JPS6321897U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6321897U JPS6321897U JP11443686U JP11443686U JPS6321897U JP S6321897 U JPS6321897 U JP S6321897U JP 11443686 U JP11443686 U JP 11443686U JP 11443686 U JP11443686 U JP 11443686U JP S6321897 U JPS6321897 U JP S6321897U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement mechanism
- axis
- rotating body
- slider
- transmission rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す機械的構成図
、第２図は本考案の他の実施例を示す機械的構成
図、第３図は従来装置の構成例を示す図である。 １，２…ガイドレール、３…テーブル、４，５
…伝達棒、６，６′…レール、１１…スライダ、
１２…円形回転体（ベアリング）、１３，２１，
２２…アクチユエータ。
、第２図は本考案の他の実施例を示す機械的構成
図、第３図は従来装置の構成例を示す図である。 １，２…ガイドレール、３…テーブル、４，５
…伝達棒、６，６′…レール、１１…スライダ、
１２…円形回転体（ベアリング）、１３，２１，
２２…アクチユエータ。
Claims (1)
- Ｘ軸方向移動機構と、該Ｘ軸方向移動機構と組
合されたＹ軸方向移動機構と、これら移動機構の
上に載置されたテーブルとによりなるＸ―Ｙ移動
機構において、伝達棒と、該伝達棒と直角に固定
されたレールと、該レールに沿つて一方向にのみ
摺動可能なスライダと、該スライダに固定され回
転自由な円形回転体と、前記試料テーブルの側面
に取付けられ該円形回転体を制御信号により挟み
且つ離す操作を任意に行えるアクチユエータとに
より構成されてなる移動機構を前記Ｘ軸方向移動
機構、Ｙ軸方向移動機構の少なくとも１つに用い
たことを特徴とするＸ―Ｙ移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11443686U JPH0432633Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11443686U JPH0432633Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321897U true JPS6321897U (ja) | 1988-02-13 |
| JPH0432633Y2 JPH0432633Y2 (ja) | 1992-08-05 |
Family
ID=30997175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11443686U Expired JPH0432633Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0432633Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02181339A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプの支持構造 |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP11443686U patent/JPH0432633Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02181339A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプの支持構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0432633Y2 (ja) | 1992-08-05 |
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