JPS63225111A - 視覚検査方法 - Google Patents
視覚検査方法Info
- Publication number
- JPS63225111A JPS63225111A JP5979387A JP5979387A JPS63225111A JP S63225111 A JPS63225111 A JP S63225111A JP 5979387 A JP5979387 A JP 5979387A JP 5979387 A JP5979387 A JP 5979387A JP S63225111 A JPS63225111 A JP S63225111A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- inspection
- area
- inspected
- products
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000411 inducer Substances 0.000 abstract 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
本発明は視覚装置を用いた検査方法に関するものである
。
。
（従来の技術）
視覚装置を用いて検査対象物の良否判定を行なう検査方
法では、検査対象物の取り込まれた画像データと予め設
定された基準データとの比較が行われ、基準データと許
容公差とにより設定された範囲内に測定データ、が含ま
れる場合には良品判定、含まれない場合には不良品判定
とする判定方法が採用されている。
法では、検査対象物の取り込まれた画像データと予め設
定された基準データとの比較が行われ、基準データと許
容公差とにより設定された範囲内に測定データ、が含ま
れる場合には良品判定、含まれない場合には不良品判定
とする判定方法が採用されている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、視覚検査を行なう場所での光学的環境変化、
電圧変動等に起因する照明光量変化あるいは検査対象物
の被検査状態の変化等により良品の検査対象物の画像デ
ータが前記許容範囲外へ変位する場合があるが、経時的
に不変な前記許容範囲の設定方式ではこのような良否誤
判定を誘発する要因発生に対処できず、安定した検査を
期待することができない。
電圧変動等に起因する照明光量変化あるいは検査対象物
の被検査状態の変化等により良品の検査対象物の画像デ
ータが前記許容範囲外へ変位する場合があるが、経時的
に不変な前記許容範囲の設定方式ではこのような良否誤
判定を誘発する要因発生に対処できず、安定した検査を
期待することができない。
発明の構成
（問題点を解決するための手段）
そこで本発明では前記のような良否誤判定を誘発する要
因発生に基準データを追随させる観点に立ち、設定され
た検査ステーションへ順次送りこまれる検査対象物の取
り込み画像の予め設定された初期基準データと検査対象
物の測定データとの比較に基づいて検査対象物の良否を
判定すると共に、少な（とも良品判定された検査対象物
の測定データに基づいて初期基準データを修正し、この
修正された基準データと検査対象物の測定データとの比
較に基づいて検査対象物の良否を判定すると共に、少な
くとも良品判定された検査対象物の測定データに基づい
て基準データを順次更新してゆくようにした。
因発生に基準データを追随させる観点に立ち、設定され
た検査ステーションへ順次送りこまれる検査対象物の取
り込み画像の予め設定された初期基準データと検査対象
物の測定データとの比較に基づいて検査対象物の良否を
判定すると共に、少な（とも良品判定された検査対象物
の測定データに基づいて初期基準データを修正し、この
修正された基準データと検査対象物の測定データとの比
較に基づいて検査対象物の良否を判定すると共に、少な
くとも良品判定された検査対象物の測定データに基づい
て基準データを順次更新してゆくようにした。
（作用）
即ち、検査対象物の取り込み画像のデータが例えば面積
の場合、明暗境界で特定される測定面積が外乱光変動と
いった光学的環境変化により同一の検査対象物に対して
変化するが、測定された面積が予め設定された初期基準
面積との比較で許容範囲内と判定された場合には、少な
くともこれら許容範囲内の測定面積から新たな基準面積
が設定される。この基準面積更新は少なくとも良品の検
査対象物から順次得られる新たな測定面積に基づいて経
時的に行われ、検査対象物の測定面積の比較対象となる
基準面積が良否誤判定を誘発する要因発生に追随する。
の場合、明暗境界で特定される測定面積が外乱光変動と
いった光学的環境変化により同一の検査対象物に対して
変化するが、測定された面積が予め設定された初期基準
面積との比較で許容範囲内と判定された場合には、少な
くともこれら許容範囲内の測定面積から新たな基準面積
が設定される。この基準面積更新は少なくとも良品の検
査対象物から順次得られる新たな測定面積に基づいて経
時的に行われ、検査対象物の測定面積の比較対象となる
基準面積が良否誤判定を誘発する要因発生に追随する。
従って、良否判定精度が前記誘発要因に左右されること
はなく、安定した視覚検査を達成することができる。
はなく、安定した視覚検査を達成することができる。
（実施例）
以下、本発明を具体化した一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
第１図に示すように搬送用コンベア１に整列保持された
検査対象物Ｗは搬送用コンベアｌの間欠送りによりカメ
ラ２設置位置の下方に設定された検査ステーションＳへ
順次送りこまれる。検査ステーションＳへ送り込まれた
検査対象物Ｗはカメラ２の側方近傍に設置されたランプ
３の照射を受け、この反射光がカメラ２に捉えられる。
検査対象物Ｗは搬送用コンベアｌの間欠送りによりカメ
ラ２設置位置の下方に設定された検査ステーションＳへ
順次送りこまれる。検査ステーションＳへ送り込まれた
検査対象物Ｗはカメラ２の側方近傍に設置されたランプ
３の照射を受け、この反射光がカメラ２に捉えられる。
カメラ２からの画像信号は比較判定装置Ｃに入力され、
比較判定装置Ｃは入力画像信号に基づいて検査対象物Ｗ
の良否判定を行い、不良品判定の場合には所定の信号を
出力する。
比較判定装置Ｃは入力画像信号に基づいて検査対象物Ｗ
の良否判定を行い、不良品判定の場合には所定の信号を
出力する。
比較判定装置Ｃは、画像信号を２値化データとして記憶
する画像データ記憶手段と、この記憶された画像データ
から検査対象物Ｗの平面面積を特定する画像データ処理
手段と、予め設定された検査対象物Ｗの初期基準面積Ａ
及び許容公差±Δを記憶する記憶手段と、検査対象物Ｗ
の測定面積と基準面積とを比較して良否判定する比較判
定手段と、良品判定回数をカウントするカウント手段と
、良品判定された検査対象物Ｗの測定面積を加算する面
積加算手段と、加算面積をカウント数で割る除算手段と
、前記記憶手段に記憶保持された基準面積を前記除算面
積に書換更新する更新手段とからなり、不良の場合には
所定の信号が比較判定手段から出力される。
する画像データ記憶手段と、この記憶された画像データ
から検査対象物Ｗの平面面積を特定する画像データ処理
手段と、予め設定された検査対象物Ｗの初期基準面積Ａ
及び許容公差±Δを記憶する記憶手段と、検査対象物Ｗ
の測定面積と基準面積とを比較して良否判定する比較判
定手段と、良品判定回数をカウントするカウント手段と
、良品判定された検査対象物Ｗの測定面積を加算する面
積加算手段と、加算面積をカウント数で割る除算手段と
、前記記憶手段に記憶保持された基準面積を前記除算面
積に書換更新する更新手段とからなり、不良の場合には
所定の信号が比較判定手段から出力される。
本実施例における視覚装置を用いた良否判定は第３図の
フローチャートに基づいて遂行されるようになっており
、以下にその作用を説明する。
フローチャートに基づいて遂行されるようになっており
、以下にその作用を説明する。
さて、検査ステーションＳへ送り込まれた検査対象物Ｗ
１の平面画像がカメラ２から取り込まれ、この画像の２
値化データが比較判定袋ＷＣに記憶される。検査対象物
Ｗ１で反射形成される明部とその他の暗部との境界で特
定される検査対象物Ｗｌの平面面積Ａ１が前記画像デー
タの処理に基づいて抽出特定され、この特定された測定
面積Ａ１が第２図に示すように初期基準面積Ａと公差±
Δとから設定される初期許容範囲〔Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内
に含まれるか否かが判定される。比較判定装置Ｃは、測
定面積ＡＩが初期許容範囲〔Ａ−Δ。
１の平面画像がカメラ２から取り込まれ、この画像の２
値化データが比較判定袋ＷＣに記憶される。検査対象物
Ｗ１で反射形成される明部とその他の暗部との境界で特
定される検査対象物Ｗｌの平面面積Ａ１が前記画像デー
タの処理に基づいて抽出特定され、この特定された測定
面積Ａ１が第２図に示すように初期基準面積Ａと公差±
Δとから設定される初期許容範囲〔Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内
に含まれるか否かが判定される。比較判定装置Ｃは、測
定面積ＡＩが初期許容範囲〔Ａ−Δ。
Ａ＋Δ〕内に含まれない場合には不良品判定信号を出力
し、第２図に示すように測定表示点ａｌで示す測定面積
Ａ１が初期許容範囲〔Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内に含まれる場
合には良品判定回数１をカウントすると共に、測逆面積
Ａ１を加算対象とする。
し、第２図に示すように測定表示点ａｌで示す測定面積
Ａ１が初期許容範囲〔Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内に含まれる場
合には良品判定回数１をカウントすると共に、測逆面積
Ａ１を加算対象とする。
検査対象物Ｗ１に続いて検査ステーションＳに送り込ま
れた検査対象物Ｗ２についても同様の比較判定が行われ
、測定表示点ａ２で示す測定面積Ａ２が初期許容範囲［
Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内に含まれる場合には良品判定回数２
がカウントされると共に、測定面積Ａ２が測定面積Ａ１
に加算される。
れた検査対象物Ｗ２についても同様の比較判定が行われ
、測定表示点ａ２で示す測定面積Ａ２が初期許容範囲［
Ａ−Δ、Ａ＋Δ〕内に含まれる場合には良品判定回数２
がカウントされると共に、測定面積Ａ２が測定面積Ａ１
に加算される。
初期基準面積Ａに基づくこのような比較判定は、良品判
定回数が予め設定された値ｎに達するまで行われ、良品
判定回数がｎに達すると、良品判定された検査対象物Ｗ
１、Ｗ２・・・Ｗｎの各測定面積Ａｔ、Ａ２・・・Ａｎ
の加算面積Σ（ｎ）が良品判定回数ｎで除算される。こ
のように算出設定された除算面積Σ（ｎ）／ｎ＝Ｂは初
期基準面積Ａに代わって基準面積に採用され、許容範囲
を設定するための基準面積が初期基準面積Ａから基準面
積已に更新される。
定回数が予め設定された値ｎに達するまで行われ、良品
判定回数がｎに達すると、良品判定された検査対象物Ｗ
１、Ｗ２・・・Ｗｎの各測定面積Ａｔ、Ａ２・・・Ａｎ
の加算面積Σ（ｎ）が良品判定回数ｎで除算される。こ
のように算出設定された除算面積Σ（ｎ）／ｎ＝Ｂは初
期基準面積Ａに代わって基準面積に採用され、許容範囲
を設定するための基準面積が初期基準面積Ａから基準面
積已に更新される。
以後、新たに良品判定された検査対象物Ｗの測定面積が
前記と同様にｎ個分加算され、この加算で得られた面積
がｎで除算され、基準面積及び許容範囲が第２図に示す
ように順次更新されてゆく。
前記と同様にｎ個分加算され、この加算で得られた面積
がｎで除算され、基準面積及び許容範囲が第２図に示す
ように順次更新されてゆく。
このような基準面積の更新は、同一検査対象物Ｗの測定
面積の変動に繋がる光学的環境変化、電圧変動による照
明光量変化及び温度、湿度等の環境変化等の変動要因に
対応して行われるものであり、これら変動要因発生は基
準面積の更新により吸収され、検査対象物Ｗの良否判定
は常に一定した精度でもって行われる。従って、同一検
査対象物Ｗの測定面積の変動をもたらす光学的環境変化
、電圧変動による照明光量変化等の変動要因が発生した
場合にも、検査対象物Ｗの良否判定は前記誘発要因に左
右されることな（行われ、安定した視覚検査を達成する
ことができる。
面積の変動に繋がる光学的環境変化、電圧変動による照
明光量変化及び温度、湿度等の環境変化等の変動要因に
対応して行われるものであり、これら変動要因発生は基
準面積の更新により吸収され、検査対象物Ｗの良否判定
は常に一定した精度でもって行われる。従って、同一検
査対象物Ｗの測定面積の変動をもたらす光学的環境変化
、電圧変動による照明光量変化等の変動要因が発生した
場合にも、検査対象物Ｗの良否判定は前記誘発要因に左
右されることな（行われ、安定した視覚検査を達成する
ことができる。
本発明は勿論前記実施例にのみ限定されるものではなく
、例えば前記実施例における相加平均による基準面積更
新方式に代えて相乗平均による基準面積更新方式を採用
したり、検査ステーションへ送りこまれる検査対象物の
所定個数からなる群単位で基準面積を更新する前記実施
例の方式に代えて第４図のフローチャートで示す更新方
式も可能である。この方式では初期基準面積はｎ個の良
品検査対象物Ｗの面積加算まで使われ、これ以後におい
では更新基準面積との比較で良品判定された検査対象物
Ｗの測定面積が先のｎ個の加算面積内の最先の測定面積
にとって代わってゆき、この加減算で得られた面積がｎ
で除算されて基準面積が更新さてゆく。又、測定面積と
共に基準面積を新たな基準面積設定のための一要素した
りすることも可能である。あるいは検査対象物内の所定
領域の視覚検査において検査対象物の送り込み位置の変
動を本発明の視覚検査方法の対象としたりすることも可
能である。
、例えば前記実施例における相加平均による基準面積更
新方式に代えて相乗平均による基準面積更新方式を採用
したり、検査ステーションへ送りこまれる検査対象物の
所定個数からなる群単位で基準面積を更新する前記実施
例の方式に代えて第４図のフローチャートで示す更新方
式も可能である。この方式では初期基準面積はｎ個の良
品検査対象物Ｗの面積加算まで使われ、これ以後におい
では更新基準面積との比較で良品判定された検査対象物
Ｗの測定面積が先のｎ個の加算面積内の最先の測定面積
にとって代わってゆき、この加減算で得られた面積がｎ
で除算されて基準面積が更新さてゆく。又、測定面積と
共に基準面積を新たな基準面積設定のための一要素した
りすることも可能である。あるいは検査対象物内の所定
領域の視覚検査において検査対象物の送り込み位置の変
動を本発明の視覚検査方法の対象としたりすることも可
能である。
発明の効果
以上詳述したように本発明は、検査対象物の取り込み画
像の基準データと検査対象物の測定データとの比較に基
づいて検査対象物の良否を判定すると共に、少なくとも
良品判定された検査対象物の測定データに基づいて基準
データを順次更新してゆくようにしたので、良否誤判定
をもたらす要因発生に対しても基準データを追随させて
発生要因を吸収することができ、良否誤判定誘発要因発
生に左右されることなく安定した視覚検査を行なうこと
ができるという優れた効果を奏する。
像の基準データと検査対象物の測定データとの比較に基
づいて検査対象物の良否を判定すると共に、少なくとも
良品判定された検査対象物の測定データに基づいて基準
データを順次更新してゆくようにしたので、良否誤判定
をもたらす要因発生に対しても基準データを追随させて
発生要因を吸収することができ、良否誤判定誘発要因発
生に左右されることなく安定した視覚検査を行なうこと
ができるという優れた効果を奏する。
図面は本発明を具体化した一実施例を示し、第１図は検
査ステーション付近の斜視図、第２図は基準面積の変位
を示すグラフ、第３図は比較判定のフローチャート、第
４図は別個のフローチャートである。 搬送用コンベア１、カメラ２、検査ステーションＳ、検
査対象物Ｗ１、Ｗ２・・・Ｗｎ、比較判定装置Ｃ１初期
基準面積Ａ、基準面積Ｂ、公差Δ。
査ステーション付近の斜視図、第２図は基準面積の変位
を示すグラフ、第３図は比較判定のフローチャート、第
４図は別個のフローチャートである。 搬送用コンベア１、カメラ２、検査ステーションＳ、検
査対象物Ｗ１、Ｗ２・・・Ｗｎ、比較判定装置Ｃ１初期
基準面積Ａ、基準面積Ｂ、公差Δ。
Claims (1)
- １ 設定された検査ステーション（Ｓ）へ順次送りこま
れる検査対象物（Ｗ、Ｗ１、Ｗ２・・・Ｗｎ）の取り込
み画像の初期基準データ（Ａ）を予め設定しておき、こ
の初期基準データ（Ａ）と検査対象物（Ｗ、Ｗ１、Ｗ２
・・・Ｗｎ）の測定データ（Ａ１、Ａ２・・・Ａｎ）と
の比較に基づいて検査対象物（Ｗ、Ｗ１、Ｗ２・・・Ｗ
ｎ）の良否を判定すると共に、少なくとも良品判定され
た検査対象物（Ｗ、Ｗ１、Ｗ２・・・Ｗｎ）の測定デー
タ（Ａ１、Ａ２・・・Ａｎ）に基づいて初期基準データ
（Ａ）を修正し、この修正された基準データ（Ｂ）と検
査対象物の測定データとの比較に基づいて検査対象物の
良否を判定すると共に少なくとも良品判定された検査対
象物の測定データに基づいて基準データ（Ｂ）を順次更
新してゆくことを特徴とする視覚検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5979387A JPS63225111A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 視覚検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5979387A JPS63225111A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 視覚検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63225111A true JPS63225111A (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=13123515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5979387A Pending JPS63225111A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 視覚検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63225111A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014202534A (ja) * | 2013-04-02 | 2014-10-27 | 株式会社東芝 | 動翼測定装置と動翼測定方法 |
| JP2022065961A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 株式会社東芝 | 判定装置、判定システム、判定方法、プログラム、及び記憶媒体 |
| JP7330417B1 (ja) * | 2022-10-21 | 2023-08-21 | 株式会社東芝 | 判定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62264894A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-11-17 | 山陽国策パルプ株式会社 | 断裁紙枚数再検査方法 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5979387A patent/JPS63225111A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62264894A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-11-17 | 山陽国策パルプ株式会社 | 断裁紙枚数再検査方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014202534A (ja) * | 2013-04-02 | 2014-10-27 | 株式会社東芝 | 動翼測定装置と動翼測定方法 |
| JP2022065961A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | 株式会社東芝 | 判定装置、判定システム、判定方法、プログラム、及び記憶媒体 |
| JP7330417B1 (ja) * | 2022-10-21 | 2023-08-21 | 株式会社東芝 | 判定装置 |
| WO2024084675A1 (ja) * | 2022-10-21 | 2024-04-25 | 株式会社 東芝 | 判定装置 |
| EP4390380A4 (en) * | 2022-10-21 | 2024-11-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | DETERMINATION DEVICE |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60033946D1 (de) | On-line prüfeinrichtung für einen inneren teil mit mehreren, auf zwei seiten angeordneten lampen | |
| US5187573A (en) | Inspection method and apparatus | |
| JP2016148665A (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
| JPS63225111A (ja) | 視覚検査方法 | |
| CN111220621A (zh) | 芯片倾斜表面检测方法 | |
| KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
| CN109596640B (zh) | 异物检测方法及装置 | |
| GB2046433A (en) | Defect inspection system | |
| US4816052A (en) | Method for monitoring the width of material in strip form | |
| JPH05312625A (ja) | 重量選別装置 | |
| JPH1073419A (ja) | エンジン外付け部品の誤欠品検査装置 | |
| KR102035997B1 (ko) | 터치 스크린 패널의 터치 감지용 전극 검사 방법 | |
| JPH11264770A (ja) | 石炭パイルの温度測定装置 | |
| JPS591978B2 (ja) | 物体状態検査装置 | |
| JPS6014104A (ja) | 印画紙のエツジ検出方法 | |
| JPS60210745A (ja) | 視覚センサシステム | |
| JP2000035320A (ja) | 蓄積型ラインセンサを用いた検査方法及びその装置 | |
| JPH0642935A (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
| JPS58744A (ja) | 瓶類の検査方法 | |
| JP2001319223A (ja) | パターン周期測定方法及び装置 | |
| KR100237304B1 (ko) | 화상 비교 검사시의 양/불 판정 방법과 불량 위치 검출방법 | |
| JPH1196812A (ja) | 欠陥検出用の照明装置 | |
| JPH05133907A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| CN121604796A (zh) | 一种用于检查半导体芯片产品堆叠的方法及系统 | |
| JPH07119706B2 (ja) | メツキ物の外観検査方法 |