JPS63208737A - 発塵量測定方法 - Google Patents
発塵量測定方法Info
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- JPS63208737A JPS63208737A JP62042387A JP4238787A JPS63208737A JP S63208737 A JPS63208737 A JP S63208737A JP 62042387 A JP62042387 A JP 62042387A JP 4238787 A JP4238787 A JP 4238787A JP S63208737 A JPS63208737 A JP S63208737A
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- dust
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、発塵量測定方法に係り、特に清浄環境を必要
とする場所等で使用される装置および装置の運動ａｍか
らの発塵量の測定に適用して好適な発塵量測定方法に関
する。
とする場所等で使用される装置および装置の運動ａｍか
らの発塵量の測定に適用して好適な発塵量測定方法に関
する。
（従来の技術）
例えば、半導体デバイスの製造では、半導体ウェハ上に
微細なパターンの形成を行う工程等、極度に清浄化され
た雰囲気が要求される工程が多く、このような工程は一
般にクリーンルーム内で行われる。
微細なパターンの形成を行う工程等、極度に清浄化され
た雰囲気が要求される工程が多く、このような工程は一
般にクリーンルーム内で行われる。
一般にクリーンルームは、超高性能エアフィルタ等を用
いて清浄化されたクリーンエアーが上部から下部へ向け
て流通されるダウンフローが形成されており、クリーン
ルーム内の装置、人体等から発生した塵埃は、床部から
排出されるよう構成されている。
いて清浄化されたクリーンエアーが上部から下部へ向け
て流通されるダウンフローが形成されており、クリーン
ルーム内の装置、人体等から発生した塵埃は、床部から
排出されるよう構成されている。
しかしながら、半導体装置製造技術の発展はめざましく
、超Ｖ＆細化が進んでいる。この超微細化にともない塵
埃が直接的に影響するため、クリーンルームもクラス１
０、クラス１等の超清浄度を維持した環境が要求され、
入室人員も若干名となるため、中に入る装置の自動化が
行われる。したがって、自動化機器の発塵量は極端に制
限する必要がある０発塵の少ない自動化機器の開発には
高精度な定量的発塵量の測定法が必要である。
、超Ｖ＆細化が進んでいる。この超微細化にともない塵
埃が直接的に影響するため、クリーンルームもクラス１
０、クラス１等の超清浄度を維持した環境が要求され、
入室人員も若干名となるため、中に入る装置の自動化が
行われる。したがって、自動化機器の発塵量は極端に制
限する必要がある０発塵の少ない自動化機器の開発には
高精度な定量的発塵量の測定法が必要である。
従来このような発ｍｘを測定する場合は、クリーンルー
ム内に被測定装置等を配置し、光散乱式粒子計数器の気
体採取部分を装置機動部近傍に配置して、動作状態にお
ける被測定装置近傍の塵埃を採取し、発塵量を測定する
等の方法が行われていた。
ム内に被測定装置等を配置し、光散乱式粒子計数器の気
体採取部分を装置機動部近傍に配置して、動作状態にお
ける被測定装置近傍の塵埃を採取し、発塵量を測定する
等の方法が行われていた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上述の従来の方法では、クリーンルーム
等の大規模な施設を必要とする問題と、クリーンルーム
内のダウンフローの影響、クリーンルーム内の他の装置
あるいは人体等から発生した塵埃のまわり込み、被測定
装置から発生した塵埃の飛散等があり、正確に発塵量を
測定することができないという問題がある。
等の大規模な施設を必要とする問題と、クリーンルーム
内のダウンフローの影響、クリーンルーム内の他の装置
あるいは人体等から発生した塵埃のまわり込み、被測定
装置から発生した塵埃の飛散等があり、正確に発塵量を
測定することができないという問題がある。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、クリーンルーム等の大規模な施設を必要とせず、被測
定物の動作状態における発塵量等を正確に定量的に測定
することのできる発塵量測定方法を提供しようとするも
のである。
、クリーンルーム等の大規模な施設を必要とせず、被測
定物の動作状態における発塵量等を正確に定量的に測定
することのできる発塵量測定方法を提供しようとするも
のである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明の発塵量測定方法は、被測定物を容器内
に設けて外気と隔離し、この容器内に清浄気体を通過さ
せ、前記容器内を通過した気体の少なくとも一部を採取
し、採取した気体内の塵埃の星を測定することを特徴と
する。
に設けて外気と隔離し、この容器内に清浄気体を通過さ
せ、前記容器内を通過した気体の少なくとも一部を採取
し、採取した気体内の塵埃の星を測定することを特徴と
する。
（作 用）
本発明の発塵量測定方法では、試験の対象とする被測定
物を容器内に設けて他の発塵体と隔離し、測定室内に上
部から下部へ向けて流通する清浄化気体流を形成する。
物を容器内に設けて他の発塵体と隔離し、測定室内に上
部から下部へ向けて流通する清浄化気体流を形成する。
そして、例えば動作状態の被測定物から発生した塵埃を
、排気配管内から流通気体の一部とともに採取して、塵
埃数を測定する。
、排気配管内から流通気体の一部とともに採取して、塵
埃数を測定する。
したがって、他の発塵体から発生した塵埃の影響を受け
ることがなく、また、排気配管等から効率良く塵埃を採
取することにより、クリーンルーム等の大規模な施設を
必要とせず、正確に発ａｊｌを測定することができる。
ることがなく、また、排気配管等から効率良く塵埃を採
取することにより、クリーンルーム等の大規模な施設を
必要とせず、正確に発ａｊｌを測定することができる。
（実施例）
以下本発明の発塵量測定方法を図面を参照して一実施例
について説明する。
について説明する。
測定室１は、材質例えば帯電防止処理を施された透明な
硬質塩化ビニル板（帯電防止プレート）からなり、内径
例えば３００ ｉｎ〜５００ｎｎ 、高さ例えば２００
ｎｎ〜４００１１１程度に円筒状に形成され、内部を目
視可能に構成されている。
硬質塩化ビニル板（帯電防止プレート）からなり、内径
例えば３００ ｉｎ〜５００ｎｎ 、高さ例えば２００
ｎｎ〜４００１１１程度に円筒状に形成され、内部を目
視可能に構成されている。
また、この測定室１内には、被測定物２を保持するため
の保持機ｔＮ１ａが配置されている。この保持ｆｉｍｌ
ａは、測定室１内の気体流を乱さない形状が望ましく、
直径例えば８ｆｌ１ｍ程度の鏡面仕上を施されたステン
レス丸棒が、８０ｎｎ程度の間隔を設けて２本配置され
て構成されている。このステンレス丸棒はアース１ａが
接地されている。
の保持機ｔＮ１ａが配置されている。この保持ｆｉｍｌ
ａは、測定室１内の気体流を乱さない形状が望ましく、
直径例えば８ｆｌ１ｍ程度の鏡面仕上を施されたステン
レス丸棒が、８０ｎｎ程度の間隔を設けて２本配置され
て構成されている。このステンレス丸棒はアース１ａが
接地されている。
さらに、測定室１は清浄化気体がこの測定室１内を通過
するように構成されている。すなわち測定室１の上部に
は、フィルタ収容室３を介してフレキシブルダクト等か
らなる導入配管４が接続されている、この導入配管４は
、スライダック５により送風量を可変とされたブロワ６
等の送風手段に接続されている。
するように構成されている。すなわち測定室１の上部に
は、フィルタ収容室３を介してフレキシブルダクト等か
らなる導入配管４が接続されている、この導入配管４は
、スライダック５により送風量を可変とされたブロワ６
等の送風手段に接続されている。
なお、フィルタ収容室３は、例えば横断面が一部２００
ｎ１１〜４Ｇ０ｎ１１程度の正方形等とされた形状とさ
れており、上部にプレフィルタ３ａが配置され、下部に
例えばウルバフィルタ等の超高性能エアフィルタ３ｂが
配置されている。このフィルタ収容室３、プレフィルタ
３ａ、超高性能エアフィルタ３ｂは、被測定物２全体に
清浄化気体を吹き付けられる程度の大きさおよび形状と
することが好ましい。また、フィルタの種類は、例えば
測定対象となる塵埃を被測定物２が運動しない状態でほ
とんどゼロとなる程度に除去でき、清浄化気体が得られ
るものであればどのようなものでも良い。
ｎ１１〜４Ｇ０ｎ１１程度の正方形等とされた形状とさ
れており、上部にプレフィルタ３ａが配置され、下部に
例えばウルバフィルタ等の超高性能エアフィルタ３ｂが
配置されている。このフィルタ収容室３、プレフィルタ
３ａ、超高性能エアフィルタ３ｂは、被測定物２全体に
清浄化気体を吹き付けられる程度の大きさおよび形状と
することが好ましい。また、フィルタの種類は、例えば
測定対象となる塵埃を被測定物２が運動しない状態でほ
とんどゼロとなる程度に除去でき、清浄化気体が得られ
るものであればどのようなものでも良い。
測定室１の下部には、被測定物２で発生した塵埃を正確
かつ定量的に測定可能な測定系が配設される。すなわち
、ベルマウスレデューサ７を介して排気配管８が接続さ
れている。この排気配管８内には、光散乱式粒子計数器
９に接続されたサンプリング管１０が配置されており、
サンブリンク管１０が配置された部位の配管下流側には
、例えばオリフィスｌｌａと圧力計（デジタルマノメー
タ）１１ｂ等からなる流量測定手段が配置されている。
かつ定量的に測定可能な測定系が配設される。すなわち
、ベルマウスレデューサ７を介して排気配管８が接続さ
れている。この排気配管８内には、光散乱式粒子計数器
９に接続されたサンプリング管１０が配置されており、
サンブリンク管１０が配置された部位の配管下流側には
、例えばオリフィスｌｌａと圧力計（デジタルマノメー
タ）１１ｂ等からなる流量測定手段が配置されている。
なお、上記ベルマウスレデューサ７は、第２図に示すよ
うに例えば鏡面仕上を施されたステンレス鋼板等からな
り、上記ベルマウスレデューサ７にはアース７ａを接地
しており、全長ａが飼えば３００１１１１ 、内径すが
１００ｎ＋＋ｉ〜４００ｎｎ程度とされ、開口端部の径
Ｃが内径すに対して１．６倍程度、図中符号ｄ、ｅ、ｆ
、ｇで示される領域のＲが内径すに対してそれぞれ０．
２．０．３３．０，２．０．３０５倍とされた複数種の
Ｒを組み合わせた形状とされており、例えば内径すに対
して１．６倍程度の内径とされた測定室１からの気体流
を、排気配管８内へ乱流等を生じさせることなく絞るよ
うに構成したものである。すなわち、ここで乱流等が生
じると、塵埃の停滞、偏り等が生じたり、新たな塵埃の
発生等が生じ、被測定物からの発塵量を正確に測定する
ことが困難となる。
うに例えば鏡面仕上を施されたステンレス鋼板等からな
り、上記ベルマウスレデューサ７にはアース７ａを接地
しており、全長ａが飼えば３００１１１１ 、内径すが
１００ｎ＋＋ｉ〜４００ｎｎ程度とされ、開口端部の径
Ｃが内径すに対して１．６倍程度、図中符号ｄ、ｅ、ｆ
、ｇで示される領域のＲが内径すに対してそれぞれ０．
２．０．３３．０，２．０．３０５倍とされた複数種の
Ｒを組み合わせた形状とされており、例えば内径すに対
して１．６倍程度の内径とされた測定室１からの気体流
を、排気配管８内へ乱流等を生じさせることなく絞るよ
うに構成したものである。すなわち、ここで乱流等が生
じると、塵埃の停滞、偏り等が生じたり、新たな塵埃の
発生等が生じ、被測定物からの発塵量を正確に測定する
ことが困難となる。
また、サンプリング管１０は、帯電防止処理を施された
ウレタン等から構成され、その先端部には、第３図にも
示すように鏡面仕上を施されたステンレス鋼等から円筒
状に形成された筒状部材１０ａが配置されている。
ウレタン等から構成され、その先端部には、第３図にも
示すように鏡面仕上を施されたステンレス鋼等から円筒
状に形成された筒状部材１０ａが配置されている。
筒状部材１０ａは、全長りが例えば５０ｍｍ程度とされ
、先端部の外径ｌ、肉厚ｊがそれぞれ６．８ｎｍ、０゜
１５ｍ曙とされているのに対して、サンプリング管１０
側端部の外径ｋ、肉厚ぶがそれぞれ８． Ｏｎｉ、０．
２ｍｍとされ、先端部が小径、肉薄となるテーバ状に形
成されている。すなわち、塵埃の採取に際しサンプリン
グ管１０およびその先端で乱流が発生しないように構成
されている。この筒状部材１０ａは、測定室１からの気
体流を乱すことなく、この気体の一部を採取するための
ものである。さらに、サンプリング管１０も、約８００
ｉｎに渡り排気配管８内を徐々に斜め下方に伸ばされ、
排気配管８壁から外部へ導出されており、気体採取部分
の乱流発生を防止する構成とされている。
、先端部の外径ｌ、肉厚ｊがそれぞれ６．８ｎｍ、０゜
１５ｍ曙とされているのに対して、サンプリング管１０
側端部の外径ｋ、肉厚ぶがそれぞれ８． Ｏｎｉ、０．
２ｍｍとされ、先端部が小径、肉薄となるテーバ状に形
成されている。すなわち、塵埃の採取に際しサンプリン
グ管１０およびその先端で乱流が発生しないように構成
されている。この筒状部材１０ａは、測定室１からの気
体流を乱すことなく、この気体の一部を採取するための
ものである。さらに、サンプリング管１０も、約８００
ｉｎに渡り排気配管８内を徐々に斜め下方に伸ばされ、
排気配管８壁から外部へ導出されており、気体採取部分
の乱流発生を防止する構成とされている。
また、筒状部材１０ａの位置は適宜選択できるように上
下左右調節可能な４１！横になっている。そして、筒状
部材１０ａおよびサンプリング管１０により気体の一部
を排気管８外へ導出し、光散乱式粒子計数器９で塵埃量
を計数する。この光散乱式粒子計数器９には、有効に塵
埃を導入するために吸入Ｉｌ格が設けられる。
下左右調節可能な４１！横になっている。そして、筒状
部材１０ａおよびサンプリング管１０により気体の一部
を排気管８外へ導出し、光散乱式粒子計数器９で塵埃量
を計数する。この光散乱式粒子計数器９には、有効に塵
埃を導入するために吸入Ｉｌ格が設けられる。
なお、上記サンプリング管１０先端の筒状部材１０ａは
、第４図および第５図に示すように、先端部が一定のＲ
を持って広がった形状、あるいは開口端部へ向けて徐々
に広がった形状等としても良い。
、第４図および第５図に示すように、先端部が一定のＲ
を持って広がった形状、あるいは開口端部へ向けて徐々
に広がった形状等としても良い。
次に上記構成の装置を用いたこの実施例方法を説明する
。測定室１内に、低発塵性の不織布で拭き取りを行うか
、あるいは洗浄用エアーを吹き付ける等して前処理を行
った被測定物２を配置し、まず被測定物２の動作を停止
状態として、ブロワ６を作動させ、測定室１内に清浄化
空気等を導入して予め定めた期間準備操作する。定常状
態になった後、サンプリング管１０によって採取される
清浄化空気中の塵埃数を光散乱式粒子計数器９によって
測定する。なお、サンプリング管１０からは、吸引を行
うが、サンプリング管１０先端部において、採取空気の
流れが方向を変えることのないようにサンプリング管１
０先端部を配置し、かつ、採取空気の流速がこの周囲の
排気配管内を流通する空気の流速とほぼ等しくなるよう
、ブロワ６による送風量、サンプリング管１０先端部の
筒状部材１０ａの内径および吸引量等を調節することが
好ましい。この状態で、まず被測定物２に付着した塵埃
を除去し、光散乱式粒子計数器９によって測定される塵
埃数がほとんどゼロに近い状態を確認しバックグラウン
ドの清浄度とする０、次に、被測定物２を作動させ、運
動Ｒ構を所定の条件で運動したときの発生塵埃数を測定
し運動時の清浄度とする。この測定は、サンプリング管
１０先端部の筒状部材１０ａの位置を排気配管内の断・
面方向に移動させて複数個所において測定することが
好ましい。運動機構からの発塵量は、この運動時の清浄
度からバックグラウンドの清浄度を差し引いて求められ
、さらに測定室１へ流入する気体の流量を測定し単位換
算を行えば、被測定物２からの総塵埃量を求めることが
できる。
。測定室１内に、低発塵性の不織布で拭き取りを行うか
、あるいは洗浄用エアーを吹き付ける等して前処理を行
った被測定物２を配置し、まず被測定物２の動作を停止
状態として、ブロワ６を作動させ、測定室１内に清浄化
空気等を導入して予め定めた期間準備操作する。定常状
態になった後、サンプリング管１０によって採取される
清浄化空気中の塵埃数を光散乱式粒子計数器９によって
測定する。なお、サンプリング管１０からは、吸引を行
うが、サンプリング管１０先端部において、採取空気の
流れが方向を変えることのないようにサンプリング管１
０先端部を配置し、かつ、採取空気の流速がこの周囲の
排気配管内を流通する空気の流速とほぼ等しくなるよう
、ブロワ６による送風量、サンプリング管１０先端部の
筒状部材１０ａの内径および吸引量等を調節することが
好ましい。この状態で、まず被測定物２に付着した塵埃
を除去し、光散乱式粒子計数器９によって測定される塵
埃数がほとんどゼロに近い状態を確認しバックグラウン
ドの清浄度とする０、次に、被測定物２を作動させ、運
動Ｒ構を所定の条件で運動したときの発生塵埃数を測定
し運動時の清浄度とする。この測定は、サンプリング管
１０先端部の筒状部材１０ａの位置を排気配管内の断・
面方向に移動させて複数個所において測定することが
好ましい。運動機構からの発塵量は、この運動時の清浄
度からバックグラウンドの清浄度を差し引いて求められ
、さらに測定室１へ流入する気体の流量を測定し単位換
算を行えば、被測定物２からの総塵埃量を求めることが
できる。
被測定物２の作動は、モータ等の運動機構からの発ａ量
を測定する場合等は、′ｇＡ！ｌＪ部、ヒータ等を測定
室１内に収容し、測定室１の側壁に設けられた透孔１ｂ
から電源ケーブル、コントロールケーブル等を引き出し
て行う、また、電源ケーブル、コントロールケーブル等
と透孔１ｂとの間隙は、シリコーン等でシールし、外気
の混入を防止する。
を測定する場合等は、′ｇＡ！ｌＪ部、ヒータ等を測定
室１内に収容し、測定室１の側壁に設けられた透孔１ｂ
から電源ケーブル、コントロールケーブル等を引き出し
て行う、また、電源ケーブル、コントロールケーブル等
と透孔１ｂとの間隙は、シリコーン等でシールし、外気
の混入を防止する。
また、モータ等の駆動部は除き、対象とする運動ａ構か
らのみの発塵量を測定する場合は、第１図に示すように
モータ２ａ等の駆動部を測定室１外に配置し、透孔１ｂ
に遊挿されたシャフト２Ｃによってモータ２ａと被測定
物２の可動部分とを接続する。このような場合は、シャ
フト２Ｃの周囲と透孔１ｂとの間に生じる間隙は、磁性
流体等によってシールする。
らのみの発塵量を測定する場合は、第１図に示すように
モータ２ａ等の駆動部を測定室１外に配置し、透孔１ｂ
に遊挿されたシャフト２Ｃによってモータ２ａと被測定
物２の可動部分とを接続する。このような場合は、シャ
フト２Ｃの周囲と透孔１ｂとの間に生じる間隙は、磁性
流体等によってシールする。
すなわち、この実施例方法では、被測定物２を測定室１
内に収容して他の発塵体と隔離しているので、他の発塵
体から発生した塵埃の影響を受けることがなく、また、
サンプリング管１０は、測定室１下部にベルマウスレデ
ューサ７を介して接続された排気配管８内に配置されて
おり、気体流れを乱すことなく効率良く塵埃を採取する
ことができ、クリーンルーム外の通常雰囲気下等でも、
所望の測定部位からの発塵量を正確に測定することがで
きる。
内に収容して他の発塵体と隔離しているので、他の発塵
体から発生した塵埃の影響を受けることがなく、また、
サンプリング管１０は、測定室１下部にベルマウスレデ
ューサ７を介して接続された排気配管８内に配置されて
おり、気体流れを乱すことなく効率良く塵埃を採取する
ことができ、クリーンルーム外の通常雰囲気下等でも、
所望の測定部位からの発塵量を正確に測定することがで
きる。
さらに、被測定物２から発生した塵埃が静帯電して被測
定物２に付着しなり気流を乱したりする可能性がある。
定物２に付着しなり気流を乱したりする可能性がある。
この現象は被測定物２が絶縁体で構成されている場合顕
著である。このような静電気対策として第６図に示す如
くフィルタ３の流出側に除電装置２０を配設することに
より改善でき、より精度の高い測定が可能となる。
著である。このような静電気対策として第６図に示す如
くフィルタ３の流出側に除電装置２０を配設することに
より改善でき、より精度の高い測定が可能となる。
この除電装置は周知のものでよく、例えば第７図（Ａ）
に示す如く測定室１の内径に相当する絶縁体からなる環
状リング７１を枠体として複数組の放電柱７２を形成す
る。この放電柱７２は中間に放電針７３列の形成された
棒状除電電極７４を設け、この除電電極７４を挟む如く
アース極７５．７６を設けて放電柱７２を構成する。こ
の放電柱７２の構成は例えば除電電極７４、アース極７
５．７６が三角形の頂点に位置する構成になっている。
に示す如く測定室１の内径に相当する絶縁体からなる環
状リング７１を枠体として複数組の放電柱７２を形成す
る。この放電柱７２は中間に放電針７３列の形成された
棒状除電電極７４を設け、この除電電極７４を挟む如く
アース極７５．７６を設けて放電柱７２を構成する。こ
の放電柱７２の構成は例えば除電電極７４、アース極７
５．７６が三角形の頂点に位置する構成になっている。
アース極７５．７６は、直径例えば８１１１１程度の鏡
面研磨したステンレス棒が用いられるが、除電電極７４
は第７図（Ｂ）に示す如く直径例えば５１Ｉｌ程度のス
テンレス棒７７に一列に多数の放電針７３を電気的接続
状態で植設し、この放電針７３の先端が露出し、上記ス
テンレス棒７７を被覆する如く絶縁性樹脂被覆７８が設
けられており、この放電針７３は外部の高電圧発生電源
と高圧線により並列に配線が構成されている。この被覆
７８はシリコーン樹脂や発泡樹脂等いずれでもよいが、
円筒状樹脂を長手方向に切断し、上記放電針７３列で合
掌する構成になっている。
面研磨したステンレス棒が用いられるが、除電電極７４
は第７図（Ｂ）に示す如く直径例えば５１Ｉｌ程度のス
テンレス棒７７に一列に多数の放電針７３を電気的接続
状態で植設し、この放電針７３の先端が露出し、上記ス
テンレス棒７７を被覆する如く絶縁性樹脂被覆７８が設
けられており、この放電針７３は外部の高電圧発生電源
と高圧線により並列に配線が構成されている。この被覆
７８はシリコーン樹脂や発泡樹脂等いずれでもよいが、
円筒状樹脂を長手方向に切断し、上記放電針７３列で合
掌する構成になっている。
この上うな構成の除電袋Ｔ！ ２０を配設することによ
り、静電気除去対策した清浄化気体による発ｌＩ！Ｉ量
の測定を行うことができる。これは各放電柱７２の金属
製放電針７３とステンレス棒７５．７６の間で放電を発
生させることにより達成できる。
り、静電気除去対策した清浄化気体による発ｌＩ！Ｉ量
の測定を行うことができる。これは各放電柱７２の金属
製放電針７３とステンレス棒７５．７６の間で放電を発
生させることにより達成できる。
さらにまた、より正確な測定を行うために光散乱式粒子
計数器９の入口側管２１に除電装置２２を配設するとさ
らに効果が大きい。
計数器９の入口側管２１に除電装置２２を配設するとさ
らに効果が大きい。
この除電装置２２の構成は第８図に示す如く、サンプリ
ング管１０から連設される入口側管２１を囲繞する如く
配設する。
ング管１０から連設される入口側管２１を囲繞する如く
配設する。
すなわち、−辺開口の各筒状導電性容器８１内の底部８
２にアース極８４を備えたこの容器８１と絶縁して金属
製放電針８３を一列に予め定めた間隔で配列して構成し
た放電容器８５を複数個例えば三角形の頂点の位置に３
個配設する。このように構成した三角形内に入口側管２
１を配設すると、入口側管２１の内壁に帯電している静
電気は入口側管２１の外壁に帯電している静電気を中和
除去することで静電効果により中和除去することができ
る。この静電気除去作用はアース掻８４を備えた容器８
５と放電針８３の間でコロナ放電を生起させ、イオン対
を生成することにより達成できる。
２にアース極８４を備えたこの容器８１と絶縁して金属
製放電針８３を一列に予め定めた間隔で配列して構成し
た放電容器８５を複数個例えば三角形の頂点の位置に３
個配設する。このように構成した三角形内に入口側管２
１を配設すると、入口側管２１の内壁に帯電している静
電気は入口側管２１の外壁に帯電している静電気を中和
除去することで静電効果により中和除去することができ
る。この静電気除去作用はアース掻８４を備えた容器８
５と放電針８３の間でコロナ放電を生起させ、イオン対
を生成することにより達成できる。
なお、第６図に示すように、光散乱式粒子計数器９で測
定された測定結果は、コンピュータ３０によって任意の
データ処理を行い、プリンタ３１によって所望のデータ
の形にプリントアウトするよう構成することができる。
定された測定結果は、コンピュータ３０によって任意の
データ処理を行い、プリンタ３１によって所望のデータ
の形にプリントアウトするよう構成することができる。
また、モータ２ａは、コントロールユニット４０、ＣＰ
ｕボード４１、ディスクユニット４２、ＣＲＴ ４３等
を接続して所望の制御を行うよう構成することができる
。
ｕボード４１、ディスクユニット４２、ＣＲＴ ４３等
を接続して所望の制御を行うよう構成することができる
。
上述のように、本発明の発ｍ厘測定方法では、クリーン
ルーム等の大規模な施設を必要とせず、発生した塵埃が
被測定物や配管等に付着することなく、さらに、他の塵
埃のまき込みや、実際の塵埃の飛散等がなく、発塵量を
正確に定見的に測定することができる。
ルーム等の大規模な施設を必要とせず、発生した塵埃が
被測定物や配管等に付着することなく、さらに、他の塵
埃のまき込みや、実際の塵埃の飛散等がなく、発塵量を
正確に定見的に測定することができる。
第１図は本発明の一実施例方法に用いる発塵量測定装置
を示す構成図、第２図および第３図は第１図の要部を示
す一部拡大断面図、第４図および第５図は第３図の変形
例を示す一部拡大断面図、第６図は第１図の他の実施例
の説明図、第７図および第８図は第６図の除電装置の構
成説明図である。 １・・・・・・測定室、１ａ・・・・・・アース、２・
・・・・・被測定物、３・・・・・・フィルタ収容室、
４・・・・・・導入配管、６・・・・・・ブロワ、７・
・・・・・ベルマウスレデューサ、７ａ・・・・・・ア
ース、８・・・・・・排気配管、９・・・・・・光散乱
式粒子計数器、１０・・・・・・サンプリング管。 出願人 東京エレクトロン株式会社 出願人 大 成 建 設 株式会社 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 （Ａ）− ＣＢ） 第７図 第８図
を示す構成図、第２図および第３図は第１図の要部を示
す一部拡大断面図、第４図および第５図は第３図の変形
例を示す一部拡大断面図、第６図は第１図の他の実施例
の説明図、第７図および第８図は第６図の除電装置の構
成説明図である。 １・・・・・・測定室、１ａ・・・・・・アース、２・
・・・・・被測定物、３・・・・・・フィルタ収容室、
４・・・・・・導入配管、６・・・・・・ブロワ、７・
・・・・・ベルマウスレデューサ、７ａ・・・・・・ア
ース、８・・・・・・排気配管、９・・・・・・光散乱
式粒子計数器、１０・・・・・・サンプリング管。 出願人 東京エレクトロン株式会社 出願人 大 成 建 設 株式会社 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 （Ａ）− ＣＢ） 第７図 第８図
Claims (7)
- （１）被測定物を容器内に設けて外気と隔離し、この容
器内に清浄気体を通過させ、前記容器内を通過した気体
の少なくとも一部を採取し、採取した気体内の塵埃の量
を測定することを特徴とする発塵量測定方法。 - （２）被測定物を設けた容器内を通過した気体の採取位
置は、上記気体流路の配管内の異った位置で複数回行う
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の発塵量測
定方法。 - （３）被測定物を設けた容器内を通過した気体の採取法
は、採取した気体の流速が上記容器内を通過した流通す
る気体の流速とほぼ等しくなるよう吸引して行うことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の発塵量測定方法
。 - （４）被測定物を設けた容器内に流入させる気体は静電
気除去のための除電装置を通過した気体である特許請求
の範囲第１項記載の発塵量測定方法。 - （５）被測定物を設けた容器から前記容器内を通過した
気体の一部を採取し、採取した気体の通過するすべての
配管に、静電気除去処理を施すことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の発塵量測定方法。 - （６）被測定物を設けた容器内を流れる清浄気体流の流
路は、乱流を発生しにくいように構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の発塵量測定方法
。 - （７）被測定物を設けた容器内を通過した気体の採取法
は、採取する吸引入口で気体の流れ方向を変えないよう
にして行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の発塵量測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042387A JPH0785045B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 発塵量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042387A JPH0785045B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 発塵量測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63208737A true JPS63208737A (ja) | 1988-08-30 |
| JPH0785045B2 JPH0785045B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=12634656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62042387A Expired - Lifetime JPH0785045B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 発塵量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785045B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107478556A (zh) * | 2017-09-15 | 2017-12-15 | 中天道成（苏州）洁净技术有限公司 | 基于无尘排气设计的在线尘埃粒子计数监测系统 |
| CN107957387A (zh) * | 2017-12-23 | 2018-04-24 | 安徽工程大学 | 羽绒制品粉尘含量的测试装置与评价方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587858U (ja) * | 1981-07-03 | 1983-01-19 | 山里エレクトロナイト株式会社 | サブランス・プロ−ブ |
| JPS5880560A (ja) * | 1981-11-07 | 1983-05-14 | Sankyo Dengiyou Kk | 粉粒体の流速測定装置 |
| JPS5890144A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-28 | Ishibashi Kagaku Kogyo Kk | 排ガス自動等速吸引装置 |
| JPS5943770U (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-22 | アロン化成株式会社 | プラスチツク管 |
| JPS60185138A (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-20 | Fujita Corp | 発塵性評価試験方法 |
| JPS6191152U (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-13 |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP62042387A patent/JPH0785045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107478556A (zh) * | 2017-09-15 | 2017-12-15 | 中天道成（苏州）洁净技术有限公司 | 基于无尘排气设计的在线尘埃粒子计数监测系统 |
| CN107478556B (zh) * | 2017-09-15 | 2024-03-05 | 中天道成（苏州）洁净技术有限公司 | 基于无尘排气设计的在线尘埃粒子计数监测系统 |
| CN107957387A (zh) * | 2017-12-23 | 2018-04-24 | 安徽工程大学 | 羽绒制品粉尘含量的测试装置与评价方法 |
| CN107957387B (zh) * | 2017-12-23 | 2023-06-09 | 安徽工程大学 | 羽绒制品粉尘含量的评价方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0785045B2 (ja) | 1995-09-13 |
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