JPS63206301A - プレツシヤ−スイング吸着法による酸素製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はプレッシャースイング吸着法によって空気か
ら酸素ガスを分離製造ケる方法および装置に関するもの
である。

「従来の技術」 従来、ゼオライトなどの窒素を吸着する吸着剤を用いて
空気より酸素ガスを製造する、いわゆるプレッシャース
イング吸着法による酸素ガス製造方法が知られている。

第８図はこのような酸素製造方法の１例である特開昭６
０−１６１３０９号公報に開示された酸素製造方法に使
用される装置の概略を示す図である。この方法では、原
料空気は、空気圧縮機ｌにより２５００ｍｄｔＯ程度に
加圧された後、３基の吸着塔２ａ、　２ｂ、　２ｃの内
の第１の吸着塔２ａに送り込まれる。３基の吸着塔２ａ
、　２ｂ、　２ｃにはゼオライトなどの窒素を優先的に
吸着する吸着剤が充填されており、加圧状態で導入され
た原料空気中の窒素が吸着され、吸着塔２ａの出口には
酸素を主成分とする製品酸素ガスが得られる。

このとき、第２の吸着塔２ｂでは製品酸素ガスの一部が
導入され、この塔内の圧力が高められる充圧工程が実施
されており、また第３の吸着塔２Ｃでは塔内が真空ポン
プ３で真空排気され、この塔内の吸着剤が減圧状態で再
生処理される再生工程が実施されている。

この後、３基の吸着塔２　ａｓ　２　ｂｓ　２　Ｃを、
吸着・再生・充圧の各工程に順次切換えることにより製
品酸素ガスを製造することができる。

ところで、こうした酸素製造方法は、大量の酸素ガスを
得る大型の酸素製造装置だけでなく、小型の酸素製造装
置にも適用させることができる。

しかし、小型の酸素製造装置の用途として考えられる医
療用、溶接用等において、製造される酸素の多くが屋内
の比較的限られた場所で使われることを考えると、先の
特開昭６０−１６１３０９号公報記載の酸素製造装置の
構成で、場所をとらないコンパクトな装置とすることは
困難であり、また空気圧縮機と真空ポンプとの２台のポ
ンプが必要となるので装置の価格が高くなってしまう問
題があった。

一方、プレッシャースイング吸着法による小型の酸素製
造装置も知られている。第９図は小型の酸素製造装置の
一例である特開昭６０−１１０３１８号公報に記載され
た酸素製造装置を示す図である。

この方法では吸着塔４を１基とし、送風機５により圧縮
された原料空気を熱交換器６を経て吸着塔４内に導入し
て製品酸素ガスを吐出させ、この製品酸素ガスをサージ
タンク７を経て製品供給先に供給する製造工程と、つい
で送風機５の吸引側と吸着塔４を連通して吸着塔４の排
気を行なうと共に、製品酸素ガスの一部を吸着塔４内に
導入し、吸着剤のパージを行なう）く−ジ工程と、つい
で吸着塔４と送風機５の吐出側とを連通し、吸着塔４内
に加圧原料空気を導入すると共に、圧力均等化タンク８
から製品酸素ガスが導入され、吸着塔４内の圧力が高め
られる圧力均等化工程との各工程を順次繰り返すことに
より、製品酸素ガスを製造するものである。この各工程
を第１θ図に示す。

この特開昭６０−１１０３１８号公報記載の方法は、原
料空気の圧縮と吸着塔内の排気とを１台のポンプで兼用
することにより、装置のコストを低下できるとしている
。

「発明が解決しようとする問題点」 しかし、上述の特開昭６０−１１０３１８号公報記載の
酸素製造方法は、次のような問題点があった。

■加圧・排気兼用タイプのポンプは、１台で排気を行な
った場合、得られる真空度は４００〜５００Ｔ　ｏｒｒ
程度である。

■４００〜５００Ｔｏ・ｒｒでは吸着塔内の吸着剤を充
分再生処理することができない。したがって、多くの吸
着剤を使用しなければならない。

■吸着剤を充填した吸着塔以外にタンクを２個使用して
おり、装置の使用スペースが３基の吸着塔を使用する装
置と変わらない。

この発明は上記の問題点を解消し、装置寸法を小型化で
き、しかも高い圧力および真空度を発生させて効率の良
いプレッシャースイング吸着法による酸素製造を行なう
ことができるような製造方法を提供することを目的とし
ている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、原料空気中の窒素を吸着する吸着剤が充填
された複数の吸着塔を、吸着・再生・充圧の各工程に順
次切換えることにより製品酸素ガスを製造する方法にお
いて、上記吸着塔を２基とし、加圧・真空排気兼用のポ
ンプを２台用い、上記吸着工程を、１台の上記ポンプの
吐出側から吐出する空気を吸着塔内に導入する第１吸着
工程と、ついで２台の上記ポンプの吐出側を直列に組み
合わせ、それらから吐出する空気をこの塔内に導入する
第２吸着工程とから構成し、上記再生工程を、１台の上
記ポンプにより吸着塔内の排気を行なう第１再生工程と
、ついでこの吸着塔内に製品酸素ガスの一部を導入して
パージを行なう第２再生工程と、ついで２台の上記ポン
プの吸引側を直列に組み合わせてこの吸着塔内の排気を
行なう第３吸着工程とから構成したことを特徴とするも
のである。

以下、この発明を図面を参照して詳細に説明する。第１
図はこの発明の酸素製造装置の一例を示す図である。

いま、第１の吸着塔９ａでは、その原料供給側が４方電
磁弁ｌＯおよび第１の３方電磁弁１Ｎを経て第１のポン
プ１２の吸引側に連通され、第１の吸着塔９ａが保持す
るガスが第１のポンプ１２で吸引され第２の３方電磁弁
１３の一端から外部に放出される第１再生が開始された
状態にある。

（第１再生工程） このとき第２の吸着塔９ｂでは、第３の３方電磁弁１４
の一端から導入されて第２のポンプ１５で圧縮された原
料空気が、第４の３方電磁弁１６および４方電磁弁１０
を経て第２の吸着塔９ｂの原料供給側からこの塔内に供
給され、第２の吸着１９ｂの製品吐出側から吐出した製
品酸素ガスが逆止弁Ｉ７、圧力調整弁１８、流量調節弁
１９を通って製品酸素供給先に供給される第１吸着工程
が開始された状態にある。２基の吸着塔９ａ、９ｂには
各々ゼオライトなどの窒素を優先的に吸着する吸着剤が
充填されている。また、第１のポンプ１２および第２の
ポンプＩ５は１台のモータ２０により駆動されている。

第２図はこのときの状態を示す図である。

ついで第１の吸着塔９ａの第１再生工程が所定の所要時
間に達した時点で、４方電磁弁１０を、第２の吸着塔９
ｂＯ′原料供給側と第２のポンプＩ５の吐出側のみが連
通された状態に切換える。

４方電磁弁の切換えにより、第１の吸着塔９ａでは、流
量調節弁２１．逆止弁２２、電磁弁２３を経て製品酸素
ガスが製品吐出側から塔内に導入される第２再生が開始
される。これによって塔内の吸着剤が酸素ガスでパージ
され、吸着剤に吸着している窒素が原料供給側の方に移
行する。（第２再生工程） このとき第２の吸着塔９ｂでは、第２の３万電磁弁１３
と第３の３方電磁弁１４を切換えることにより、第１の
３方電磁弁１１の一端から導入された原料空気が、第１
のポンプ夏２、第２の３万電磁弁１３、第３の３方電磁
弁１４、第２のポンプ１５を通って、直列に配されたこ
れら２台のポンプにより圧縮され、第２のポンプの吐出
側から吐出し、第４の３方電磁弁Ｉ６および４方電磁弁
ＩＯを経て第２の吸着塔９ｂの原料供給側に供給され、
この塔から吐出した製品酸素ガスが逆止弁夏７、圧力調
整弁！８、流量調節弁１９を通って製品酸素供給先に供
給される第２吸着工程が開始される。第３図はこのとき
の状態を示す図である。

ついで第１の吸着塔９ａの第２吸着工程が所定の所要時
間に達した時点で４方電磁弁ｌＯを、第１の吸着塔９ａ
の原料供給側と第■のポンプ１２の吸引側のみが連通さ
れた状態に切換えると共に、第１の３方電磁弁１１およ
び第４の３方電磁弁１６を切換える。この切換えにより
第１の吸着塔９ａでは、引き続き製品酸素ガスの一部が
流ｍ調節弁２１．逆止弁２２、電磁弁２３を経て製品吐
出側から導入されると共に、第２の３方電磁弁１３およ
び第３の３方電磁弁Ｉ４を介して第１のポンプ１２の吐
出側と第２のポンプ！５の吸引側と゛が接続され、第１
の吸着塔９ａ内が直列状態になった２台のポンプの吸引
力によって排気される第３再生が開始される。第１の吸
着塔９ａの原料供給側は、４方電磁弁ＩＯ１第１の３方
電磁弁１１を介して第１のポンプ１２の吸引側に連通さ
れ、第１のポンプ１２に吸引されたガスは、第２のポン
プの吐出側から第４の３方電磁弁１６の一端を経て外部
に排気される。第１の吸着塔９ａ内の吸着剤は、塔内に
導入される酸素ガスによりパージされながら減圧条件下
に置かれることによって吸着していた窒素を放出し、再
生処理される。（第３再生工程） このとき第２の吸着塔９ｂでは、その原料供給側に原料
空気が供給されない状態で、塔内に残存する酸素ガスを
吐出し、内圧を減少させる並流減圧工程が開始される。

第４図はこのときの状態を壬子Ｉｔ７１ｆふス一 ついで第１の吸着塔９ａの第３再生工程が所定の所要時
間に達した時点で、４方電磁弁１０を、吸着塔９ａ１９
ｂとポンプ１２．１５とが連通されていない状態に切換
えると共に、第１の３万電磁弁１１．第２の３方電磁弁
１３、第３の３万電磁弁１４を切換える。これによって
第１の吸着塔９ａでは、ポンプによる吸引が停止され、
引き続き製品酸素ガスが流量調節弁２１、逆止弁２２、
電磁弁２３を経て導入されて塔内の圧力が高められる充
圧工程が開始される。第１の吸着塔９ａ内は、圧力が高
まると共に、酸素ガスで満たされる。

（充圧工程） このとき第２の吸着塔９ｂでは、引き続き並流減圧工程
が実施されている。

また、このとき第１のポンプＩ２は、第１の３方電磁弁
１１の一端から空気を吸引し、第２の３方電磁弁Ｉ３の
一端から吐出する無負荷の状態になり、同様に第２のポ
ンプも、第３の３方電磁弁１４の一端から吸引した空気
を第４の３方電磁弁Ｉ６の一端から吐出する無負荷の状
態となる。第５図はこのときの状態を示す図である。な
お、２台のポンプが無負荷の状態にあるとき、これらの
ポンプを停止させてもよい。

ついで、第１の吸着塔９ａの充圧工程が所定の所要時間
に達した時点で、４方電磁弁ＩＯを、第１の吸着塔９ａ
の原料供給側と第２のポンプＩ５の吐出側とが連通され
ると共に、第２の吸着塔９ｂの原料供給側と第１のポン
プ１２の吸引側とが連通された状態に切換える。これと
同時に各３方電磁弁１１．１３．１４．１６を切換える
。これによって第１の吸着塔９ａでは、第３の３方電磁
弁１４の一端から導入された原料空気が第２のポンプ１
５で圧縮され、第４の３方電磁弁Ｉ６および４方電磁弁
ｌＯを経て第１の吸着塔９ａの原料供給側に供給され、
第１の吸着塔９．ａから製品酸素ガスが吐出する第１吸
着工程が開始される。第１の吸着塔９ａから吐出した製
品酸素ガスは、逆止弁２４、圧力調整弁１８、流量調節
弁１９を経て製品酸素供給先に供給される。（第１吸着
工程）このとき第２の吸着塔９ｂでは、塔内のガスが４
方電磁弁ＩＯ１第１の３方電磁弁１１を経て第１のポン
プ１２により吸引され、第２の３方電磁弁１３の一端か
ら外部に放出される第１再生工程が開始される。

ついで第１の吸着塔９ａの第１吸着工程が所定の所要時
間に達した時点で、４方電磁弁ＩＯを、第１の吸着塔９
ａと第１のポンプ１２のみが連通された状態に切換える
と共に、第１の３方電磁弁Ｉｆ、第２の３万電磁弁１３
、第３の３方電磁弁！４を切換える。この切換えにより
第■のポンプ１２の吐出側と第２のポンプ１５の吸引側
が第２の３方電磁弁１３および第３の３方電磁弁Ｉ４を
介して連通され、この直列に組み合わされた２台のポン
プ１２．１５で圧縮された原料空気が原料供給側から導
入されて製品吐出側から製品酸素ガスが吐出される第２
吸着工程が開始される。第１の吸着塔９ａに供給される
圧縮空気は、第１の３方電磁弁１１の一端から吸引され
た空気が第１のポンプ１２で圧縮され、その吐出側から
吐出し、これが第２の３方電磁弁」３および第３の３方
電磁弁１４を経て第２のポンプ１５の吸引側に導入され
、ここで再度圧縮されて吐出側から吐出し、第４の３方
電磁弁１６および４方電磁弁１０を経て供給される。第
１の吸着塔９ａから吐出した製品酸素ガスは、逆止弁２
４、圧力調整弁Ｉ８、流量調節弁　１９を経て一品酸素
供給先に供給される。（第２吸着工程） このとき第２の吸着塔９ｂでは、流量調節弁２Ｉ、逆止
弁２５、電磁弁２６を経て製品酸素ガスの一部が塔内に
導入され、吸着剤が酸素ガスでパージされる第２再生工
程が開始される。

ついで第１の吸着塔９ａの第２吸着工程が所定の所要時
間に達し、吸着剤の吸着窒素量が飽和する直前となった
ら、４方電磁弁１０を、第２の吸着塔９ｂの原料供給側
と第１のポンプＩ２の吸引側のみが連通された状態に切
換えると共に、第１の３方電磁弁１１および第４の３方
電磁弁１６を切り換える。これにより第１の吸着塔９ａ
では、圧縮空気の供給が停止され、塔内に残存する酸素
＋／　７　ｈば■楽誌専制三畦中佃ＩＡｘム畦中六トス
詰述ｄ圧工程が開始される。第１の吸着塔９ａから吐出
した酸素ガスは、逆止弁２４、圧力調整弁１８、流量調
節弁１９を経て製品酸素供給先に送られる。

そして塔内から酸素ガスを吐出する分だけこの塔内の保
持圧力が減少していく。（並流減圧工程）このとき第２
の吸着塔９ｂでは、引き続き製品酸素ガスの一部が製品
供給側から導入されると共に、直列に組み合わされた２
台のポンプ１２．１５で塔内が吸引され、吸着剤の再生
処理が行なわれる第３再生工程が開始される。

ついで第２の吸着塔９ｂの第３再生工程が所定の所要時
間に達した時点で、４方電磁弁１０を、吸着塔９ａ、９
ｂとポンプ１２．１５とが連通されていない状態に切換
えると共に、４つの３方電磁弁１１，１３、Ｉ４．１６
を切換える。これにより第２の吸着塔９ｂでは、ポンプ
１２、Ｉ５による塔内の吸引が停止し、製品酸素ガスの
一部が引き続き導入されて、第２の吸着塔９ｂ内の圧力
が酸素により高められる充圧工程が開始される。

このとき第１の吸着塔９ａでは、原料空気の導人がない
状態で塔内の残存酸素ガスを吐出する並流減圧工程が引
き続き実施されている。また、２台のポンプ１２、Ｉ５
は、共に無負荷の状態となる。

これらの各工程を第１の吸着塔９ａおよび第２の吸着塔
９ｂの各々について繰り返すことにより、製品酸素ガス
を連続的に製造することができる。

これらの工程をまとめて表に示す。

表 この発明のプレッシャースイング吸着法による酸素製造
方法は、吸着塔を２基とし、加圧・真空排気兼用のポン
プを２台用い、上記の表に示す工程を実施することによ
り、効率良く酸素を製造することができ、従来の酸素製
造方法に比べ、イニシャルコストの低減化および装置の
小型化が可能となる。このことを上記の表を参照して説
明する。　上記第１再生工程の際、吸着塔は並流減圧済
みの状態にあり、塔内は大気圧以上の圧力を保持してい
るので、１台のポンプの吸引力でも低真空度の状態まで
容易に排気を行なうことができる。

その後、吸着塔内に製品酸素ガスを導入して吸着剤のパ
ージを実施し、更に第２再生工程の際、２台のポンプを
直列に組み合わせ、いわゆる２段での排気を行ない、容
易に塔内を高い真空度に排気する。これによって吸着剤
の再生処理を高い効率で行なうことができる。

上記第１吸着工程の際、吸着塔は充圧工程済みの状態に
あり、塔内は比較的低い加圧状態にある。

この時点では、塔内に原料空気を供給するためのポンプ
の負荷が小さいので、１台のポンプの加圧力でも充分な
量の空気を供給することができる。

しかし、吸着塔内の圧力が上昇するに伴いポンプの負荷
が増加して吐出空気量が減少するので、適宜な時機に２
台のポンプを直列に組み合わせ、いわゆる２段圧縮をし
た原料空気を吸着塔内に供給する第２吸着工程を実施し
て吸着塔内の圧力を高め、吐出酸素の量を増加させる。

これにより吸着剤の酸素製造能力を、より広い範囲で利
用することが可能となる。

したがって、この発明の酸素製造方法では、吸着塔を２
基使用しているが、プレッシャースイング吸着法の操作
条件として、広い圧力範囲を利用しており、吸着剤一定
量当たりの空気処理量が大きいので、吸着剤の必要量が
少なく、吸着塔を小型化することができる。

また、２基の吸着塔から交互に製品酸素が得られるので
、従来の酸素製造装置で使用していた大容量の製品貯槽
を不要にでき、装置をコンパクトにオるこ２がで六乙− また、１台のモータで駆動する２気筒式ポンプを使えば
、酸素製造装置を実質的に１台のポンプで作動する装置
と変わらない設置スペースおよび価格にすることができ
る。

なお、この発明の酸素製造方法に用いるのに適切なポン
プは、いかなる型式のものでも加圧・真空排気を兼用す
るものであれば使用できるが、レシプロ型あるいはダイ
ヤフラム型のポンプが好適である。また、これらポンプ
は、１台のモータで駆動する２気筒型式のものが特に適
している。

次に、この発明の実施例を記す。

「実施例」 第１図に示すこの発明の装置を用い、以下の操作条件で
運転した。

吸着剤・・・合成ゼオライト（モレキュラーシーブ５Ａ
） 吸着剤使用量・・・３Ｋｇ／ｌ基 使用ポンプ・・・ダブルダイヤフラム型ポンプ吸着圧力
・・・０．５Ｋｇ／ｃＩｌ！Ｇ再生真空度・・・２５０
Ｔｏｒｒ その結果、濃度９０％の製品酸素ガスを１５０Ｑ／ｈｒ
製造することができた。

このとき使用したポンプの性能を第６図および第７図に
示す。第６図は、ダブルダイヤフラム型ポンプのポンプ
１台を真空ポンプあるいは圧縮機として使用したときの
ポンプ性能を示すものであり、また第７図は２台のポン
プを直列に組み合わせ２段式真空ポンプあるいは圧縮機
として使用したときのポンプ性能を示すものである。

「発明の効果」 この発明のプレッシャースイング吸着法による酸素製造
方法および装置では、吸着塔を２基とし、加圧・真空排
気兼用のポンプ２台を組み合わせて使用することにより
、プレッシャースイング吸着法の操作条件として広い圧
力範囲を利用し、吸着剤一定量当たりの空気処理量を大
きくすることができるので、吸着剤の必要量が少なく、
吸着塔を小型化することができる。

また、２基の吸着塔から交互に製品酸素が得られるので
、従来の酸素製造装置で使用していた大容量の製品貯槽
を不要にでき、装置をコンパクトにすることができる。

また、１台のモータで駆動する２気筒式ポンプを使用す
ることにより、酸素製造装置を実質的に１台のポンプで
作動する装置と変わらない設置スペースおよび価格にす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の酸素製造装置の一例を示す構成図、
第２図ないし第５図は第１図に示す装置による酸素製造
工程を工程順に示す概略工程図、第６図および第７図は
この発明に好適に使用されるポンプの一例の性能を示す
グラフ、第８図は従来のプレッシャースイング吸着法に
よる酸素製造方法の一例に使用される装置の概略工程図
、第９図は従来のプレッシャースイング吸着法による酸
素製造方法の他の例に使用される装置の概略構成図、第
１θ図は第９図の装置による製造工程を示す工程図であ
る。 ９ａ、９ｂ・・・吸着塔 ＩＯ・・・４方電磁弁 夏１，１３．１４．１６・・・３方電磁弁１２、Ｉ５・
・・ポンプ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）原料空気中の窒素を吸着する吸着剤が充填された
   複数の吸着塔を、吸着・再生・充圧の各工程に順次切換
   えることにより製品酸素ガスを製造する方法において、 上記吸着塔を２基とし、加圧・真空排気兼用のポンプを
   ２台用い、 上記吸着工程を、１台の上記ポンプの吐出側から吐出す
   る空気を吸着塔内に導入する第１吸着工程と、ついで２
   台の上記ポンプの吐出側を直列に組み合わせ、それらか
   ら吐出する空気をこの吸着塔内に導入する第２吸着工程
   とから構成し、上記再生工程を、１台の上記ポンプによ
   り吸着塔内の排気を行なう第１再生工程と、ついでこの
   吸着塔内に製品酸素ガスの一部を導入してパージを行な
   う第２再生工程と、ついで２台の上記ポンプの吸引側を
   直列に組み合わせてこの吸着塔内の排気を行なう第３再
   生工程とから構成することを特徴とするプレッシャース
   イング吸着法による酸素製造方法。
2. （２）原料空気中の窒素を吸着する吸着剤が充填された
   ２基の吸着塔と、２台の加圧・真空排気兼用のポンプと
   、第１の吸着塔と第２の吸着塔の各々の原料供給側を第
   １のポンプの吸引側もしくは第２のポンプの吐出側に切
   換可能な状態で連通する４方切換弁と、この４方切換弁
   と第１のポンプの吸引側との間に配設された第１の３方
   切換弁と、第１のポンプの吐出側と第２のポンプの吸引
   側との間に配設された第２の３方切換弁および第３の３
   方切換弁と、第２のポンプの吐出側と上記４方切換弁と
   の間に配設された第４の３方切換弁と、第１の吸着塔と
   第２の吸着塔との各々の製品吐出側から吐出される製品
   酸素ガスを製品供給先に供給すると共に、この製品酸素
   ガスの一部を所定の時機に何れかの吸着塔内に導入する
   流量調節機構とを備えてなり、 上記４方切換弁を、第１のポンプの吸引側と一方の吸着
   塔の原料供給側とが連通され、かつ第２のポンプの吐出
   側と他方の吸着塔の原料供給側とが連通された状態にす
   るとき、第１のポンプに連通された吸着塔内が第１の３
   方切換弁を介して第１のポンプで吸引されて第２の３方
   切換弁の一端から排気され、かつ第２のポンプに連通し
   た吸着塔内に、第３の３方切換弁の一端から供給された
   原料空気が第２のポンプで圧縮され、第４の３方切換弁
   を経て導入され、この吸着塔から吐出した製品酸素ガス
   が流量調節機構を経て製品供給先に供給される状態にな
   り、 ４方切換弁を、第２のポンプの吐出側と一方の吸着塔の
   原料供給側のみが連通された状態にするとき、この吸着
   塔内には、第１の３方切換弁の一端から導入されて第１
   のポンプ、第２の３方切換弁、第３の３方切換弁、第２
   のポンプの順路を通って直列状態に配された２台のポン
   プで圧縮された原料空気が第４の３方切換弁を経て導入
   され、この吸着塔から吐出した製品酸素ガスが流量調節
   機構を経て製品供給先に供給される状態になり、かつ、
   他の吸着塔内に、流量調節機構から製品酸素ガスの一部
   が導入される状態になり、 ４方切換弁を、第１のポンプの吸引側と一方の吸着塔の
   原料供給側のみが連通された状態にするとき、この吸着
   塔内は、第１の３方切換弁、第１のポンプ、第２の３方
   切換弁、第３の３方切換弁、第２のポンプの順路を経て
   、直列状態に配された２台のポンプで吸引され、第４の
   ３方切換弁の一端から排気される真空排気状態になり、
   かつ、他の吸着塔は、原料空気が供給されない状態で塔
   内の酸素ガスが吐出され流量調節機構を経て製品供給先
   に供給される状態になり、 ４方切換弁を、吸着塔とポンプとが連通されていない状
   態にするとき、第１のポンプは停止するかあるいは第１
   の３方切換弁の一端から吸入した空気を第２の３方切換
   弁の一端から吐出する状態となり、第２のポンプは停止
   するかあるいは第３の３方切換弁の一端から吸入した空
   気を第４の３方切換弁の一端から吐出する状態となり、
   かつ、一方の吸着塔は、原料空気が供給されない状態で
   塔内の酸素ガスが吐出され流量調節機構を経て製品供給
   先に供給され、他の吸着塔は、流量調節機構から製品酸
   素ガスが塔内に導入される状態になることを特徴とする
   プレッシャースイング吸着法による酸素製造装置。