JPS632087B2 - - Google Patents
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- JPS632087B2 JPS632087B2 JP57193067A JP19306782A JPS632087B2 JP S632087 B2 JPS632087 B2 JP S632087B2 JP 57193067 A JP57193067 A JP 57193067A JP 19306782 A JP19306782 A JP 19306782A JP S632087 B2 JPS632087 B2 JP S632087B2
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- JP
- Japan
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- light
- optical axis
- catadioptric
- optical system
- incident
- Prior art date
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- Expired
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、平行光学系のビームの平行度及び光
軸の傾きを高精度で検出し且つ調整し得るように
した光学系の調整装置に関する。
軸の傾きを高精度で検出し且つ調整し得るように
した光学系の調整装置に関する。
一般にレンズを使用して入射光を集束させる場
合、入射光が該レンズの光軸に対して平行な平行
ビームであるときは第１図Ａに示したように入射
光は該レンズの焦点F′に集束するが、入射光が該
レンズの光軸上の光源から出る集束光または発散
光であるときは第１図ＢまたはＣに示したように
入射光は焦点F′に対して各々前方または後方で光
軸上に集束し、また入射光が該レンズの光軸に対
して平行でない平行ビームであるときは第１図Ｄ
に示したように焦点F′を含む焦点面内で光軸から
離れた位置に集束する。これを利用して入射光の
集束位置を検出して、集束位置の焦点F′からの光
軸方向のずれ量Ｚを測定することにより入射光の
平行度を、集束位置の光軸からの距離ｈを測定す
ることにより光軸の傾きを各々検出し、二つの量
Ｚ，ｈを各々ゼロにすることにより、光軸に対し
て平行な平行ビームを得る方式が従来行なわれて
いる。しかしながら、この方式は、光学レンズの
調整がかなり難しく而もビームの測定及び調整の
精度が低い（平行度で±2′、傾きで±20″程度の
測定精度である）等の欠点があり、特に半導体レ
ーザーを使用した光デイスク用ピツクアツプ等の
超精密分野に属する光学系の場合には実用上問題
があつた。
合、入射光が該レンズの光軸に対して平行な平行
ビームであるときは第１図Ａに示したように入射
光は該レンズの焦点F′に集束するが、入射光が該
レンズの光軸上の光源から出る集束光または発散
光であるときは第１図ＢまたはＣに示したように
入射光は焦点F′に対して各々前方または後方で光
軸上に集束し、また入射光が該レンズの光軸に対
して平行でない平行ビームであるときは第１図Ｄ
に示したように焦点F′を含む焦点面内で光軸から
離れた位置に集束する。これを利用して入射光の
集束位置を検出して、集束位置の焦点F′からの光
軸方向のずれ量Ｚを測定することにより入射光の
平行度を、集束位置の光軸からの距離ｈを測定す
ることにより光軸の傾きを各々検出し、二つの量
Ｚ，ｈを各々ゼロにすることにより、光軸に対し
て平行な平行ビームを得る方式が従来行なわれて
いる。しかしながら、この方式は、光学レンズの
調整がかなり難しく而もビームの測定及び調整の
精度が低い（平行度で±2′、傾きで±20″程度の
測定精度である）等の欠点があり、特に半導体レ
ーザーを使用した光デイスク用ピツクアツプ等の
超精密分野に属する光学系の場合には実用上問題
があつた。
本発明は、以上の点に鑑み、平行光学系のビー
ムの平行度及び光軸の傾きを高精度で検出し且つ
調整し得るようにしたレンズ系の調整装置を提供
せんとするものである。
ムの平行度及び光軸の傾きを高精度で検出し且つ
調整し得るようにしたレンズ系の調整装置を提供
せんとするものである。
先づ第２図により本発明の原理を説明する。第
２図において、１はプリズムで、面１ａ及び１ｂ
のなす角が該プリズムを構成するガラスの空気に
対する臨界角に設定されていると共に面１ｂは反
射膜を施すことにより反射鏡になつている。２及
び３はプリズム１の面１ａを透過した光を検出す
る受光素子である。最初にプリズム１内に入射し
面１ａで反射した後面１ｂに垂直に入射する光線
ａを考える。この光線ａがプリズム１内に入射し
た後面１ａに入射する角度、即ち光線a0の面１ａ
への入射角、はθcであるから、光線a0は面１ａで
全反射する。面１ａで全反射された光線a1は面１
ｂに対して垂直に入射し、面１ｂで反射された光
線a2は光線a1と同じ径路をとつて再び面１ａに入
射角θcで入射して全反射され、面１ａで全反射さ
れた光線a3は光線a0と同じ径路をとつてプリズム
１の外へ出て再び光源へ戻る。従つてこの場合、
光線a0も光線a2も面１ａで全反射し全く透過しな
いので、受光素子２及び３には光が入射せず、そ
の検出値はゼロである。次に光線ｂを考えると、
この光線ｂがプリズム１内に入射した後面１ａに
入射する角度、即ち光線b0の面１ａへの入射角は
θcより大きいので、光線b0は面１ａで全反射す
る。面１ａで全反射された光線b1は面１ｂに対し
てほぼ垂直に入射し、面１ｂで反射された光線b2
は再び面１ａに入射するが、このときの光線b2の
面１ａに対する入射角はθcより小さいので、光線
b2の一部が透過して光線b3′として受光素子３に
入射して、面１ａで反射された光線b3はプリズム
１の外へ出る。従つてこの場合受光素子３のみが
検出を行なう。また光線ｃの場合には、この光線
ｃがプリズム１内に入射した後面１ａに入射する
角度、即ち光線c0の面１ａの入射角がθcより小さ
いため、光線c0は一部が光線c1′として透過して
受光素子２に入射し、面１ａで反射された光線c1
は面１ｂで反射された光線c2として再び面１ａに
入射するが、このときの光線c2の面１ａに対する
入射角はθcより大きいので全反射され、面１ａで
全反射された光線c3はプリズム１の外へ出る。従
つてこの場合受光素子２のみが検出を行なう。さ
らに何れの場合にも面１ａへの入射角が臨界角θc
より小さい場合、入射角が小さい程面１ａにおけ
る透過率が大きくなるので、受光素子２及び３の
検出値が大きい。かくして受光素子２及び３の検
出値が共にゼロの場合にのみ、入射光は光軸に平
行な平行ビームであることになる。
２図において、１はプリズムで、面１ａ及び１ｂ
のなす角が該プリズムを構成するガラスの空気に
対する臨界角に設定されていると共に面１ｂは反
射膜を施すことにより反射鏡になつている。２及
び３はプリズム１の面１ａを透過した光を検出す
る受光素子である。最初にプリズム１内に入射し
面１ａで反射した後面１ｂに垂直に入射する光線
ａを考える。この光線ａがプリズム１内に入射し
た後面１ａに入射する角度、即ち光線a0の面１ａ
への入射角、はθcであるから、光線a0は面１ａで
全反射する。面１ａで全反射された光線a1は面１
ｂに対して垂直に入射し、面１ｂで反射された光
線a2は光線a1と同じ径路をとつて再び面１ａに入
射角θcで入射して全反射され、面１ａで全反射さ
れた光線a3は光線a0と同じ径路をとつてプリズム
１の外へ出て再び光源へ戻る。従つてこの場合、
光線a0も光線a2も面１ａで全反射し全く透過しな
いので、受光素子２及び３には光が入射せず、そ
の検出値はゼロである。次に光線ｂを考えると、
この光線ｂがプリズム１内に入射した後面１ａに
入射する角度、即ち光線b0の面１ａへの入射角は
θcより大きいので、光線b0は面１ａで全反射す
る。面１ａで全反射された光線b1は面１ｂに対し
てほぼ垂直に入射し、面１ｂで反射された光線b2
は再び面１ａに入射するが、このときの光線b2の
面１ａに対する入射角はθcより小さいので、光線
b2の一部が透過して光線b3′として受光素子３に
入射して、面１ａで反射された光線b3はプリズム
１の外へ出る。従つてこの場合受光素子３のみが
検出を行なう。また光線ｃの場合には、この光線
ｃがプリズム１内に入射した後面１ａに入射する
角度、即ち光線c0の面１ａの入射角がθcより小さ
いため、光線c0は一部が光線c1′として透過して
受光素子２に入射し、面１ａで反射された光線c1
は面１ｂで反射された光線c2として再び面１ａに
入射するが、このときの光線c2の面１ａに対する
入射角はθcより大きいので全反射され、面１ａで
全反射された光線c3はプリズム１の外へ出る。従
つてこの場合受光素子２のみが検出を行なう。さ
らに何れの場合にも面１ａへの入射角が臨界角θc
より小さい場合、入射角が小さい程面１ａにおけ
る透過率が大きくなるので、受光素子２及び３の
検出値が大きい。かくして受光素子２及び３の検
出値が共にゼロの場合にのみ、入射光は光軸に平
行な平行ビームであることになる。
次に、上述の原理を用いた本発明の実施例を説
明する。第３図及び第４図において、１０はプリ
ズムで、これを構成するガラスの臨界角付近の入
射角の光線に対する反射防止膜を施した面１０ａ
と反射膜を施すことにより反射鏡になつている面
１０ｂとを備えており、該面１０ａ及び１０ｂの
なす角が該プリズム１０を構成するガラスの空気
に対する臨界角θcに設定されている。１１及び１
２は１０ａからの透過光を検出する受光素子で、
プリズム１０に対して固定的に配設されている。
１３は被検光学系でレンズ１４を有している。１
５は被検光学系１３の基準面１３ａにより所定の
方向に被検光学系１３を取付ける装着部、１６は
装着部１５を基準面１３ａに平行な面内で光軸Ｏ
の周りに回転可能に保持する固定部材で、回転方
位を読取るための目盛りを備えていると共に被検
光学系１３、装着部１５と一体的に光軸Ｏに対し
て第４図紙面内で俯仰可能に構成されており、さ
らにこの俯仰角を読取るための目盛りを有してい
る。１７は光軸Ｏ上で光軸方向に移動可能に配設
された光源である。尚、光源１７から出て光軸Ｏ
に沿つて進む光が被検光学系１３のない場合プリ
ズム１０に入射し面１０ａに臨界角θcなる入射角
で入射して全反射せしめられ面１０ｂに垂直に入
射するように、各部材が配置されている。１８は
受光素子１１と受光素子１２との感度を同一レベ
ルにする即ち光源からの光が各受光素子１１，１
２に達するまでの反射率の差を補正するための補
正回路で、入力に対し面１０ｂでの反射率をかけ
た値に対応する信号を出力する。１９は減算回
路、２０は絶対値回路、２１はピーク検出器、２
２はモータ駆動回路、２３は伝動機構を介して装
着部１５を光軸Ｏの周りに回動せしめるモータ、
２４は最小値検出回路、２５は俯仰角制御装置、
２６は加算回路、２７は最小値検出回路、２８は
モータ駆動回路、２９は光源１７を光軸Ｏに沿つ
て移動せしめるモータである。
明する。第３図及び第４図において、１０はプリ
ズムで、これを構成するガラスの臨界角付近の入
射角の光線に対する反射防止膜を施した面１０ａ
と反射膜を施すことにより反射鏡になつている面
１０ｂとを備えており、該面１０ａ及び１０ｂの
なす角が該プリズム１０を構成するガラスの空気
に対する臨界角θcに設定されている。１１及び１
２は１０ａからの透過光を検出する受光素子で、
プリズム１０に対して固定的に配設されている。
１３は被検光学系でレンズ１４を有している。１
５は被検光学系１３の基準面１３ａにより所定の
方向に被検光学系１３を取付ける装着部、１６は
装着部１５を基準面１３ａに平行な面内で光軸Ｏ
の周りに回転可能に保持する固定部材で、回転方
位を読取るための目盛りを備えていると共に被検
光学系１３、装着部１５と一体的に光軸Ｏに対し
て第４図紙面内で俯仰可能に構成されており、さ
らにこの俯仰角を読取るための目盛りを有してい
る。１７は光軸Ｏ上で光軸方向に移動可能に配設
された光源である。尚、光源１７から出て光軸Ｏ
に沿つて進む光が被検光学系１３のない場合プリ
ズム１０に入射し面１０ａに臨界角θcなる入射角
で入射して全反射せしめられ面１０ｂに垂直に入
射するように、各部材が配置されている。１８は
受光素子１１と受光素子１２との感度を同一レベ
ルにする即ち光源からの光が各受光素子１１，１
２に達するまでの反射率の差を補正するための補
正回路で、入力に対し面１０ｂでの反射率をかけ
た値に対応する信号を出力する。１９は減算回
路、２０は絶対値回路、２１はピーク検出器、２
２はモータ駆動回路、２３は伝動機構を介して装
着部１５を光軸Ｏの周りに回動せしめるモータ、
２４は最小値検出回路、２５は俯仰角制御装置、
２６は加算回路、２７は最小値検出回路、２８は
モータ駆動回路、２９は光源１７を光軸Ｏに沿つ
て移動せしめるモータである。
本発明実施例は以上のように構成されているか
ら、被検光学系１３を装着部１５に取付けて光源
１７をONにすれば、モータ２３が始動して被検
光学系１３のレンズ１４が光軸Ｏの周りに回動せ
しめられ、このとき光源１７からの光はレンズ１
４を介してプリズム１０に入射し、光軸Ｏに対し
て被検光学系１３のレンズ１４の光軸が傾いてい
るか光源１７がレンズ１４の焦点位置にないとき
即ちプリズム１０に入射する光が光軸Ｏに平行な
平行光でない場合には前述の本発明原理に基づき
受光素子１１及び／または１２に光が入射するた
め、受光素子１１，１２から信号が出力される。
補正回路１８で補正された受光素子１１からの出
力I1と受光素子１２からの出力I2とは減算回路１
９に入力され、さらに絶対値回路２０で｜I1−I2
｜が演算される。ピーク検出器２１で｜I1−I2｜
の最大値が検出されるとモータ駆動回路２２に信
号が出力されてモータ２３が停止せしめられる。
かくして、プリズム１０への入射ビームが傾いて
いる場合面１０ａへの入射角はビーム傾きの方位
が第４図において紙面内にあるときに最大または
最小となるため受光素子１１及び１２の出力の差
即ち｜I1−I2｜が最大値をとることから、ビーム
の傾き方位が第４図において紙面内に調整され
る。次に、俯仰角制御装置２５を作動させて固定
部材１６をあおりレンズ１４を光軸Ｏに対して俯
仰させながら、絶対値回路２０からの信号が入力
されている最小値検出回路２４により｜I1−I2｜
の最小値を検出しこのとき該俯仰角制御装置２５
を停止せしめる。かくして、第２図において面１
ｂに垂直に入射する光線ａに対して互いに逆方向
に同じ角度だけ傾斜している光線ｂ及びｃに関し
て光線b2の面１ａへの入射角と光線c0の面１ａへ
の入射角が等しいので受光素子２及び３の出力の
差が０となることから、被検光学系１３のレンズ
１４の光軸が光軸Ｏと一致するように調整され
る。さらに、モータ２９を作動し、補正回路１８
で補正された受光素子１１の出力I1と受光素子１
２の出力I2とを加算回路２６に入力して（I1＋I2）
を演算して、最小値検出回路２７により（I1＋
I2）の最小値を検出してモータ駆動回路２８に信
号を出力し、モータ２９を停止せしめる。かくし
て光源１７がレンズ１４の焦点位置に位置せしめ
られ、光源１７から出た光はレンズ１４により光
軸Ｏに平行な平行光となつてプリズム１０に入射
する。
ら、被検光学系１３を装着部１５に取付けて光源
１７をONにすれば、モータ２３が始動して被検
光学系１３のレンズ１４が光軸Ｏの周りに回動せ
しめられ、このとき光源１７からの光はレンズ１
４を介してプリズム１０に入射し、光軸Ｏに対し
て被検光学系１３のレンズ１４の光軸が傾いてい
るか光源１７がレンズ１４の焦点位置にないとき
即ちプリズム１０に入射する光が光軸Ｏに平行な
平行光でない場合には前述の本発明原理に基づき
受光素子１１及び／または１２に光が入射するた
め、受光素子１１，１２から信号が出力される。
補正回路１８で補正された受光素子１１からの出
力I1と受光素子１２からの出力I2とは減算回路１
９に入力され、さらに絶対値回路２０で｜I1−I2
｜が演算される。ピーク検出器２１で｜I1−I2｜
の最大値が検出されるとモータ駆動回路２２に信
号が出力されてモータ２３が停止せしめられる。
かくして、プリズム１０への入射ビームが傾いて
いる場合面１０ａへの入射角はビーム傾きの方位
が第４図において紙面内にあるときに最大または
最小となるため受光素子１１及び１２の出力の差
即ち｜I1−I2｜が最大値をとることから、ビーム
の傾き方位が第４図において紙面内に調整され
る。次に、俯仰角制御装置２５を作動させて固定
部材１６をあおりレンズ１４を光軸Ｏに対して俯
仰させながら、絶対値回路２０からの信号が入力
されている最小値検出回路２４により｜I1−I2｜
の最小値を検出しこのとき該俯仰角制御装置２５
を停止せしめる。かくして、第２図において面１
ｂに垂直に入射する光線ａに対して互いに逆方向
に同じ角度だけ傾斜している光線ｂ及びｃに関し
て光線b2の面１ａへの入射角と光線c0の面１ａへ
の入射角が等しいので受光素子２及び３の出力の
差が０となることから、被検光学系１３のレンズ
１４の光軸が光軸Ｏと一致するように調整され
る。さらに、モータ２９を作動し、補正回路１８
で補正された受光素子１１の出力I1と受光素子１
２の出力I2とを加算回路２６に入力して（I1＋I2）
を演算して、最小値検出回路２７により（I1＋
I2）の最小値を検出してモータ駆動回路２８に信
号を出力し、モータ２９を停止せしめる。かくし
て光源１７がレンズ１４の焦点位置に位置せしめ
られ、光源１７から出た光はレンズ１４により光
軸Ｏに平行な平行光となつてプリズム１０に入射
する。
第５図には本発明による第二の実施例が示され
ており、第３図に示した実施例と同じ構成要素に
は同じ符号を付してその説明を省略すれば、３０
はプリズムで、面３０ａ及び３０ｂのなす角はプ
リズム１０を構成するガラスの空気に対する臨界
角である必要はなく、例えば直角プリズムでもよ
い。３１は反射鏡で、光源から面３０ａに対して
該プリズム３０を構成するガラスの空気に対する
臨界角にほゞ等しい入射角で入射した光が面３０
ａで全反射された後該反射鏡３１に垂直に入射す
るように調整可能に配置されている。３２は例え
ば偏光ビームスプリツタと1/4波長板の組合せか
ら成る光アイソレータで光源への戻り光を遮断す
ると共に例えば光源が半導体レーザーの場合にノ
イズを低減させるために役立つ。
ており、第３図に示した実施例と同じ構成要素に
は同じ符号を付してその説明を省略すれば、３０
はプリズムで、面３０ａ及び３０ｂのなす角はプ
リズム１０を構成するガラスの空気に対する臨界
角である必要はなく、例えば直角プリズムでもよ
い。３１は反射鏡で、光源から面３０ａに対して
該プリズム３０を構成するガラスの空気に対する
臨界角にほゞ等しい入射角で入射した光が面３０
ａで全反射された後該反射鏡３１に垂直に入射す
るように調整可能に配置されている。３２は例え
ば偏光ビームスプリツタと1/4波長板の組合せか
ら成る光アイソレータで光源への戻り光を遮断す
ると共に例えば光源が半導体レーザーの場合にノ
イズを低減させるために役立つ。
この第二の実施例によれば、その作用は第３図
に示した実施例と同様であり、プリズム３０の面
３０ａと３０ｂのなす角を臨界角に仕上げる代り
に反射鏡３１を調整することにより同様の作用を
得るようにしてある。
に示した実施例と同様であり、プリズム３０の面
３０ａと３０ｂのなす角を臨界角に仕上げる代り
に反射鏡３１を調整することにより同様の作用を
得るようにしてある。
以上述べたように本発明によれば、プリズムの
臨界角を利用して平行光学系のビームの平行度及
び光軸の傾きを極めて容易且つ高精度で検出し且
つ調整することができるので、非常に効果的であ
る。さらに第二の実施例の場合には戻り光が光ア
イソレータ３２により光源１７に戻らないように
してあるので、半導体レーザーのように戻り光が
出力に影響を与えるような場合には極めて有効で
ある。ここで、全反射面（面１ａ，１０ａ，３０
ａ）はプリズムの一面である必要はなく、単にガ
ラス板等の透明板であつてもよい。
臨界角を利用して平行光学系のビームの平行度及
び光軸の傾きを極めて容易且つ高精度で検出し且
つ調整することができるので、非常に効果的であ
る。さらに第二の実施例の場合には戻り光が光ア
イソレータ３２により光源１７に戻らないように
してあるので、半導体レーザーのように戻り光が
出力に影響を与えるような場合には極めて有効で
ある。ここで、全反射面（面１ａ，１０ａ，３０
ａ）はプリズムの一面である必要はなく、単にガ
ラス板等の透明板であつてもよい。
尚、以上の説明では、調整の操作をモータによ
り行なつているが、受光素子の出力を観察しなが
ら手動により各調整操作を行なつてもよく、特に
振動によつて悪影響が生じやすい場合には手動に
よる調整が好ましい。また受光素子は、一つを分
割して使用するようにすればでもよく、他の光電
変換装置でも差し支えない。さらに第二の実施例
においては面３０ａに反射防止膜を施していない
が、特に高精度を要しない場合には実用上十分で
ある。
り行なつているが、受光素子の出力を観察しなが
ら手動により各調整操作を行なつてもよく、特に
振動によつて悪影響が生じやすい場合には手動に
よる調整が好ましい。また受光素子は、一つを分
割して使用するようにすればでもよく、他の光電
変換装置でも差し支えない。さらに第二の実施例
においては面３０ａに反射防止膜を施していない
が、特に高精度を要しない場合には実用上十分で
ある。
また、本発明装置により光軸合せを行なつた
後、被検光学系を取付けるべき他の装置の光軸を
光軸Ｏと予め一致させておいて、被検光学系を該
装置に取付けると、非常に高精度に光軸合せした
状態で被検光学系を組込むことが可能となる。
後、被検光学系を取付けるべき他の装置の光軸を
光軸Ｏと予め一致させておいて、被検光学系を該
装置に取付けると、非常に高精度に光軸合せした
状態で被検光学系を組込むことが可能となる。
第１図は入射光の平行度とレンズによる結像状
態を示す説明図、第２図は本発明の原理を示す説
明図、第３図及び第４図は本発明による第一の実
施例を示す概略図、第５図は本発明による第二の
実施例を示す図である。 １，１０，３０……プリズム、２，３，１１，
１２……受光素子、１３……被検光学系、１４…
…レンズ、１５……装着部、１６……固定部材、
１７……光源、１８……補正装置、１９……減算
回路、２０……絶対値回路、２１……ピーク検出
器、２２，２８……モータ駆動回路、２３，２９
……モータ、２４，２７……最小値検出回路、２
５……俯仰角制御装置、２６……加算回路、３１
……反射鏡、３２……光アイソレータ。
態を示す説明図、第２図は本発明の原理を示す説
明図、第３図及び第４図は本発明による第一の実
施例を示す概略図、第５図は本発明による第二の
実施例を示す図である。 １，１０，３０……プリズム、２，３，１１，
１２……受光素子、１３……被検光学系、１４…
…レンズ、１５……装着部、１６……固定部材、
１７……光源、１８……補正装置、１９……減算
回路、２０……絶対値回路、２１……ピーク検出
器、２２，２８……モータ駆動回路、２３，２９
……モータ、２４，２７……最小値検出回路、２
５……俯仰角制御装置、２６……加算回路、３１
……反射鏡、３２……光アイソレータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光軸上に配設された光源と、該光軸に沿つて
該光源から出た光が臨界角で入射するように該光
軸に対して斜設された反射屈折面と、該反射屈折
面で全反射した前記光軸に沿う光が垂直に入射す
るように配設された反射面と、前記反射屈折面を
直接透過した光と該反射屈折面で全反射されさら
に前記反射面で反射された後該反射屈折面を透過
する光とを個々に検出し得るように該反射屈折面
の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と
反射屈折面との間に被検光学系を保持する保持機
構とを備えていることを特徴とする、光学系の調
整装置。 ２ 光軸上に配設された光源と、該光軸に沿つて
該光源から出た光が臨界角で入射するように該光
軸に対して斜設された反射屈折面と、該反射屈折
面で全反射した前記光軸に沿う光が垂直に入射す
るように配設された反射面と、前記反射屈折面を
直接透過した光と該反射屈折面で全反射されさら
に前記反射面で反射された後該反射屈折面を透過
する光とを個々に検出し得るように該反射屈折面
の後方に配設された光電変換装置と、前記光源と
反射屈折面との間に被検光学系を光軸の周りに調
整可能に且つ光軸に対して俯仰方向に調整可能に
保持する保持機構と、前記光電変換装置の二つの
入射光に対する出力の差の最大値を検出する装置
と、該出力の和の最小値を検出する装置とを備え
ていて、被検光学系の光軸のずれを検出し得るよ
うにしたことを特徴とする、光学系の調整装置。 ３ 光電変換装置の二つの入射光に対する出力の
差の最小値を検出する装置を備えていて、被検光
学系の光軸のずれ及び焦点位置を検出し得るよう
にしたことを特徴とする、特許請求の範囲２に記
載の光学系の調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19306782A JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19306782A JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983116A JPS5983116A (ja) | 1984-05-14 |
| JPS632087B2 true JPS632087B2 (ja) | 1988-01-16 |
Family
ID=16301649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19306782A Granted JPS5983116A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学系の調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983116A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0512753Y2 (ja) * | 1986-09-30 | 1993-04-02 | ||
| CN104296654B (zh) * | 2014-09-26 | 2017-06-09 | 中国科学院光电研究院 | 激光跟踪仪位置探测器零位安装误差的检测装置和方法 |
| CN117073586B (zh) * | 2023-10-17 | 2024-01-09 | 青岛迈朗格智能制造有限公司 | 一种同轴双轴转台机械轴平行度检测装置及方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522623B2 (ja) * | 1972-02-08 | 1977-01-22 | ||
| JPS567246A (en) * | 1979-06-25 | 1981-01-24 | Olympus Optical Co Ltd | Method and unit for focus detection |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19306782A patent/JPS5983116A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5983116A (ja) | 1984-05-14 |
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