JPS63225465A - 走査電子顕微鏡等の集束レンズ - Google Patents
走査電子顕微鏡等の集束レンズInfo
- Publication number
- JPS63225465A JPS63225465A JP5845987A JP5845987A JPS63225465A JP S63225465 A JPS63225465 A JP S63225465A JP 5845987 A JP5845987 A JP 5845987A JP 5845987 A JP5845987 A JP 5845987A JP S63225465 A JPS63225465 A JP S63225465A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- magnetic material
- yoke
- material pieces
- annular magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は試料に照射される電子線の径を連続的に可変と
するための走査電子顕微鏡等の集束レンズに関する。
するための走査電子顕微鏡等の集束レンズに関する。
［従来の技術］
走査電子顕微鏡においては、対物絞りの径を固定したま
ま、試料に照射する電子線の径あるいは照射電流を連続
的に変えられるようになっている。
ま、試料に照射する電子線の径あるいは照射電流を連続
的に変えられるようになっている。
そのため、集束レンズとして複数段の集束レンズを用い
、対物絞りに入射する電子線の開き角を各段の集束レン
ズの励磁電流を変えることによって行なっているが、各
段の集束レンズの励磁電流を変えた際に、集束レンズ系
による集束点が移動することにより対物レンズの焦点合
わせや、スティグマトールの調整をその都度性なわなく
てはならない。そのため、前記集束点が各段の集束レン
ズの励磁電流を変えても殆んど移動しないようにするこ
とが要求されるようになった。前記電子線の径の可変範
囲を狭めることなく、この要求を満たすためには集束レ
ンズを多段（実用的には２段以上）にすると共に、各段
の集束レンズは対物レンズに近づくに従ってレンズ強度
が強くなるようにしなければならない。そのために、レ
ンズの磁極間隙及びボア径が異なった多数の集束レンズ
を製造し、これら集束レンズを対物レンズに近づくに従
って磁極間隙及びボア径の小さい集束レンズが配置され
るように対物レンズ上段に装着することが考えられる。
、対物絞りに入射する電子線の開き角を各段の集束レン
ズの励磁電流を変えることによって行なっているが、各
段の集束レンズの励磁電流を変えた際に、集束レンズ系
による集束点が移動することにより対物レンズの焦点合
わせや、スティグマトールの調整をその都度性なわなく
てはならない。そのため、前記集束点が各段の集束レン
ズの励磁電流を変えても殆んど移動しないようにするこ
とが要求されるようになった。前記電子線の径の可変範
囲を狭めることなく、この要求を満たすためには集束レ
ンズを多段（実用的には２段以上）にすると共に、各段
の集束レンズは対物レンズに近づくに従ってレンズ強度
が強くなるようにしなければならない。そのために、レ
ンズの磁極間隙及びボア径が異なった多数の集束レンズ
を製造し、これら集束レンズを対物レンズに近づくに従
って磁極間隙及びボア径の小さい集束レンズが配置され
るように対物レンズ上段に装着することが考えられる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、ボア径の異なる集束レンズを多数製作し
、それらを夫々装着することは容易で無く、又大きなコ
スト増を招く。
、それらを夫々装着することは容易で無く、又大きなコ
スト増を招く。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、上述した多段
の集束レンズの配列と実質的に同等の働きをする製作が
容易でコスト的に有利な走査電子顕微鏡等の集束レンズ
を提供することを目的としている。
の集束レンズの配列と実質的に同等の働きをする製作が
容易でコスト的に有利な走査電子顕微鏡等の集束レンズ
を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
このような目的を達成するため、本発明における走査電
子顕微鏡の集束レンズは、その各々の内面にテーパーを
有する複数の環状磁性体片がレンズヨークに包囲されて
周軸に配置されており、該環状の磁性体片の各々は隣接
する環状磁性体片又はヨーク端部との間に磁界レンズ間
隙を有するように非磁性体のスペーサで固定されており
、前記各環状磁性体片内面のテーパーに沿う円錐状外面
を右する真空シールドパイプが前記磁性体片の内側に配
置されており、前記レンズヨークに単一の励磁コイルが
組み付けられていることを特徴としている。
子顕微鏡の集束レンズは、その各々の内面にテーパーを
有する複数の環状磁性体片がレンズヨークに包囲されて
周軸に配置されており、該環状の磁性体片の各々は隣接
する環状磁性体片又はヨーク端部との間に磁界レンズ間
隙を有するように非磁性体のスペーサで固定されており
、前記各環状磁性体片内面のテーパーに沿う円錐状外面
を右する真空シールドパイプが前記磁性体片の内側に配
置されており、前記レンズヨークに単一の励磁コイルが
組み付けられていることを特徴としている。
［実施例コ
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳ｊホする。
図面は本発明の一実施例を示すための図であり、図中１
は東京レンズＬのヨークである。３，４゜５．６．７は
周軸に固定された環状の磁性体片であり、これら磁性体
片の内面（光軸Ｚ側の面）はテーパーになっている。磁
性体片３．４，５，６゜７はスペーサ８によってヨーク
に包囲されるように固定されており、径の小さい磁性体
片同志物レンズ側（下側）に固定されている。スペーサ
８は非磁性体で形成されており、スペーサ８による固定
によって、磁性体片３は隣接するヨーク端部１ａとの間
に１ノンズ間隙Ａを形成しており、又、磁性体片７はヨ
ーク端部１ｂとの間にレンズ間隙Ｆを形成している。同
様に隣接する磁性体片同志の間にもレンズ間隙８．Ｃ，
Ｄ、Ｅが形成されている。各磁性体片３〜７はレンズ間
隙Ａから間隙Ｆに至るに伴い間隙が狭くなるように前記
スペーサ８によって固定されている。更に又、前記各環
状磁性体片内面のテーパーに沿う円錐状外面を有する真
空シールドパイプ９が各環状磁性体片３〜７の内側に配
置されている。この真空シールドパイプは非磁性体で形
成されている。２は励磁コイルであり、１０．１１は真
空シール用のＯリングである。
は東京レンズＬのヨークである。３，４゜５．６．７は
周軸に固定された環状の磁性体片であり、これら磁性体
片の内面（光軸Ｚ側の面）はテーパーになっている。磁
性体片３．４，５，６゜７はスペーサ８によってヨーク
に包囲されるように固定されており、径の小さい磁性体
片同志物レンズ側（下側）に固定されている。スペーサ
８は非磁性体で形成されており、スペーサ８による固定
によって、磁性体片３は隣接するヨーク端部１ａとの間
に１ノンズ間隙Ａを形成しており、又、磁性体片７はヨ
ーク端部１ｂとの間にレンズ間隙Ｆを形成している。同
様に隣接する磁性体片同志の間にもレンズ間隙８．Ｃ，
Ｄ、Ｅが形成されている。各磁性体片３〜７はレンズ間
隙Ａから間隙Ｆに至るに伴い間隙が狭くなるように前記
スペーサ８によって固定されている。更に又、前記各環
状磁性体片内面のテーパーに沿う円錐状外面を有する真
空シールドパイプ９が各環状磁性体片３〜７の内側に配
置されている。この真空シールドパイプは非磁性体で形
成されている。２は励磁コイルであり、１０．１１は真
空シール用のＯリングである。
このような集束レンズにおいて、励磁コイル２に励磁電
流を流すと、各間隙Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ。
流を流すと、各間隙Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ。
Ｆにレンズ磁場が形成される。前記間隙Δ〜Ｆは対物レ
ンズ側に近付く程狭くされていると共に、各環状磁性体
片３〜７の径も小さくなっているため、間隙Ａ〜Ｆに形
成される各レンズのボア径も対物レンズ側程小さくなる
。そのため、この実施例の集束レンズは対物レンズに近
づくに従って磁極間隙及びボア径の小さい集束レンズを
多段に配置した場合と同等の働きをするが、前述したよ
うな環状の磁性体片を複数用意し、これらの配置に注意
してヨークに固定すると共に、前記真空シールドパイプ
を挿入し固定することにより、容易に製作することがで
きるため、製作が容易でコスト的に有利な走査電子顕微
鏡等の集束レンズが提供される。
ンズ側に近付く程狭くされていると共に、各環状磁性体
片３〜７の径も小さくなっているため、間隙Ａ〜Ｆに形
成される各レンズのボア径も対物レンズ側程小さくなる
。そのため、この実施例の集束レンズは対物レンズに近
づくに従って磁極間隙及びボア径の小さい集束レンズを
多段に配置した場合と同等の働きをするが、前述したよ
うな環状の磁性体片を複数用意し、これらの配置に注意
してヨークに固定すると共に、前記真空シールドパイプ
を挿入し固定することにより、容易に製作することがで
きるため、製作が容易でコスト的に有利な走査電子顕微
鏡等の集束レンズが提供される。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発
明は変形して実施することができる。
明は変形して実施することができる。
例えば上述した実施例においては、レンズ間隙を対物レ
ンズ側に近付く程狭くするようにしたが、各レンズ間隙
を同じ広さにしても良い。
ンズ側に近付く程狭くするようにしたが、各レンズ間隙
を同じ広さにしても良い。
又、上述した実施例においては、レンズ間隙はＡ〜Ｆの
６個備えられていたが、３個以上であればより少なくと
も良い。
６個備えられていたが、３個以上であればより少なくと
も良い。
又、スペーサ８のコイル２の外側の部分は省くこともで
きる。
きる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
その各々の内面にテーパーを有する複数の環状磁性体片
をレンズ間隙を形成するようにスペーサによりヨーク内
部に固定すると共に、テーパーに沿う円錐状外面を有す
る真空シールドパイプを前記磁性体片の内側に配置する
ようにしているため、対物レンズに近づくに従って磁極
間隙及びボア径の小さい集束レンズを多段に配置した場
合と同等の働きをする製作の容易でコスト的に有利な走
査電子顕微鏡の集束レンズを提供することができる。
その各々の内面にテーパーを有する複数の環状磁性体片
をレンズ間隙を形成するようにスペーサによりヨーク内
部に固定すると共に、テーパーに沿う円錐状外面を有す
る真空シールドパイプを前記磁性体片の内側に配置する
ようにしているため、対物レンズに近づくに従って磁極
間隙及びボア径の小さい集束レンズを多段に配置した場
合と同等の働きをする製作の容易でコスト的に有利な走
査電子顕微鏡の集束レンズを提供することができる。
図面は本発明の一実施例を示すためのものである。
１：ヨーク ２：励磁コイル
３．４，５．６，７：’ＥｊＡ状磁性体片８ニスペーサ
ー Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ：レンズ間隙 ９：真空シールドパイプ １０．１１：０リング
ー Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ：レンズ間隙 ９：真空シールドパイプ １０．１１：０リング
Claims (1)
- その各々の内面にテーパーを有する複数の環状磁性体片
がレンズヨークに包囲されて周軸に配置されており、該
環状の磁性体片の各々は隣接する環状磁性体片又はヨー
ク端部との間に磁界レンズ間隙を有するように非磁性体
のスペーサで固定されており、前記各環状磁性体片内面
のテーパーに沿う円錐状外面を有する真空シールドパイ
プが前記磁性体片の内側に配置されており、前記レンズ
ヨークに単一の励磁コイルが組み付けられていることを
特徴とする走査電子顕微鏡等の集束レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5845987A JPS63225465A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 走査電子顕微鏡等の集束レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5845987A JPS63225465A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 走査電子顕微鏡等の集束レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63225465A true JPS63225465A (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=13085009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5845987A Pending JPS63225465A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 走査電子顕微鏡等の集束レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63225465A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03159046A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Jeol Ltd | 電子レンズ |
| US7282589B2 (en) | 1996-12-26 | 2007-10-16 | Ube Industries, Ltd. | Acid addition salt of optically active piperidine compound and process for preparing the same |
| JP2009054581A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び、荷電粒子ビーム装置 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5845987A patent/JPS63225465A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03159046A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Jeol Ltd | 電子レンズ |
| US7282589B2 (en) | 1996-12-26 | 2007-10-16 | Ube Industries, Ltd. | Acid addition salt of optically active piperidine compound and process for preparing the same |
| JP2009054581A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び、荷電粒子ビーム装置 |
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