JPS63214916A

JPS63214916A - 磁気デイスクのグライドテスタ−

Info

Publication number: JPS63214916A
Application number: JP4839587A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Mizusawa; 水澤　浩
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1987-03-03
Filing date: 1987-03-03
Publication date: 1988-09-07
Anticipated expiration: 2010-11-13
Also published as: JPH07105041B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、磁気ディスクの表面に存在する突起の除去
とその結果を検査する。磁気ディスクのグライドテスタ
ーに関するものである。

［従来の技術］コンピュータシステムの記憶装置として使用される磁気
ディスクは、磁気媒体の微細化と性能の向上によります
ます高密度化している。このために、その表面は極めて
平滑なことが要求される。

磁気ディスクの製造においては、磁気媒体膜を塗布後、
これを平滑にするため研磨（グラインド）されるが、研
磨してもある程度、平滑度（グライド）を阻害する突起
があるので、さらにバーニッシュとよばれる工程により
突起の除去がなされている。このようなバーニッシュ工
程に併せて突起の有無が検査される。この場合、研磨工
程においては研磨層の微粒子が多量に発生するので、そ
れが検査装置およびその周辺に侵入するのを避けて。

バーニッシュと検査は研磨と別の工程とし、一括してグ
ライドテスターにより行われている。

ここで、グライドテスターにおける。突起のバーニッシ
ュと検査の方法について説明する。

第５図は磁気ディスク装置において、書き込み／読み出
し用の磁気ヘッドの浮上動作を説明するもので、磁気デ
ィスク１が矢印θ方向に回転すると、表面に矢印Ａで示
すエアフローが生ずる。これに対して磁気ヘッド２を保
持するスライダー２１が図示のように傾斜しているので
浮上し、磁気ヘッド２は表面と非接触の状態で磁気媒体
との間に作用する。なお、スライダー２ａは、ばね４に
より適当な力で下方に付勢されている。また、浮上の高
さΔｈは０．２μｍ程度の微小なものである。グライド
テスターにおいては、この磁気ヘッドと同様の浮上特性
で突起検査を行うことが必要で、このために第５図に示
したスライダー２ａと同一のスライダー３ａを使用し、
磁気へ・ソド２の代わりに、ピエゾ素子による突起セン
サ３ｂを取り付けて突起検出ヘッド３とする。突起セン
サ３ｂは突起５との衝突の際の衝撃力により起電力を発
生して突起の存在を検出する。

第６図は、グライドテスターのバーニッシュヘッド６の
説明図で、前記の磁気ヘッドと同様に。

エアフローＡにより浮上するスライダ一方式とするが、
スライダーとしては、磁気ヘッドのものより硬い材料の
ものとし、磁気ディスク１の表面側に例えば斜方向の鋭
い切り刃６ａが刻まれており、突起５がこれに衝突する
と削り取られて、バーニブシュされるものである。なお
、ばね４の押圧力も、磁気ヘッドの場合より大きくされ
る。

第７図は従来使用されているグライドテスターの構成図
で、突起検出ヘッド３とバーニッシュヘッド６がそれぞ
れ、磁気ディスクｌの半径のＲ。

およびＲ２方向に移動するキャリッジ７および８に取り
付けられている。モータ７１によりキャリッジ７の移動
部７ｂが移動して、その先端のバーニッシュヘッド６に
より、突起５のバーニッシュ作業を行い、またモータ８
１によりキャリッジ８の移動部８ｂが移動して、突起検
出ヘッド３により突起５のバーニッシュの結果の検査を
行う。

さて、磁気ディスク１の表面には、大きさ、形状の異な
るさまざまな突起が存在しており、実際のバーニッシュ
とその検査作業は単純でなく、むしろかなり複雑である
。すなわち、まず突起検査が行われて、突起の位置がメ
モリに記憶され、この位置を対象としてバーニッシュが
数回行われた後、検査を行い、その結果が十分でないと
きはさらにバーニッシュが繰り返されるもので、特に突
起が大きいときは、バーニッシュと検査の交互の繰り返
しが何回か続く、また、バーニッシュにおける回転速度
の取り方、押圧力の調整、ないしはバーニブシュヘッド
の移動方向、速度などが重要であるなど、グライドテス
ターの使用にはノウハウがあり、いずれにしても、煩さ
な作業である。

この場合、バーニッシュと検査の切り替えには、バーニ
ッシュヘッドと突起検出ヘッドの交換のために時間を必
要とし、所要時間すなわちタクトタイムが長くなること
が問題である。

これに対して、バーニッシュヘッドに突起検出センサを
取り付けて、バーニッシュと検査作業を一元的に同時処
理する考えがあるが、バーニッシュヘッドは、実用の磁
気ディスク装置の磁気ヘッドと形状１重量が異なるので
荷重、浮上特性が相違するので、精度のよい突起の検査
ができない。

以上に対して、バーニッシュと検査の交互の切り替え回
数をできるだけ減少して、タクトタイムを短縮できる効
果的なグライドテスターが望ましい。

［発明の目的］この発明は、上記した事情に鑑み、従来のグライドテス
ターの欠点であるバー二・Ｉシュと突起検査作業の切り
替え回数を減少できる、グライドテスターを提供するこ
とを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］この発明は、回転する磁気ディスクの表面に生ずるエア
フローにより浮上し、表面に存在する突起に衝突して突
起を除去するバーニッシュヘッドと、バーニッシュヘッ
ドに突起の大きさの大凡の概略値を検出する第１の突起
センサを取り付け、バーニッシュヘッドによる突起の除
去作業の後、表面に残留する突起を高精度で検出する第
２の突起センサを有する突起検出ヘッドとよりなる磁気
ディスクのグライドテスターである。

実施態様としては、磁気ディスクの回転中心において直
交又は対向する。磁気ディスクの半径方向に移動可能な
２組のキャリッジを設け、その一方のキャリッジに、磁
気ディスクの上側表面および下側表面にそれぞれ対向す
る。第１の突起センサを有する２ｆｉｌのバーニツシュ
ヘ−Ｉドを設け、また他の一方に、上記の上側表面およ
び下側表面に対向する。第２の突起センサを有する２？
！Ｉの突起検出ヘッドを設けたものである。

また別の実施態様としては、磁気ディスクの周辺部に、
磁気ディスクの半径方向に移動するＹ軸キャリッジを設
け、このＹ軸キャリッジの移動部に半径と直角方向に移
動するＸ軸キャリッジを取り付け、Ｘ軸キャリ・ソジに
、磁気ディスクの上側表面および下側表面にそれぞれ対
向する、第１の突起センサを有する２ｆｉｌのバーニッ
シュヘッドと、上記の上側表面および下側表面にそれぞ
れ対向する、第２の突起センサを有する２Ｍの突起検出
ヘッドとを、一定の間隔で配設したものである。

［作用］この発明による磁気ディスクのグライドテスターにおい
ては、バーニッシュヘッドにより磁気ディスクの表面の
突起をバーニッシュするとともに、第１の突起センサに
より突起の大きさについて大凡の値を検出するのである
。ただし、バーニッシュヘッドの浮上などの動作特性は
、磁気ディスク装置の磁気ヘッドに比較してかなり鈍い
ので、えられる検出データは突起の概略の大きさに限ら
れている。しかし、バーニッシュの繰り返しにより、漸
次突起が削り取られる状況が第１の突起センサにより随
時観察できるので、バーニッシュ作業が円滑に行われる
。このような突起の検査を併用したバー二・ソシュ作業
が十分なされた後、突起検出ヘッドに切り替えて、第２
の突起センサにより精度の高い最終的な検査を行い、グ
ライドテストを完了するものである。これにより、従来
のグライドテスターにおけるより、ヘッドの切り替え回
数が減少して、タクトタイムを大幅に短縮するものであ
る。

［実施例］第１図は、この発明による磁気ディスクのグライドテス
ターにおいて、第１の突起センサ３ｂ’を有するバーニ
ッシュヘッド６の構造の実施例を示す図で、既述した従
来と同様のスライダー６ａの溝６ｂにピエゾ素子の第１
の突起センサ３ｂ’を埋め込み固定する。バーニッシュ
ヘッド６のバーニッシュ作用は従来と同じであるが、浮
上などの動作特性は、磁気ヘッドに比較して緩慢である
ので、第１の検出センサ３ｂ’の検出感度は鈍く、突起
の概略の大きさを知りうるのみである。

第２図（ａ）、（ｂ）は、この発明による磁気ディスク
のグライドテスターの実施例の構造を示す平面図である
０図（ａ）において、磁気ディスク１に対して、その回
転中心０で直交するＲ１およびＲ２の２方向にバーニッ
シュヘッド６および突起検出へ−Ｉド３をそれぞれ移動
するキャリッジ７および８を設ける。バーニッシュヘッ
ド６には上記した　゛第１の検出センサ３ｂ’が取り付
けられている。また、突起検出ヘッド３は既述した従来
のものと同様とし、スライダー３ａに第２の検出センサ
３ｂを取り付けたものである０図（ｂ）は、磁気ディス
ク１の周辺部で直交するＸ、Ｙ軸をとり、Ｙ軸を磁気デ
ィスク１の半径Ｒの方向として、この方向に移動するキ
ャリッジ９を設け、その移動部（図示を省略）にＸ軸方
向に移動するキャリッジＩＯを取り付ける。キャリッジ
１０の移動部（図示を省略）に支持棒１０ｂを用いて、
バーニッシュヘッド６および突起検出へラド３を一定間
隔で配設する。なお、ｔａ＜ａ＞と（ｂ）はキャリッジ
の配置が異なるが、両者のバーニッシュヘッド６と突起
検出ヘッド３は磁気ディスク１の表面上を任意に移動し
て同様な動作を行うものである。

第３図は、第２図（ａ）に対する側面を示す図で、ベー
ス盤Ｉｌの中心部にはスピンドル１２が設けられこの上
に磁気ディスク１が載置される。磁気ディスク１の周辺
部においてベース！１１に配設されたキャリッジ７およ
び８には、磁気ディスク１の上側表面および下側表面に
対向して、それぞれ２Ｉｗのバーニッシュヘッド６−１
．６−２および突起検出ヘッド３−１．３−２とが取り
付けられる。これにより、バーニッシュおよび検査作業
は、上、下両面を同時に行うことができる。モータ７ａ
、８ａはキャリッジ７．８の回転用である。

第４図は、この発明による磁気ディスクのグライドテス
ターの実施例における回路の基本構成図である０図にお
いて、マイクロコンピュータ１９の制御により、ドライ
バＡ　１３−１およびドライバＢ１３−２より駆動電流
がモータＡおよびモータＢに供給されて５それぞれキャ
リッジ７またはキャリッジ８が移動する。また、同様に
ドライバＣよりの電流によりスピンドル１２が回転する
。

２個の第１の突起センサ３ｂ’−１’、３ｂ’−２＋お
よび２１１Ｎの第２の突起センサ３ｂ−１，３ｂ−２は
、それぞれプリアンプ１４−１．１４−２．１４−３お
よび１４−４により適当に増幅されて、マイクロコンピ
ュータ１５の指示により、動作中のものが選択回路１５
により選択されてメインアンプ１６、バンドパス・フィ
ルタ１７を経て突起検出回路１８に入力する。ここで、
バンドパス・フィルタ１７は、突起センサ３ｂ、３ｂ’
の検出した信号に含まれる、センサの固有振動などの不
用な高周波部分をカットし、突起に衝突した瞬間の基本
波のみを捕らえるためのものである。

突起検出回路１８には、端子１８ａに予め閾値Ｖｓを設
定し、これを越える検出電圧を有意として出力しノイズ
をカットする。突起検出回路１８の出力信号はマイクロ
コンピュータ！９により所定の処理がなされる。既に述
べたように、グライドテスターによるバーニッシュおよ
び突起検査作業は、大小さまざまな突起に対して、多数
回が繰り返されるものであるが、この発明においては、
バーニッシュへ・ラド６に設けられた突起センサ３ｂ’
により。

バーニッシュの作業中に随時に突起の削り取られる状態
が随時に検出できるもので、従来のグライドテスターに
おけるような、ヘッドの切り替えは不用である。なお、
バーニッシュおよび検査作業は経験をちととしたデータ
によりすべてマイクロコンピュータ１９により行われる
ものであるが、上記の機構および回路はそれらの制御に
十分対応できるものである。

［発明の効果］以上の説明により明らかなように、この発明による磁気
ディスクのグライドテスターによれば、バーニッシュ作
業中に、突起がバーニッシュされて漸次消滅する状態が
、突起検出ヘッドに切り替えることなくバーニッシュヘ
ッドのままで随時に検出して観察できるので、各種さま
ざまな大きさ、形状の突起を効率よくバーニッシュする
ことが可能となる。また、これによりタクトタイムが大
幅に短縮できる効果には、はなはだ大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による磁気ディスクのグライドテス
ターにおいて、第１の突起センサを取り付けたバーニッ
シュへ・ラドの構造図、第２図（ａ）および（ｂ）は、
この発明による磁気ディスクのグライドテスターの実施
例の構造を示す平面図、第３図は第２図（＆）に対する
側面図、第４図は第３図に対する回路の基本構成図、第
５図は磁気ヘッドおよびグライドテスターの突起検出ヘ
ッドの構造図、第６図は従来のグライドテスターのバー
ニッシュヘッドの構造図、第７図は従来のグライドテス
ターにおける、バーニッシュヘッドと突起検出ヘッドの
配置と動作を説明する平面図である。１・−・磁気ディスク、　　２・・・磁気ヘッド、２ａ
、３ａ　−＝スライダー、　３　ｂ　、　３　ｂ　’−
・突起センサ、４・・・ばね、　　　　　　５・・・突
起、６・・・バーニッシュへ・１ド、６ａ・・−切り刃
、６ｂ・・・溝、７．８．９．１０・・・キャリッジ、
ＩＯｂ・・−支持棒、１１−・・ベース磐、　　　　１
２・・−スピンドル、Ｉ３・・−ドライバ、　　　　Ｉ
４・・・プリアンプ、１５・・・選択回路、　　　　１
６・・−メインアンプ、１７−・−バンドパス・フィル
タ。！ト・・突起検出回路、　　１８ａ・・・端子、Ｉ９・
・・マイクロコンピュータ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）回転する磁気ディスクの表面に生ずるエアフロー
により浮上し、該表面に存在する突起に衝突して該突起
を除去するバーニッシュヘッドと、該バーニッシュヘッ
ドに該突起の大きさの大凡の概略値を検出する第１の突
起センサを取り付け、上記バーニッシュヘッドによる突
起の除去作業の後、上記表面に残存する突起を高精度で
検出する第２の突起センサを有する突起検出ヘッドとよ
りなることを特徴とする、磁気ディスクのグライドテス
ター。
（２）磁気ディスクの半径方向に移動可能な２組のキャ
リッジを設け、該２組のキャリッジの一方に、上記磁気
ディスクの上側表面および下側表面にそれぞれ対向する
、上記第１の突起センサを有する２個のバーニッシュヘ
ッドを設け、かつ上記２組のキャリッジの他の一方に、
上記上側表面および下側表面にそれぞれ対向する、上記
第２の突起センサを有する２個の突起検出ヘッドを設け
た、特許請求の範囲第１項記載の磁気ディスクのグライ
ドテスター。
（３）磁気ディスクの周辺部に、該磁気ディスクの半径
方向に移動するＹ軸キャリッジを設け、該Ｙ軸キャリッ
ジの移動部に該半径と直角方向に移動するＸ軸キャリッ
ジを取り付け、該Ｘ軸方向のキャリッジに、上記磁気デ
ィスクの上側表面および下側表面にそれぞれ対向する、
上記第１の突起センサを有する２個のバーニッシュヘッ
ドと、上記上側表面および下側表面にそれぞれ対向する
、上記第２の突起センサを有する２個の突起検出ヘッド
とを一定間隔で配設した、特許請求の範囲第１項記載の
磁気ディスクのグライドテスター。