JPS632238A - 電子ビ−ムパルスゲ−ト - Google Patents
電子ビ−ムパルスゲ−トInfo
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- JPS632238A JPS632238A JP61142939A JP14293986A JPS632238A JP S632238 A JPS632238 A JP S632238A JP 61142939 A JP61142939 A JP 61142939A JP 14293986 A JP14293986 A JP 14293986A JP S632238 A JPS632238 A JP S632238A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔↑既 要〕
本発明は、２つの偏向電圧パルス信号の時間差を利用し
て電子ビームの偏向を行いアパーチャ孔を通過させるこ
とによって、従来困難であった数百ｐ３〜ａｒｔ３の広
い範囲にわたるパルス幅を有する電子ビームパルスを発
生させることのできる電子ビームパルスゲートである。
て電子ビームの偏向を行いアパーチャ孔を通過させるこ
とによって、従来困難であった数百ｐ３〜ａｒｔ３の広
い範囲にわたるパルス幅を有する電子ビームパルスを発
生させることのできる電子ビームパルスゲートである。
本発明は、広範囲にわたるパルス幅を有する電子ビーム
パルスを発生させることのできる電子ビ−ムパルスゲー
トに関スる。
パルスを発生させることのできる電子ビ−ムパルスゲー
トに関スる。
ＬＳＩなどの内部動作を解析するためには、ストロボ電
子ビームプローバが注目されている。これは、ＬＳＩの
動作タイミングに同期させて、短いパルス幅の電子ビー
ムパルスをＬＳＩに照射し、それによって得られる二次
電子を観測することにより、ＬＳＩの電圧測定を行うも
のである。この場合、時間分解能の高い測定を行うため
には、電子ビームパルス幅を数百ｐ３程度の非常に短い
パルス幅にする必要がある。また、時間分解能はそれほ
ど高くする必要がない場合には、Ｓ／Ｎを向上させるた
めに電子ビームパルス幅は数０３程度にする必要がある
。
子ビームプローバが注目されている。これは、ＬＳＩの
動作タイミングに同期させて、短いパルス幅の電子ビー
ムパルスをＬＳＩに照射し、それによって得られる二次
電子を観測することにより、ＬＳＩの電圧測定を行うも
のである。この場合、時間分解能の高い測定を行うため
には、電子ビームパルス幅を数百ｐ３程度の非常に短い
パルス幅にする必要がある。また、時間分解能はそれほ
ど高くする必要がない場合には、Ｓ／Ｎを向上させるた
めに電子ビームパルス幅は数０３程度にする必要がある
。
第６図は、電子ビームパルスゲートの、第１の従来例の
構成図である。第７図（ａｌ乃至（ｄ＋の動作タイミン
グチャートに従って説明をすると、まず時刻ｔ６にトリ
ガ信号１７が偏向器ドライバ１６に入力すると（第７図
ｆａｎ）、同図（ｂ）に示すような幅Ｗ（ｔ６〜１７）
の偏向電圧パルス１８が偏向器１５に印加される。これ
により電子ビーム１９は、ｔ６〜 ｔ７の間だけブラン
キングアパーチャ２０上をＸ方向に×５からアパーチャ
孔２１（Ｘ＝Ｏ）に移動しく第７図（Ｃ１）、同図（ｄ
）に示すように所定の電流値を有する幅Ｗの電子ビーム
パルス２２が得られる。
構成図である。第７図（ａｌ乃至（ｄ＋の動作タイミン
グチャートに従って説明をすると、まず時刻ｔ６にトリ
ガ信号１７が偏向器ドライバ１６に入力すると（第７図
ｆａｎ）、同図（ｂ）に示すような幅Ｗ（ｔ６〜１７）
の偏向電圧パルス１８が偏向器１５に印加される。これ
により電子ビーム１９は、ｔ６〜 ｔ７の間だけブラン
キングアパーチャ２０上をＸ方向に×５からアパーチャ
孔２１（Ｘ＝Ｏ）に移動しく第７図（Ｃ１）、同図（ｄ
）に示すように所定の電流値を有する幅Ｗの電子ビーム
パルス２２が得られる。
第８図は、電子ビームパルスゲートの第２の従来例の構
成図である。この従来例は互いに直交する２つの偏向器
２３．２４を有することを特徴とする。第９図（ａ）乃
至（ｆ）のタイミングチャート及び第１０図の説明図に
従って説明すると、まず時刻ｔθにおいてトリガ信号２
日が第２偏向器ドライバ２６に人力するど、第９図ｔｒ
ａの第２偏向電圧３０が第２偏向器２４に印加され、こ
れにより電子ビーム３１は第９図（ｅ）に示すようにＹ
方向へ移動し、ブランキングアパーチャ３２上を第１０
図の点Ｐ１からＰ２へ移動する。尚、３３はアパーチャ
孔である。又、トリガ信号２８はデイレイユニット２７
で遅延された後、第１偏向器ドライバ２５へ入力する。
成図である。この従来例は互いに直交する２つの偏向器
２３．２４を有することを特徴とする。第９図（ａ）乃
至（ｆ）のタイミングチャート及び第１０図の説明図に
従って説明すると、まず時刻ｔθにおいてトリガ信号２
日が第２偏向器ドライバ２６に人力するど、第９図ｔｒ
ａの第２偏向電圧３０が第２偏向器２４に印加され、こ
れにより電子ビーム３１は第９図（ｅ）に示すようにＹ
方向へ移動し、ブランキングアパーチャ３２上を第１０
図の点Ｐ１からＰ２へ移動する。尚、３３はアパーチャ
孔である。又、トリガ信号２８はデイレイユニット２７
で遅延された後、第１偏向器ドライバ２５へ入力する。
これにより時刻ｔ９において第９図ｆｂ）に示す第１偏
向電圧２９が第１偏向器２３へ印加され、これにより電
子ビーム３１は第９図（ｄ）に示すようにＸ方向へ移動
する。すなわづ、ブランキングアパーチャ３２上を第１
０図の点Ｐ２からＰ３へ移動し、この瞬間にアパーチャ
孔３２（Ｘ＝Ｏ）上を通過するため、非常に短いパルス
幅の電子ビームパルス３４（第８図）が発生される（第
９図（ｆ））。その後、各偏向電圧は時刻ｔ１０゜ｔＩ
Ｉで各々変化し、ブランキングアパーチャ３２上を第１
０図の点Ｐ３からＰ４へ移動し、Ｐｌへ戻る。
向電圧２９が第１偏向器２３へ印加され、これにより電
子ビーム３１は第９図（ｄ）に示すようにＸ方向へ移動
する。すなわづ、ブランキングアパーチャ３２上を第１
０図の点Ｐ２からＰ３へ移動し、この瞬間にアパーチャ
孔３２（Ｘ＝Ｏ）上を通過するため、非常に短いパルス
幅の電子ビームパルス３４（第８図）が発生される（第
９図（ｆ））。その後、各偏向電圧は時刻ｔ１０゜ｔＩ
Ｉで各々変化し、ブランキングアパーチャ３２上を第１
０図の点Ｐ３からＰ４へ移動し、Ｐｌへ戻る。
〔発明が）も？決しようとする問題点〕上記各従来例に
おいて、第６図の第１の従来例は、数ｎ３程度のパルス
幅の比較的広い電子ビームパルスを得ることができるが
、パルス幅Ｗ（第７図）は偏向電圧１８のパルス幅にほ
ぼ等しいため、Ｉｎ３以下の短いパルス幅の電子ビーム
パルスを発生するのは困難であるという問題点を有して
いた。
おいて、第６図の第１の従来例は、数ｎ３程度のパルス
幅の比較的広い電子ビームパルスを得ることができるが
、パルス幅Ｗ（第７図）は偏向電圧１８のパルス幅にほ
ぼ等しいため、Ｉｎ３以下の短いパルス幅の電子ビーム
パルスを発生するのは困難であるという問題点を有して
いた。
−方、第８図の第２の従来例は、数百ｐｓ程度の非常に
短いパルス幅の電子ビームパルスを得ることができ、そ
のパルス幅は第１偏向電圧の立上り時間（第９図ｔｂ）
の時刻１９）に比例する。しかし、−般に立上り時間を
可変にしてパルス幅を制御しようとすると、数百ｐ３か
ら数ｎｓの範囲で制御するのは非常に困難であるという
問題点を有していた。
短いパルス幅の電子ビームパルスを得ることができ、そ
のパルス幅は第１偏向電圧の立上り時間（第９図ｔｂ）
の時刻１９）に比例する。しかし、−般に立上り時間を
可変にしてパルス幅を制御しようとすると、数百ｐ３か
ら数ｎｓの範囲で制御するのは非常に困難であるという
問題点を有していた。
本発明は上記問題点を除くために、所定の時間差を有す
る２つの偏向電圧パルス信号を利用して電子ビームの偏
向を行うことにより、広範囲のパルス幅を有する電子ビ
ームパルスを得ることのできる電子ビームパルスゲート
を提供することを目的とする。
る２つの偏向電圧パルス信号を利用して電子ビームの偏
向を行うことにより、広範囲のパルス幅を有する電子ビ
ームパルスを得ることのできる電子ビームパルスゲート
を提供することを目的とする。
本発明は上記問題点を解決するために、トリガ信号（７
）に同期して互いに所定の時間差を有する２種類の偏向
電圧パルス信号（８，９）を発生する偏向電圧発生手段
（３、５及び４．６）と、それらを入力とし電子ビーム
（１０）を偏向する２つの偏向手段（１，２）あるいは
１つの偏向手段（１４）と、アパーチャ孔（１２）を含
むブランキングアパーチャ（１１）とを有する。
）に同期して互いに所定の時間差を有する２種類の偏向
電圧パルス信号（８，９）を発生する偏向電圧発生手段
（３、５及び４．６）と、それらを入力とし電子ビーム
（１０）を偏向する２つの偏向手段（１，２）あるいは
１つの偏向手段（１４）と、アパーチャ孔（１２）を含
むブランキングアパーチャ（１１）とを有する。
上記手段において、電子ビーム（１０）は前記２つの偏
向電圧パルス信号（８，９）の時間差によって生ずる偏
向相殺期間において、前記２つの偏向手段（１，２）あ
るいは１つの偏向手段（１４）によって前記アパーチャ
孔（１２）を通過するように偏向され電・子ビームパル
ス（１３）が発生される。この場合、前記偏向相殺期間
は、前記時間差を制御することによって比較的容易に可
変でき、これにより広範囲のパルス幅を有するｉｔ電子
ビームパルス１３）を得ることができる。
向電圧パルス信号（８，９）の時間差によって生ずる偏
向相殺期間において、前記２つの偏向手段（１，２）あ
るいは１つの偏向手段（１４）によって前記アパーチャ
孔（１２）を通過するように偏向され電・子ビームパル
ス（１３）が発生される。この場合、前記偏向相殺期間
は、前記時間差を制御することによって比較的容易に可
変でき、これにより広範囲のパルス幅を有するｉｔ電子
ビームパルス１３）を得ることができる。
以下、本発明の実施例につき詳細に説明を行う。
（本発明による電子ビームパルスゲートの第１の実施例
の構成（第１図）） 第１図は、本発明による電子ビームパルスゲートの第１
の実施例の構成図である。トリガ信号７は、第１及び第
２デイレイユニット５．６に入力し、各々異なった遅延
時間ＤＩ、Ｄ２を与えられた後、第１及び第２偏向器ド
ライバ３．４に入力する。ここで発生された第１及び第
２偏向電圧８゜９は互いに所定の時間元を有しており、
各々第１及び第２偏向器１．２に印加される。電子ビー
ム１０はこれらの偏向器１，２により偏向を受け、ブラ
ンキングアパーチャ１１上を走査され、アパーチャ孔１
２を通過した期間に電子ビームパルス１３に変換される
。
の構成（第１図）） 第１図は、本発明による電子ビームパルスゲートの第１
の実施例の構成図である。トリガ信号７は、第１及び第
２デイレイユニット５．６に入力し、各々異なった遅延
時間ＤＩ、Ｄ２を与えられた後、第１及び第２偏向器ド
ライバ３．４に入力する。ここで発生された第１及び第
２偏向電圧８゜９は互いに所定の時間元を有しており、
各々第１及び第２偏向器１．２に印加される。電子ビー
ム１０はこれらの偏向器１，２により偏向を受け、ブラ
ンキングアパーチャ１１上を走査され、アパーチャ孔１
２を通過した期間に電子ビームパルス１３に変換される
。
（第１の実施例の動作説明（第１．第２図））次に、上
記電子ビームパルスゲートの動作につき説明を行う。ま
ず、第１及び第２デイレイユニット５，６による遅延時
間を各々ＤＩ、Ｄ２、第１及び第２偏向電圧８．９の振
幅、オフセフ）を各々（Ｖ＋、０１）、（Ｖ２，０）と
する。そして、第１偏向器１にＯ＋＋Ｖ＋ （＜Ｏ）
の電圧を印加した状！３（第２偏向器２にはＯｖ印加）
でのブランキングアパーチャ上の電子ビーム１０の偏向
量と、第２偏向器２にＶ２ （＞０）の電圧を印加し
た状！３（第１偏向器にはＯ■印加）でのブランキング
アパーチャ上の電子ビーム１０の偏向量が方向は逆で大
きさが同じになるように各電圧Ｖｌ’、０１．Ｖ２を設
定する。また、各偏向電圧８．９のパルス幅をＷｌ、Ｗ
２とし、第２図の動作タイミングチャートｆｂ）、 （
Ｃ）に示すように、Ｄ１＋ＷＩ＞Ｄ２＋Ｗ２．Ｄ２＋Ｗ
２＞ＤＩとすることにより、パルス幅Ｔｐｗ＃ （Ｄ
２ ＋Ｗ２） −Ｄ ＋の電圧ビームパルス１３（第１
図）が得られる。
記電子ビームパルスゲートの動作につき説明を行う。ま
ず、第１及び第２デイレイユニット５，６による遅延時
間を各々ＤＩ、Ｄ２、第１及び第２偏向電圧８．９の振
幅、オフセフ）を各々（Ｖ＋、０１）、（Ｖ２，０）と
する。そして、第１偏向器１にＯ＋＋Ｖ＋ （＜Ｏ）
の電圧を印加した状！３（第２偏向器２にはＯｖ印加）
でのブランキングアパーチャ上の電子ビーム１０の偏向
量と、第２偏向器２にＶ２ （＞０）の電圧を印加し
た状！３（第１偏向器にはＯ■印加）でのブランキング
アパーチャ上の電子ビーム１０の偏向量が方向は逆で大
きさが同じになるように各電圧Ｖｌ’、０１．Ｖ２を設
定する。また、各偏向電圧８．９のパルス幅をＷｌ、Ｗ
２とし、第２図の動作タイミングチャートｆｂ）、 （
Ｃ）に示すように、Ｄ１＋ＷＩ＞Ｄ２＋Ｗ２．Ｄ２＋Ｗ
２＞ＤＩとすることにより、パルス幅Ｔｐｗ＃ （Ｄ
２ ＋Ｗ２） −Ｄ ＋の電圧ビームパルス１３（第１
図）が得られる。
すなわち、トリガ信号７が時刻ｔ１で入力すると（第２
図（ａｌ）、まずＤ２遅れた時刻ｔ２に、第２偏向電圧
９が第２図ｆｃ）に示すように電圧■２で立上り、電子
ビーム１０はブランキングアパーチャ１１上をＸｌから
Ｘ２へ移動する（第２図（Ｃ））。
図（ａｌ）、まずＤ２遅れた時刻ｔ２に、第２偏向電圧
９が第２図ｆｃ）に示すように電圧■２で立上り、電子
ビーム１０はブランキングアパーチャ１１上をＸｌから
Ｘ２へ移動する（第２図（Ｃ））。
次に、ｔｌからＤ」遅れた時刻ｔ３に、第１偏向電圧８
が第２図（ｂ）に示すように電圧０１から■１だけ立上
り、これにより第１及び第２偏向電圧８゜９が互いに相
殺され、電子ビーム１０はブランキングアパーチャ１１
上をＸ２からアパーチャ孔１２（Ｘ＝Ｏ）まで移動しく
第２図（ｄ＋）、電子ビームパルス１３が発生する。し
かし、ｔ２からＷｌ遅れた時刻Ｌ４に、第２偏向電圧９
が第２図ｆｃ）に示すように立下るため、電子ビーム１
０は再びＸ２へ戻り電子ビームパルス１３のパルス幅ハ
前記ｔｐＷとなる。その後、ｔ３からＷｌ遅れた時刻ｔ
５に、第１偏向電圧８も第２図（ｂｌに示すように立下
り、電子ビーム１０はＸ２からＸｌへ戻る。
が第２図（ｂ）に示すように電圧０１から■１だけ立上
り、これにより第１及び第２偏向電圧８゜９が互いに相
殺され、電子ビーム１０はブランキングアパーチャ１１
上をＸ２からアパーチャ孔１２（Ｘ＝Ｏ）まで移動しく
第２図（ｄ＋）、電子ビームパルス１３が発生する。し
かし、ｔ２からＷｌ遅れた時刻Ｌ４に、第２偏向電圧９
が第２図ｆｃ）に示すように立下るため、電子ビーム１
０は再びＸ２へ戻り電子ビームパルス１３のパルス幅ハ
前記ｔｐＷとなる。その後、ｔ３からＷｌ遅れた時刻ｔ
５に、第１偏向電圧８も第２図（ｂｌに示すように立下
り、電子ビーム１０はＸ２からＸｌへ戻る。
この時、パルス幅ｔｐ耐よ、ＤＩ、Ｗｌ、Ｄ２゜Ｗ２の
幾れによっても可変可能である。例えば、Ｗ ＋ ＝Ｗ
２ ＝ １００ｎｓ （固定）、Ｄ＋＝ １１０ｎ
ｓ （固定） 、Ｄ ２ ＝１０ｎｓ〜１１０ｒ＋ｓ
（０，５ｎｓ刻みで可変）とすることが容易に実現でき
、これによりパルス幅が、０．５ｎｓ≦ｔｐ−≦ １０
０ｒ＋３（０，５ｒ＋３刻み）の電子ビームパルス１３
が得られる。また、Ｄ２＝ＩＱＯｎ３〜Ｌｉｏｎｓ （
０，ｉｎｓ刻みで可変）とすれば、数百２３〜Ｉｏｎｓ
（０，ｉｎｓ刻み）の電子ビームパルス１３が得られ
る。さらに、０１＝Ｖｌ、Ｖ２＝ＯＶとすれば、第６図
の第１の従来例の原理によリ、長いパルス幅の電子ビー
ムパルス１３を発生できる。また、２０１＝■＋、Ｖ２
＝ＯＶと設定し、第１及び第２偏向器１．２に直交する
方向に第３の偏向器と、第３の偏向器ドライバ、デイレ
イユニットを付加すれば、第８図の第２の従来例の原理
により、数百Ｉ）Ｓ以下の掻短パルス幅の電子ビームパ
ルス１３を発生することができる。
幾れによっても可変可能である。例えば、Ｗ ＋ ＝Ｗ
２ ＝ １００ｎｓ （固定）、Ｄ＋＝ １１０ｎ
ｓ （固定） 、Ｄ ２ ＝１０ｎｓ〜１１０ｒ＋ｓ
（０，５ｎｓ刻みで可変）とすることが容易に実現でき
、これによりパルス幅が、０．５ｎｓ≦ｔｐ−≦ １０
０ｒ＋３（０，５ｒ＋３刻み）の電子ビームパルス１３
が得られる。また、Ｄ２＝ＩＱＯｎ３〜Ｌｉｏｎｓ （
０，ｉｎｓ刻みで可変）とすれば、数百２３〜Ｉｏｎｓ
（０，ｉｎｓ刻み）の電子ビームパルス１３が得られ
る。さらに、０１＝Ｖｌ、Ｖ２＝ＯＶとすれば、第６図
の第１の従来例の原理によリ、長いパルス幅の電子ビー
ムパルス１３を発生できる。また、２０１＝■＋、Ｖ２
＝ＯＶと設定し、第１及び第２偏向器１．２に直交する
方向に第３の偏向器と、第３の偏向器ドライバ、デイレ
イユニットを付加すれば、第８図の第２の従来例の原理
により、数百Ｉ）Ｓ以下の掻短パルス幅の電子ビームパ
ルス１３を発生することができる。
（本発明による電子ビームパルスゲートの第２の実施例
の構成と動作説明（第３．４図））次に、第３図は第２
の実施例の構成図である。
の構成と動作説明（第３．４図））次に、第３図は第２
の実施例の構成図である。
第１図の第１の実施例と異なる点は、２つの偏向器１，
２の代りに１つの偏向器１４のみを用い、第１及び第２
偏向電圧８，９を偏向器１４の各電極に印加させている
。
２の代りに１つの偏向器１４のみを用い、第１及び第２
偏向電圧８，９を偏向器１４の各電極に印加させている
。
この時のトリガ信号７は第４図（ａｌのタイミングで与
え、第１偏向電圧８は第４図（ｂ）、第２偏向電圧９は
第４図（Ｃ）に示すように与える。この時、振幅は方向
が逆でＶｏを与え、第１及び第２デイレイユニット５．
６のデイレイ時間ＤＩ、Ｄ２と、第１及び第２偏向電圧
８．９のパルス幅Ｗ ＋ 、 Ｗ ２は、ＤＩ＋ＷＩ≧
Ｄ２＋Ｗ２、かつＤ１≦Ｄ２＋Ｗ２となるように設定す
ることにより、電子ビーム１０はブランキングアパーチ
ャ１１上を第４図（ｄｌに示すように移動し、これによ
り第４図（ｅ）に示すように、パルス幅ｔｐｗ＃ （Ｄ
２ ＋Ｗ２） −Ｄ ＋の電子ビームパルス１３を得る
ことができる。
え、第１偏向電圧８は第４図（ｂ）、第２偏向電圧９は
第４図（Ｃ）に示すように与える。この時、振幅は方向
が逆でＶｏを与え、第１及び第２デイレイユニット５．
６のデイレイ時間ＤＩ、Ｄ２と、第１及び第２偏向電圧
８．９のパルス幅Ｗ ＋ 、 Ｗ ２は、ＤＩ＋ＷＩ≧
Ｄ２＋Ｗ２、かつＤ１≦Ｄ２＋Ｗ２となるように設定す
ることにより、電子ビーム１０はブランキングアパーチ
ャ１１上を第４図（ｄｌに示すように移動し、これによ
り第４図（ｅ）に示すように、パルス幅ｔｐｗ＃ （Ｄ
２ ＋Ｗ２） −Ｄ ＋の電子ビームパルス１３を得る
ことができる。
（本発明による電子ビームパルスゲートの第３の実施例
の動作説明（第５図）） 次に、第３の実施例として、構成は第３図の第２の実施
例と同じで、トリガ信号７を第５図（ａｌ、第１及び第
２偏向電圧８，９を第５図（ｂｌ、 （Ｃ）に示すよう
に与えることもできる。この場合、Ｄ＋＋Ｗ１≧０２＋
Ｗ２．かつＤ１≦Ｄ２となるように設定することにより
、電子ビーム１０はブランキングアパーチャ１１上を第
５図ｆｄ）に示すように移動し、これにより第５図ｔｅ
ｌに示すように、パルス幅ｔｐ判＃Ｄ２−Ｄ＋の電子ビ
ームパルス１３を得ることができる。
の動作説明（第５図）） 次に、第３の実施例として、構成は第３図の第２の実施
例と同じで、トリガ信号７を第５図（ａｌ、第１及び第
２偏向電圧８，９を第５図（ｂｌ、 （Ｃ）に示すよう
に与えることもできる。この場合、Ｄ＋＋Ｗ１≧０２＋
Ｗ２．かつＤ１≦Ｄ２となるように設定することにより
、電子ビーム１０はブランキングアパーチャ１１上を第
５図ｆｄ）に示すように移動し、これにより第５図ｔｅ
ｌに示すように、パルス幅ｔｐ判＃Ｄ２−Ｄ＋の電子ビ
ームパルス１３を得ることができる。
本発明によれば、所定の時間差を有する２種類の偏向電
圧パルス信号を利用することにより、数百ｐｓ〜数０３
の広範囲のパルス幅を有する電子ビームパルスを容易に
得ることが可能となる。これにより、ストロボ電子ビー
ムブローバにおける電子ビームパルス制御が容易になり
、多目的な測定を実現できる。
圧パルス信号を利用することにより、数百ｐｓ〜数０３
の広範囲のパルス幅を有する電子ビームパルスを容易に
得ることが可能となる。これにより、ストロボ電子ビー
ムブローバにおける電子ビームパルス制御が容易になり
、多目的な測定を実現できる。
第１図は、本発明による電子ビームパルスゲートの第１
の実施例の構成図、 第２図ｔａ）〜ｔｅｌは、第１の実施例の動作タイミン
グチャート、 第３図は、本発明による電子ビームパルスゲートの第２
及び第３の実施例の構成図、 第４図ｆａ）〜（ｅ＋は、第２の実施例の動作タイミン
グチャート、 第５図（ａｌ〜（ｅ）は、第３の実施例の動作タイミン
グチャート、 第６図は、電子ビームパルスゲートの第１の従来例の構
成図、 第７図（ａ）〜＋ｄｌは、第１の従来例の動作タイミン
グチャート・ 第８図は、電子ビームパルスゲートの第２の従来例の構
成図、 第９図（ａｌ〜（ｆ）は、第２の従来例の動作タイミン
グチャート、 第１０図は、第２の従来例における電子ビームの動作説
明図である。 １・・・第１偏向器、 ２・・・第２偏向器、 ３・・・第１偏向器ドライバ、 ４・・・第２偏向器ドライバ、 ５・・・第１デイレイユニツト、 ６・・・第２デイレイユニツト、 ７・・・トリガ信号、 ８・・・第１偏向電圧、 ９・・・第２偏向電圧、 １０・・・電子ビーム、 １１・・・ブランキングアパーチャ、 １２・・・アパーチャ孔、 １３・・・電子ビームパルス、 １４・・・偏向器。
の実施例の構成図、 第２図ｔａ）〜ｔｅｌは、第１の実施例の動作タイミン
グチャート、 第３図は、本発明による電子ビームパルスゲートの第２
及び第３の実施例の構成図、 第４図ｆａ）〜（ｅ＋は、第２の実施例の動作タイミン
グチャート、 第５図（ａｌ〜（ｅ）は、第３の実施例の動作タイミン
グチャート、 第６図は、電子ビームパルスゲートの第１の従来例の構
成図、 第７図（ａ）〜＋ｄｌは、第１の従来例の動作タイミン
グチャート・ 第８図は、電子ビームパルスゲートの第２の従来例の構
成図、 第９図（ａｌ〜（ｆ）は、第２の従来例の動作タイミン
グチャート、 第１０図は、第２の従来例における電子ビームの動作説
明図である。 １・・・第１偏向器、 ２・・・第２偏向器、 ３・・・第１偏向器ドライバ、 ４・・・第２偏向器ドライバ、 ５・・・第１デイレイユニツト、 ６・・・第２デイレイユニツト、 ７・・・トリガ信号、 ８・・・第１偏向電圧、 ９・・・第２偏向電圧、 １０・・・電子ビーム、 １１・・・ブランキングアパーチャ、 １２・・・アパーチャ孔、 １３・・・電子ビームパルス、 １４・・・偏向器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定のトリガ信号（７）に同期して電子ビーム（１０）
を偏向し該電子ビーム（１０）が所定タイミング期間だ
けブランキングアパーチャ（１１）上のアパーチャ孔（
１２）を通過するようにさせて電子ビームパルス（１３
）を発生する電子ビームパルスゲートにおいて、 前記トリガ信号（７）に同期して互いに所定の時間差を
有する２種類の偏向電圧パルス信号（８、９）を発生す
る偏向電圧発生手段（３、５及び４、６）と、前記各偏
向電圧パルス信号（８、９）を各々入力し前記電子ビー
ム（１０）を偏向する２つの偏向手段（１、２）あるい
は同信号を各々各電極に入力し偏向を行う１つの偏向手
段（１４）とを有し、 前記電子ビーム（１０）は前記２つの偏向電圧パルス信
号（８、９）の時間差によって生ずる所定タイミングの
偏向相殺期間において前記２つの偏向手段（１、２）あ
るいは１つの偏向手段（１４）によって前記アパーチャ
孔（１２）を通過するように偏向され前記電子ビームパ
ルス（１３）が発生することを特徴とする電子ビームパ
ルスゲート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61142939A JPH06105600B2 (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 電子ビ−ムパルスゲ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61142939A JPH06105600B2 (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 電子ビ−ムパルスゲ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632238A true JPS632238A (ja) | 1988-01-07 |
| JPH06105600B2 JPH06105600B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=15327157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61142939A Expired - Fee Related JPH06105600B2 (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 電子ビ−ムパルスゲ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105600B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115497790A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-20 | 国仪量子(合肥)技术有限公司 | 热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质 |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP61142939A patent/JPH06105600B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115497790A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-20 | 国仪量子(合肥)技术有限公司 | 热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06105600B2 (ja) | 1994-12-21 |
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