JPS6321815U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6321815U JPS6321815U JP11624686U JP11624686U JPS6321815U JP S6321815 U JPS6321815 U JP S6321815U JP 11624686 U JP11624686 U JP 11624686U JP 11624686 U JP11624686 U JP 11624686U JP S6321815 U JPS6321815 U JP S6321815U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode body
- electrode
- electrodes
- concave
- convex
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第１図は本考案による回転角センサの一実施例
の全体構成を示す断面図、第２図ａ，ｂはその固
定側電極体を示す平面図及び断面図、第３図ａ，
ｂは同じく回転側電極体を示す平面図及び断面図
、第４図及び第５図は固定側電極と回転側電極と
の互いに異なる位置関係を示す拡大断面図、第６
図ａは両電極間の静電容量の変化状態を示す波形
図、第６図ｂは電圧信号を示す波形図、第６図ｃ
は波形整形したパルス信号を示す波形図、第７図
は回転角検出回路の一例を示すブロツク図、第８
図は従来の静電容量式直線変位計を示す図である
。 １：固定側電極体、２：回転側電極体、１２：
支持壁、１６：固定側電極、１７ａ，１７ｂ，２
４ａ，２４ｂ：絶縁用突起部、２３：回転側電極
。
の全体構成を示す断面図、第２図ａ，ｂはその固
定側電極体を示す平面図及び断面図、第３図ａ，
ｂは同じく回転側電極体を示す平面図及び断面図
、第４図及び第５図は固定側電極と回転側電極と
の互いに異なる位置関係を示す拡大断面図、第６
図ａは両電極間の静電容量の変化状態を示す波形
図、第６図ｂは電圧信号を示す波形図、第６図ｃ
は波形整形したパルス信号を示す波形図、第７図
は回転角検出回路の一例を示すブロツク図、第８
図は従来の静電容量式直線変位計を示す図である
。 １：固定側電極体、２：回転側電極体、１２：
支持壁、１６：固定側電極、１７ａ，１７ｂ，２
４ａ，２４ｂ：絶縁用突起部、２３：回転側電極
。
Claims (1)
- 同軸で相対回転可能にかつ対向して配置された
第１の電極体及び第２の電極体を有し、各電極体
の対向面に所定ピツチの凹凸電極をそれぞれ形成
するとともに、各電極体相互の凹凸電極を電気的
に絶縁する絶縁部材を両電極体にそれぞれ一体に
形成し、両絶縁部材を回転摺動可能に当接させて
両電極を離間し両電極体の凹凸電極の対向位置関
係に応じた静電容量を形成することを特徴とする
静電容量式回転角センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11624686U JPS6321815U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11624686U JPS6321815U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321815U true JPS6321815U (ja) | 1988-02-13 |
Family
ID=31000656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11624686U Pending JPS6321815U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321815U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053183A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
| JP2009288058A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150865A (ja) * | 1982-12-06 | 1983-09-07 | Sony Corp | 容量変化型回転状態検出装置の電極製造方法 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP11624686U patent/JPS6321815U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150865A (ja) * | 1982-12-06 | 1983-09-07 | Sony Corp | 容量変化型回転状態検出装置の電極製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009053183A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
| JP2009288058A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |