１項記載のパッケージまたは容器
   のハーメチックシールの完全性を試験する方法。 ３）該相関推定値が該第１離散データ系列と第２離散デ
   ータ系列とから計算される相関係数である、特許請求の
   範囲第２項記載のパッケージまたは容器のハーメチック
   シールの完全性を試験する方法。 ４）該相関推定値が該第１離散データ系列と該第２離散
   データ系列とを統計的解析にかけることによって計算さ
   れ、該試験パッケージのハーメチックシールの完全性の
   尺度を与えるようになっている相関係数である、特許請
   求の範囲第３項記載のパッケージまたは容器のハーメチ
   ックシールの完全性を試験する方法。 ５）該試験サイクルの該時間間隔にわたって、該第１ア
   ナログデータ信号が第１離散データ系列へ変換されかつ
   該第２アナログデータ信号が第２離散データ系列へ変換
   され、かつ該第１および第２離散データ系列から回帰分
   析の原理に従って回帰関数が計算され、かつ該回帰関数
   が該第１および該第２離散データ系列に対してグラフに
   プロットされ、該第２離散データ系列の該第１離散デー
   タ系列への依存性の視覚指示を与えるようになっている
   、特許請求の範囲第１項記載のパッケージまたは容器を
   試験する方法。 ６）該試験室内圧力の該第１の値がその該第２の値より
   大きく、それによって該試験サイクルの該時間間隔中、
   該試験室内空間を真空状態に近づけさせ、かつ該試験パ
   ッケージの該半可撓性表面の該変位が該パッケージの膨
   張をもたらす、特許請求の範囲第１項記載のパッケージ
   または容器のハーメチックシールの完全性を試験する方
   法。 ７）試験室の圧力と該密閉試験パッケージの半可撓性表
   面の変位との両方の該測定工程の初期段階中、該方法が
   、 該試験パッケージの該半可撓性表面の連続膨張のための
   該第２アナログデータ信号を解析する工程と、 該半可撓性表面の該連続膨張の失敗を検知したとき該試
   験サイクルを停止させる工程と を含む、特許請求の範囲第６項記載のパッケージまたは
   容器のハーメチックシールの完全性を試験する方法。 ８）該半可撓性表面の連続膨張のための該第２アナログ
   信号の該解析が、 該試験サイクルの該時間間隔にわたって、該第２アナロ
   グデータ信号を第２離散データ系列へ変換させる工程と
   、 該第２離散データ系列を解析して該半可撓性表面の該連
   続膨張の失敗を検知する工程 とによって達成される、特許請求の範囲第７項記載のパ
   ッケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試
   験する方法。 ９）該試験サイクルの該時間間隔中、該方法が、該試験
   サイクル中、制御された圧力条件下に於ける該試験室の
   作動のために第１アナログデータ信号を解析することを
   含む、特許請求の範囲第１項記載のパッケージまたは容
   器のハーメチックシールの完全性を試験する方法。 １０）制御された圧力条件下に於ける該試験室の作動の
   ための該第１アナログデータ信号の解析が、該試験サイ
   クルの該時間間隔中、該第１アナログデータ信号を第１
   離散データ系列へ変換させる工程と、 予め定義された複数の限界圧力値を該第１離散データ系
   列の対応値と比較する工程と、 該限界圧力値の１つが該第１離散データ系列の該対応値
   のいずれか１つに等しいかまたはそれを越えるものでな
   いことが起こったとき、該試験サイクルが制御された圧
   力条件下で作動されていないという指示として該試験サ
   イクルを停止させる工程と によって達成される、特許請求の範囲第９項記載のパッ
   ケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試験
   する方法。 １１）該試験サイクルの該時間間隔の初期段階中、該方
   法が、 該試験室内の圧力の連続的減少のための該第１アナログ
   データ信号を解析し、かつ、 該試験室内圧力の該連続的減少の失敗を検知したとき、
   該試験サイクルが制御された圧力条件下で作動されてい
   ないという指示として該試験サイクルを停止させること
   を含む、特許請求の範囲第６項記載のパッケージまたは
   容器のハーメチックシールの完全性を試験する方法。 １２）該相関係数値が次式 〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）（ｙ
   ＿ｋ−＠ｙ＠）〕／〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ
   ＿ｋ−＠ｘ＠）＾２■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｙ＿
   ｋ−＠ｙ＠）＾２）〕＾１＾／＾２（上記式中、１≦ｋ
   ≦Ｍに対するｘ＿ｋは該第１離散データ系列を示し、１
   ≦ｋ≦Ｍに対するｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示し
   、＠ａ＠および＠ｙ＠は、それぞれｘ＿ｋおよびｙ＿ｋ
   の平均値を示す。） によって計算される、特許請求の範囲第３項記載のパッ
   ケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試験
   する方法。 １３）該相関係数値が次式 ［〔Ｍ・■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−ｙ＿ｋ
   ）〕−〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ・■＾ｋ＾
   ＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ〕］／［〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ
   ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ＾２−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿
   １ｘ＿ｋ）＾２〕・〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ
   ＿ｋ＾２−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ）＾２
   〕］＾１＾／＾２〔上記式中、１≦ｋ≦Ｍに対するｘ＿
   ｋは第１離散データ系列を示し、１≦ｋ≦Ｍに対する ｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示す。〕 によって計算される、特許請求の範囲第３項記載のパッ
   ケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試験
   する方法。 １４）少なくとも１つの半可撓性表面を有する密閉され
   た試験パッケージを中に入れることができる試験室と、 試験サイクルの時間間隔中、該試験室内圧力を第１値か
   ら第２値へ変化させるための手段と、該時間間隔中、該
   試験室内圧力を測定し、かつ該圧力に比例する第１信号
   を発生させる手段と、 該時間間隔中、該半可撓性表面の変位を測定しかつ該変
   位に比例する第２データ信号を発生させる手段と、 第１データ信号と該第２データ信号とから相関関数を計
   算して、該密閉試験パッケージのハーメチックシールの
   完全性の尺度を与える手段と からなる、パッケージまたは容器のハーメチックシール
   の完全性の試験装置。 １５）該第１データ信号が第１アナログデータ信号であ
   りかつ該第２データ信号が第２アナログデータ信号であ
   る、特許請求の範囲第１４項記載のパッケージまたは容
   器のハーメチックシールの完全性を試験する装置。 １６）該装置が該試験サイクルの該時間間隔中、第１デ
   ータ信号と第２データ信号のおのおのを抽出して、それ
   ぞれ第１離散データ系列と第２離散データ系列とを発生
   させる手段をも含む、特許請求の範囲第１４項記載のパ
   ッケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試
   験する装置。 １７）該相関関数が該第１離散データ系列と第２離散デ
   ータ系列とから計算される相関推定値であって、該密閉
   試験パッケージのハーメチックシールの完全性の統計的
   尺度を与えるようになっている。特許請求の範囲第１６
   項記載のパッケージまたは容器のハーメチックシールの
   完全性を試験する装置。 １８）該相関係数が次式 〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）（ｙ
   ＿ｋ−＠ｙ＠）〕／〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ
   ＿ｋ−＠ｘ＠）＾２■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｙ＿
   ｋ−＠ｙ＠）＾２〕＾１＾／＾２〔上記式中、１≦ｋ≦
   Ｍに対するｘ＿ｋは該第１離散データ系列を示し、かつ
   １≦ｋ≦Ｍに対するｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示
   し、かつ＠ｘ＠および＠ｙ＠は、それぞれｘ＿ｋおよび
   ｙ＿ｋの平均値を示す。〕 によって計算される、特許請求の範囲第１７項記載のパ
   ッケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試
   験する装置。 １９）該相関係数が次式 ［〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ・ｙ＿ｋ〕−
   〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ・■＾ｋ＾＝＾Ｍ
   ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ〕］／［〔Ｍ（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ
   ＿＝＿１ｘ＿ｋ＾２）−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１
   ｘ＿ｋ）＾２〕・〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿
   ｋ＾２−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ）＾２〕
   ］＾１＾／＾２（上記式中、１≦ｋ≦Ｍに対するｘ＿ｋ
   は該第１離散データ系列を示し、かつ１≦ｋ≦Ｍに対す
   るｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示す。）によって計
   算される、特許請求の範囲第１７項記載のパッケージま
   たは容器のハーメチックシールの完全性を試験する方法
   。 ２０）該試験室が、 基底と壁と頂部パネルと開放位置および閉鎖位置を有す
   る蝶番ドアとを有する封包物と、該蝶番ドアの開閉に応
   じて、該半可撓性表面に対する該変位の該測定手段を調
   整するためのカンチレバー原理機構とからなり、該蝶番
   ドアが該閉鎖位置にあるときには該変位の該測定手段が
   該半可撓性表面より上の位置へ下げられ、かつ該蝶番ド
   アが該開放位置にあるときには該変位の該測定手段が該
   半可撓性表面より実質的に上方へ上げられる、特許請求
   の範囲第１４項記載のパッケージまたは容器のハーメチ
   ックシールの完全性を試験する装置。 ２１）該試験室が、 基底と壁と頂部パネルと前面引出しパネルとを有する封
   包物と、 該前面引出しパネルに取付けられた摺動自在の引出しと
   、 該摺動自在引出しがそれに取付けられかつ該摺動自在引
   出しがそれに沿って走行して、該試験室中への該試験パ
   ッケージの外部挿入と該試験パッケージの該半可撓性表
   面に対する該変位の該測定手段の内部位置調整とを可能
   にする水平並進装置と からなる、特許請求の範囲第１４項記載のパッケージま
   たは容器のハーメチックシールの完全性を試験する装置
   。 ２２）該半可撓性表面の変位の該連続測定手段が、円筒
   形コイルとコアロッドとを有する線形変数差動変圧器と
   、 該コアロッドの１端に取付けられた試験プローブと からなる、特許請求の範囲第１４項記載のパッケージま
   たは容器のハーメチックシールの完全性を試験する装置
   。 ２３）少なくとも１つの半可撓性表面を有する密閉され
   た試験パッケージを中に受入れることができる試験室と
   、 試験サイクルの時間間隔中、該試験室内圧力を第１の値
   から第２の値へ変化させる手段と、該時間間隔中、試験
   室内圧力を測定し、かつ該圧力に比例する第１アナログ
   データ信号を発生させる手段と、 該試験室内にあって、該時間間隔中、該半可撓性表面の
   変位を測定し、かつ該変位に比例する第２アナログデー
   タ信号を発生させる手段と、該時間間隔中、該第１およ
   び第２アナログデータ信号のおのおのを抜取って、それ
   ぞれ該信号から第１離散データ系列および第２離散デー
   タ系列を生成する手段と、 線形回帰分析の原理に従って、該第１離散データ系列と
   該第２離散データ系列とから少なくとも１つの回帰関数
   を計算する手段と、 該回帰関数を該第１および第２離散データ系列に対して
   プロットしかつ視覚表示して、該第１離散データ系列に
   対する該第２離散データ系列の統計的依存性と該試験パ
   ッケージの排気が起こる試験室圧力値との視覚指示を与
   えるようにする手段と、 からなるパッケージまたは容器のハーメチックシールの
   完全性を試験する装置。 ２４）該回帰関数が、 Ｙ＝Ｅ＿ｙ（ｘ＿ｋ）＝ａ＋ｂｘ＿ｋ 〔上記式中、Ｅ＿ｙ（ｘ＿ｋ）は与えられたｘに対する
   ｙの条件つき期待値であり、かつａおよびｂは次式 ａ＝（１／Ｍ）■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ−ｂ
   ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝１ｘ＿ｋｂ＝〔■＾ｋ＾＝＾１
   ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）（ｙ＿ｋ−＠ｙ＠）〕
   ／〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）＾
   ２〕（上記式中、＠ｘ＠および＠ｙ＠はそれぞれｘおよ
   びｙの平均値である。） から計算される回帰係数である。〕 の形である。特許請求の範囲第２３項記載のパッケージ
   または容器のハーメチックシールの完全性を試験する装
   置。 ２５）少なくとも１つの第１変数と第２変数とを特徴と
   しかつその少なくとも１つがランダム変数である機械的
   システムを、試験サイクルの時間間隔中、観察する工程
   と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該機械的システムの該
   第１変数と該第２変数との両方を測定する工程と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該第１変数の瞬間値に
   比例する第１アナログデータ信号と該第２変数の瞬間値
   に比例する第２アナログデータ信号とを発生させる工程
   と、 該第１アナログデータ信号と該第２アナログデータ信号
   とから相関関数を計算して該機械的システムの物理的性
   質の尺度を与えるようにする工程と の工程系列からなる、少なくとも１つの第１変数と第２
   変数とを特徴としかつその少なくとも１つがランダム変
   数である機械的システムの物理的性質を試験する方法。 ２６）該試験サイクル中ずっと、該第１アナログデータ
   信号が該第１変数の瞬間値に比例する第１離散データ系
   列へ変換され、かつ該第２アナログデータ信号が該第２
   変数の該瞬間値に比例する第２離散データ系列へ変換さ
   れ、かつ該相関関数が相関推定値である、特許請求の範
   囲第２５項記載の機械的システムの物理的性質を試験す
   る方法。 ２７）該相関見積が該第１離散データ系列と該第２離散
   データ系列とから計算された相関係数である、特許請求
   の範囲第２６項記載の機械的システムの物理的性質を試
   験する方法。 ２８）該相関推定値が該第１離散データ系列と第２離散
   データ系列とを統計的解析にかけて、該機械的システム
   の物理的性質の統計的尺度を与えるようにすることによ
   って計算された相関係数である、特許請求の範囲第２７
   項記載の機械的システムの物理的性質を試験する方法。 ２９）該時間間隔中、該第１アナログデータ信号が第１
   離散データ系列へ変換され、かつ該第２アナログデータ
   信号が第２離散データ系列へ変換され、かつ回帰分析の
   原理に従って、回帰関数が該第１および第２離散データ
   系列から計算され、かつ該回帰関数を該第１および該第
   ２離散データ系列に対してグラフ的にプロットして、該
   第１離散データ系列に対する該第２離散データ系列の依
   存性の視覚指示を与えるようにする、特許請求の範囲第
   ２５項記載の物理的システムの物理的性質を試験する方
   法。 ３０）該相関係数が次式 〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）（ｙ
   ＿ｋ−＠ｙ＠）〕／〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ
   ＿ｋ−＠ｘ＠）＾２■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｙ＿
   ｋ−＠ｙ＠）＾２〕＾１＾／＾２〕（上記式中、１≦ｋ
   ≦Ｍに対するｘ＿ｋは該第１離散データ系列を示し、１
   ≦ｋ≦Ｍに対するｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示し
   、かつ＠ｘ＠および＠ｙ＠は、それぞれｘ＿ｋおよびｙ
   ＿ｋの平均値を示す。） によって計算される、特許請求の範囲第２７項記載の機
   械的システムの物理的性質を試験する方法。 ３１）該相関係数が次式 ［〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋｙ＿ｋ〕−〔
   ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｙ・■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿
   ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ〕］／｛［Ｍ（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿
   ＝＿１ｘ＿ｋ＾２）−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ
   ＿ｋ）＾２〕・〔Ｍ（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿
   ｋ＾２）−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ）＾２
   〕］＾１＾／＾２〔上記式中、１≦ｋ≦Ｍに対するｘ＿
   ｋは該第１離散データ系列を示し、かつ１≦ｋ≦Ｍに対
   するｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示す。〕によって
   計算される、特許請求の範囲第２７項記載のシステムの
   物理的性質を試験する方法。 ３２）試験サイクルの時間間隔中、少なくとも１つの第
   １変数と第２変数とを特徴とし、かつその少なくとも１
   つがランダム変数である機械的システムを観察できるよ
   うにする手段と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該第１変数を測定しか
   つ該変数に比例する第１データ信号を発生する手段と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該第２変数を測定し、
   該変数に比例する第２データ信号を発生する手段と、 該第１データ信号と該第２データ信号とから相関関数を
   計算して、該機械的システムの物理的性質の尺度を与え
   るようにする手段と からなる、少なくとも１つの第１変数と第２変数とを特
   徴とし、かつその少なくとも１つがランダム変数である
   機械的システムの物理的性質を試験する装置。 ３３）該第１データ信号が第１アナログデータ信号であ
   りかつ該第２データ信号が第２アナログデータ信号であ
   る、特許請求の範囲第３２項記載の機械的システムの物
   理的性質を試験する装置。 ３４）該装置が該試験サイクルの該時間間隔中、該第１
   および第２データ信号のおのおのを抜取って、それぞれ
   第１離散データ系列と第２離散データ系列とを生成する
   手段をも含む、特許請求の範囲第３２項記載の機械的シ
   ステムの物理的性質を試験する装置。 ３５）該相関関数が該第１離散データ系列と該第２デー
   タ系列とから、該密閉試験パッケージのハーメチックシ
   ールの完全性の統計的尺度を与えるように計算される相
   関推定値である、特許請求の範囲第３４項記載の機械的
   システムの物理的性質を試験する装置。 ３６）該相関推定値が次式 〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）（ｙ
   ＿ｋ−＠ｙ＠）〕／［〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（
   ｘ＿ｋ−＠ｘ＠）＾２■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｙ
   ＿ｋ−＠ｙ＠）＾２〕＾１＾／＾２］〔上記式中、１≦
   ｋ≦Ｍに対するｘ＿ｋは該第１離散データ系列を示し、
   かつ１≦ｋ≦Ｍに対するｙ＿ｋは該第２離散データ系列
   を示し、かつ＠ｘ＠および＠ｙ＠は、それぞれｘ＿ｋお
   よびｙ＿ｋの平均値を示す。〕 によって計算される相関係数である、特許請求の範囲第
   ３８項記載の機械的システムの物理的性質を試験する装
   置。 ３７）該相関係数が次式 ［〔Ｍ・■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−ｙ＿ｋ
   ）〕−〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ・■＾ｋ＾
   ＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ〕］／｛［〔Ｍ■＾Ｋ＾＝＾
   Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋ＾２−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝
   ＿１ｘ＿ｋ）＾２〕・〔Ｍ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１
   ｙ＿ｋ＾２−（■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ）＾
   ２〕］＾１＾／＾２｝〔上記式中、１≦ｋ≦Ｍに対する
   ｘ＿ｋは該第１離散データ系列を示し、かつ１≦ｋ≦Ｍ
   に対するｙ＿ｋは該第２離散データ系列を示す。〕によ
   って計算される、特許請求の範囲第３８項記載の機械的
   システムの物理的性質を試験する装置。 ３８）試験サイクルの時間間隔中、少なくとも１つの第
   １変数と第２変数とを特徴とし、かつその少なくとも１
   つがランダム変数である機械的システムを観察可能にす
   る手段と、 該試験サイクルの該時間間隔中、該第１変数を測定し、
   かつ該変数に比例する第１データ信号を発生する手段と
   、 該試験サイクルの該時間間隔中、該第２変数を測定し、
   かつ該変数に比例する第２データ信号を発生する手段と
   、 該時間間隔中、該第１および第２データ信号のおのおの
   を抜取って、それぞれ該信号から第１離散データ系列お
   よび第２離散データ系列を生成させる手段と、 該第１離散データ系列と該第２離散データ系列とから、
   回帰分析の原理によって少なくとも１つの回帰関数を計
   算する手段と、 該回帰関数を該第１および該第２離散データ系列に対し
   てプロットしかつ視覚表示して、該第１離散データ系列
   に対する該第２離散データ系列の統計的依存性、ならび
   に該試験パッケージの排気が起こる試験室圧力値の視覚
   指示を与えるようにする手段と からなる、少なくとも１つの第１変数と第２変数とを特
   徴とし、かつその少なくとも１つがランダム変数である
   機械的システムの物理的性質を試験する装置。 ３９）該回帰関数が Ｙ＝Ｅ＿ｙ（ｘ＿ｋ）＝ａ＋ｂｘ＿ｋ 〔上記式中、Ｅ＿ｙ（ｘ＿ｋ）は与えられたｘに対する
   ｙの条件つき期待値であり、かつａおよびｂは次式 ａ＝（１／Ｍ）■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｙ＿ｋ−ｂ
   ・（１／Ｍ）■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１ｘ＿ｋｂ＝〔
   ■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−ｘ）（ｙ＿ｋ−
   ＠ｙ＠）〕／〔■＾ｋ＾＝＾Ｍ＿ｋ＿＝＿１（ｘ＿ｋ−
   ＠ｘ＠）＾２〕（上記式中、＠ｘ＠および＠ｙ＠は、そ
   れぞれｘおよびｙの平均値である。） から計算される回帰係数である。〕 の形である、特許請求の範囲第３８項記載の機械的シス
   テムの物理的性質を試験する装置。 ４０）該試験室が、 該半可撓性表面の変位を測定する手段がプローブを有す
   る位置センサである、特許請求の範囲第１４項記載のパ
   ッケージまたは容器のハーメチックシールの完全性を試
   験する装置。 ４１）基底と、壁と、頂部パネルと、開放位置と閉鎖位
   置とを有する蝶番ドアとを有する封包物と、該半可撓性
   表面に対する該プローブのコース位置調整のための手段
   および、 該半可撓性表面に対する該プローブの微細位置調整手段
   と を有する位置センサ位置調整機構とからなる、特許請求
   の範囲第４０項記載のパッケージまたは容器のハーメチ
   ックシールの完全性を試験する装置。 ４２）該コース位置調整手段が、 該蝶番ドアの開閉に応じて、該半可撓性表面に対して該
   プローブを調整するためのカンチレバー原理機構を含み
   、かつ該蝶番ドアが該閉鎖位置にあるときには該位置セ
   ンサが該半可撓性表面より上の位置へ下げられ、かつ該
   蝶番ドアが該開放位置にあるときには該変位測定手段が
   該半可撓性表面より実質的に上へ持ち上げられる、特許
   請求の範囲第４１項記載のパッケージまたは容器のハー
   メチックシールの完全性を試験する装置。 ４３）該微細位置調整手段が、 該位置センサがそれに取付けられかつ該位置センサがそ
   れから鉛直に配置されるプラットホームと、 該プラットホームがそれに取付けられ、かつそれと共に
   該位置センサが高度に精密にかつ制御されて上方向およ
   び下方向へ鉛直に移動させられる昇降機構と からなるプラットホーム移動装置である、特許請求の範
   囲第４１項記載のパッケージまたは容器のハーメチック
   シールの完全性を試験する装置。 ４４）該昇降機構が、 リードスクリューを支持する取付具と、 該リードスクリューに沿って移動することができかつ該
   位置センサがそれに取付けられているプラットホーム従
   動部と、 該リードスクリューに連結されかつ微細位置制御信号に
   応じて回転して該位置センサの微細プローブ位置調整を
   与えることができるステップ電動機と からなる、特許請求の範囲第４３項記載のパッケージま
   たは容器のハーメチックシールの完全性を試験する装置
   。 ４５）少なくとも１つの半可撓性表面を有する密閉され
   た試験パッケージを試験室内に入れる工程と、 試験サイクルの時間間隔中、該試験室内圧力を第１の値
   から第２の値へ徐々に変化させ、かつ、 該試験サイクルの該時間間隔中、該試験室内圧力と該密
   閉試験パッケージの該半可撓性表面の変位との両方を測
   定し、かつ、 該試験サイクルの該時間間隔中、該試験室内圧力に比例
   する第１アナログデータ信号と該密閉試験パッケージの
   該半可撓性表面の変位に比例する第２アナログデータ信
   号とを発生する工程と、 該第１アナログデータ信号を該試験室内圧力に比例する
   第１離散データ系列へ変換し、かつ、該第２アナログデ
   ータ信号を該試験パッケージの該半可撓性表面の変位に
   比例する第２離散データ系列へ変換する工程と、 該第１離散データ系列を第１の複数のサブ系列へ分割す
   ることと、 第２離散データ系列を第２の複数のサブ系列へ分割し、
   その該第１複数の該サブ系列のおのおのがその該第２複
   数のサブ系列に対応しかつ長さが等しいことと、 おのおのの対応する第１および第２サブ系列の線形回帰
   関数の少なくとも１つの回帰係数を計算することと、 該対応する第１および第２サブ系列の相隣る線形回帰関
   数の該回帰係数を比較することとを含む該第１離散デー
   タ系列に対する該第２離散データ系列の分割型回帰分析
   を行う工程との工程系列からなり 何らかの真空圧力に於ける、パッケージ変位の真空圧力
   減少への依存性を決定し、それによってそれから該試験
   パッケージのハーメチックシールの完全性の尺度を与え
   るようにする、パッケージまたは容器のハーメチックシ
   ールの完全性を試験する方法。