JPS632086B2 - - Google Patents
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- JPS632086B2 JPS632086B2 JP10797981A JP10797981A JPS632086B2 JP S632086 B2 JPS632086 B2 JP S632086B2 JP 10797981 A JP10797981 A JP 10797981A JP 10797981 A JP10797981 A JP 10797981A JP S632086 B2 JPS632086 B2 JP S632086B2
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- light
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 4
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 16
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学的な軸の整列方法（アラインメ
ント方法）に関し、更に詳しくは、本質的には三
次元的な拡がりを持つた線対称物体、又は完全に
は線対称でない物体それ自体を用いて、その認め
られる軸又は想定される軸を整列せしめる方法に
関する。
ント方法）に関し、更に詳しくは、本質的には三
次元的な拡がりを持つた線対称物体、又は完全に
は線対称でない物体それ自体を用いて、その認め
られる軸又は想定される軸を整列せしめる方法に
関する。
整列せしめる上記物体の軸を直線状光体として
表すように工夫して、その直線状光体（例えばス
リツト像）の整列を行うことは有利である。そこ
で、直線状光体の整列において、２本の直線が一
つの平面内に包含された場合、この２直線は二次
元的な整列状態にあり、更に２直線が同一平面内
に平行に並んだ時、その２直線は完全整列状態に
なる。
表すように工夫して、その直線状光体（例えばス
リツト像）の整列を行うことは有利である。そこ
で、直線状光体の整列において、２本の直線が一
つの平面内に包含された場合、この２直線は二次
元的な整列状態にあり、更に２直線が同一平面内
に平行に並んだ時、その２直線は完全整列状態に
なる。
従来、直線状光体を例えば一つの垂直面内（第
１図のXZ面内）に整列せしめるには、陸地測量
におけるトランシツトのように、望遠鏡、顕微鏡
等を用いて直線状光体を接眼視野内に結像し、人
が視覚により基準とする視野内の指標と直線状光
体の像とを直接比較して整列を行つている。省力
化の為、又は精度を高める為に望遠鏡又は顕微鏡
の系に電子技術が導入されている場合もある。
１図のXZ面内）に整列せしめるには、陸地測量
におけるトランシツトのように、望遠鏡、顕微鏡
等を用いて直線状光体を接眼視野内に結像し、人
が視覚により基準とする視野内の指標と直線状光
体の像とを直接比較して整列を行つている。省力
化の為、又は精度を高める為に望遠鏡又は顕微鏡
の系に電子技術が導入されている場合もある。
しかしながら、上述の如く、従来の整列方法
は、電子技術が導入されていても、結局は人が視
覚により基準とする視野内の指標と直線状光体と
を直接比較することによる光学的な軸の整列方法
でしかなかつた。
は、電子技術が導入されていても、結局は人が視
覚により基準とする視野内の指標と直線状光体と
を直接比較することによる光学的な軸の整列方法
でしかなかつた。
かかる現状に鑑み、本発明の目的は、直線状光
体の二次元的整列において、整列基準平面からの
偏倚方向と偏倚量を２個の信号の大小、又は正・
負号付きの（差）信号で捉え、客観的かつ定量的
に把握することにより、整列度の測定精度の向上
及び整列操作の精度向上と自動化を測ることにあ
る。
体の二次元的整列において、整列基準平面からの
偏倚方向と偏倚量を２個の信号の大小、又は正・
負号付きの（差）信号で捉え、客観的かつ定量的
に把握することにより、整列度の測定精度の向上
及び整列操作の精度向上と自動化を測ることにあ
る。
上記目的を達成する本発明は、直線状光体を整
列基準平面（直角座標XYZの例えばXZ面）に整
列せしめる整列法において、該直線状光体の基点
Ａを通るＸ軸上の結像手段を越えた結像位置に当
たるA′点において該XZ面と直交するYZ面に回転
体又は直線移動体を設け、該回転体は、A′点を
通るＺ軸上のA′点から任意距離ｒ離れた位置に
回転軸を有し、かつ、該半径ｒの円周上の相離れ
た２点に各点を通る直径に対して夫々同じ角度を
もつて互いに交叉する関係にある１対の直線状受
光窓を少なくとも１対以上設けてあり、該直線移
動体は、A′点を通るＹ軸又はＺ軸に沿つて直線
移動し、かつ、該XZ面に対して同じ角度をもつ
て互いに交叉する関係にある１対をなす直線状受
光窓の少なくとも１対以上が、各移動軸に沿つて
並べて設けてあり、該直線状光体を示す光像が、
該回転又は直線移動する対を為す該直線状受光窓
に交叉投射され、該投射光の該受光窓受光量が定
量的信号に変換され、該対をなす定量的信号の大
きさを等しくするように該直線状光体を基点Ａに
おいて調整することによつて、該直線状光体の整
列を行うことを特徴とする光学的な軸の整列方法
に関するものである。
列基準平面（直角座標XYZの例えばXZ面）に整
列せしめる整列法において、該直線状光体の基点
Ａを通るＸ軸上の結像手段を越えた結像位置に当
たるA′点において該XZ面と直交するYZ面に回転
体又は直線移動体を設け、該回転体は、A′点を
通るＺ軸上のA′点から任意距離ｒ離れた位置に
回転軸を有し、かつ、該半径ｒの円周上の相離れ
た２点に各点を通る直径に対して夫々同じ角度を
もつて互いに交叉する関係にある１対の直線状受
光窓を少なくとも１対以上設けてあり、該直線移
動体は、A′点を通るＹ軸又はＺ軸に沿つて直線
移動し、かつ、該XZ面に対して同じ角度をもつ
て互いに交叉する関係にある１対をなす直線状受
光窓の少なくとも１対以上が、各移動軸に沿つて
並べて設けてあり、該直線状光体を示す光像が、
該回転又は直線移動する対を為す該直線状受光窓
に交叉投射され、該投射光の該受光窓受光量が定
量的信号に変換され、該対をなす定量的信号の大
きさを等しくするように該直線状光体を基点Ａに
おいて調整することによつて、該直線状光体の整
列を行うことを特徴とする光学的な軸の整列方法
に関するものである。
又、本発明は、直線状受光窓が、受光素子その
もの、又は受光素子に投射又は造像する窓である
特許請求の範囲第１項記載の方法、更には、直線
状光体が、単数又は複数の線状光源、照射された
スリツト又は線状光像である特許請求の範囲第１
項記載の方法をも包含するものである。
もの、又は受光素子に投射又は造像する窓である
特許請求の範囲第１項記載の方法、更には、直線
状光体が、単数又は複数の線状光源、照射された
スリツト又は線状光像である特許請求の範囲第１
項記載の方法をも包含するものである。
以下に、本発明を実施例によつて詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の二次元的整列方法を実施す
る為の光学系の１例を示す図である。第１図Ａに
示す光学系は、光軸Ｘ上に基点Ａを有する直線状
光体１をXZ面に整列せしめる為のものである。
光体は第１図Ｂに見られるようなスリツトであ
り、光源２により照射されている。直線状光体１
は例えば、光軸Ｘ上の点Ａを起点として回動して
整列基準平面（XZ面）に整列せしめられる。３，
４はＸ軸を光軸とするレンズであり、５は受光素
子である。６はレンズ３によるスリツト１の結像
点に置かれた軸７を回転軸とする回転円板であ
る。軸７は、光軸ＸとXZ面を形成するような関
係位置に設けられる。従つて、回転円板６はXZ
面に直交する平面（YZ面）を有している。
る為の光学系の１例を示す図である。第１図Ａに
示す光学系は、光軸Ｘ上に基点Ａを有する直線状
光体１をXZ面に整列せしめる為のものである。
光体は第１図Ｂに見られるようなスリツトであ
り、光源２により照射されている。直線状光体１
は例えば、光軸Ｘ上の点Ａを起点として回動して
整列基準平面（XZ面）に整列せしめられる。３，
４はＸ軸を光軸とするレンズであり、５は受光素
子である。６はレンズ３によるスリツト１の結像
点に置かれた軸７を回転軸とする回転円板であ
る。軸７は、光軸ＸとXZ面を形成するような関
係位置に設けられる。従つて、回転円板６はXZ
面に直交する平面（YZ面）を有している。
円板６には第１図Ｃに示すように、例えば同一
円周上に中心を持つ１対のスリツト６１，６２が
設けてある。このスリツト６１，６２はそれらの
中心を通る半径の線r1，r2と夫々絶対値の等しい
逆方向の角度＋α、−αをなして交叉する互いに
独立のスリツトである。そしてスリツト１の光体
は丁度スリツト６１，６２の描く輪帯領域内に結
像するような関係位置に設けられている。
円周上に中心を持つ１対のスリツト６１，６２が
設けてある。このスリツト６１，６２はそれらの
中心を通る半径の線r1，r2と夫々絶対値の等しい
逆方向の角度＋α、−αをなして交叉する互いに
独立のスリツトである。そしてスリツト１の光体
は丁度スリツト６１，６２の描く輪帯領域内に結
像するような関係位置に設けられている。
更にスリツト６１，６２は、レンズ４によつて
受光素子５の上に結像するようになつている。
受光素子５の上に結像するようになつている。
次に、第１図の光学系を用いるスリツト１の整
列法について説明する。第２図は、スリツト１が
XZ面に整列された状態の回転円板６上のスリツ
ト１の結像１′とスリツト６１，６２との関係を
示した図である。スリツト１の基点Ａは円板６上
にA′点として結像され、このA′点の位置は不変
である。スリツト１APの結像A′P′中心線が軸７
を通る半径線の上に重なつた時に、スリツト１の
XZ面への整列が完成するから、この時円板６の
回転によつて、スリツト１の結像A′P′と交わる
スリツト６１，６２は、第２図のＡ，Ｂで示たよ
うな、夫々＋α度、−α度で交叉した状態になる。
即ち、スリツト６１，６２に投入されるスリツト
１の結像A′P′からの光量は相等しくなり、受光
素子５に入る光量は両者相等しく、第２図Ｃに示
す如く同一の高さの信号ａ，ｂ（例えば出力電流）
を生じる。
列法について説明する。第２図は、スリツト１が
XZ面に整列された状態の回転円板６上のスリツ
ト１の結像１′とスリツト６１，６２との関係を
示した図である。スリツト１の基点Ａは円板６上
にA′点として結像され、このA′点の位置は不変
である。スリツト１APの結像A′P′中心線が軸７
を通る半径線の上に重なつた時に、スリツト１の
XZ面への整列が完成するから、この時円板６の
回転によつて、スリツト１の結像A′P′と交わる
スリツト６１，６２は、第２図のＡ，Ｂで示たよ
うな、夫々＋α度、−α度で交叉した状態になる。
即ち、スリツト６１，６２に投入されるスリツト
１の結像A′P′からの光量は相等しくなり、受光
素子５に入る光量は両者相等しく、第２図Ｃに示
す如く同一の高さの信号ａ，ｂ（例えば出力電流）
を生じる。
若し、スリツト１がXZ面に整列されていない
時は、第３図Ａ，Ｂに示す如く、スリツト１の
XZ面とのズレ角度をβ度とすると、結像A′P′の
スリツト６１，６２となす角度は、夫々（α＋
β）、（α−β）となり、スリツト６１，６２に投
入されるスリツト１の結像A′P′からの光量は、
異なつたものとなり、従つて、受光素子５に入る
光量は、第３図Ｃの如き異なつた量の信号（出力
電流）a′，b′を生じる。即ち、これら信号a′，
b′の何れが大きいかによつてスリツト１の偏倚方
向が分り、かつ、その絶対値の差によつて角度偏
倚の大きさが分る。
時は、第３図Ａ，Ｂに示す如く、スリツト１の
XZ面とのズレ角度をβ度とすると、結像A′P′の
スリツト６１，６２となす角度は、夫々（α＋
β）、（α−β）となり、スリツト６１，６２に投
入されるスリツト１の結像A′P′からの光量は、
異なつたものとなり、従つて、受光素子５に入る
光量は、第３図Ｃの如き異なつた量の信号（出力
電流）a′，b′を生じる。即ち、これら信号a′，
b′の何れが大きいかによつてスリツト１の偏倚方
向が分り、かつ、その絶対値の差によつて角度偏
倚の大きさが分る。
勿論スリツト１の結像A′P′が、第４図に示す
ようにXZ面に対して第３図Ａ，Ｂの場合とは反
対側に例えば角度γだけズレることもあり、この
場合は、信号a″，b″の高さは同然第３図Ｃと逆転
する。
ようにXZ面に対して第３図Ａ，Ｂの場合とは反
対側に例えば角度γだけズレることもあり、この
場合は、信号a″，b″の高さは同然第３図Ｃと逆転
する。
第５図は、光電素子５からの出力ａ，ｂを例え
ば差動増幅器に入れることによつて、出力ａ，ｂ
の差を電圧或いは電流の形で得たものを縦軸にと
つたものである。第５図には、第２図、第３図、
第４図の場合に該当するａ−ｂ＝０、a′−b′、
a″−b″を示した。このような差出力を信号として
自動制御系に組み込むことは有利である。
ば差動増幅器に入れることによつて、出力ａ，ｂ
の差を電圧或いは電流の形で得たものを縦軸にと
つたものである。第５図には、第２図、第３図、
第４図の場合に該当するａ−ｂ＝０、a′−b′、
a″−b″を示した。このような差出力を信号として
自動制御系に組み込むことは有利である。
以上は、本発明の実施態様の一つを示したもの
であるが、本発明は勿論これに限定されるもので
なく、多くの変形を含み得るものである。例えば
第６図に示すように、スリツト６１，６２は１本
でなく複数本からなつていても良く、これにより
精度を上げることができる。又、第６図Ｂに示す
ように、回転円板の代わりにXZ面に直交する垂
直平面（YZ面）上にスリツト対６１，６２を横
に並べて設けて水平（Ｙ方向）にスライドしても
良く、第６図Ｃに示すようにスリツトの対６１，
６２を縦（YZ面）に並べて設けて上下（Ｚ方向）
にスライドしても良い。又、Ｙ方向でもＺ方向で
もない方向に直線状にスライドしても良い。更
に、第６図Ｄに示すようにスリツト１の結像を長
くして静置された板（YZ面）のスリツトの対６
１，６２の両方向に交叉させても良い。
であるが、本発明は勿論これに限定されるもので
なく、多くの変形を含み得るものである。例えば
第６図に示すように、スリツト６１，６２は１本
でなく複数本からなつていても良く、これにより
精度を上げることができる。又、第６図Ｂに示す
ように、回転円板の代わりにXZ面に直交する垂
直平面（YZ面）上にスリツト対６１，６２を横
に並べて設けて水平（Ｙ方向）にスライドしても
良く、第６図Ｃに示すようにスリツトの対６１，
６２を縦（YZ面）に並べて設けて上下（Ｚ方向）
にスライドしても良い。又、Ｙ方向でもＺ方向で
もない方向に直線状にスライドしても良い。更
に、第６図Ｄに示すようにスリツト１の結像を長
くして静置された板（YZ面）のスリツトの対６
１，６２の両方向に交叉させても良い。
スリツト１は、線状光源でも良く、照明された
スリツトでも良く、又線状光像でも良い。、又、
スリツト１を単数でなく、XZ面と直交するXY
面における複数の平行線、或いは１点に収斂する
放射線上の線として表しても良い。
スリツトでも良く、又線状光像でも良い。、又、
スリツト１を単数でなく、XZ面と直交するXY
面における複数の平行線、或いは１点に収斂する
放射線上の線として表しても良い。
スリツト１、スリツト６１，６２は夫々幅を持
たして良いことは勿論である。
たして良いことは勿論である。
又、第１図に示したような透過光学系の他に反
射光学系、又は透過・反射の混合光学系を用いる
こともできる。
射光学系、又は透過・反射の混合光学系を用いる
こともできる。
以上はXZ面を整列基準面とする二次元的整列
法についてて示したものであるが、第１図Ａの
YZ面を基準面とする整列も全く同様の方法で実
施できる。このXZ面、YZ面の両整列で完全な整
列が完成される。プリズム、反射鏡等の使用によ
り、直線状光体のXZ面、YZ面の光像を、同一の
平面上における２対の受光窓（２対４組の受光
窓）に結像せしめることも可能である。本発明に
おいて整列基準面と直交する関係にある平面と
は、直線状光体からの光を直角に受ける平面のこ
とであり、、光の方向が変われば、この平面の向
きも当然変わつてくるものである。
法についてて示したものであるが、第１図Ａの
YZ面を基準面とする整列も全く同様の方法で実
施できる。このXZ面、YZ面の両整列で完全な整
列が完成される。プリズム、反射鏡等の使用によ
り、直線状光体のXZ面、YZ面の光像を、同一の
平面上における２対の受光窓（２対４組の受光
窓）に結像せしめることも可能である。本発明に
おいて整列基準面と直交する関係にある平面と
は、直線状光体からの光を直角に受ける平面のこ
とであり、、光の方向が変われば、この平面の向
きも当然変わつてくるものである。
なお、受光窓は直接受光素子を以て当てること
も勿論可能であるし、窓からの透過光を受光素子
に当て、又は結像させても良い。
も勿論可能であるし、窓からの透過光を受光素子
に当て、又は結像させても良い。
受光素子から取り出す信号の形式はどのような
ものでも良い。
ものでも良い。
本発明の直線状光体の二次元的整列法は、整列
基準平面からの偏倚方向と偏倚量を２個の信号の
大小、又は正・負号付きの（差）信号で捉え、客
観的かつ定量的に把握するようになつているの
で、整列度の測定精度の向上、及び整列操作の精
度向上と自動化を図ることができる。
基準平面からの偏倚方向と偏倚量を２個の信号の
大小、又は正・負号付きの（差）信号で捉え、客
観的かつ定量的に把握するようになつているの
で、整列度の測定精度の向上、及び整列操作の精
度向上と自動化を図ることができる。
第１図Ａは、本発明の二次元的整列方法を実施
する為の光学系の１例を示す側面図、第１図Ｂ
は、直線状光体の１例を示す正面図、第１図Ｃ
は、直線状受光窓の１例を示す正面図である。第
２図Ａ，Ｂは、整列時の直線状光体と直線状受光
窓との関係の例を示す図、Ｃはその時現れる信号
の例を示す。第３図Ａ，Ｂは、非整列時の直線状
光体と直線状受光窓との関係の例を示す図、Ｃは
その時現れる信号の例を示す。第４図Ａ，Ｂ，Ｃ
は、第３図Ａ，Ｂとは異なる非整列時の関係及び
信号の例を示す。第５図は、光電素子からの信号
の差によつて、第２図、第３図、第４図の場合を
示した図である。第６図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、直線
状受光窓の他の例を示した正面図である。 図において、１……スリツト（直線状光体）、
１′……スリツト結像、２……光源、３，４……
レンズ、５……受光素子、６……回転板、６１，
６２……スリツト（受光窓）、７……回転軸、
XYZ……XZ面を整列基準平面とする三次元座
標、XZ面……整列基準平面、Ｘ……光学系の光
軸、α……設定された受光窓スリツトが整列基準
平面となす角度、β，γ……直線状光体が整列基
準平面からズレている角度、ａ，ｂ：a′，b′：
a″，b″……出力信号。
する為の光学系の１例を示す側面図、第１図Ｂ
は、直線状光体の１例を示す正面図、第１図Ｃ
は、直線状受光窓の１例を示す正面図である。第
２図Ａ，Ｂは、整列時の直線状光体と直線状受光
窓との関係の例を示す図、Ｃはその時現れる信号
の例を示す。第３図Ａ，Ｂは、非整列時の直線状
光体と直線状受光窓との関係の例を示す図、Ｃは
その時現れる信号の例を示す。第４図Ａ，Ｂ，Ｃ
は、第３図Ａ，Ｂとは異なる非整列時の関係及び
信号の例を示す。第５図は、光電素子からの信号
の差によつて、第２図、第３図、第４図の場合を
示した図である。第６図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、直線
状受光窓の他の例を示した正面図である。 図において、１……スリツト（直線状光体）、
１′……スリツト結像、２……光源、３，４……
レンズ、５……受光素子、６……回転板、６１，
６２……スリツト（受光窓）、７……回転軸、
XYZ……XZ面を整列基準平面とする三次元座
標、XZ面……整列基準平面、Ｘ……光学系の光
軸、α……設定された受光窓スリツトが整列基準
平面となす角度、β，γ……直線状光体が整列基
準平面からズレている角度、ａ，ｂ：a′，b′：
a″，b″……出力信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 直線状光体を整列基準平面（直角座標XYZ
の例えばXZ面）に整列せしめる整列法において、
該直線状光体の基点Ａを通るＸ軸上の結像手段を
越えた結像位置に当たるA′点において該XZ面と
直交するYZ面に回転体又は直線移動体を設け、
該回転体は、A′点を通るＺ軸上のA′点から任意
距離ｒ離れた位置に回転軸を有し、かつ、該半径
ｒの円周上の相離れた２点に各点を通る直径に対
して夫々同じ角度をもつて互いに交叉する関係に
ある１対の直線状受光窓を少なくとも１対以上設
けてあり、該直線移動体は、A′点を通るＹ軸又
はＺ軸に沿つて直線移動し、かつ、該XZ面に対
して同じ角度をもつて互いに交叉する関係にある
１対をなす直線状受光窓の少なくとも１対以上
が、各移動軸に沿つて並べて設けてあり、該直線
状光体を示す光像が、該回転又は直線移動する対
を為す該直線状受光窓に交叉投射され、該投射光
の該受光窓受光量が定量的信号に変換され、該対
をなす定量的信号の大きさを等しくするように該
直線状光体を基点Ａにおいて調整することによつ
て、該直線状光体の整列を行うことを特徴とする
光学的な軸の整列方法。 ２ 直線状受光窓が、受光素子そのもの、又は受
光素子に投射又は造像する窓である特許請求の範
囲第１項記載の方法。 ３ 直線状光体が、単数又は複数の線状光源、照
射されたスリツト又は線状光像である特許請求の
範囲第１項記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10797981A JPS5824807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的な軸の整列法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10797981A JPS5824807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的な軸の整列法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5824807A JPS5824807A (ja) | 1983-02-14 |
| JPS632086B2 true JPS632086B2 (ja) | 1988-01-16 |
Family
ID=14472901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10797981A Granted JPS5824807A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的な軸の整列法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5824807A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287354A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-21 | Sanyo Electric Co Ltd | インクジエツトプリンタの温度制御装置 |
| AU2013400152B2 (en) * | 2013-09-11 | 2017-06-15 | Halliburton Energy Services, Inc. | Method and apparatus for aligning components of integrated optical sensors |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10797981A patent/JPS5824807A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5824807A (ja) | 1983-02-14 |
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