JPS63215108A - 表面弾性波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、装置に沿って伝播する信号に所望の遅れを与
える様に選択することの出来る一連のタップ変換器を有
する表面弾性波装置（ＳＡＷ装置）に関し、特に、信号
の質を低下させる反射波の発生を防止するために前記一
連の変換器の間に追加の電極を散在させることに関する
。

（従来技術とその問題点） 表面弾性波（ＳＡＷ）装置は、信号処理操作に広く使わ
れている。普通、斯かる装置は、加えられた電界に応答
して機械的歪みを生ずる結晶性材料から成っている。斯
かる装置は、その結晶性材料の表面と接触する一連の対
を成した電極で構成されており、各々の対を成した電極
と結晶性材料とを併せて変換器と見なすことができ、こ
の変換器は、電界を、当該装置に沿って伝わる音波に変
換し、且つ、その音波のエネルギーを電気的エネルギー
に再変換する。音波のエネルギーの主な伝播モードは、
電極が取り付けられている表面に沿って進む表面波の形
を取る。音波は所定の速度で送信変換器の電極から受信
変換器の電極に進み、表面波は、送信変換器及び受信変
換器の間の距離に応じて、送信変換器及び受信変換器の
間を伝播する信号に遅れを与える。

送信変換器及び受信変換器を各々一つずつ用いる場合に
は、ＳＡＷ装置は、一定の遅れを与える。

しかし、ＳＡＷ装置はしばしば、変換器の所望の対、又
はタップ、に外部電気回路を接続することによってユー
ザーが多くの可能な遅れ量のうちの一つを選択すること
を可能にするために、波の伝播経路に沿って連続的に設
けられた追加の電極構造を備えている。このような装置
は、選択可能な遅れを与える機能を持っている。複数の
タップを備えた装置を横方向フィルターとして利用する
ことも出来るが、その場合、信号は、送信変換器の一端
部から装置に入り、一連の受信変換器の各々から一連の
信号レプリカとして抽出されるので、その信号レプリカ
は相異なる遅れを有する。周知の如（、遅れを持ったレ
プリカの各々に適当な計数逓減率が乗じられ、そして信
号レプリカは加え合わされて横方向フィルターの出力信
号と成る。

選択可能な遅れを生じさせる機能、又は横方向フィルタ
ーの機能を提供する一連の受信変換器を持ったＳＡＷ装
置の場合には、結晶性材料の表面に配置された電極から
の表面波の反射に起因する問題がある。そのような反射
に起因して、結晶全体の中を両方向に伝播する波が発生
し、選択された出力変換器から出力信号が抽出されるが
、その出力信号は、前記の反射によって作られた不要な
信号成分の存在によって劣化している。吸収性材料を使
ったり、使わない電極を接地したり、遅延線を金属ケー
ス内に封入したりするなど、前記の問題を解決するため
に様々な技術が採用されている。しかし、それらの技術
は、それ自体としては、基本的な問題点、即ち、伝送媒
体の不連続性に起因して個々の電極で反射が生じるとい
う問題、を処理することができないので、十分なものと
は言えない。

（発明の概要） 可変遅延線及び横方向フィルターとして用いるのに適し
た連続的配置の電極を有し、反射波の発生を防止するた
めに本発明に従って追加の電極構造が前記の電極の間に
散在させられているＳＡＷ装置によって前記の問題が克
服されると共に他の利点が得られる。従って、本発明の
主な目的は、反射波の発生を防止し、あるいは遅延線か
らの出力信号に対するその効果を除去して、そのような
波の反射に伴うスプリアスレスポンスを無視し得る程度
に小さくすることである。

本発明の好適な実施例においては、遅延量を細かく増加
させることも大幅に増加させることも出来る様になって
いる。これは、装置を粗遅延セクションと線遅延セクシ
ョンとに分割することによって達成される。粗セクショ
ンにおいては、出力変換器は割合大きな間隔をおいて離
れており、一方、細セクションにおいては、出力変換器
は割合小さな間隔をおいて離れている。遅延量を単純に
調節可能にするため、広く離間した変換器の一つが入力
変換器として選択され、そのセクションの他の変換器は
接地される。小さな間隔をおいた変換器の一つは出力と
して選択され、細セクションのその他の変換器は接地さ
れる。この装置は可換的であるので、各々の選択された
変換器について回路が適当なインピーダンス終端を与え
るかぎりは、入力と出力とを交換することができる。細
セクションにおいて、追加の電極はタップ電極間に挿入
されて等間隔の電極格子を成しており、その間隔は音波
の波長の約４分の１である。この格子は、音波を伝える
のに適した均一な周期的構造の、外観を呈しており、進
行音波と電極構造との相互作用によって擬似波は生じな
い様になっている。

粗セクションにおいては、タップ電極間の間隔が大きい
ので、細か゛い格子を挿入するのは実際的ではなく、更
に、そのような格子は音波を不必要に減衰させる結果と
なる。本発明の他の特徴によると、ＳＡＷ装置の中を部
分的に、好ましくは中途まで、延在し、変換器のタップ
電極構造から４分の１波長離間した電極を導入すること
によって、反射の効果が防止される。各変換器の両側に
そのような電極が一つずつ配置される。その結果、短縮
された電極と、その隣の完全な長さの電極とから波が反
射し、その波は位相が互いに１８０”ずれているので、
さもなければ−変換器から反射されるはずの波が検出さ
れないことになる。また、結晶性材料の端部、粗セクシ
ョンにおける端部と細セクションにおける端部との両方
において、結晶性材料の上に吸音材料が配置され、さも
なければ結晶性材料の端面から反射されるはずの波を吸
収する。

好ましくは結晶性材料の表面上の金属覆いとして構成さ
れた遮蔽物によってＳＡＷ装置の入力部と出力部とを分
離するのが実際的であり、この遮蔽物は、装置の入力端
子と出力端子との間における電磁波のクロスカップリン
グを防止する。この遮蔽物は、反射波を発生させる原因
となることがあるので、本発明の他の特徴により、遮蔽
物の両側に、音波の波長の４分の１の幅を持った階段が
設けられる。この階段は、ＳＡＷ装置の両側のほぼ中間
に位置する。遮蔽物の階段部及び階段の無い部分から反
射した波は、位相が１８０”ずれた小波を作るので、さ
もなければ遮蔽物の側から発生するはずの反射波の効果
が相殺される。ＳＡＷ装置の構成においては、遮蔽物を
接地するために遮蔽物に接続された金属ケースの中に装
置を格納するのが好ましい。これは、各変換器の範囲を
限定すると共に装置を外部の回路から遮蔽する。本発明
の前記の構造は、ＳＡＷ装置により出力される信号に対
するスプリアスレスポンスの発生を防止するという望ま
しい結果を提供するものであり、これは、電極と装置の
遮蔽物とからの反射波の発生を防止することにより達成
されるものである。

次に、添付図面を参照して、本発明の上記の特徴及びそ
の他の特徴について説明する。

（実施例） 第１図は結晶性材料の平らなブロック１２から成る本発
明に従って構成されたＳＡＷ装置１０を示しており、こ
のブロックは、その平らな上面１６に配置された電極の
アレイ１４を支持する基礎として役立つ。アレイ１４は
、遮蔽物２２で分離された粗セクション１８と、細セク
ション２０とから成っている。粗セクション１８におい
て、アレイ１４は割合に大きな間隔で隔てられた電極組
立体２４を備えている。細セクション２０において、ア
レイ１４は、割合に小さな間隔で隔てられた電極組立体
２６を備えている。

電極組立体２４の各々は、１対のパッド２８．３０を備
えている。

！に１３２が変換器の一つのパッド２８．３０に固着さ
れ、これを信号発生器３４等の外部回路に接続している
。残りの変換器は全て、夫々のバンド２８．３０により
短絡されている。電極組立体２６は、各々パッド３６を
備えており、受信機４２等の外部回路と接続するために
電線４０を取り付けることのできる共通のパッド３８を
共有している。一つを除いて他の全てのパッドが接地さ
れている。即ち、パッド３６のうちの一つは、受信機４
２に接続され、他の全てのパッド３６はパッド３８と共
に接地されている。ＳＡＷ装置２０は金属ケース４４　
（一部切り欠いて図示）の中に格納されており、このケ
ースは、外部回路を、アレイ１４の電極から放射される
かも知れない電磁波から遮蔽する。遮蔽物２２は、発生
器３４と受信機４２との間の電磁的絶縁を向上させるた
め、ワイヤ４６によりケース４４に接続されている。

音波エネルギーの吸収体４８がブロック１２の両端部に
配置されている。

装置１０に沿って発生器３４と受信機４２との間を進む
信号に対してＳＡＷ装置から与えられる遅れの量は、発
生器３４と受信機４２とが接続されている電極組立体２
４．２６の選択に依存する。

選択された組立体が遠く離れていれば遅れは割り合い大
きく、選択された組立体が互いに近ければ遅れは割合に
小さい。

第２図は、ＳＡＷ装置１０の中央部を拡大して示してお
り、この中央部は遮蔽体２２と、粗セクション１８の電
極組立体２４と、アレイ１４の細セクション２０の複数
の電極組立体２６とを含んでいる。第１図の電極組立体
２４の各々は同じ構造を有し、この構造は第２図に詳細
に示されている。組立体２４は、−組の入り込んだ電極
から成っており、一つのパッドに取り付けられた電極は
、対向するパッドに取り付けられた電極に差し込まれて
いる。各組立体には、パッド２８の中央部からブロック
１２の横方向に伸びる電極５０と、パッド３０から電極
５０と平行にその右側に沿って伸びる電極５２と、パッ
ド３０から電極５０に平行にその左側に沿って伸びる電
極５４と、パッド３０から電極５２の長さの半分の長さ
まで電極５２の右側に沿って伸びる電磁５６と、電極５
４の外側末端からパッド３０に向かって逆方向に電極５
４の左側に沿って電極５４の長さの半分の距離まで伸び
る電極５日と、を含む一組の電極がある。電極５０．５
２．５４の各々は、互いに平行に離間して位置する一対
の電気伝導部材６０として形成されているので、分割指
電極と呼ばれる。

電極５０．５２．５４の各々の部材６０の対の外側端部
は、短絡ストリップ６２によって互いに接続されている
のが好ましい３本発明の好ましい実施例の構成において
は、ブロック１２はニオブ酸リチウムから成り、この材
料は強誘電性である。

この材料は、これをキュリ一温度に加熱して分極電界内
におくという周知のプロセスによって分極させられてい
る。各電極及び電極組立体２４のパッドは、アルミニウ
ム等の低密度金属で作られる。

アルミニウムは、細電極組立体２６の各々の電極及びパ
ッドを作るのにも使われる。

組立体２６の各々は同じ形状に構成されており、組立体
２６のその構成は第２図に詳しく示されている。組立体
２６の各々は組立体２４に関して記載した三つの電極５
０．５２．５４を含んでいる。

電極は、もっと多くてもよいし、２個だけでもよい。電
極の数は、分数バンド幅に依存する。また、短電極５６
又は短電極５８が、遮蔽物２２に最も近い組立体２６と
並んで配置される。例を挙げると、第２図において電極
５８が、遮蔽物２２に最も近い組立体２６の電極５４に
付加されている。

細セクション２０の中には、隣り合う電極組立体２６の
電極５２．５４の間に均一に配置された電極６４の組も
含まれている。例えば、第２図には三つの電極６４が示
されているが、隣り合う組立体２６の間にもっと多（の
電極６４をその様に配置することも出来るのであり、電
極６４の数は、隣り合う組立体２６の間の間隔に依存す
る。図において、電極６４の各々は、電極５２．５４と
同じ構造を有する。全ての電極６４が同じ電位であるの
で、それら全ての外側端部を短絡ストリップ６２で相互
に接続することができる。その様にすれば、電流を循環
させる経路の長さを減少させ音波の伝播損を減少させる
ことができる。これらのジャンパーは、電極が掻き傷又
は他の欠陥によって遮断されている場合に役立つ交互の
接続も提供するものである。また、整数個の完全な電極
がタップとタップとの間に適合しない場合には、分割電
極の半分を外に出したままにすると共に、均一な格子に
近付けるために間隔を僅かにずらすことも出来る。

電極６４、若し電極６４が存在しなければ組立体２４．
２６の各々の電極５２．５４から反射されるはずの表面
弾性波の発生を防止するので、本発明の重要な特徴を成
すものである。同様に、電極５６．５８は、若し電極５
６．５８が存在しなければ組立体２４．２６の各々の電
極５２．５４から反射されるはずの表面弾性波の効果を
打ち消す反射波を発生さするので、本発明の重要な特徴
を成すものでる。

組立体２４．２６の構成において、夫々の電極の部材６
０は、組立体２４．２６のいずれか一つのパッドとパッ
ドの間に交番電界を加えた時ブロック１２の中に生成さ
れる表面弾性波の４分の１波長に相当する中心間距離だ
け互いに離間している０部材６０は、前記の波長の８分
の１の幅と、諸波長の何倍かに相当する長さとを持って
おり、各部材６０の長さは、均一放射の横形放射器の周
知の放射パターンを作るのに十分な長さである。

本発明に従って、組立体３０の各々の電極５８は、第２
図に示されている様に組立体２４．２６に左側から入射
した外来の音波の一部を反射し、左へ進む反射波を生じ
させる。同様に、電極５８は、電極５８とその隣りの部
材６０とに右側から入射した内因性音波の一部を反射し
て、右へ進む反射波を生じさせる。電極５８は、電極５
４の隣りの部材６０に沿って中途までしか伸びていない
ので、部材６０の残りの部分−は、部材６０に入射する
前記音波に晒される。部材６０のこの露出した部分は、
電極５８と同様にして音波の一部を反射する。その結果
、二つの反射波が互いに発射されるのであるが、その音
波のうちの一つは電極５８から発射され、他方の音波は
部材６０の露出部分から発射される。電極５８と部材６
０とは音波の波長の４分の１だけ離れているので、左側
からの入射波は、電極５８に衝突した後に部材６０に衝
突する。また、部材６０から反射された波は電極５８の
位置に到達するまでに４分の１波長だけ更に余分に進ま
なければならないので、反射波には遅れがある。その結
果、その二つの反射波は、互いに位相が１８０’だけず
れている。右側からの内部入射波は、部材６０に衝突し
た後、電極５８に衝突する。電極５８から反射した波は
、部材６０に到達するまでに４分の１波長だけ更に進ま
なければならないので、遅れる。これら二つの反射波は
、伝播して行（時、音波経路全体に亘って延在する電極
に逆極性の電荷を誘導するので、完全な長さの電極とは
結合しない、従って、電極５８と部材６０の露出部分と
は、本発明により、互いに共同して、反射波の検出を阻
止する。右側から入射する波についての、電極５６．６
０からの反射波にも、同じことが言える。

上記の説明は、組立体２４の各々における組立体２４の
右側の電極５６と、電極５２の隣接部材６０の対応する
露出部分にも当てはまる。第２図に承されている様に、
電極５６と、その隣りの部材６０の露出部分との間の幾
何学的関係は、電極５８とその隣りの部材６０の露出部
分とについて説明したのと同じである。従って、右又は
左から組立体２４に入射する音波は、電極５６から部分
的に反射されると共に、その隣りの部材６０から部分的
に反射されるので、組立体２４からの反射波は全体とし
ては打ち消される。従って、粗セクシッン１８の電極組
立体２４の全体については、音波が成る組立体２４によ
って生成されたり、あるいは成る組立体２４によって受
信されたりするであろうが、組立体２４からの反射波は
検出されない。

先に記した様に、信号発生器３４への接続によりパッド
２４．３０の間に加えられた電圧によって電界が生成さ
れる。パッド２４．３０の間に存在する電界は、ブロッ
ク１２の材料に機械的歪を誘導する。ブロック１２の結
晶性材料は圧電性でも強誘電性でも良いのであるが、本
発明の好ましい実施例では強誘電性材料が使われる。電
極５０はパッド２８に接続され、電極５２．５４はパッ
ド３０に接続されているので、電界は、電極５０と電極
５２との間、及び、電極５０と電極５４との間に現われ
る。電界と結晶性材料との相互作用によって電気エネル
ギーが音響エネルギーに変換されるので、電極組立体２
４は、電気エネルギーを音響エネルギーに変換する変換
器と看做すことができるものである。前記のエネルギー
変換は、音波が電極構造と結合して音波のエネルギーが
取り出され得るので可換的であり、これは電極組立体の
パッドへの受信機４２の接続によって達成される。電極
組立体２６も電極組立体２４と同様に変換器として作用
する。

電極５６又は５８とその隣りの電極部材６０との前記の
幾何学的構成は、結晶性材料のブロック１２と遮蔽物２
２の答録との境界にも実現され、遮蔽物２２との境界か
らの反射を防止する。これは、ブロック１２の縦軸に平
行な方向に４分の１波長の距離だけ延在する段６６を遮
蔽物２２の縁に設けることによって達成される。段６６
はＳＡＷ装置１０の両側の中間に位置しているので、遮
蔽物２２の縁７０．７２の手繰部分６８Ａ、６８Ｂから
等しい反射が生じる様になっている。各段６６が４分の
１波長の長さを持っているので、手繰部分６８Ａ、６８
Ｂから反射された波の部分は、互いに位相が１８００ず
れており、その結果、反射波は打ち消される。斯（して
、縁７０．７２の段付き構造は、縁７０．７２からの反
射波の検出を阻止する。

本発明の他の特徴により、細セクシッン２０の電極組立
体２６の間の間隔は割合に狭いので、電極５０．５２．
５４．６４から成る分割指電極の連続格子を構成す−る
ことがで−きる。その様な連続格子は、第２図に示され
ている前記の電極の構成によって提供される。そこでは
、全ての電極が、ブロック１２の縦軸の方向においてほ
ぼ同じ幅を有し、且つ、全ての電極が、ブロック１２の
縦軸方向においてほぼ同じ電極間間隔を有する。電極の
格子パターンがほぼ均一で、電極の部材６０が４分の１
波長離間しているので、反射無しに表面波を伝播させる
ほぼ均一な周期的構造となっている。４分の１波長間隔
により良く近付けるために、分割ダミー電極の部材６０
の一つを省略することができる。電極６４は、組立体２
６のいずれかに随伴する変換器の動作に関与しないとい
う意味でダミー電極と見なすことができるものであるけ
れども、電極６４の周期的格子構造の構成に関しては組
立体２６の各々の電極５０．５２と等しく共同する。遮
蔽物２２の縁７２に面する格子構造の端部には不連続性
が存在するが、この不連続性は左から入射する波の反射
を生じさせることができるものである。従って、この不
連続性からの反射波を防止するために、電極５４の横倒
端部に短い電極５８を接続することによって、格子構造
の端部に電極５８が設けられている。電極５８を用いる
代わりに、短い電極５６をパッド３８に接続することが
できる。電極５８又は５６のいずれを設けるとしても、
第２図の組立体２４に関して先に説明したメカニズムに
よって格子構造の左端から反射された波は打ち消される
ことになる。循環電流に対する抵抗を減少させるために
、ダミー電極６４の間に短絡ストリップ６２を接続する
ことも出来る。これはＳＡＷ伝播損を減少させる。

本発明は、短絡ストリップ６２があっても無くても有効
に作用するものであることを記しておく。

しかし、本発明の構成上、部材６を形成する金属のスト
リップが破損した時に部材６０の少なくとも一部分とそ
のパッドとの電気的接続を保証するために、短絡ストリ
ップ６２が設けられており、そのような破損は、ＳＡＷ
装置１０の乱暴な取り扱いから生じることがある。循環
電流に対する抵抗を減少させるため、ダミー電極６４の
間に短絡ストリップ６２を接続することも出来る。その
様にすれば、ＳＡＷ伝播損が減少する。

好ましい実施例の構成においては、ニオブ酸リチウム結
晶を１２８”の角度で切る。隣り合う細電極組立体２６
の間の伝播遅れは２５ナノ秒である。隣り合う粗電極組
立体２４の間の伝播遅れは１６２．５ナノ秒である。一
定遅れ増分２５ナノ秒で約、３から５．３マイクロ秒の
範囲の遅れを与える様にＳＡＷ装置の長さを選択するこ
とができる。

細電極２６間の所望の遅れが４分の１波長の整数倍でな
い場合には、格子構造に無視し得る程度以上の乱れを生
じさせずに所望の遅れを得るために、一つ以上の電極６
４の間の間隔を変えることができるべきであるが、その
場合、著しい反射波を生じさせてはならない。粗セクシ
ョン１８にダミー電極６４を設けることも出来るが、組
立体２４の間の間隔が割合に大きいので、多数のダミー
電極６４が必要となり、そのために信号が余りにも弱ま
るであろうと思われる。従って、本発明の好ましい実施
例においては、ダミー電極６４は、粗セクション１８に
は設けられていない。望ましくない反射によるスプリア
ス信号レスポンスは、主遅延信号レベルより約４０ｄＢ
（デシベル）以上下回るべきである。ブロック１２の一
般的厚みは５０ミルである。ブロック１２の全長は１イ
ンチ程度であり、組立体２４．２６の電極の長さは四分
の一インチ程度である。この構造又は電極は、アルミニ
ウム電極を真空蒸着法又はスパッタリングによって作る
ことのできる周知の写真製版技術により製造することが
できるものである。アルミニウムは約２０００オングス
トロームの厚みまで蒸着されるが、この厚みは、音波の
波長により皇かに小さい。音波の代表的周波数は、４０
ないし１６０メガヘルツの範囲内にある。波の進行距離
と伝播遅れとの間の関係の代表的値は、マイクロ秒当た
り約八分の一インチである。

本発明の好ましい実施例の構成においては、ブロック１
２の表面に接着されるニカワ又はシリコンゴム等の減衰
性材料で吸収体４８を作ることができる。吸収体として
使われた減衰性材料は、音波からエネルギーを吸収し、
ブロック１２の端部からの波の反射を防止する。遮蔽物
２２０幅は、一般に、四分の一インチ程度である。表面
弾性波の周波数等の高周波数では、組立体２４．２６の
電極のキャパシタンスの効果は、ＳＡＷ装置１０の入力
端子及び出力端子の間の著しい結合を生じさせるのに十
分であり、この結合は遮蔽物２２によって抑制される。

第１図に示されているＳＡＷ装置等が作動する時、いず
れか一つの変換器から導入された信号は、そこから両方
向に進む。本発明によらない時は、多数の電極によって
、波が伝播する表面に不連続性が発生し、いろいろな反
射波が両方向に伝播する結果となる。本発明により、反
射波は互いに打ち消しあうので、発生器３４等の発生器
によって生成された実質上純粋な信号が、受信機４２等
の受信機により受信されることとなる。これにより、本
発明は、粗い遅れ増分と細かい遅れ増分との両方を有し
、望ましくない反射による信号劣化無しにその様な遅れ
を生じさせることのできるＳＡＷ装置の製造を可能にす
るものである。

第３図は、約三分の一波長の間隔を有する本発明の実施
例を示す、格子の端部には二つの短い電極が設けられて
いる。電極１０１の長さは波長の三分の二であり、電極
１０２の長さは波長の三分の−である。その結果、位相
が互いに２４０”ずれた三つの反射波が形成されること
になる。その結果、その三つの波のベクトル和は、第４
図に示されている様にゼロに成る。遮蔽物１０３は、こ
の構成を補足する各々１２０°の二つの段を有する。こ
の構成は、四分の一波長間隔が短すぎるような高い中心
周波数で有用であろう。

一般に、１／８．２／３．５／４・・・・・・等の倍数
の波長だけ離れた相補的電極で本発明を実施することが
できる、その場合、遮蔽物は、必要な数の段を有する。

間隔が広がると、反射打ち消しバンド幅は狭まる。しか
し、それでも多（の用途には十分である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるＳＡＷ装置の様式化された図であ
り、この装置は金属ケースに格納されて外部回路に接続
されている。 第２図は、第１図の装置の中心部分の断片的平面図であ
り、該装置の電極構造の特徴をはっきりと示すため、水
平方向の縮尺を垂直方向の縮尺に対して拡大しである。 第３図は、本発明によるＳＡＷ装置の平面図であり、こ
の装置は、電極間の間隔を波長の三分の−“とじである
。 第４図は、第３図に示した実施例の動作を説明するのに
役立つベクトル図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、音波伝播材料のベースと： 前記ベース上に離間した関係で配置された電極組立体の
   アレイと、第１の前記組立体は、前記ベースに沿って第
   ２の前記組立体に向かう音波の伝播を開始させることと
   ： 複数の前記組立体の各々と並んで位置し、前記組立体か
   らの前記波の反射の発生を防止する手段とから成ること
   を特徴とする表面弾性波（ＳＡＷ）装置。 ２、前記防止手段は、前記組立体の全てと並んで配置さ
   れていることを特徴とする請求項１記載のＳＡＷ装置。 ３、前記組立体の各々は、前記波の伝播方向を横切って
   所定距離延在する一組の電極から成り、前記防止手段は
   、前記電極の組の中の一つの電極に平行な少なくとも一
   つの付加的電極から成ることを特徴とする請求項１記載
   のＳＡＷ装置。 ４、前記付加的電極は、前記所定距離の約二分の一に等
   しい長さを有することを特徴とする請求項３記載のＳＡ
   Ｗ装置。 ５、前記付加的電極は単一の指として形成され、前記電
   極の前記組の中の前記電極は分割指電極として形成され
   ていることを特徴とする請求項４記載のＳＡＷ装置。 ６、前記付加的電極は、電極組立体の外側に位置し、分
   割指電極の外側部材から前記波の波長の四分の一だけ離
   間していることを特徴とする請求項５記載のＳＡＷ装置
   。 ７、複数の前記付加的電極が、周期的格子の形を成して
   、前記アレイの連続する電極組立体の間に配置されてい
   ることを特徴とする請求項３記載のＳＡＷ装置。 ８、前記格子の前記複数の付加的電極は、分割指電極と
   して形成されていることを特徴とする請求項７記載のＳ
   ＡＷ装置。 ９、各々の前記連続する電極組立体の前記電極の組の中
   の電極は分割指電極として形成されており、前記格子の
   前記分割指電極及び前記連続する組立体の全ての部材は
   、前記波の波長の約四分の一の中心間距離をおいて離間
   していることを特徴とする請求項８記載のＳＡＷ装置。 １０、前記格子の前記付加的電極は接地されていること
   を特徴とする請求項９記載のＳＡＷ装置。 １１、前記防止手段は、前記ベースの両端部に配置され
   た波エネルギー吸収手段を更に含むことを特徴とする請
   求項９記載のＳＡＷ装置。 １２、前記防止手段は、前記所定距離の約三分の一及び
   三分の二に等しい長さを有して不連続的階段構造を成す
   少なくとも二つの付加的電極を含むことを特徴とする請
   求項３記載のＳＡＷ装置。 １３、前記ベース上で前記第１及び第２の組立体の間に
   配置された遮蔽物を更に備えており、前記防止手段は、
   前記遮蔽物の両縁に形成された二つの三分の一波長の段
   を含むことを特徴とする請求項１記載のＳＡＷ装置。 １４、前記ベース上で前記第１及び第２の組立体の間に
   配置された遮蔽物を更に備えており、前記防止手段は、
   前記遮蔽物の両縁に形成された四分の一波長の段を含む
   ことを特徴とする請求項１記載のＳＡＷ装置。 １５、音波伝播性材料のベースと： 離間した関係で前記ベース上に配置された電極組立体の
   アレイと、第１の前記組立体は、前記ベースに沿って第
   ２の前記組立体に向かう波の伝播を開始させることと、
   電極組立体の前記アレイは、前記アレイの粗セクション
   と前記アレイの細セクションとを含んでおり、ここで、
   前記粗セクションの前記組立体の各々は、前記波の伝播
   方向を横断する方向に所定距離延在する一組の電極から
   成っていることと： 前記波の反射の発生を防止する手段と、前記防止手段は
   、前記ベースの両端部に配置された波エネルギー吸収手
   段、及び、前記組立体の各各の前記電極の組の中の電極
   に平行な少なくとも一つの付加的電極とから成っている
   ことと、前記付加的電極は前記所定距離の約二分の一に
   等しい長さを有することと、前記所定距離に等しい長さ
   を有する付加的電極が、周期的格子の形を成して、前記
   アレイの前記細セクションの連続する組立体の間に配置
   されていることとを特徴とする表面弾性波ＳＡＷ装置。 １６、前記ベース上で前記第１及び前記第２の組立体の
   間に配置された遮蔽物を更に備えており、前記防止手段
   は、前記遮蔽物の両側縁に形成された四分の一波長の長
   さの段を含んでおり：前記ＳＡＷ装置は更に： 前記付加的電極のうちの他の一つは、前記所定距離の約
   二分の一に等しい長さを有し、前記遮蔽物に面する前記
   格子の一端部に位置することを特徴とする請求項１４記
   載のＳＡＷ装置。 １７、前記組立体の各々の電極は分割指電極として形成
   され、前記格子の付加的電極は分割指電極として形成さ
   れており、前記付加的電極のうちの、前記所定距離の約
   二分の一に等しい長さを有するものは、単一の指の電極
   として形成されており： 前記格子の前記分割指電極の部材の間の間隔は、中心間
   で測ったとき、前記波の波長の四分の一であり、前記組
   立体の前記分割指電極は四分の一波長の中心間距離をお
   いて離間しており、前記所定距離の約二分の一に等しい
   長さを有する前記付加的電極は分割指電極の隣り合う部
   材から中心間距離で四分の一波長だけ離間しており： 前記分割指電極の部材の長さと、前記所定距離の約二分
   の一に等しい長さを有する前記付加的電極の長さとは、
   八分の一波長に等しく：前記分割指電極の部材の端部は
   互いに短絡され： 前記ＳＡＷ装置は、前記遮蔽物に電気的に接続された金
   属ケースの中に格納されていることを特徴とする請求項
   １４記載のＳＡＷ装置。