JPS63200009A - 複数部位測定装置 - Google Patents
複数部位測定装置Info
- Publication number
- JPS63200009A JPS63200009A JP3244787A JP3244787A JPS63200009A JP S63200009 A JPS63200009 A JP S63200009A JP 3244787 A JP3244787 A JP 3244787A JP 3244787 A JP3244787 A JP 3244787A JP S63200009 A JPS63200009 A JP S63200009A
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- JP
- Japan
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- measuring
- measurement
- positioning
- area
- workpiece
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は複数の測定部位を有するワークに対して、効率
的な測定を行なうことができる複数部位測定装置に関す
る。
的な測定を行なうことができる複数部位測定装置に関す
る。
（従来技術）
一般に量産品の機械加工工場においては、加工済のワー
クに対して、抜取検知によってあらかじめ定められた部
位の寸法を測定している。ところで、上記ワークが複数
の測定部位を有している場合には、例えば実開昭５９−
２７４０４号公報に開示されているように、ワークを固
定する定盤の周囲に、上記複数の測定部位の測定に用い
られる複数の異なる測定器具を固定して測定を行なうこ
とが知られている。
クに対して、抜取検知によってあらかじめ定められた部
位の寸法を測定している。ところで、上記ワークが複数
の測定部位を有している場合には、例えば実開昭５９−
２７４０４号公報に開示されているように、ワークを固
定する定盤の周囲に、上記複数の測定部位の測定に用い
られる複数の異なる測定器具を固定して測定を行なうこ
とが知られている。
しかしながら、このような複数部位測定装置は、ワーク
の定盤に対する取付および取外しが面倒なため、作業性
が悪く、しがも狭い場所に多くの測定器具を設置するの
が困難なため、数多くの測定部位を有するワークに対し
ては灯心が不可能な場合が多く、さらに装置全体が’ｐ
ｘ雑がっ大型化する問題があった。
の定盤に対する取付および取外しが面倒なため、作業性
が悪く、しがも狭い場所に多くの測定器具を設置するの
が困難なため、数多くの測定部位を有するワークに対し
ては灯心が不可能な場合が多く、さらに装置全体が’ｐ
ｘ雑がっ大型化する問題があった。
（発明の目的）
そこで本発明は、ワークが多数の測定部位を有する場合
であっても、きわめて作業性良く測定を行なうことがで
き、しかも全体構成の単純化かつ小型化を可能にした複
数部位測定装置を提供することを目的とする。
であっても、きわめて作業性良く測定を行なうことがで
き、しかも全体構成の単純化かつ小型化を可能にした複
数部位測定装置を提供することを目的とする。
（発明の構成）
本発明による複数部位測定装置では、複数の測定部位を
有するワークは、基台上に回転可能かつ回転位置割出し
可能に設けられたｉ！ｌ！置台上に載置される。上記ワ
ークの各測定部位の測定に用いられる複数の゛測定器具
はそれぞれユニット化されており、上記載置台の一側に
測定ユニット位置決めエリアが設けられ、さらにこれら
複数の測定ユニットをプールして置くためのストックエ
リアが上記測定ユニット位置決めエリアに連接して設け
られる。そして上記ストックエリアに、複数の測定ユニ
ットを上記測定ユニット位置決めエリアに出入可能に配
置するとともに、上記測定ユニット位置決めエリアに、
上記測定ユニットを位置決めするための位置決め手段を
設けたことを特徴とする。
有するワークは、基台上に回転可能かつ回転位置割出し
可能に設けられたｉ！ｌ！置台上に載置される。上記ワ
ークの各測定部位の測定に用いられる複数の゛測定器具
はそれぞれユニット化されており、上記載置台の一側に
測定ユニット位置決めエリアが設けられ、さらにこれら
複数の測定ユニットをプールして置くためのストックエ
リアが上記測定ユニット位置決めエリアに連接して設け
られる。そして上記ストックエリアに、複数の測定ユニ
ットを上記測定ユニット位置決めエリアに出入可能に配
置するとともに、上記測定ユニット位置決めエリアに、
上記測定ユニットを位置決めするための位置決め手段を
設けたことを特徴とする。
（発明の効果）
本発明によれば、ワークが回転可能かつ回転位置割出し
可能な載置台上に裁置されているため、ワークのすべて
の測定部位を迅速に測定ユニット位置決めエリア側に向
けることができ、この選択された測定部位を測定するた
めの測定ユニットのみをストックエリアから測定ユニッ
ト位置決めエリアに移動させ、そこに位置決めして測定
を行なうことができるから、ワークの測定部位が多数で
ある場合でも、測定作業の作業性を飛躍的に向上させる
ことができ、しかも装置全体の単純化および小型化を実
現できる利点がある。
可能な載置台上に裁置されているため、ワークのすべて
の測定部位を迅速に測定ユニット位置決めエリア側に向
けることができ、この選択された測定部位を測定するた
めの測定ユニットのみをストックエリアから測定ユニッ
ト位置決めエリアに移動させ、そこに位置決めして測定
を行なうことができるから、ワークの測定部位が多数で
ある場合でも、測定作業の作業性を飛躍的に向上させる
ことができ、しかも装置全体の単純化および小型化を実
現できる利点がある。
（実 施 例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明による複数部位測定装置の平面図を示し
、１は基台２上に回転可能に設けられたワーク！３！置
台、３はこのワーク載置台ｌの一側に設けられた測定ユ
ニット位置決めエリア、４．５は測定ユニット位置決め
エリア３の左右に連接して設けられたストックエリアで
ある。ワーク！５！ｚ台ｌの中央にはコレットチャック
６が同軸的に設けられ、ワークＷをクランプしている。
、１は基台２上に回転可能に設けられたワーク！３！置
台、３はこのワーク載置台ｌの一側に設けられた測定ユ
ニット位置決めエリア、４．５は測定ユニット位置決め
エリア３の左右に連接して設けられたストックエリアで
ある。ワーク！５！ｚ台ｌの中央にはコレットチャック
６が同軸的に設けられ、ワークＷをクランプしている。
このコレットチャック６は、第３図の断面図に示されて
いるように、テーパ面を備えたクランプロッド７の上下
移動により、張り駒８を拡張させてワークＷの内径部分
を係止するような公知の構造を有するものである。ワー
ク載置台１とともに回転されるワークＷは、予め設定さ
れた９ケ所余りの測定部位を５つの回転位置の選択にお
いて測定されるように構成されており、そのため、ワー
ク載置台ｌの底面に接する基台２上に、ワーク載置台１
の外周に沿って５個の回転位置割出し孔９ａ〜９ｅが配
置され、これに対応して、第３図から明らかなように、
ワークｒｉａ１台１を上下に貫通し、かつスプリング■
０のばね力によって下方へ向って付勢された、位置決め
ピン１１が上下方向に摺動可能に取付けられている。こ
の位置決めピン１１を把持してスプリング１０の付勢力
に抗して上方に引上げればこの位置決めピン１１の先端
がワーク載置台ｌの底面より引込むから、ワーク載置台
１を回動させることが可能であるが、この位置決めピン
１１を５個の回転位置割出し孔９ａ〜９ｅのうちの１つ
に位置合せして手を離せば、位置決めピン１１が回転位
置割出し孔９ａ〜９ｅのうちの１つに係合して、ワーク
載置台１が所要位置に固定される。なお、第１図は位置
決めピン１１が回転位置割出し孔９ｂに係合した状態で
のワークＷの位置を示しており、また第２図は位置決め
ピン１１が回転位置割出し孔９ｄに係合した状態でのワ
ークＷの位置を示している。
いるように、テーパ面を備えたクランプロッド７の上下
移動により、張り駒８を拡張させてワークＷの内径部分
を係止するような公知の構造を有するものである。ワー
ク載置台１とともに回転されるワークＷは、予め設定さ
れた９ケ所余りの測定部位を５つの回転位置の選択にお
いて測定されるように構成されており、そのため、ワー
ク載置台ｌの底面に接する基台２上に、ワーク載置台１
の外周に沿って５個の回転位置割出し孔９ａ〜９ｅが配
置され、これに対応して、第３図から明らかなように、
ワークｒｉａ１台１を上下に貫通し、かつスプリング■
０のばね力によって下方へ向って付勢された、位置決め
ピン１１が上下方向に摺動可能に取付けられている。こ
の位置決めピン１１を把持してスプリング１０の付勢力
に抗して上方に引上げればこの位置決めピン１１の先端
がワーク載置台ｌの底面より引込むから、ワーク載置台
１を回動させることが可能であるが、この位置決めピン
１１を５個の回転位置割出し孔９ａ〜９ｅのうちの１つ
に位置合せして手を離せば、位置決めピン１１が回転位
置割出し孔９ａ〜９ｅのうちの１つに係合して、ワーク
載置台１が所要位置に固定される。なお、第１図は位置
決めピン１１が回転位置割出し孔９ｂに係合した状態で
のワークＷの位置を示しており、また第２図は位置決め
ピン１１が回転位置割出し孔９ｄに係合した状態でのワ
ークＷの位置を示している。
一方、測定ユニット位置決めエリア３の左右に連接して
設けられているストックエリア４．５には、ワークＷの
多数の測定部位の測定のためにそれぞれ用いられる例え
ば６個の自立式測定ユニット１２八〜１２Ｆがフ゛−ル
されている。これら測定ユニノ）１２Ａ〜１２Ｆは、そ
れぞれ平坦な底面を有する比較的重量のある直方形の基
台１３上に、ワークＷの測定部位に対応して互いに異な
る形状を有して前方に延びるアーム１４を備えており、
これらアーム１４の先端に、各測定部位に対応した位置
および角度をもって、１つ乃至複数のダイヤルゲージ１
５が取付けられている。各測定ユニット１２Ａ−１２Ｆ
の基台１３の前端には、測定ユニット位置決めエリア３
に設けられている後述するような溝２０に対してあり面
をなすように傾斜面１３ａが形成されている。また、基
台１３の後端には、１つ乃至複数の位置決め用ノツチ１
６が設けられている。ストックエリア４．５の上面には
、測定ユニット１２Ａ〜１２Ｆをスライドさせるための
多数のスライドボール１７が植設されており、ａｔｂｔ
ユニット１２Ａ〜１２Ｆのストックエリア４．５上での
移動および測定ユニット位置決めエリア３への出入を容
易にしている。なお、第１図では、６個の測定ユニット
１２Ａ〜１２Ｆのうち、３個のみが画かれており、他は
省略されている。そして第１図は、使用済みの測定ユニ
ット１２Ａが測定ユニット位置決めエリア３からストッ
クエリア５に排除され、測定ユニット１２Ｂが測定ユニ
ット位置決めエリア３に位置決めされ、測定ユニット１
２Ｄはストックエリア４で待機している状態を示してい
る。また、第２図、第３図は、測定ユニッ）１２Ｄが測
定ユニット位置決めエリア３に位置決めされた状態を示
している。
設けられているストックエリア４．５には、ワークＷの
多数の測定部位の測定のためにそれぞれ用いられる例え
ば６個の自立式測定ユニット１２八〜１２Ｆがフ゛−ル
されている。これら測定ユニノ）１２Ａ〜１２Ｆは、そ
れぞれ平坦な底面を有する比較的重量のある直方形の基
台１３上に、ワークＷの測定部位に対応して互いに異な
る形状を有して前方に延びるアーム１４を備えており、
これらアーム１４の先端に、各測定部位に対応した位置
および角度をもって、１つ乃至複数のダイヤルゲージ１
５が取付けられている。各測定ユニット１２Ａ−１２Ｆ
の基台１３の前端には、測定ユニット位置決めエリア３
に設けられている後述するような溝２０に対してあり面
をなすように傾斜面１３ａが形成されている。また、基
台１３の後端には、１つ乃至複数の位置決め用ノツチ１
６が設けられている。ストックエリア４．５の上面には
、測定ユニット１２Ａ〜１２Ｆをスライドさせるための
多数のスライドボール１７が植設されており、ａｔｂｔ
ユニット１２Ａ〜１２Ｆのストックエリア４．５上での
移動および測定ユニット位置決めエリア３への出入を容
易にしている。なお、第１図では、６個の測定ユニット
１２Ａ〜１２Ｆのうち、３個のみが画かれており、他は
省略されている。そして第１図は、使用済みの測定ユニ
ット１２Ａが測定ユニット位置決めエリア３からストッ
クエリア５に排除され、測定ユニット１２Ｂが測定ユニ
ット位置決めエリア３に位置決めされ、測定ユニット１
２Ｄはストックエリア４で待機している状態を示してい
る。また、第２図、第３図は、測定ユニッ）１２Ｄが測
定ユニット位置決めエリア３に位置決めされた状態を示
している。
測定ユニット位置決めエリア３は、各測定ユニソ）１２
Ａ−１２Ｆの基台１３と係合し、かつ左右のストックエ
リア４．５を接続する溝２０を形成した部材２１によっ
て構成されており、この溝２０の平坦な底面２０ａはス
トックエリア４．５の−ｌ二面とほぼ同一平面上にある
。溝２０のワーク載置台ｌ側の縁部２２はあり面を形成
しており、また、ワーク載置台１側とは反対側の縁部２
３には、３木の位置決めピン２４ａ〜２４ｃがこの８（
部２３に対して直角かつ水平に取付けられている。
Ａ−１２Ｆの基台１３と係合し、かつ左右のストックエ
リア４．５を接続する溝２０を形成した部材２１によっ
て構成されており、この溝２０の平坦な底面２０ａはス
トックエリア４．５の−ｌ二面とほぼ同一平面上にある
。溝２０のワーク載置台ｌ側の縁部２２はあり面を形成
しており、また、ワーク載置台１側とは反対側の縁部２
３には、３木の位置決めピン２４ａ〜２４ｃがこの８（
部２３に対して直角かつ水平に取付けられている。
これら位置決めピン２４ａ〜２４Ｃも、ｆａｉｒ述した
位置決めピン１１と同様の構成を有し、スプリング２５
（第３図参照）のばね力によってワーク載置台１側に
付勢され、この位で決めピン２４ａ〜２４Ｃのうちの１
つの先細の先端部２６が測定ユニット位置決めエリア３
に搬入された測定ユニット１２Δ〜１２Ｆの基台１３の
ノツチ１６に係合することにより、測定ユニット１２Ａ
−１２Ｆをワーク載置台１側に押圧した状態で位置決め
するようになっている。そしてこれら位置決めピン２４
ａ〜２４Ｃを手前に引けば、それらの先端２６が溝２０
の縁部２３内に引込むから、測定ユニソ）１２Ａ−１２
Ｆの測定ユニット位置決めエリア３への搬入およびこの
エリア３からの搬出は容易である。
位置決めピン１１と同様の構成を有し、スプリング２５
（第３図参照）のばね力によってワーク載置台１側に
付勢され、この位で決めピン２４ａ〜２４Ｃのうちの１
つの先細の先端部２６が測定ユニット位置決めエリア３
に搬入された測定ユニット１２Δ〜１２Ｆの基台１３の
ノツチ１６に係合することにより、測定ユニット１２Ａ
−１２Ｆをワーク載置台１側に押圧した状態で位置決め
するようになっている。そしてこれら位置決めピン２４
ａ〜２４Ｃを手前に引けば、それらの先端２６が溝２０
の縁部２３内に引込むから、測定ユニソ）１２Ａ−１２
Ｆの測定ユニット位置決めエリア３への搬入およびこの
エリア３からの搬出は容易である。
以上が本発明による複数部位測定装置の一実施例の構成
であるが、次にその動作の一側について説明する。
であるが、次にその動作の一側について説明する。
まず測定開始前は６個の測定ユニット１２Ａ〜１２Ｆが
すべてストックエリア４．５にプールされているものと
する。そしてワークＲ置台１を回動して、位置決めピン
１１を回転位置割出し孔９ａに係合させ、ワークＷに突
設されているアームＡを測定ユニット位置決めエリア３
側に向けた状態にワークＷをセットする。次に測定ユニ
ソｌ−１２Ａをストックエリア４または５から測定ユニ
ット位置決めエリア３に搬入し、この測定ユニット１２
Ａの基台１３に形成されている位置決め用ノツチＩ６に
中央の位置決めピン２４ｂの先端部２６を係合させて測
定ユニソ）１２Ａを測定位置に位置決めする。そしてア
ームＡに形成された孔３１に測定用の円柱状治具（図示
は省略）を嵌着し、測定ユニット＋２Ａに取付けられて
いるダイヤルゲージを用いて上記治具の周面に当てるこ
とにより、孔３１の位置を測定することができる。この
測定が終了すると、測定ユニット１２Ａをストックエリ
ア５に搬出する。
すべてストックエリア４．５にプールされているものと
する。そしてワークＲ置台１を回動して、位置決めピン
１１を回転位置割出し孔９ａに係合させ、ワークＷに突
設されているアームＡを測定ユニット位置決めエリア３
側に向けた状態にワークＷをセットする。次に測定ユニ
ソｌ−１２Ａをストックエリア４または５から測定ユニ
ット位置決めエリア３に搬入し、この測定ユニット１２
Ａの基台１３に形成されている位置決め用ノツチＩ６に
中央の位置決めピン２４ｂの先端部２６を係合させて測
定ユニソ）１２Ａを測定位置に位置決めする。そしてア
ームＡに形成された孔３１に測定用の円柱状治具（図示
は省略）を嵌着し、測定ユニット＋２Ａに取付けられて
いるダイヤルゲージを用いて上記治具の周面に当てるこ
とにより、孔３１の位置を測定することができる。この
測定が終了すると、測定ユニット１２Ａをストックエリ
ア５に搬出する。
次に、ワーク載置台ｌを反時計方向に回動して、位置決
めピン１１を回転位置割出し孔９ｂに係合させて、第１
図に示す状態とし、ストックエリア４また５から測定ユ
ニット１２Ｂを測定ユニット位置決めエリア３に搬入す
る。この測定ユニット°１２Ｂの基台１３には位置決め
用ノツチ１６が２個形成されており、この測定ユニット
１２Ｂを同じ中央の位置決めピン２４ｂに対して２ケ所
で位置決めすることが可能である。この測定ユニット１
２Ｂ”ｒ測定するのは、ワークＷの面Ｂに形成されてい
る２つの孔３２．３３の位置であり、これら孔３２．３
３に測定用治具３４を嵌着して、測定ユニット１２Ｂに
取付けられているダイヤルゲージ１５を治具３４の周面
に当てることにより、孔３２．３３の位置を測定するこ
とができる。またワークＷが第１図に示す位置にあると
きには、而Ｂの位置を測定することができるが、その場
合はこの測定ユニット１２Ｂの代りに他の測定ユニット
、例えば１２Ｆを測定ユニット位置決めエリア３に搬入
して、その測定ユニット１２Ｆに取付けられているダイ
ヤルゲージをこの面Ｂに当てればよい。
めピン１１を回転位置割出し孔９ｂに係合させて、第１
図に示す状態とし、ストックエリア４また５から測定ユ
ニット１２Ｂを測定ユニット位置決めエリア３に搬入す
る。この測定ユニット°１２Ｂの基台１３には位置決め
用ノツチ１６が２個形成されており、この測定ユニット
１２Ｂを同じ中央の位置決めピン２４ｂに対して２ケ所
で位置決めすることが可能である。この測定ユニット１
２Ｂ”ｒ測定するのは、ワークＷの面Ｂに形成されてい
る２つの孔３２．３３の位置であり、これら孔３２．３
３に測定用治具３４を嵌着して、測定ユニット１２Ｂに
取付けられているダイヤルゲージ１５を治具３４の周面
に当てることにより、孔３２．３３の位置を測定するこ
とができる。またワークＷが第１図に示す位置にあると
きには、而Ｂの位置を測定することができるが、その場
合はこの測定ユニット１２Ｂの代りに他の測定ユニット
、例えば１２Ｆを測定ユニット位置決めエリア３に搬入
して、その測定ユニット１２Ｆに取付けられているダイ
ヤルゲージをこの面Ｂに当てればよい。
次にワーク載置台ｌをさらに反時計方向に回動して、位
置決めビン１１を回転位置割出し孔９ｄに係合させて第
２図に示す状態とし、ストックエリア４から測定ユニッ
ト１２０を測定ユニット位置決めエリア３に搬入し、そ
の基台１３の位置決め用ノツチ１６に左右の位置決めビ
ン２４ａを係合させる。この測定ユニット１２Ｄで測定
するのは、ワークＷの部分Ｄ１およびＤ２にそれぞれ形
成された同径の孔３５．３６である。そしてまず部分Ｄ
１の孔３４に測定用治具３７を嵌着し、測定ユニット１
２Ｄのアーム１４の先端に取付けられているダイヤルゲ
ージ１５を治具３７の周面に当て孔３５の位置を測定す
る。次に測定ユニット１２Ｄを、第２図に鎖線で示され
ているように、位置決めビン２４ｃに係合する位置に移
し、治具３７を几３６に嵌着して孔３６の位置を測定す
る。
置決めビン１１を回転位置割出し孔９ｄに係合させて第
２図に示す状態とし、ストックエリア４から測定ユニッ
ト１２０を測定ユニット位置決めエリア３に搬入し、そ
の基台１３の位置決め用ノツチ１６に左右の位置決めビ
ン２４ａを係合させる。この測定ユニット１２Ｄで測定
するのは、ワークＷの部分Ｄ１およびＤ２にそれぞれ形
成された同径の孔３５．３６である。そしてまず部分Ｄ
１の孔３４に測定用治具３７を嵌着し、測定ユニット１
２Ｄのアーム１４の先端に取付けられているダイヤルゲ
ージ１５を治具３７の周面に当て孔３５の位置を測定す
る。次に測定ユニット１２Ｄを、第２図に鎖線で示され
ているように、位置決めビン２４ｃに係合する位置に移
し、治具３７を几３６に嵌着して孔３６の位置を測定す
る。
この測定が終了すれば、測定ユニット１２Ｄをストック
エリア４また５に搬出し、ワーク載置台ｌを回動してワ
ークＷの姿勢を変えるとともに、次の測定ユニットを測
定ユニット位置決めエリア３に搬入してワークＷのエリ
ア３に面した側の測定部位の測定を行えばよい。このよ
うにして、多数の測定部位を有するワークＷに対する測
定を能率良く行なうことができるのである。
エリア４また５に搬出し、ワーク載置台ｌを回動してワ
ークＷの姿勢を変えるとともに、次の測定ユニットを測
定ユニット位置決めエリア３に搬入してワークＷのエリ
ア３に面した側の測定部位の測定を行えばよい。このよ
うにして、多数の測定部位を有するワークＷに対する測
定を能率良く行なうことができるのである。
第１図は本発明による複数部位測定装置の平面図、第２
図はそのワーク載置台の第１図とは異なる回転位置での
測定状態を示す要部の平面図、第３図は第２図のｍ−ｍ
線に沿った縦断面図である。 １−ワーク載置台 ２−基台３−測定ユニッ
ト位置決めエリア ４．５−ストックエリア ６−コレラ斗チャック ７−クランブロンド ９ａ〜９ｅ−回転位置割出し孔 １１−位置決めビン １２Ａ〜１２ Ｉ）−測定ユニット １３−測定ユニットの基台 １４−−測定ユニットのアーム １５−ダイヤルゲージ １６−位置決め用ノツチ １７−スライトボール ２０−溝２２．２３−溝
の縁部 ２４ ａ〜２４ ｃ−位置決めビン ３４．３７−測定用治具
図はそのワーク載置台の第１図とは異なる回転位置での
測定状態を示す要部の平面図、第３図は第２図のｍ−ｍ
線に沿った縦断面図である。 １−ワーク載置台 ２−基台３−測定ユニッ
ト位置決めエリア ４．５−ストックエリア ６−コレラ斗チャック ７−クランブロンド ９ａ〜９ｅ−回転位置割出し孔 １１−位置決めビン １２Ａ〜１２ Ｉ）−測定ユニット １３−測定ユニットの基台 １４−−測定ユニットのアーム １５−ダイヤルゲージ １６−位置決め用ノツチ １７−スライトボール ２０−溝２２．２３−溝
の縁部 ２４ ａ〜２４ ｃ−位置決めビン ３４．３７−測定用治具
Claims (1)
- 複数の測定部位を有するワークを載置して回転可能かつ
回転位置割出し可能に基台上に設けられた載置台と、こ
の載置台の一側に配設された測定ユニット位置決めエリ
アと、この測定ユニット位置決めエリアに連接するスト
ックエリアとを備え、上記ストックエリアに、上記ワー
クの各測定部位の測定に用いられる複数の測定ユニット
を上記測定ユニット位置決めエリアに出入可能に配置す
るとともに、上記測定ユニット位置決めエリアに、上記
測定ユニットを測定位置に位置決めするための位置決め
手段を設けたことを特徴とする複数部位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244787A JPH07113539B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 複数部位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3244787A JPH07113539B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 複数部位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200009A true JPS63200009A (ja) | 1988-08-18 |
| JPH07113539B2 JPH07113539B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=12359219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3244787A Expired - Lifetime JPH07113539B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 複数部位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113539B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119340243A (zh) * | 2024-10-24 | 2025-01-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 测量装置及半导体工艺设备 |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP3244787A patent/JPH07113539B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119340243A (zh) * | 2024-10-24 | 2025-01-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 测量装置及半导体工艺设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07113539B2 (ja) | 1995-12-06 |
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