JPS6321857B2 - - Google Patents
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- JPS6321857B2 JPS6321857B2 JP55015992A JP1599280A JPS6321857B2 JP S6321857 B2 JPS6321857 B2 JP S6321857B2 JP 55015992 A JP55015992 A JP 55015992A JP 1599280 A JP1599280 A JP 1599280A JP S6321857 B2 JPS6321857 B2 JP S6321857B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flaw
- circuit
- signal
- representative
- width direction
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走行する長尺物体の表面欠陥を光学
的に検査する表面検査装置に関する。
的に検査する表面検査装置に関する。
長尺物体例えば鋼板、アルミ板などの圧延ライ
ンでは、目視による表面検査が行なわれている。
この目視による検査を自動化する際、目視検査に
近い判定を得るには、目視検査員の検査手順に似
せた装置にする必要がある。目視検査員は、次の
ような判断を瞬時に行なつている。
ンでは、目視による表面検査が行なわれている。
この目視による検査を自動化する際、目視検査に
近い判定を得るには、目視検査員の検査手順に似
せた装置にする必要がある。目視検査員は、次の
ような判断を瞬時に行なつている。
１ 疵の分布、形状、深さ、濃さなどをもとに疵
の種類を判定する。
の種類を判定する。
２ 一定の面内にいくつかの疵がある場合には、
代表的な疵に着目して判定する。
代表的な疵に着目して判定する。
３ 疵の種類に応じて定められた基準（経験的要
素に基づくものが多い）で等級分けをする。
素に基づくものが多い）で等級分けをする。
４ 以上の判断を対象の長尺物体の材質あるいは
表面仕上げなどにより変えて行なう。
表面仕上げなどにより変えて行なう。
これらの判断を機械に置き換え自動化する場
合、信号処理速度がライン速度に追いつかず大き
な障害となつている。
合、信号処理速度がライン速度に追いつかず大き
な障害となつている。
本発明は、上記点に対処して成されたもので、
長尺物体表面のプロフイルを作成し、プロフイル
から得られた疵の形状からその疵中最も長いかあ
るいは幅が広い疵を代表疵として選定し、その代
表疵の重み付け値で等級を決定して物体の表面欠
陥を検出するように構成し、ライン速度に充分追
随可能な表面検査装置を提供するものである。
長尺物体表面のプロフイルを作成し、プロフイル
から得られた疵の形状からその疵中最も長いかあ
るいは幅が広い疵を代表疵として選定し、その代
表疵の重み付け値で等級を決定して物体の表面欠
陥を検出するように構成し、ライン速度に充分追
随可能な表面検査装置を提供するものである。
以下、本発明の一実施例につき第１図乃至第３
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
まず、第１図を参照して一実施例の構成を説明
する。
する。
１０は検出ヘツド部で、長尺物体１１の幅方向
に光学的に走査し、物体１１表面からの反射光を
電気信号に変換するものである。この検出ヘツド
部１０は、増幅器１２を介して弁別回路１３に接
続されている。この回路１３は、前記ヘツド部１
０からの信号を複数段で弁別するものである。例
えが、γ1（低）、γ2（中）、γ3（高）の３レベルで
弁
別するように構成されており、この弁別した号を
疵信号として出力している。この弁別回路１３
は、疵位置検出回路１４を介してプロフイル発生
回路１５に接続されている。この回路１５は、前
記ヘツド部１０の一走査毎に出力される疵信号を
前記疵位置検出回路１４の位置信号をもとに物体
１１の幅方向の各位置毎に順次計数し、後述する
区画信号発生回路１６からの信号により各区画毎
のプロフイルを作成するものである。
に光学的に走査し、物体１１表面からの反射光を
電気信号に変換するものである。この検出ヘツド
部１０は、増幅器１２を介して弁別回路１３に接
続されている。この回路１３は、前記ヘツド部１
０からの信号を複数段で弁別するものである。例
えが、γ1（低）、γ2（中）、γ3（高）の３レベルで
弁
別するように構成されており、この弁別した号を
疵信号として出力している。この弁別回路１３
は、疵位置検出回路１４を介してプロフイル発生
回路１５に接続されている。この回路１５は、前
記ヘツド部１０の一走査毎に出力される疵信号を
前記疵位置検出回路１４の位置信号をもとに物体
１１の幅方向の各位置毎に順次計数し、後述する
区画信号発生回路１６からの信号により各区画毎
のプロフイルを作成するものである。
また、このプロフイル発生回路１５は、代表疵
選定回路１７に接続されている。この回路１７
は、プロフイルから最も長いかあるいは幅の広い
形状の疵を代表疵として選択し、その代表疵の信
号を後段の疵種判別回路１８に供給している。こ
の回路１８は、代表疵が、任意に選定した特定疵
（例えば最も欠陥として重要な疵）かそれ以外の
疵かを判別するでのある。また、この回路１８
は、代表疵信号を重み付回路２０へ供給してい
る。この重み付回路２０には、設定器２１からの
例えば前記弁別レベルγ1，γ2，γ3に応じてρ1〉
ρ2〉ρ3なる関係を有する重み信号ρ1，ρ2，ρ3が供
給されている。そして、この回路２０は、この重
み信号ρ1，ρ2，ρ3と前記代表疵信号とから次式に
より代表疵の重み値φを決定する。
選定回路１７に接続されている。この回路１７
は、プロフイルから最も長いかあるいは幅の広い
形状の疵を代表疵として選択し、その代表疵の信
号を後段の疵種判別回路１８に供給している。こ
の回路１８は、代表疵が、任意に選定した特定疵
（例えば最も欠陥として重要な疵）かそれ以外の
疵かを判別するでのある。また、この回路１８
は、代表疵信号を重み付回路２０へ供給してい
る。この重み付回路２０には、設定器２１からの
例えば前記弁別レベルγ1，γ2，γ3に応じてρ1〉
ρ2〉ρ3なる関係を有する重み信号ρ1，ρ2，ρ3が供
給されている。そして、この回路２０は、この重
み信号ρ1，ρ2，ρ3と前記代表疵信号とから次式に
より代表疵の重み値φを決定する。
φ＝（ρ1・〓R1）
＋（ρ2・〓R2）＋（ρ3・〓R3）
（但し、式中R1，R2，R3は、各弁別レベルで
の疵の個数） また、この重み付回路２０は、後段の等級判定
回路２２に接続されている。この回路２２は、重
み付けされた代表疵の等級を判定するもので、そ
の代表疵の重み値φと、前記設定器２１で設定さ
れた判定レベルφkとを比較して等級を決定する
ものである。
の疵の個数） また、この重み付回路２０は、後段の等級判定
回路２２に接続されている。この回路２２は、重
み付けされた代表疵の等級を判定するもので、そ
の代表疵の重み値φと、前記設定器２１で設定さ
れた判定レベルφkとを比較して等級を決定する
ものである。
また、設定器２１は、前述したように弁別レベ
ル毎の重みρ1，ρ2，ρ3および判定レベルφkとを設
定するものであるが、これらの各値は、前記疵種
判別回路１８からの判別結果および物体１１の材
質あるいは表面仕上げの種類により変更されるも
のである。
ル毎の重みρ1，ρ2，ρ3および判定レベルφkとを設
定するものであるが、これらの各値は、前記疵種
判別回路１８からの判別結果および物体１１の材
質あるいは表面仕上げの種類により変更されるも
のである。
また、２３は位置パルス発生器で、疵の位置お
よびプロフイル作成単位すなわち物体１１表面の
一検査単位となる区画を決定する信号を出力する
ものである。この疵位置は、次のようにして得ら
れる。すなわち、長手方向位置は、物体１１の走
行速度に対応して出力されるパルスを、物体１１
が前記ヘツド部１０を通過した時点から計数した
信号を、また幅方向位置は、物体１１の端から端
までの一定走査中に出力されるパルスを後段の疵
位置検出回路１４へ送出することにより検出され
る。この検出回路１４では、前記弁別回路１３か
らの疵信号到来時の長手方向のパルス計数値から
長手方向位置を、幅方向のパルス計数値から幅方
向位置をそれぞれ読出し疵信号と対応させてい
る。
よびプロフイル作成単位すなわち物体１１表面の
一検査単位となる区画を決定する信号を出力する
ものである。この疵位置は、次のようにして得ら
れる。すなわち、長手方向位置は、物体１１の走
行速度に対応して出力されるパルスを、物体１１
が前記ヘツド部１０を通過した時点から計数した
信号を、また幅方向位置は、物体１１の端から端
までの一定走査中に出力されるパルスを後段の疵
位置検出回路１４へ送出することにより検出され
る。この検出回路１４では、前記弁別回路１３か
らの疵信号到来時の長手方向のパルス計数値から
長手方向位置を、幅方向のパルス計数値から幅方
向位置をそれぞれ読出し疵信号と対応させてい
る。
また、一検査単位の区画は、前記区画信号発生
回路１６で長手方向のパルス計数値から例えば
100パルス単位で１パルスを出力することにより
行な得る。
回路１６で長手方向のパルス計数値から例えば
100パルス単位で１パルスを出力することにより
行な得る。
また、２５は出力制御回路で、前記疵位置検出
回路１４からの疵位置検出信号、疵種判別回路１
８からの疵種信号および等級判定回路２２からの
等級などを表示器２６およびタイプライタ２７へ
供給するものである。
回路１４からの疵位置検出信号、疵種判別回路１
８からの疵種信号および等級判定回路２２からの
等級などを表示器２６およびタイプライタ２７へ
供給するものである。
次に、このように構成された一実施例の作用を
説明する。
説明する。
走行する長尺物体１１の表面を幅方向に光学的
に走査することにより、その表面からの反射光が
検出ヘツド部１０に入射し、第２図ａの如く電気
信号に変換される。この信号は、増幅器１２を介
して弁別回路１３でγ1，γ2，γ3の弁別レベルで第
２図ｂ，ｃ，ｄの如くパルス波高弁別される。こ
の波高弁別は、前記ヘツド部１０の一走査毎に行
なわれ、この弁別出力は、疵位置検出回路１４へ
供給され、この回路１４で位置パルス発生器２３
からの信号により疵位置信号として後段のプロフ
イル発生回路１５へ出力される。このプロフイル
発生回路１５では、その疵位置信号から第３図ｂ
に示すようなプロフイルを作成する。尚、同図ａ
は、物体１１表面を示すもので、イ、ロ、ハは表
面の疵である。このプロフイルは、前記区画信号
発生回路１６からの一区画信号毎に集計して作成
される。そして、このプロフイル発生回路１５か
ら最も長くあるいは幅広の疵が後続の代表疵選定
回路１７で代表疵として抽出される。そして、こ
の代表疵信号は、疵種判別回路１８に供給され、
ここで特定疵か否か判定される。その判定結果
は、設定器２１に送出され、設定器２１では、そ
の結果に応じてβ1，β2，β3およびφkの値を変化
させる。また、疵種判別回路１８を通過した代表
疵信号は、重み付回路２０へ供給される。
に走査することにより、その表面からの反射光が
検出ヘツド部１０に入射し、第２図ａの如く電気
信号に変換される。この信号は、増幅器１２を介
して弁別回路１３でγ1，γ2，γ3の弁別レベルで第
２図ｂ，ｃ，ｄの如くパルス波高弁別される。こ
の波高弁別は、前記ヘツド部１０の一走査毎に行
なわれ、この弁別出力は、疵位置検出回路１４へ
供給され、この回路１４で位置パルス発生器２３
からの信号により疵位置信号として後段のプロフ
イル発生回路１５へ出力される。このプロフイル
発生回路１５では、その疵位置信号から第３図ｂ
に示すようなプロフイルを作成する。尚、同図ａ
は、物体１１表面を示すもので、イ、ロ、ハは表
面の疵である。このプロフイルは、前記区画信号
発生回路１６からの一区画信号毎に集計して作成
される。そして、このプロフイル発生回路１５か
ら最も長くあるいは幅広の疵が後続の代表疵選定
回路１７で代表疵として抽出される。そして、こ
の代表疵信号は、疵種判別回路１８に供給され、
ここで特定疵か否か判定される。その判定結果
は、設定器２１に送出され、設定器２１では、そ
の結果に応じてβ1，β2，β3およびφkの値を変化
させる。また、疵種判別回路１８を通過した代表
疵信号は、重み付回路２０へ供給される。
ここで、代表疵信号の弁別レベルγ1，γ2，γ3毎
の疵の個数R1，R2，R3に設定器２４からの重み
β1，β2，β3を掛けて合計し重み値φを決定する。
この決定された重み値φは、等級判定回路２２へ
供給され、設定器２１からの判定レベルφkと比
較され等級付される。
の疵の個数R1，R2，R3に設定器２４からの重み
β1，β2，β3を掛けて合計し重み値φを決定する。
この決定された重み値φは、等級判定回路２２へ
供給され、設定器２１からの判定レベルφkと比
較され等級付される。
そして、この等級判定回路２２からの代表疵の
等級、前記疵種判別回路１８からの代表疵の疵種
および前記疵位置検出回路１４からの疵位置信号
が出力制御回路２５を介して、表示器２６あるい
はタイプライタ２７へ供給され、物体１１の表面
欠陥検査が終了する。
等級、前記疵種判別回路１８からの代表疵の疵種
および前記疵位置検出回路１４からの疵位置信号
が出力制御回路２５を介して、表示器２６あるい
はタイプライタ２７へ供給され、物体１１の表面
欠陥検査が終了する。
本発明は、このようにして構成したので、目視
検査と同様の表面検査を自動的に行なうことがで
き、しかもライン速度に十分追随できるなどの効
果を奏する。
検査と同様の表面検査を自動的に行なうことがで
き、しかもライン速度に十分追随できるなどの効
果を奏する。
図は本発明の一実施例を説明するもので、第１
図は回路構成図、第２図ａは検出ヘツド部の出力
波形図、同図ｂ，ｃ，ｄはそれぞれ弁別レベル
γ1，γ2，γ3による弁別出力波形図、第３図ａは物
体表面の疵を示す平面図、同図ｂは同図ａのプロ
フイルを示す図である。 １０……検出ヘツド部、１１……長尺物体、１
２……増幅器、１３……弁別回路、１４……疵位
置検出回路、１５……プロフイル発生回路、１６
……区画信号発生回路、１７……代表疵選定回
路、１８……疵種判別回路、２０……重み付回
路、２１……設定器、２２……等級判定回路、２
３……位置パルス発生器、２５……出力制御回
路、２６……表示部、２７……タイプライタ。
図は回路構成図、第２図ａは検出ヘツド部の出力
波形図、同図ｂ，ｃ，ｄはそれぞれ弁別レベル
γ1，γ2，γ3による弁別出力波形図、第３図ａは物
体表面の疵を示す平面図、同図ｂは同図ａのプロ
フイルを示す図である。 １０……検出ヘツド部、１１……長尺物体、１
２……増幅器、１３……弁別回路、１４……疵位
置検出回路、１５……プロフイル発生回路、１６
……区画信号発生回路、１７……代表疵選定回
路、１８……疵種判別回路、２０……重み付回
路、２１……設定器、２２……等級判定回路、２
３……位置パルス発生器、２５……出力制御回
路、２６……表示部、２７……タイプライタ。
Claims (1)
- １ 走行する長尺物体の表面を光線で幅方向に走
査して物体からの反射光の変化から物体表面の欠
陥を検査する装置において、物体表面を幅方向に
走査し物体表面の各点からの反射光を電気信号に
変換する検出ヘツド部と、この検出ヘツド部から
の信号中に含まれている物体表面の疵によるパル
ス信号を複数段の弁別レベルでパルス波高弁別す
る弁別回路と、前記物体の長手方向および幅方向
にそれぞれ単位長毎にパルス信号を発生するとと
もに物体表面を長手方向に一定間隔で区画する位
置信号を発生する位置パルス発生器と、この位置
パルス発生器に接続され、前記物体先端が検出ヘ
ツド部を通過することにより前記位置パルス発生
器からの長手方向パルスを計数し、疵発生点での
計数値から疵の長手方向位置を検出し、また幅方
向パルスから疵の幅方向位置を検出する疵位置検
出回路と、この回路に接続され、前記検出ベツド
部の各走査信号毎の各幅方向位置の疵信号を、前
記位置パルス発生器からの信号により区画される
物体表面の一区画内で計数するプルフイル発生回
路と、この発生回路からの一区画内の各幅方向位
置毎の疵計数信号から代表疵を選定する代表疵選
定回路と、この回路で選定された代表疵が任意に
選定した特定疵かそれ以外の疵かを判断する疵種
判別回路と、前記弁別回路の弁別レベル毎の重み
ρiおよび物体の材質、表面仕上げなどの種類によ
る疵の等級判定レベルψkを前記疵種判別回路の
判定結果にもとずき設定する設定器と、前記疵種
判別回路を通して供給された代表疵信号の弁別レ
ベル毎の疵の個数に前記設定器からの弁別レベル
毎の重みρiを積算し合計する重み付回路と、この
回路からの重み付信号と前記設定器からの等級判
定レベルψkとを比較してその代表疵の等級を判
定する等級判定回路と、この等級判定回路および
プロフイル発生回路からの信号から物体の一区画
毎の代表疵の情報を後段の表示器あるいはタイプ
ライタへ出力する出力制御回路とを具備したこと
を特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1599280A JPS56114747A (en) | 1980-02-14 | 1980-02-14 | Surface inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1599280A JPS56114747A (en) | 1980-02-14 | 1980-02-14 | Surface inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56114747A JPS56114747A (en) | 1981-09-09 |
| JPS6321857B2 true JPS6321857B2 (ja) | 1988-05-09 |
Family
ID=11904143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1599280A Granted JPS56114747A (en) | 1980-02-14 | 1980-02-14 | Surface inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56114747A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11384373B2 (en) * | 2018-02-20 | 2022-07-12 | San-Ei Sucrochemical Co., Ltd. | Method for producing sugar carboxylic acid |
| EP4223882A1 (en) | 2022-02-02 | 2023-08-09 | Vilnius University | Process for producing aldonic acids |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999238A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-07 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JP2535257B2 (ja) * | 1991-05-07 | 1996-09-18 | 新日本製鐵株式会社 | ストリップの表面欠陥検査装置 |
| JP4846113B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2011-12-28 | 新日本製鐵株式会社 | 画像処理方法、画像処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
| JPS55132936A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-16 | Mitsubishi Electric Corp | Surface inspection apparatus |
-
1980
- 1980-02-14 JP JP1599280A patent/JPS56114747A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11384373B2 (en) * | 2018-02-20 | 2022-07-12 | San-Ei Sucrochemical Co., Ltd. | Method for producing sugar carboxylic acid |
| EP4223882A1 (en) | 2022-02-02 | 2023-08-09 | Vilnius University | Process for producing aldonic acids |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56114747A (en) | 1981-09-09 |
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