JPS63207285A - 撮像装置 - Google Patents

撮像装置

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JPS63207285A
JPS63207285A JP62039171A JP3917187A JPS63207285A JP S63207285 A JPS63207285 A JP S63207285A JP 62039171 A JP62039171 A JP 62039171A JP 3917187 A JP3917187 A JP 3917187A JP S63207285 A JPS63207285 A JP S63207285A
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JP
Japan
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vertical
charge transfer
signal
vertical charge
period
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Application number
JP62039171A
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English (en)
Inventor
Yukio Endo
幸雄 遠藤
Nozomi Harada
望 原田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPS63207285A publication Critical patent/JPS63207285A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) この発明は撮像装置に関する。
(従来の技術) 第15図を用いて従来の技術を説明する。
これはF I T −CCD (Frame Inte
rline Trans−t’erCCD)と呼ばれて
いる固体撮像素子の構成図である。感光部の2次元配列
領域6には感光部ホトダイオード(1−1,1−2、・
・・、1−N;以後PDと略す)とPDの隣りに設けら
れた第1の垂直CCD (2−1,2−2、・・・、2
−N)が形成されている。この2次元配列領域6に隣接
して一時メモリ領域7がある。一時メモリ領域7は前記
第1の垂直COD (2−1,2−2、・・・、2−M
)からの信号電荷群を転送、蓄積するため72の垂直C
CD (3−1,3−1、・・・、3−M)より構成さ
れている。ここでは第1の垂直C0D(2−1)(7)
信号電荷は第2の垂直CCD (3−1)へ転送される
ようになっている。同様CD(2−1,2−2、・・・
、2−M)の転送段数は256段になっている。同様に
第2の垂直CCD(3−1,3−2、・・・、3−M)
の転送段数も256段になっている。他の固体撮像装置
でも垂直方向で256列の画素の信号電荷が読み出され
るようになっている。
ところで、COD画素の上に色フィルターを形成して1
個のCCDからカラー信号を得る単枚カラーCCDでは
通常、垂直方向の画素信号との演算を行なってカラー画
像信号を作る方式を採用する場合が多い。この場合、実
際のCODではインターレス撮像を行なっているため垂
直方向で一画素飛び越した画素同志の演算であり、垂直
方向解像度が低下する問題がある。
第16図は従来の単枚カラー素子で各フォトダイオード
に設けられた色フィルターの配置とその出力信号を示す
。G1、G2、G3、G4、Gl’ 、G2’、G3’
 、G4’は緑CG’)信号画素、Yel 5Ye2、
Yet’、Ye2’ は黄(Ye)信号画素、cyt 
、C10、cyt’、Cy2′ はシアン(Cy)信号
画素である。
YeはG+R(赤) 、CyはG+B (青)に(2−
2)は(3−2)、(2−M)は(3−M)につながっ
ている。
第2の垂直CCD (3−1,3−2、・・・、3−M
)の信号電荷群は一時メモリ領域7に隣接して′設けた
読出しCODレジスタ4へ移され、順次出力部5へと転
送され読み出される。このFIT−CODは標準テレビ
ジョン方式に適合するように動作されている。例えば1
枚の画像(1フレーム)は2枚のフィールドより形成さ
れている。この2フイ一ルド画像は互いに1走査線分ず
れており、これを得るためインターレス撮像が行なわれ
ている。このため例えばNTSC方式では1フレームの
垂直方向の走査線の数は512本であり、各フィールド
ではその半分の256本となる。このため例えば垂直方
向で512個並んでいるPDの中で第1のフィールドで
PD (1−1と1−2.1−3と1−4、・・・)の
信号電荷が読み出されると第2のフィールドではその間
のPD (1−2と1−3.1−4と1−5、・・・)
の信号電荷が読み出させるようになっている。従って、
第1の垂直Cに相当する。第1の垂直CCDの転送段は
ホトダイオード(PD)の半数であるので垂直方向2画
素を合わせて出力する。即ちN番目水平列での信号は図
に示すように2G→2G+R+B→2G−2G+R+B
として取り出され、N+1番目水平列での信号は2G+
R→2G十B−20+R→2G+Bとして取り出される
第17図はRSGSBカラー信号を得る信号処理回路図
である。第16図を見ると判るようにN番目、N+1番
目の水平列信号にはベースバンドとして2Gがあるので
CODチップからの出力信号をバンドパスフィルタを通
すことによりN番目水平列からは0(色信号なし)→B
+R→0→B+R%N+1番目水平列からはR−B−4
R4Bと色信号が出て来る。ここでN番目水平列信号を
IH(1水平走査期間)遅延線を通した後、N十1番目
水平列信号と減算すると−R→R→−R−RとR変調信
号が得られ、加算するとR−R+2B→R−R+28で
RをベースバンドとしたB変調信号が得られる。これに
より、R,B信号が得られる。G信号はCCD出力を読
出し周波数の半分の帯域のローパスフィルタを通して得
られた輝度信号(Ye−2G + +(R+ B ) 
)と先に得られたBSR信号とをマトリックス回路で演
算することにより得られる。次のフィールドでも垂直方
向に1画素ずらして同様の処理が行なわれる。
以上説明したことより判るようにR,G、B各信号は垂
直方向4個のホトダイオードの信号より得られることに
なる。従って垂直方向で各色信号のモアレ、偽信号が現
われ易い。
また、電子カメラ用CCDでは2フイールドで1フレー
ムが構成されていると垂直方向解像度の低下のない画像
を得ようとすると、シャッター速度が1780秒程度に
制限されるし、高速シャッター画像を得ようとすると1
フイ一ルド画像になって解像度に問題が生じる。
また、本発明者等は先に、特願昭58−209381号
において、限られた画素数の固体撮像素子を用いて高解
像度化を図った装置を提案した。
第18図はそのインターライン転送形CCD撮像素子の
概略構成で、Pij(t=1.2、・・・、MS j−
1,2、・・・、N)は2次元配列された感光部、C1
は垂直読出しレジスタ(CCD) 、Hは水平読出しレ
ジスタ(COD)である(a図)。
この装置は第18図すにその原理図を示すように固体撮
像素子のチップ基板(1水平列のみ示す)を、水平方向
(X方向)に、水平画素ピッチPRの172相当である
pH/2の振幅をもって入射光学像に対して相対的に振
動させる。ここで振動の時間変化は図に示すように、固
体撮影素子の第1(A)フィールド及び第2(B)フィ
ールドを1フレ一ム期間とする撮像動作に同期して台形
状にする。
このことにより図に示す画素の開口部はAフィールドで
は実線の位置となり、Bフィールドでは破線の位置にな
る。そしてA、、Bフィールドの位置に対応した像にな
るよう水平読出しレジスタのタイミングをずらし、再生
画像上でA、Bフィールドを加算することにより固体撮
像素子自体が有する水平解像度を2倍に向上できる。さ
らに固体撮像素子の入射光学像に対する無効部分が減少
するので固体撮像素子固有のモアレが改善される。
しかし、この方法で解像度を向上するにはいくつかの問
題がある。第1はA、Bフィールドの2つのフィールド
を利用して解像度を向上することにある。即ちAとBの
フィールドの信号を再生画像上で加算して解像度を高く
しているのでAとBフィールドで1/2P11振動させ
たとき水平読出しレジスタのタイミングを1/2PII
正確にずらす駆動を行なわなければASBフィールド間
の信号差によって画面上にフリッカが出る問題があった
。第2には、ASBフィールドの信号はローパスフィル
ターを通った後、再度受像器側でl / 2 P Hの
ピッチのずれを以ってサンプリングし直して元の空間サ
ンプリング点に位相を一致させる信号再生回路が必要で
あるという問題があった。また第3にA1Bフィールド
で空間サンプリング点が異なるので画面上にモアレが出
易いという問題があった。
(発明が解決しようとする問題点) この様に、従来の技術では例えばカラー撮像を行なう場
合、垂直方向の解像度が悪く、色信号のモアレ、偽信号
が現われ易いという問題があった。
また、電子カメラにおいてはシャッター速度が遅く、高
速シャッターを得ようとすると解像度が劣化する問題が
あった。
更に、シンクロビジョン撮像では、水平レジスタや、受
像器側の信号処理回路にA、Bフィールドでタイミング
を1/2PI+正確にずらす事が必要であり、その誤差
がフリッカとなったり、またA1Bフィールドで水平方
向の空間サンプリング点の相違によってモアレが生じ易
いという問題があった。
本発明は上記事情に対して為されたものであり、改善さ
れた撮像装置を提供する事を目的とする。
本発明の他の目的は、カラー化に適した撮像装置を提供
する事にある。
また本発明の他の目的は、電子カメラに供して好適な高
速かつ解像度の高い撮像装置を提供する事にある。
本発明の更に他の目的は、サンプリング点の装置に伴な
う信号補正が簡略化出来、フリッカやモアレの改善が可
能な撮像装置を提供することにある。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、半導体基板上に2次元配列された感光部と、
この感光部の2次元配列領域にあって感光部に発生する
信号電荷を読み出す複数の第1の垂直電荷転送部と、前
記半導体基板上の一時メモリ領域に設けられ、前記第1
の垂直電荷転送部の1チャネルに対して夫々第1及び第
2のチャネルを有し電荷の一時メモリが可能な複数の第
2の垂直電荷転送部と、第1の期間、前記感光部の2次
元配列領域の画像サンプリング情報を前記第2の垂直電
荷転送部の第1のチャネルに転送し、第2の期間、画像
に対してサンプリング点がずれた画像サンプリング情報
を前記第2のチャネルに転送する。前記複数の第1及び
第2の垂直電荷転送部の間に夫々設けられた切換えゲー
ト手段と、前記複数の第2の垂直電荷転送部に接続され
、前記第1及び第2の期間に前記複数の第2の垂直電荷
転送部に転送された信号電荷を順次読み出す水平電荷転
送部とを備えた撮像装置を提供するものである。
(作用) 画像に対してサンプリング点が互いにずれた画像サンプ
リング情報を切換え手段を介して時系列的に一時メモリ
領域に蓄積し、これを水平レジスタで読出すことによっ
て、1フイールドで全画素数に対応する画素信号が読み
出される事になる。
例えばカラー撮像において異フィールド間でフィルタの
組合せに普遍性も持たせる必要がなくなりフィルタの組
合せが容易化される。
また電子カメラにおいては全画素の読出しに必要な時間
が短縮化される。
シンクロビジョン方式においては、1フイールド内で水
平方向に画素ピッチが倍化されることとなる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述する。
第1図を用いて本発明の第1の実施例を説明する。第1
図aは固体撮像素子チップ内のレイアウト、第1図すは
そのターイミングパルス図である。
ホトダイオード(1−1,1−2、・・・、1−N)の
2次元配列領域6には第1の垂直COD (2−1,2
−2、・・・、2−M)が形成され、例えば駆動端子φ
11〜φ!4で4相駆動される。領域6に隣り合う一時
メモリ領域7には互に独立して駆動できる2群の第2の
垂直CCD5A (5A1.5A2、・・・、5AM)
とB(5B1.5B2、・・・、5AM)が設けられて
おり、例えばA群は駆動端子φ  〜φ  で、またB
群は駆動端子φ8B□SAI     SA4 〜φ  で夫々独立に4相駆動される。第1のB4 垂直CODに読出された信号電荷は、ゲート(4−1,
4−2、・・・、4−M)によって第2の垂直CCDの
A又はBに切換えて転送できるようになっている。第2
の垂直CCDに転送された信号電荷は、CODレジスタ
8で転送され出力部9から出力される。この実施例では
、水平CCDしジスタは2線式で例えばCCDレジスタ
81にはA群の信号が、CCDレジスタ82にはB群の
信号が読出され、駆動端子φ 、φ により出力部旧 
  H2 9,92から半導体チップ外に読出される様になってい
る。水平CCDレジスタは1線式であっても勿論良い。
1つの第1の垂直CCDの垂直方向の転送段数は、対応
するホトダイオードの個数の半分になっており、ホトダ
イオード(1−1,1−3、・・・)の信号電荷はφ1
1に、またホトダイオード(1−2,1−4、・・・)
の信号電荷はφ13に夫々フィールドシフトパルスを与
える事によって第1の垂直CODに読出される。一方、
第2の垂直CCDA。
Bの転送段数も、夫々、これがつながる第1の垂直CO
Dの転送段数と等しくされている。従って、一時メモリ
領域7には、時間的に分軸して転送された全信号電荷が
一時蓄積可能である。
以上は、固体撮像素子チップに収められ、光学系により
ホトダイオードの2次元配列領域6に画像が形成される
。そして一般に、ホトダイオードを除いてはM膜で遮光
されている。
第1の垂直CCDの垂直方向の転送段数は、一般に、N
TSC方式だと512の半分、256段である。
第1図すは上記駆動端子φ 〜φ 、φ+1   +4
   SAI〜 φ  、φ  〜φ  に内、フィールドシフトSA4
   SBI   Sn2 を行なうφ 、φ と、φ  及びφ  に印加If 
  l3SAI    SBI される電圧波形を示している。
ここで第1のフィールド期間tF1の有効期間tAEは
TV画面上の一水平走査期間である。次に垂直ブランキ
ング期間tABに例えばφ11に8図中実線で示した様
にPD (1−1,1−3、・・・)の信号電荷群を第
1の垂直COD (2−1,2−2、・・・、2−N)
に読出すフィールドシフトパルスφ  を印加して転送
する。次にφ11〜φI4と第S1 2の垂直CCDA (5−AI、・・・、5−AM)に
4相転送りロックパルス(φ にはφ  、φIt  
  Itl   13 にはφ  、φ  にφ  )を印加して第1のIt5
   SAI   Stl 垂直COD (5−Al、・・・、5−AM)へ信号電
荷群を転送する。続いて例えばφ13にフィールドシフ
トパルスφ  を印加して8図中破線で示すS3 ようにPD (1−2,1−4、・・・、1−N)の信
号電荷を第1の垂直COD (2−1,2−2、・・・
、2−M)へ読出す。それからφ11〜φI4と第2の
垂直CCDB (5−Bl、・・・、5−BM)の端子
に4相転送りロックパルス電圧(図中ではφ11にはφ
  、φ にはφ  、φ  にはφ  )112  
13   1t6   SBI    Si2を印加し
て第1の垂直CCD (2−1,2−2、・・・、2−
M)から第2の垂直CCDB (5−Bl、・・・、5
−BM)へ前記信号電荷群を転送する。ここで第1の垂
直CCDから第2の垂直CCDのAlBへの振り分けは
、領域6.7間にある端子SG(単数又は複数の端子を
有する)につながったゲート(4−1、・・・、4−M
)にパルス電圧を印加して行なう。
一時メモリ領域に読出された信号は、次のフィールド期
間t での有効期間tBHにおいて、前記第2の垂直C
CDA (5−AI、・・・、5−AM)とB(5−B
l、・・・、5−BM)の端子φSAI〜φ  とφ 
 〜φ  へ4相転送りロックパルSA4  8BI 
  Sn2 ス(図中ではφ  、φ  、φ  、φSL3   
SL4   SL7   SL8ゝ・・・)を印加して
水平方向に一列ずつ信号電荷を読出してCCDレジスタ
8へ転送しクロックパルスφ 、φ により出力部9よ
り読出す。このときHI   H2 A群の信号はCCDレジスタ8、に、B群の信号はCC
Dレジスタ8゜に続出され、同時に出力部9□、9□よ
り出力される。このようにした第1のフィールド期間t
FlにPD (1−1,1−2,1−3,1−4、・・
・、1−N)に蓄積された信号電荷が第2のフィールド
期間tP2内で読み出される。即ち、従来の2倍の画素
数の信号が1フイ一ルド期間内で読出される。また、1
系列の信号とB系列の信号は異なったサンプリング点の
情報を有している。
そして走査線の次の垂直ブランキング期間tBBに前ト
同様のフィールドシフトパルスφPS2、φ  、転送
パルス電圧(図中のφ  、φPS4        
     1t3  1t7ゝφ  、φ  、φ  
、φ  )を印加し、It2  1t4  1t8  
 St4第2のフィールド期間tP2の有効期間tBE
にPD(1−1、1−2、1−3、1−4、・・・、 
1−N)で蓄積した信号電荷を独立した一時メモリ領域
7の第2の垂直CCDA (5−AI、・・・、5−A
M)とB (5−Bl、・・・、5−BM)へ第1のフ
ィールド期間tFlで行なったのと同じ順路で転送する
そして次のフィールド期間で同様にして出力する。
以下、この動作を繰り返す。これによって限られた画素
数から高解像度の信号が出力される。
第2図aは第1図のCCDチップのPD上に形成する色
フィルターの配置例である。4画素で1つのユニットを
形成している。1−1にはRフィルターが、1−2には
Gフィルターが形成される。
上記撮像動作によれば、第1水平列の画素からはR−G
−+R−4Gの色信号が、第2水平列からはG→B−G
→Bの色信号が得られる。
第2図すはカメラ内部を示している。CCDチップ21
のCCDレジスタ8.8 の出力端子O81082には
、夫々PDマトリックスの水平方向の奇数列情報、偶数
列情報が並行して出力される。22は光学レンズである
。1フイールドに注目すると垂直方向にG、Bの色信号
が出力されている期間、スイッチSW1はO8l側に倒
れG信号を拾う。またスイッチS W aはS2側に倒
れB信号を拾う。この時、スイッチS W 2は開放状
態である。他方、RSGが出力されている期間、スイッ
チSW1はO12側に、スイッチSW2は61側に倒れ
て夫々G信号、R信号を拾う。スイッチSW3は開放状
態にある。モして各色信号は例えばローパスフィルター
23〜25を介して出力される。
この例では4画素がフィルター配列のユニットとなって
おり、垂直方向は2画素で済んでいる。
この様に、1フイールドで色情報が得られることによっ
てフィルター配列のユニットが垂直方向に小さくなり各
色信号のモアレ、偽信号が少なくなる。
上記実施例では、R,GSG、Bをフィルター配列の1
つのユニットとしたが、これに限られない。また、水平
CODレジスタを2線式として第2の垂直CCD%A、
Bの一対に対して夫々1つの転送段を与えたが、1線式
として第2の垂直CCD、A、B夫々に転送段を与えて
もよい。
次に第3図を用いて本発゛明の第2の実施例を説明する
。a図は第1図と同様な構成をした固体撮像素子チップ
内のレイアウトを示す。カメラ内の構成やホトダイオー
ドの2次元配列領域に像を形成する光学系については以
下の実施例についても特にことわらない限り説明を省略
する。また、水平CODレジスタについても以下の実施
例では1線式で説明するが2線式を用いる事もできる。
さて、第2図に戻ってb図は第1の垂直C0D(2−1
,2−2、・・・、2−M)の駆動端子φ1、〜φ の
中のφ 、φ に印加する駆動パルス塩圧波形と、第2
の垂直CCDA (5−AI、・・・、5−AM)とB
 (5−Bl、・・・、5’−BM)の駆動端子φ  
〜φ  、φ  〜φ  と中のSAI   SA4 
  SBI   SB4φ  とへφ  印加するパル
ス電圧波形を示す。
SAI    SBI 第1のフィールド期間t の有効期間tAEの中間開に
φ11とφ13にフィールドシフトパルス電圧φ  、
φ  を印加してPD(1−1,1−F85     
FS8 2、・・・、1−N)の信号電荷を第1の垂直C0D(
2−1,2−2、・・・、2−M)へ転送する。ここで
図中実線で示すように垂直方向で隣り香ったPD同志(
ここでは1−1と1−2.1−3と1−4、・・・)の
加算を行ない、第1の垂直C0D(2−1,2−2、・
・・、2−M)の転送段数と同じ個数の信号電荷群を第
1の垂直COD (2−1,2−2、・・・、2−M)
に蓄積する。次に垂直ブランキング期間tABでこれら
信号電荷群を駆動端子φ 〜φ 、φ  〜φ  へ4
相転送りロック11  14   SAI   SA4
パルス電圧(図中、φ  、φ  、φ  が相Itl
   1t5   Stl 当)を印加して第1の垂直CCDA (5−AI、・・
・、5−AM)へ転送する。次にφ 、φ にフィール
ドシフトパルス電圧φ  、φ  とPS7     
PS8 φ!1〜φ14へ所定の電圧を印加して図中破線で示す
ような前述とは垂直方向画像サンプリング中心がIPD
分ずれたようになる信号電荷の加算を行なう。次にこれ
ら信号電荷群をφ11〜φ14と第2の垂直CCDB 
(5−Bl、・・・、5−BM)の端子φ  〜φ  
へ4相転送パルス電圧(図中SBI     SB4 φ  、φ  、φ  )を印加して第1の垂直It2
  1t6   St3 COD (2−1,2−2、・・・、2−M)から第2
の垂直COD (5−Bl、・・・、5−BM)へ演奏
する。これによって第1図の場合と同様にPD(1−1
,1−2、・・・、1−N)の個数と同じ数の画素信号
が第2の垂直CCDA (5−A1、・・・、5−AM
)とB(5−Bl、・・・、5−BM)へ垂直ブランキ
ング期間tABにおいて転送されたことになる。この第
2の垂直CCDA (5−AI、・・・、5−AM)と
B(5−Bl、・・・、5−BM)に転送された信号電
荷群は第2のフィールド期間tF2有効期間t におい
てφ  〜φ  、φSBI〜BE         
SAI     SA4φ  に所定のパルス電圧(b
図ではφSL8、B4 φ  、φ  、φ  が相当)を印加して第2SL4
     Sl7     Sl8の垂直COD (5
−At、・・・、5−AM、5−B1、・・・、5−B
M)から水平方向に1列毎(先と同様1転送段毎)読出
し水平CCDレジスタ8に転送し、クロックφ 、φ 
で順次出力部のより11L   B2 読出される。
この実施例では、第1図と比べて全てのPDの信号電荷
が読出される周期が2倍になるため、動的解像度を向上
させる事ができる。
なお、有効期間1  Sl  でのフィールドシフAn
   BE トパルスφ  、φ  、φ  、φ  はTVFs5
   FS8   I’S9   PSIO走査線の水
平ブランキング期間内で行なうのが望ましい。また、こ
の実施例も、白黒のみならずカラー化を行なう事ができ
るのも勿論である。第1図の実施例においても白黒に用
いる事ができる。
第4図は、本発明の提供する電子カメラ用撮像素子の実
施例を説明するものである。電子カメラは撮像素子チッ
プに画像を形成する光学系と、その光路上の設けられた
シャッターを有している。
a図は撮像素子チップの平面図を示しており、基本的に
は、ホトダイオードの2次元配列領域6の下に設けた例
えば81基板とは逆バイアスされたPN接合より成るド
レイン11、その上に設けた第1の垂直COD (2−
1,2−2、・・・、2−M)から前記ドレイン11へ
の電荷除去を行なうためのドレインゲート(10−1、
・・・、10−M)を追加している以外は同じである。
ドレイン11へは正バイアスが印加されている。b図は
撮像動作を説明するための端子φ 、φ  、φ  に
印11   SAI   SBI 加する駆動電圧波形である。
ここで撮影者がシャッタを押した瞬間を例えばb図での
時間toすると、まず全PD(1−1,1−2,1−3
、・・・、1−N)の残存信号電荷を第1の垂直CCD
 (2−1,2−2、・・・、2−M)ドレインゲート
(10−1、・・・、10−M)を介してドレイン11
に除去する。このPD (1−1,1−2,1−3、・
・・、1−N)から第1の垂直COD (2−1,2−
2、・・・、2−M)への信号電荷転送はφ11〜φI
4に所定の4相駆動パルス電圧(図中ではφ  が相当
)を印加して行なう。
t9 同時に一時メモリ領域7の残存電荷もφSAIφ  、
φ  〜φ  に所定の4相駆動パルスSA4   S
BI   SB4 電圧(図中ではφ  、φ  が相当)を印加しSi5
   Si2 て読出しCCD8から除去しておく。
次にPDで任意の期間tA、信号電荷を蓄積して、次に
第2のフィールドシフトパルス電圧φ  をS12 印加した後、第3図の場合と同様に図中実線で示すよう
に垂直CD (2−1,2−2、・・・、2−M)内で
加算してPD (1−1,1−2,1−3、・・・、1
−N)の信号電荷を第1に垂直CCD (2−1,2−
2、・・・、2−M)へ転送する。続いてこの信号電荷
を第1の垂直COD (2−1,2−2、・・・、2−
M)から第2の垂直CCDA (5−AI、・・・、5
−AM)へ所定の転送りロックパルス電圧(図中ではφ
1t工。、φSt7が相当)を端子φ11〜φ14、φ
  〜φ  へ印加して転送する。PDは前述SAI 
  SA4 の第2のフィールドシフトパルスφ  が印加さS12 れた後、次の信号電荷蓄積を行なっており、前記tAと
同じ期間tB信号電荷蓄積を行なう。そして、第3のフ
ィールドシフトパルスφ  をφpsta   +i に印加してPDの信号電荷を第1の垂直CCD(2−1
,2−2、・・・、2−M)へ転送し、第3図と同様の
方法で図中破線で示したような信号電荷加算を第1の垂
直CCD内で行なう。
次にこれら信号電荷を第1の垂直CODから第2の垂直
CCDB (5−Bl、・・・、5−BM)へ端子φ 
〜φ 、φ  〜φ  へ所定の転送11  14  
8BI   SB4 クロックパルス電圧(図中ではφ  、φ  が1tl
l   SA8 相当)を印加して行なう。それから第2の垂直CCDA
 (5−AI、・・・、5−AM)とB(5−B1、・
・・、5−BM)の信号電荷は端子φSAI〜φ  、
φ  〜φ  へ転送パルス電圧(図中SA4   S
BI   SB4 c′ct ゛ φ  φ5LIO” 5LLI” 5L
12” 5L13’L9 φ  が相当)を印加して先の実施例同様、−列L14 ごと読出しCODレジスタ8へ転送し、順次出力9より
読み出す。この場合、シャッタースピードはtAの2倍
のtsとなり、鮮明かつ高速シャッターが切れる他、所
望のシャッタースピードがこのtsを変化することによ
り得られる。
第5図は本発明の第5の実施例であり、水平解像度を増
した固体撮像素子チップを示している。
a図はそのレイアウトを示し今迄説明したものと変わら
ない。但し、ダイオード(1−1,1−2,1−3、・
・・、1−N)に夫々画素電株59が接続され、その中
心は垂直方向にジグザグに配列されている。b図は画素
部の断面構造を図示している。
即ち、P型S1基板51上の絶縁層54中に第1の垂直
CCDの2層の転送電極52.53が形成され、チャネ
ルストッパー55で区画されて、上記第1の垂直CCD
のN+チャネル56及びダイオード57が設けられてい
る。このダイオード57にはコンタクトホールCを介し
てM電極58が接続され、更に表面にスルーホールを介
して画素電極59が設けられている。この全体にa−8
1等の光導電体膜60、透明電極61が被着され、2階
建構造となっている。
このチップの動作は第1図で説明したのと同じであり、
ダイオード(1−1,1−3、・・・)の電荷が第1の
垂直COD (2−1,2−2、・・・、2−M)から
第2の垂直CCDA (5−AI、・・・、5−AM)
に実線の如く読出され、次にダイオード(1−2,1−
4、・・・)の電荷が第1の垂直CCD (5−Bl、
・・・、5−BM)に破線の如く読出された後、水平C
CDレジスタ8から水平方向に一段ずつ出力部9から出
力される。
しかして画素電極59中心が水平方向画素ピッチのl/
2ずらしながら配置されているため、見かけ上の出力順
は一点鎖線の如くなり、水平方向解像度が2倍化される
尚、画素電極59の形状を菱形としてしきつめる事もで
きる。
第6図はシンクロビジョン方式の場合を説明する図であ
る。この第5の実施例において、光入力はレンズ62を
通り撮像素子チップ63に結像される。撮像素子チップ
63はバイモルフ圧電素子64に取付けられており、バ
イモルフ圧電素子64に印加する振動パルスの振幅に応
じて入射光学像に対して相対的に移動する。振動パルス
は振動パルス発生回路65より印加し、固体撮像素子チ
ップの駆動パルスは、クロックトライバ66、タイミン
グ発生回路67より供給する。同期パルス発生回路68
は、垂直、水平同期パルス、ブランキングパルスなどを
作り、夫々必要な回路へ供給する。固体撮像索子の出力
信号はプリアンプ69、プロセスアンプ70を通し信号
処理をした後、例えばモニタ71によりその再生画像を
得る。
第7図は、この固体撮像素子とこれを振動させる時間関
係、固体撮像素子のフォトダイオードから信号電荷を読
出すフィールドシフトパルスのタイミングと垂直ブラン
キングパルスのタイミング関係を示している。
11は固体撮像素子のチップであり、1−1、は入射光
を受光するとき有効部となる画素であり、1−18は後
に説明する振動した時に得る擬似的な画素である。4−
1、・・・、4−Mは1−1の画素信号と1−1aの画
素信号を図示していない第1の垂直CODを通して分離
選択して第2の垂直COD (5−AI、・・・、5−
AM、5−Bl、・・・、5−BM)へ転送させるため
のゲートである。
8は第2の垂直CCD (5−AI、・・・、5−AM
5−B1、・・・、5−BM)を同時に読出すための水
平CODである。9は出力部を構成する出力アンプ、O
8はその出力端子である。図中、実線矢印は実画素での
信号電荷順路、破線矢印は擬似的画素での信号電荷順路
である。
ここに示したチップを下の波形で振動動作させる。振動
は水平画素配列方向(X方向)に入射光学像に対して行
なう。そして振動の振幅は1/2水平角素ピッチ、PH
/2とする。そして振動の周期は1フイールドを1周期
とし、その中心点をほぼ1/2フイ一ルド点におく。こ
の振動パルスは1フレ一ム期間をAフィールド、Bフィ
ールドとするブランキングパルスに周期させ、画素から
信号を読み出すフィールドシフトパルスをこれに合わせ
る。このときAフィールドのほぼ中間で第1のフィール
ドシフトパルスvF1で信号を読出し、Aフィールドの
終わりで第2のフィールドシフトパルスVP2により次
の信号(例えば擬似的画素の信号)を読出す。そして、
Bフィールドでは素子の画素の垂直方向の読出し組合せ
を変えてインターレース動作をした後、第3のフィール
ドシフトパルスvF3で実画素信号を読出し、次の第4
のフィールドシフトパルスVF4で擬似的画素の信号を
読出す事により1フレ一ム期間の動作を終了する。
この様に1フイールド内で2つの空間サンプリング点の
情報が別々に画素から読出される。即ちAフィールド内
でtaの期間は画素はXlの位置にあり、こめ信号をv
Plで読出す。そしてtbの期間は画素はX2の位置に
ありこの信号をvP2で読出す。以下Bフィールドにつ
いても同様な動作である。このtaとtbの信号電荷を
一時メモリ領域で蓄積し、水平CODレジスタ8で同時
に読出すことにより水平方向に2倍のサンプリング点が
得られる。
画素からの信号電荷の読出しは第1図で説明したように
1つおきでもよいし、第3図で説萌した様に垂直方向に
加算するものでもよい。ここでは後者について具体的に
説明する。
第8図aはチップのレイアウト、bはその動作波形であ
る。チップの詳細については重複するので説明を省略す
る。
垂直ブランキングパルスは有効期間と無効期間であるブ
ランキング期間を分けている。この両者を合わせて1フ
イ一ルρ期間となる。振動パルスは1フイ一ルド期間を
ほぼ2等分した位置で切換わる。そして振動パルスAと
Bの振幅は水平画素ピッチPHの172になるように設
定する。
まず振動パルスがAの期間の終りの部分AからBに切換
わる時点Cの直前にフォトダイオード(1−1,1−2
,1−3・・・、1−N)から信号電荷を読出すフィー
ルドシフトパルスlAを印加する。このとき読出した信
号電荷は有効期間内では第1の垂直CCD (2−1,
2−2、・・・、2−M)内で保持しておく。このため
の電圧がIBである。そしてブランキング期間になった
直後、感光部の第1の垂直COD (2−1,2−2、
・・・、2−M)と第2の垂直CCDB (5−Al、
・・・、5−AM)へ4相のクロックパルスI  、S
  をB 印加し、第1の垂直CCDに蓄わえられていた信号電荷
を第2の垂直CCDBへ転送する。その後、振動パルス
がBの期間の終りの部分、すなわち切換わる点りの直前
で再度フォトダイオード(1−1,1−2、・・・、1
−N)から信号電荷を読出すためのフィールドシフトパ
ルスlDを印加する。
今度はこの信号電荷をブランキング期間内にすぐ第2の
垂直CCDA (5−Bl、・・・、5−BM)へ転送
するため、第1の垂直COD (2−1,2−2、・・
・、2−M)へはI 1第2の垂直CODA(5−AI
、・・・、5−AM)へはSDの4相のクロックパルス
を印加する。以上の結果、振動パルスにより得た空間サ
ンプリング点の異なった信号電荷は1フイールド内に第
2の垂直CCDB(5−Bl、・・・、5−BM)とA
(5−Al、・・・、5−AM)内に蓄えられる。この
信号電荷を次のフィールドで1水平走査期間ごとにパル
スを印加するラインシフト動作S SScによって水平
CCDB内へ転送する。このとき、今までの実施例と同
様水平CCD8の転送段階を第2の垂直CCDの列の数
だけ設けておくことにより同時に信号を読出せる。水平
CCD8へはHAのパルスを印加して連続信号として読
み出す。また、信号選択ゲート(セレクトゲート、4−
1、・・・、4−M)は振動パルスAの期間、電荷が第
2の垂直CCDB (5−Bl、・・・、5−BM)へ
行くよう、振動パルスBの期間、第2の垂直CCDA 
(5−A1、・・・、5−AM)へ行くよう印加する。
これにより、第8図Cに示すように入射光学像に対して
水平方向に2倍の信号サンプル点が得られる。また、A
フィールド、Bフィールドの垂直インターレースが加え
られているので再生画像上のサンプリング点は第8図d
に示す如くになる。
OはAフィールド間aの期間、・はAフィールド間bの
期間、ΔはBフィールド間aの期間、ムはBフィールド
間bの期間におけるサンプリング点を示す。これに見ら
れる様に、本実施例では水平方向のサンプリング点が2
倍に増加され、また、1フイールド内で一振動モードに
伴なう出力を得ているので従来の如くフィールド間でP
H72信号をずらす必要がなく、フリッカ等の問題も解
決される。
第9図は、第8図で説明した振動パルスの周波数を1/
2にした例を示す図である。この図における記号は第7
図で示したものと同じであるので説明は省略する。ここ
での特徴はAフィールドとBフィールドの振動パルスの
位相を180℃ずらしたことである。このことにより振
動パルスの周期はフレーム周期と同じにできる。標準方
式の場合30Hzとなる。
第10図は一時メモリ領域7の具体例を示す。
第2のCCDAとBはチャネルストップ(P+層101
)で分離している。そして第2のCCDAは4個の転送
電極φ  〜φ  に分離し、−8AI   SA4 方、第2のCCDBも4個の転送電極φSBI〜φ  
に分割している。図中、・印は転送電極間B4 で接続するためのコンタクトホールを示しており、図示
の如<A、BのCCDを交互にパルス印加されるように
配線すればよい。この配線はアルミニウムを用いて入射
光の遮断を行なえば一時メモリ領域で発生するスミアの
防止になる効果が得られる。コンタクトは第2の垂直C
CD、A、Bのチャネル上に設けてもよく、チャネルス
トッパ上に設けても良い。ここに示した構造にすること
で第2の垂直CCDA、Bを独立に制御することができ
る。
第7図〜第9図に示した実施例も以下に列記するように
種々の変形が可能である。
(a)  撮像素子の感光部はフォトダイオードと垂直
CODで構成したインターライン転送型を用いているが
、光電変換部にアモルファスシリコンなどの光電変換膜
を重ねた二階建センサ構造のものを用いる事も今までの
実施例同様に可能で開口率を大きく取れるのでモアレを
小さくすることができる。
(b)  また、テレビジョン標準方式に限定されない
。例えば銀塩フィルムを用いない電子カメラやOCR等
のシステムに適用して良質の高解像度画像が得られる。
この場合、例えば第7図に示した振動パルスの切換え時
点に対応するvFlないしvF3を中心にシャッターを
onすれば良い。
(C)  また、撮像素子を1個、2個もしくは3個用
いたカラー撮像を行なうカラーカメラにも適用できる。
(d)  振動パルスに台形波を用いた場合について説
明したがこれに限定されない。1フイールド内でサンプ
リング点が2個得られる振動パルスであれば同様な効果
が得られる。矩形波、三角波、正弦波でもよい。また台
形波に高周波のリップルが重なっていても良い。この場
合画素の開口部を大きくできる効果も発生する。
(e)  上記実施例では固体撮像素子を振動させてい
るがこれに限らない。要するに素子と入射光学像の位置
が相対的に変化すれば良いわけであるから入射光路を1
フイールド内に2個得られるようにしても良い。この場
合ガラス板の角度を変えてもよく、プリズムを用いても
よい。
第11図aは、以上第1図〜第10図で説明した実施例
のホトダイオード(又はダイオード)と第1図の垂直C
CDのレイアウトの詳細を示す図である。第11図すは
基板中にホトダイオードが形成された場合のセル断面図
である。
第11図aより分るようにチャンネルストッパー112
で区割されて、蓄積ダイオード領域と垂直CCDのチャ
ネルが設けられており、水平方向に2層構造の転送電極
が配列され、クロックパルス端子φ11〜φI4が与え
られている。破線は例えば第1層ポリシリコン電極、実
線は第2層ポリシリコン電極を示している。
第11図すに示す断面図において、111はP型シリコ
ン基板、112はP チャネルストッパー、113はフ
ォトダイオード、114は垂直CCDのn+チャネル、
115.116は転送電極、117は光シールド用M膜
、118は絶縁層を示している。
第12図は、第11図のものに印加される読出し転送パ
ルスである。第12図aは第1図に示した垂直方向に連
続する画素の1つが第1の垂直CCDに読出される場合
、第12図すは垂直方向に連続する画素の信号電荷が加
算され転送される場合を示す。
第12図aにおいてφ11にフィールドシフトパルスφ
F1が印加されると第11図のPD (1−1,1−3
)が読出され4相クロツクで転送される。
モしてφI3にフィールドシフトパルスφF2が印加さ
れるとPD (1−2,1−4)が読出され4相クロツ
クで転送される。第12図すにおいては、φ 、φ に
フィールドシフトパルスφ 、φ11  13    
          FB   F4が印加されφI2
がハイレベルのOvにあるとPDl−1と1−2.1−
3と1−4は加算読出しされ、4相クロツクで転送され
る。また次いでφ11、φ にフィールドシフトパルス
φ 、φ が印加13              F
5   FBされ、φ14がハイレベルにされるとPD
I−2と1−3が加算読出しされ、4相クロツクで転送
される。第12図a、b何れも垂直方向の転送は4相ク
ロツクパルスで2電極が対になってポテンシャル井戸を
形成し乍ら電荷が移動する事が判る。
第13図aは、今までの実施例における選択ゲート(4
−1、・・・、4−M)の構造を、第1、第2の垂直C
ODの接続部と共に図示したものである。この図では、
第1の垂直CCDの最上部の2つの転送電極と、第2の
垂直CCDの最下部の2つの転送電極を示している。破
線・は第1層ポリシリコン、実線は第2層ポリシリコン
電極を示し、n+チャネルを横切ってMO8構造として
形成されている。
第13図すは、第1の垂直CCDから第2の垂直CCD
Aに信号電荷を転送する場合、第13図Cは、第1の垂
直CODから第2の垂直CCDBに信号電荷を転送する
場合を夫々示している。この図では、フィールドシフト
パルスとしてφF3を例示し、PDI−1と1−2、・
・・が加算読出しされた事を示しているが、PDから第
1の垂直CCDに読出した後の転送パルスの与え方は第
12図の何れの場合も同じである。この図より、第2の
垂直CCDAに転送する場合は、φ11〜φ 、So 
1φ  〜φ  は連続した転送型+4   2  8
AI   SA4 極として動作し、So 1φ  〜φ  はロウL  
 SBI   SO2 レベルにある事が判る(第13図b)。また、第2の垂
直CCDBに転送する場合は、φ11〜φ14、SG 
 、SG  、φ  〜φ  は連続した転送1   
2  8BI   SB4 電極として動作し、φ  〜φ  はロウレベルSAI
     SA4 にある(第13図C)。
この例では選択ゲート4−1、・・・、4−Mは夫々1
対のゲー)SG  、SG  、より構成されているが
、S G  13 G 2の一方の転送電極のしきい値
を変えるようにすれば、あるバイアスの時のみ片側がオ
ンする連続電極にて形成する事もできる。尚第13図に
おいて、図示されていない上下0電極も・φ11−φ!
2−φI3−φ!4・φSAL→φ  →φ  →φ 
 、φ  →φSB2  →SA2     SA3 
    SA4     SBIφ  →φ  の配列
順を保って配列されている。
SO39B4 また、第13図aの電極φ11は、第11図のPDl−
1における電極φ1、に相当している。
以上、本発明を実施例に基づいて説明して来たが、これ
に限られるものではない。
例えば、以上の説明では第1の垂直CODや第2の垂直
CCDを4相駆動する場合について説明したが単相、2
相など相数の異なるものであってもよい。
また、1フイ一ルド画像信号として垂直方向に2倍の数
の信号を独立して読出す事が可能であるが電子ズーミン
グ機能として中央部の信号から一画像を取り出す場合も
垂直方向の解像度の劣化が従来と比べて少ないものが得
られる。
また第4図におけるドレイン11を他の実施例について
も設けていてよい事は言うまでもない。
これにより高速シャッタ動作を行なう事が可能で例えば
第3図では、PDの信号電荷を第1の垂直CODを介し
てこのドレインに除去し、その分、有効期間tAEとt
BEのフィールドシフトパルスφ  、φ  、φ  
、φ  をずらせば良い。
FS5   FS8   FS9   PSIOまた読
み出しCCDレジスタ8は1つのチャネル構成のものに
ついて主に説明したが、複数のチャネルより構成された
ものでもよい事は言うまでもない。例えば2つのチャネ
ルより構成されたものでは第2の垂直CCDA (5−
AI、・・・、5−AM)の信号電荷を1つのチャネル
から、B(5−Bl、・・・、5−BM)の信号電荷を
別のチャネルから読み出せる。
第1図の実施例においては1フイールドで垂直方向に5
12の信号が得られ、カラー化した場合第2図の例では
256の信号が得られる。カラーの場合、次のフィール
ドで垂直方向にIPDずれたカラーフィルター配列をユ
ニットとして撮像を行なえば良い。即ち、第1フイール
ドではPDI−1と1−2.1−3と1−4が夫々−走
査線を構成したが、第2フイールドではPD(1−2と
1−3、・・・)を1つのフィルターユニットに見立て
、1−2の信号を第2の垂直CCDAから水平CCD8
1へ、1−3の信号を第2の垂直CCDBから水平CC
D82へ読出し、これを夫々出力して残りの256本の
走査線信号を同様にして形成し、先の256本に対し画
面上でインターレース表示する。
しかして第1図の構成では1フイールドで垂直方向に5
12の信号が得られるので、上記NTSC方式に限らず
、1フイールドで512本の走査線全てを表示するI 
DTVやEDTV方式に適用する事ができる。白黒やフ
ィルター配列を変えてカラー表示が可能である。
第3図の実施例は、所定のフィルター配列を用いること
によりインターレース表示するNTSC方式の基でカラ
ー化が可能であるが、CCDレジスタ8から垂直方向に
隣接する信号が交互に挿入されて出力されている。この
信号を再度分離して512本を同時表示する上記I D
TVやEDTV方式へ、白黒あるいはカラー用に適用す
る事ができる。
第5図の実施例では、垂直方向に隣接するPD(1−1
と1−2.1−3と1−4、・・・)の信号を対として
第1のフィールドで256本を表示し、第2のフィール
ドではIPD垂直方向にずれた対のPD (1−2と1
−3、・・・)から残る256本の信号を形成してイン
ターレース表示する上記NTSC方式にも適用すること
ができる。
上述したI DTVやEDTVと呼ばれる方式へ適用す
る際、先に述べた2線式の水平CCD8を用いるのが効
果的である。
第14図はその例であり、水平CCD8の一方8゜にT
V走査線のIH分、出力を遅延させるIH遅延線を設け
ている。IH遅延線としてはシフトレジスタやRAMな
どのF I F O(First 1nfirst o
ut)メモリが使用できる。これにより1フイールド内
で第2の垂直CCDASBに読出された信号は、出力端
子O51082から交互に実線信号、破線信号、実線信
号、破線信号、・・・の順にPDマトリクスの水平例の
上部から順に続出され、512走査線分の信号を時間的
に並べて出力できる。第14図aは例えば第1図、bは
例えば第3図の読出し方式に対応している。これにより
、第14図Cに示した如く512本の走査線のノンイン
ターレース表示が簡単にできる。
この場合、第2の垂直CCDASBから水平CCD8 
.8  への読出しは同時で構わない。
又、本発明は以上の例に対し、種々変形が可能である。
例えば第2の垂直CCDA、Bは夫々1チャネルのもの
について説明したが、上記第2の垂1ccDの1つのチ
ャネルを左右に分割して2線式としたサブチャネル構成
とし、第1の垂直CODから信号電荷を転送する際、左
右に振り分けながら行なうことも可能で本発明に含まれ
る。
第4図の実施例では光路上に機械式シャッターを設けた
が、これを省くことも勿論可能である。
(以下余白) [発明の効果] 本発明によれば、増大された画素信号を、例えば感光領
域の全画素数に相当する画素信号を同時に読出すことが
できる。
これにより制限された画素数から高解像度の信号を得る
ことができる。
そしてカラー撮像においては垂直方向のフィルター配列
ユニットの大きさを削減できる。従って高解像度かっ色
信号のフリッカやモアレが改善される。
また、加算読出しに際して動的解像度の向上を図ること
ができる。
また、電子カメラに適用して高画質のスチール像を高速
シャッターにて得る事が出来効果大である。
また、フィールド間の信号差に基づくフリッカを防止す
ることができる。そして水平、垂直方向に改善された画
像を画素のジグザグ配置により得ることができる。
更に、シンクロビジョン方式に適用して、従来のCOD
読出しレジスタや表示部において振動モードにタイミン
グしたPH/2ずらす信号処理が不要となり、またこの
処理ずれに基づくフリッカの発生の問題が解決できる。
そして、1フイールiで得られる見かけ上の水平方向画
素ピッチの増大が可能であリモアレの改善を図ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の図、第2図はカラー化の例
を示す図、第3図は他の実施例の図、第4図は更に他の
実施例を示す図、第5図は他の実施例の図、第6図、第
7図、第8図、第9図は他の実施例を説明するための図
、第10図は一時メモリ部の接続関係を示す図、第11
図は感光部の一例を示す図、第12図のそのパルス波形
図、第13図は選択ゲートの動作例を示す図、第14図
はノンインターレス表示の例を示す図、第15図、第1
6図、第17図、第18図は従来技術を説明するための
図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体基板上に2次元配列された感光部と、この
    感光部の2次元配列領域にあって感光部に発生する信号
    電荷を読み出す複数の第1の垂直電荷転送部と、前記半
    導体基板上の一時メモリ領域に設けられ、前記第1の垂
    直電荷転送部の1チャネルに対して夫々第1及び第2の
    チャネルを有し電荷の一時メモリが可能な複数の第2の
    垂直電荷転送部と、第1の期間、前記感光部の2次元配
    列領域の画像サンプリング情報を前記第2の垂直電荷転
    送部の第1のチャネルに転送し、第2の期間、サンプリ
    ング点がずれた画像サンプリング情報を前記第2のチャ
    ネルに転送する、前記複数の第1及び第2の垂直電荷転
    送部の間に夫々設けられた切換えゲート手段と、前記複
    数の第2の垂直電荷転送部に接続され、前記第1及び第
    2の期間に前記複数の第2の垂直電荷転送部に転送され
    た信号電荷を順次読み出す水平電荷転送部とを備えた事
    を特徴とする撮像装置。
  2. (2)半導体基板上に2次元配列された感光部と、この
    感光部の2次元配列領域にあって感光部に発生する信号
    電荷を読み出す複数の第1の垂直電荷転送部を、前記半
    導体基板上の一時メモリ領域に設けられ、前記第1の垂
    直電荷転送部の1チャネルに対して夫々第1及び第2の
    チャネルを有し電荷の一時メモリが可能な複数の第2の
    垂直電荷転送部と、第1の期間、前記感光部の2次元配
    列領域の画像サンプリング情報を前記第2の垂直電荷転
    送部の第1のチャネルに転送し、第2の期間、サンプリ
    ング点がずれた画像サンプリング情報を前記第2のチャ
    ネルに転送する。前記複数の第1及び第2の垂直電荷転
    送部の間に夫々設けられた切換えゲート手段と、前記複
    数の第2の垂直電荷転送部に接続され、前記第1及び第
    2の期間に前記複数の第2の垂直電荷転送部に転送され
    た信号電荷を順次読み出す水平電荷転送部と、前記感光
    部の2次元配列領域に画像を形成する光学系と、この感
    光部の2次元配列領域に形成された画像を時間的に振動
    させる手段とを備えた事を特徴とする撮像装置。
JP62039171A 1987-02-24 1987-02-24 撮像装置 Pending JPS63207285A (ja)

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US07/157,718 US4972254A (en) 1987-02-24 1988-02-19 Solid state image sensors for reproducing high definition images
DE3806034A DE3806034A1 (de) 1987-02-24 1988-02-23 Festkoerper-bildsensoren
US08/207,267 US5446493A (en) 1987-02-24 1994-03-09 Solid state image sensors for reproducing high definition images

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58111580A (ja) * 1981-12-25 1983-07-02 Toshiba Corp 固体撮像装置
JPS61127275A (ja) * 1984-11-26 1986-06-14 Hitachi Ltd 電荷結合形撮像素子の駆動方法

Patent Citations (2)

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