JPS63229185A - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
洗浄方法及び洗浄装置Info
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- JPS63229185A JPS63229185A JP62061360A JP6136087A JPS63229185A JP S63229185 A JPS63229185 A JP S63229185A JP 62061360 A JP62061360 A JP 62061360A JP 6136087 A JP6136087 A JP 6136087A JP S63229185 A JPS63229185 A JP S63229185A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
- C23G5/02—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents using organic solvents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ０発明の目的
産業上の利用分野
この発明は洗浄方法及び洗浄装置、特に金属、電子材料
等に付着した油分その他の汚れを効率的に溶剤で洗浄す
る方法及び装置に関するものである。
等に付着した油分その他の汚れを効率的に溶剤で洗浄す
る方法及び装置に関するものである。
鎧遼Ｊと支員
金属、電子材料等に付着した油分その他の汚れは炭化水
素系の溶剤で洗浄することができるが、炭化水素系の溶
剤は引火の危険が太きく、且つ一般に毒性を有する。
素系の溶剤で洗浄することができるが、炭化水素系の溶
剤は引火の危険が太きく、且つ一般に毒性を有する。
また塩素化炭化水素系の溶剤は非引火性ではあるが、さ
らに毒性が強い。
らに毒性が強い。
非毒性、非引火性の溶剤としてはトリクロロトリフルオ
ロエタン（フロン１１３）などのクロロフルオロハイド
ロカーボン類が知られており、極めて良好な特性を有す
るため溶剤として多用されているが、汚れの中には高沸
点の溶剤を高温で使用する以外の方法では除去困難なも
のがある。
ロエタン（フロン１１３）などのクロロフルオロハイド
ロカーボン類が知られており、極めて良好な特性を有す
るため溶剤として多用されているが、汚れの中には高沸
点の溶剤を高温で使用する以外の方法では除去困難なも
のがある。
が しようとする１、 貞
毒性、引火性がある溶剤を使用した場合、その溶剤が大
気中に拡散するのは、溶剤を収容した槽からの蒸発と、
洗浄後外部に取り出された被洗浄物に付着している溶剤
の蒸発が主な原因である。
気中に拡散するのは、溶剤を収容した槽からの蒸発と、
洗浄後外部に取り出された被洗浄物に付着している溶剤
の蒸発が主な原因である。
本発明は、高温での洗浄力は大きいが毒性、引火性があ
る高沸点溶剤と、沸点以下の温度でしか使用できないた
め相対的に洗浄力は劣るが、非毒性、非引火性である沸
点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカーボ
ンの両者の特性を生かし、その欠点を補った洗浄方法及
び洗浄装置を提供することを目的とする。
る高沸点溶剤と、沸点以下の温度でしか使用できないた
め相対的に洗浄力は劣るが、非毒性、非引火性である沸
点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカーボ
ンの両者の特性を生かし、その欠点を補った洗浄方法及
び洗浄装置を提供することを目的とする。
口１発明の構・成
１１題点を解決するための手段
本発明の洗浄方法は、沸点２０〜５０℃の範囲のクロロ
フルオロハイドロカーボンの飽和蒸気域中に複数の槽を
設ｆｆ１Ｌ。
フルオロハイドロカーボンの飽和蒸気域中に複数の槽を
設ｆｆ１Ｌ。
ａ）複数の槽の中の少なくとも一つに前記クロロフルオ
ロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記
り“ロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い
沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカ
ーボンとの混合溶剤を収容し、前記クロロフルオロハイ
ドロカーボンの沸点より高く前記有機溶剤の沸点より３
０℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中の
クロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域の
クロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶剤
中の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混
合比を平衡に保ち、 ｂ）複数の槽の中の少なくとも−っに実質的に前記クロ
ロフルオロハイドロカーボンよりなる液を収容し加熱し
沸騰状態に保持してクロロフルオロハイドロカーボンの
飽和蒸気域を維持し、Ｃ）被洗浄物をまず荊記混合溶剤
中に浸漬し、ｄ）ついで被洗浄物を沸騰状態に保持され
た前記クロロフルオロハイドロカーボン液中に浸漬する
ことを特徴とする。
ロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記
り“ロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い
沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカ
ーボンとの混合溶剤を収容し、前記クロロフルオロハイ
ドロカーボンの沸点より高く前記有機溶剤の沸点より３
０℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中の
クロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域の
クロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶剤
中の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混
合比を平衡に保ち、 ｂ）複数の槽の中の少なくとも−っに実質的に前記クロ
ロフルオロハイドロカーボンよりなる液を収容し加熱し
沸騰状態に保持してクロロフルオロハイドロカーボンの
飽和蒸気域を維持し、Ｃ）被洗浄物をまず荊記混合溶剤
中に浸漬し、ｄ）ついで被洗浄物を沸騰状態に保持され
た前記クロロフルオロハイドロカーボン液中に浸漬する
ことを特徴とする。
この場合、クロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気
域中に３つ以上の槽を設置し、前記の如く少なくとも一
つを混合溶剤槽、また少なくとも一つを沸騰状態に保持
されたクロロフルオロハイドロカーボン槽とするほか、
さらに少なくとも一つの槽に沸点以下の温度に保持され
た実質的にクロロフルオロハイドロカーボンよりなる液
を収容し、被洗浄物をまず混合溶剤中に、ついで沸騰状
態に保持されたクロロフルオロハイドロカーボン液中に
浸漬したのち、さらに沸点以下の温度に保持されたクロ
ロフルオロハイドロカーボン液中に浸漬し、飽和蒸気域
で蒸気洗浄するようにすればなお好ましく、一層すぐれ
た洗浄効果と、高沸点有機溶剤の気化・拡散の高度の抑
制とを達成できる。
域中に３つ以上の槽を設置し、前記の如く少なくとも一
つを混合溶剤槽、また少なくとも一つを沸騰状態に保持
されたクロロフルオロハイドロカーボン槽とするほか、
さらに少なくとも一つの槽に沸点以下の温度に保持され
た実質的にクロロフルオロハイドロカーボンよりなる液
を収容し、被洗浄物をまず混合溶剤中に、ついで沸騰状
態に保持されたクロロフルオロハイドロカーボン液中に
浸漬したのち、さらに沸点以下の温度に保持されたクロ
ロフルオロハイドロカーボン液中に浸漬し、飽和蒸気域
で蒸気洗浄するようにすればなお好ましく、一層すぐれ
た洗浄効果と、高沸点有機溶剤の気化・拡散の高度の抑
制とを達成できる。
以下本発明を添付図面に基づいて具体的に説明する。第
１図は本発明の基本的態様を説明するための図で容器ｌ
の下部に２槽が設置されている場合、第２図は好ましい
実施態様を説明するための図で容器１の下部に４槽が設
置されている場合を示す。
１図は本発明の基本的態様を説明するための図で容器ｌ
の下部に２槽が設置されている場合、第２図は好ましい
実施態様を説明するための図で容器１の下部に４槽が設
置されている場合を示す。
［洗浄装置］
容器ｌは適当な高さを有し、頂部が解放されており、頂
部に近い上部に冷却部２を有する。冷却部２は被洗浄物
の出し入れに邪魔にならないように側面に設けられてい
る。
部に近い上部に冷却部２を有する。冷却部２は被洗浄物
の出し入れに邪魔にならないように側面に設けられてい
る。
容器ｌの下部には複数の槽、第１図では３１及び３２の
２槽、第２図では３１．３２．３３及び３４の４槽が設
置されている。
２槽、第２図では３１．３２．３３及び３４の４槽が設
置されている。
第１槽３１は、沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオ
ロハイドロカーボン（以下第１溶剤と略記する）と相溶
性を有し且つ非共沸性で第１溶剤より５０℃以上高い沸
点を有する有機溶剤（以下第２溶剤と略記する）と第１
溶剤との混合溶剤を収容する槽であり、その混合溶剤を
第１溶剤の沸点より高く第２溶剤の沸点より３０℃以上
低い範囲の任意の温度に保持し得る加熱器５と攪拌ａ６
を備えている。
ロハイドロカーボン（以下第１溶剤と略記する）と相溶
性を有し且つ非共沸性で第１溶剤より５０℃以上高い沸
点を有する有機溶剤（以下第２溶剤と略記する）と第１
溶剤との混合溶剤を収容する槽であり、その混合溶剤を
第１溶剤の沸点より高く第２溶剤の沸点より３０℃以上
低い範囲の任意の温度に保持し得る加熱器５と攪拌ａ６
を備えている。
第２槽３２は、実質的に第１溶剤よりなる液を収容する
槽であり、それを沸騰状態に保持し得る加熱器５を備え
ている。
槽であり、それを沸騰状態に保持し得る加熱器５を備え
ている。
第１槽３１の液面の高さは保持温度に応じて第１溶剤の
溶解量が異なるため変動するので、第１槽と第２槽との
間に、冷却部の高さに到達しない範囲で高い仕切壁７を
設け、最高液面でも第１槽中の混合溶剤及び混合溶剤か
ら発生する第２溶剤の蒸気が第２槽に実質的にオーバー
フローしないように構成することが望ましい。
溶解量が異なるため変動するので、第１槽と第２槽との
間に、冷却部の高さに到達しない範囲で高い仕切壁７を
設け、最高液面でも第１槽中の混合溶剤及び混合溶剤か
ら発生する第２溶剤の蒸気が第２槽に実質的にオーバー
フローしないように構成することが望ましい。
あるいは一定液面を越えた混合溶剤を他の補助タンクに
収容するような装２！（図示せず）をザ加してもよい。
収容するような装２！（図示せず）をザ加してもよい。
仕切壁７の高さを冷却部２の高さに到達しない範囲とす
るのは、槽群と冷却部２との間に形成される第１溶剤飽
和蒸気域４内に仕切壁７の上縁があるようにし、第１槽
から第２槽へ被洗浄物を移動する際に第１溶剤飽和蒸気
域外へ出ないようにするためである。
るのは、槽群と冷却部２との間に形成される第１溶剤飽
和蒸気域４内に仕切壁７の上縁があるようにし、第１槽
から第２槽へ被洗浄物を移動する際に第１溶剤飽和蒸気
域外へ出ないようにするためである。
この仕切壁７は、第１槽から発生した第２溶剤蒸気が、
第２槽以降の第１溶剤槽の方へ移動するのを抑制する効
果もある。
第２槽以降の第１溶剤槽の方へ移動するのを抑制する効
果もある。
混合溶剤から発生する第２溶剤蒸気が仕切壁７を越えて
第２槽にオーバーフローしないようにするため、第１槽
の側壁に冷却器を設け、第１槽上部の雰囲気を第１溶剤
の沸点以上で第２溶剤の沸点以下の温度に維持するよう
にすればなお好ましい。
第２槽にオーバーフローしないようにするため、第１槽
の側壁に冷却器を設け、第１槽上部の雰囲気を第１溶剤
の沸点以上で第２溶剤の沸点以下の温度に維持するよう
にすればなお好ましい。
第２図の場合、第２槽３２、第３槽３３及び第４槽３４
はいずれも実質的に第１溶剤よりなる液を収容する槽で
あって、第２槽及び第３槽は第１溶剤の沸点温度に、第
４槽は第１溶剤の沸点以下の温度に保持されている。
はいずれも実質的に第１溶剤よりなる液を収容する槽で
あって、第２槽及び第３槽は第１溶剤の沸点温度に、第
４槽は第１溶剤の沸点以下の温度に保持されている。
このように実質的に第１溶剤よりなる液を収容する槽３
２．３３．３４を設けた場合には、第３槽３３の液面が
第２槽３２の液面より高くなるよう、さらに第４槽３４
の液面が第３槽３３の液面より高くなるように設置し、
第４槽３４をオーバーフローした液が第３槽３３に流入
し、さらに第３槽３３をオーバーフローした液が第２槽
３２に流入するように配置するとよい。
２．３３．３４を設けた場合には、第３槽３３の液面が
第２槽３２の液面より高くなるよう、さらに第４槽３４
の液面が第３槽３３の液面より高くなるように設置し、
第４槽３４をオーバーフローした液が第３槽３３に流入
し、さらに第３槽３３をオーバーフローした液が第２槽
３２に流入するように配置するとよい。
［洗浄方法］
第１槽３１には第２溶剤と第１溶剤との混合溶剤、第２
槽３２には（：５２図の場合は第３槽３３及び第４槽３
４にも）第１溶剤を収容し加熱器を備えている第２槽３
２を加熱すると、その中に収容されている第１溶剤はｓ
ｍ状態になり、第１溶剤は気化するが、第１溶剤蒸気の
密度は空気に比べて大きい（例えばフロン１１３の沸点
での飽和蒸気密度は約７．４ｇ／見：常温での空気の密
度は約１ 、３ ｇ／ｌ）ため、第１溶剤の蒸気は容器
１内に停滞し、さらに上昇しようとする蒸気は容器１の
上部に配置された冷却部２より凝縮され液化して還流す
るため、槽群と冷却部２との間に第１溶剤の飽和蒸気域
４が形成され、解放された容器頂部からの第１溶剤蒸気
の漏洩は少ない。
槽３２には（：５２図の場合は第３槽３３及び第４槽３
４にも）第１溶剤を収容し加熱器を備えている第２槽３
２を加熱すると、その中に収容されている第１溶剤はｓ
ｍ状態になり、第１溶剤は気化するが、第１溶剤蒸気の
密度は空気に比べて大きい（例えばフロン１１３の沸点
での飽和蒸気密度は約７．４ｇ／見：常温での空気の密
度は約１ 、３ ｇ／ｌ）ため、第１溶剤の蒸気は容器
１内に停滞し、さらに上昇しようとする蒸気は容器１の
上部に配置された冷却部２より凝縮され液化して還流す
るため、槽群と冷却部２との間に第１溶剤の飽和蒸気域
４が形成され、解放された容器頂部からの第１溶剤蒸気
の漏洩は少ない。
第２槽３２に加える熱量は槽群と冷却部との間に第１溶
剤の飽和蒸気域４を形成するに過不足のない量とすれば
よく、過剰に熱量を与えると冷却部２の負担が大きくな
る。
剤の飽和蒸気域４を形成するに過不足のない量とすれば
よく、過剰に熱量を与えると冷却部２の負担が大きくな
る。
飽和蒸気域４の温度はｍｌ溶剤の沸点付近の温度であり
、槽群（第１図の場合は第１槽３１及び第２槽３２、第
２図の場合はさらに第３槽３３及び第４槽３４）と冷却
部２との間に万遍なく存在してペーパーシールを構成す
る。
、槽群（第１図の場合は第１槽３１及び第２槽３２、第
２図の場合はさらに第３槽３３及び第４槽３４）と冷却
部２との間に万遍なく存在してペーパーシールを構成す
る。
このようにして形成された第１溶剤の飽和蒸気域４中に
設置された、第２溶剤と第１溶剤との混合溶剤を収容し
ている第１槽３１を第１溶剤の沸点より高く第２溶剤の
沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持すると
、混合溶剤中の第１溶剤の蒸発と飽和蒸気域の第１溶剤
の吸収により混合溶剤中の第２溶剤と第１溶剤との混合
比率はその温度における平衡値に保たれる。それ故、洗
浄すべき汚れを最も効率的に洗浄できる組成に対応する
温度条件を選定すればよい。
設置された、第２溶剤と第１溶剤との混合溶剤を収容し
ている第１槽３１を第１溶剤の沸点より高く第２溶剤の
沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保持すると
、混合溶剤中の第１溶剤の蒸発と飽和蒸気域の第１溶剤
の吸収により混合溶剤中の第２溶剤と第１溶剤との混合
比率はその温度における平衡値に保たれる。それ故、洗
浄すべき汚れを最も効率的に洗浄できる組成に対応する
温度条件を選定すればよい。
本発明方法によるときは、第１槽の温度を選定すること
により、第１槽における溶剤混合比率を任意の値に長時
間安定して維持することが回部となり、安定した洗浄を
行うことができる。
により、第１槽における溶剤混合比率を任意の値に長時
間安定して維持することが回部となり、安定した洗浄を
行うことができる。
第１槽の温度は前記温度範囲内でなるべく一定に維持す
ることが好ましいが、洗浄力の安定性に悪影響を及ぼさ
ない範囲であれば多少の変動が生じても問題とならない
。
ることが好ましいが、洗浄力の安定性に悪影響を及ぼさ
ない範囲であれば多少の変動が生じても問題とならない
。
第１槽の混合溶剤から蒸発した第２溶剤蒸気は直ちに低
温の第１溶剤の飽和蒸気域４に接触し、液化して大部分
が第１槽に還流し、第１溶剤の飽和蒸気域４を突破して
開放された頂部から大気中に拡散することは殆どない、
このようにして、毒性、引火性がある第２溶剤１高温で
使用した場合でも、溶剤を収容した槽からその溶剤が蒸
発して大気中に拡散するのを防止でき、運転中の引火の
危険や、作業環境における毒性の問題が避けられる。
温の第１溶剤の飽和蒸気域４に接触し、液化して大部分
が第１槽に還流し、第１溶剤の飽和蒸気域４を突破して
開放された頂部から大気中に拡散することは殆どない、
このようにして、毒性、引火性がある第２溶剤１高温で
使用した場合でも、溶剤を収容した槽からその溶剤が蒸
発して大気中に拡散するのを防止でき、運転中の引火の
危険や、作業環境における毒性の問題が避けられる。
第２槽以下の第１溶剤槽に、気相から凝縮した第２溶剤
が混入することも考えられるが、第１槽は加熱のみで、
一方第２槽は沸騰させているために、第２溶剤の混入量
は殆んど無視できる程度である。
が混入することも考えられるが、第１槽は加熱のみで、
一方第２槽は沸騰させているために、第２溶剤の混入量
は殆んど無視できる程度である。
第１槽における混合溶剤の一成分として第１溶剤との沸
点差が５０℃以下の溶剤を使用した場合はｆｊＳ２槽以
降にその有機溶剤が混入する率が大さくなるが、沸点差
が５０℃以上、好ましくは７０℃以上の第２溶剤を使用
した場合は第２槽以降への第２溶剤の混入は実質的に無
視できることが実験的に確認された。
点差が５０℃以下の溶剤を使用した場合はｆｊＳ２槽以
降にその有機溶剤が混入する率が大さくなるが、沸点差
が５０℃以上、好ましくは７０℃以上の第２溶剤を使用
した場合は第２槽以降への第２溶剤の混入は実質的に無
視できることが実験的に確認された。
このような状態において、被洗浄物を、まず第１槽３１
中の混合溶剤に浸漬し、ついで第２槽３２中の沸膿状態
に保持された第１溶剤中に浸漬する。
中の混合溶剤に浸漬し、ついで第２槽３２中の沸膿状態
に保持された第１溶剤中に浸漬する。
被洗浄物に付着していた汚れは第１槽の混合溶剤で殆ど
完全に溶解除去される。必要ならば混合溶剤槽を２槽以
上設けてもよい、第２槽以降の第１溶剤槽でも補助的な
洗浄は行われる。
完全に溶解除去される。必要ならば混合溶剤槽を２槽以
上設けてもよい、第２槽以降の第１溶剤槽でも補助的な
洗浄は行われる。
第１槽から引き上げられた被洗浄物に付着した第２溶剤
は第２槽中の第１溶剤液により濯がれるので、第２溶剤
が被洗浄物に付着したままの状態で外部に取り出され、
そこで蒸発して大気中に拡散するするのを防止でき、運
転中の引火の危険や作業環境における毒性の問題が避け
られる。
は第２槽中の第１溶剤液により濯がれるので、第２溶剤
が被洗浄物に付着したままの状態で外部に取り出され、
そこで蒸発して大気中に拡散するするのを防止でき、運
転中の引火の危険や作業環境における毒性の問題が避け
られる。
この濯ぎを完全に行うために、第２図に示すように被洗
浄物をまず第１槽３１の混合溶剤中に、ついで第２槽３
２及び第３槽３３の沸騰状態に保持されたｍｌ溶剤液中
に順次浸漬した後、さらに第４槽３４中の沸点以下の温
度に保持された第１溶剤液中に浸漬し、被洗浄物の温度
を第１溶剤の沸点以下の温度に冷却した後、被洗浄物を
飽和蒸気域に保持して蒸気洗浄を行うようにすればなお
好ましい。
浄物をまず第１槽３１の混合溶剤中に、ついで第２槽３
２及び第３槽３３の沸騰状態に保持されたｍｌ溶剤液中
に順次浸漬した後、さらに第４槽３４中の沸点以下の温
度に保持された第１溶剤液中に浸漬し、被洗浄物の温度
を第１溶剤の沸点以下の温度に冷却した後、被洗浄物を
飽和蒸気域に保持して蒸気洗浄を行うようにすればなお
好ましい。
洗浄装置の項で述べたように、第３槽３３の液面が：Ｊ
Ｓ２槽３２槽液２より高くなるよう、さらに第４槽３４
の液面が第３槽３３の液面より高くなるように設置し、
第４槽３４をオーバーフローした液が第３槽３３に流入
し、さらに第３４６３３をオーバーフローした液が第２
槽３２に流入するように配ｔしておけば、第４槽３４で
は第１溶剤飽和蒸気域４から凝縮した第１溶剤液が還流
して液面が上昇し、オーバーフローした液が第３槽３３
に流入し、第３槽３３ではそれと第１溶剤飽和蒸気域４
から凝縮還流した第１溶剤液とが合体して液面が上昇し
、オーバーフローした液が第２槽３２に流入する。
Ｓ２槽３２槽液２より高くなるよう、さらに第４槽３４
の液面が第３槽３３の液面より高くなるように設置し、
第４槽３４をオーバーフローした液が第３槽３３に流入
し、さらに第３４６３３をオーバーフローした液が第２
槽３２に流入するように配ｔしておけば、第４槽３４で
は第１溶剤飽和蒸気域４から凝縮した第１溶剤液が還流
して液面が上昇し、オーバーフローした液が第３槽３３
に流入し、第３槽３３ではそれと第１溶剤飽和蒸気域４
から凝縮還流した第１溶剤液とが合体して液面が上昇し
、オーバーフローした液が第２槽３２に流入する。
このようにすると、濯ぎの際に溶出した第２溶剤はオー
バーフロー液と共に第４槽から第３槽。
バーフロー液と共に第４槽から第３槽。
第２槽へと移動し、後段の槽では第１溶剤液がより純粋
な状態で維持され、濯ぎを完全にする。
な状態で維持され、濯ぎを完全にする。
必要に応じて、沸騰第１溶剤槽を２槽以上設けてもよい
し、また沸点以下の第１溶剤槽をさらに多数設けてもよ
いし、汚れの種類に応じて第２槽以降をａ音波洗浄でき
るようにしてもよい。
し、また沸点以下の第１溶剤槽をさらに多数設けてもよ
いし、汚れの種類に応じて第２槽以降をａ音波洗浄でき
るようにしてもよい。
本発明で使用する第１溶剤としてはトリクロロフルオロ
メタン（フロンｌ １ ） 、 １，１．２−トリクロ
ロ１，２．２−）リフルオロエタン（フロン１１３）、
１．１−ジクロロ２，２．２−トリフルオロエタン（フ
ロン１２３）、１．２−ジクロロ１．１−ジフルオロエ
タン（フロン１２３ｂ）及ヒ＊、１−ジクロロ２−フル
オロエタン（フロン１４１ｂ）などがある、またこれら
の混合物を使用することも可使である。
メタン（フロンｌ １ ） 、 １，１．２−トリクロ
ロ１，２．２−）リフルオロエタン（フロン１１３）、
１．１−ジクロロ２，２．２−トリフルオロエタン（フ
ロン１２３）、１．２−ジクロロ１．１−ジフルオロエ
タン（フロン１２３ｂ）及ヒ＊、１−ジクロロ２−フル
オロエタン（フロン１４１ｂ）などがある、またこれら
の混合物を使用することも可使である。
好ましい第１溶剤としては、沸点が比較的高く且つ毒性
、燃焼性の少ないフロン１１３（沸点４７．６℃）、フ
ロン１３２ｂ （沸点４６．８℃）を挙げることができ
る。
、燃焼性の少ないフロン１１３（沸点４７．６℃）、フ
ロン１３２ｂ （沸点４６．８℃）を挙げることができ
る。
また第２溶剤としては、ミネラルスピリット。
ケロシンなどの脂肪族炭化水素溶剤、ブチルアルコール
、アミルアルコール、ヘキサノールなどのアルコール類
、ブチルエーテル、セロソルブ、カルピトールなどのエ
ーテル及びエーテルアルコール類、ジインプロピルケト
ン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノンなどのケト
ン類、酢酸ブチル、酢酸アミル、セロソルブアセテート
などのエステル類、トルエン、キシレン、クレゾールな
どの芳香族、ジペンテン、テレピン油などのテルペン類
などを挙げることができる。
、アミルアルコール、ヘキサノールなどのアルコール類
、ブチルエーテル、セロソルブ、カルピトールなどのエ
ーテル及びエーテルアルコール類、ジインプロピルケト
ン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノンなどのケト
ン類、酢酸ブチル、酢酸アミル、セロソルブアセテート
などのエステル類、トルエン、キシレン、クレゾールな
どの芳香族、ジペンテン、テレピン油などのテルペン類
などを挙げることができる。
既述の如く第１溶剤との沸点差が５０℃以上、好ましく
は７０℃以上の第２溶剤を使用した場合は第２槽以降へ
の第２溶剤の混入は実質的に無視できるが、混合溶剤槽
中の第１溶剤と第２溶剤の混合比率の選択範囲を広くす
るために、沸点が１２０℃以上、望ましくは１５０℃以
Ｅの第２溶剤を使用して、混合溶剤槽の設定町濠温度範
囲が広くなるようにする方が好ましい。
は７０℃以上の第２溶剤を使用した場合は第２槽以降へ
の第２溶剤の混入は実質的に無視できるが、混合溶剤槽
中の第１溶剤と第２溶剤の混合比率の選択範囲を広くす
るために、沸点が１２０℃以上、望ましくは１５０℃以
Ｅの第２溶剤を使用して、混合溶剤槽の設定町濠温度範
囲が広くなるようにする方が好ましい。
［実施例１］
ｉ点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロカー
ボンとしてフロン１１３（沸点４７．６℃）を使用し、
第１槽の設定温度を変更することにより：５１槽中のフ
ロン１１３と第２溶剤の比率を任意に設定できることを
確認するため１次の実験を行った。
ボンとしてフロン１１３（沸点４７．６℃）を使用し、
第１槽の設定温度を変更することにより：５１槽中のフ
ロン１１３と第２溶剤の比率を任意に設定できることを
確認するため１次の実験を行った。
第２溶剤として安息香酸イソアミル（沸点２６２℃）を
使用し、フロン１１３との混合溶剤（当初の混合比率は
第１表参照）を第２図に示した装置の第１槽３１に収容
し、フロン１１３を第２槽３２に収容して沸騰させ、第
３槽及び第４槽にはフロン１１３を収容して沸点温度以
下に維持し、第１槽の温度を６０℃〜１００℃の範囲で
設定温度を変更して第１槽中の濃度が平衡に達した後の
組成を求めた。なお第１槽は攪拌羽根で常時攪拌した。
使用し、フロン１１３との混合溶剤（当初の混合比率は
第１表参照）を第２図に示した装置の第１槽３１に収容
し、フロン１１３を第２槽３２に収容して沸騰させ、第
３槽及び第４槽にはフロン１１３を収容して沸点温度以
下に維持し、第１槽の温度を６０℃〜１００℃の範囲で
設定温度を変更して第１槽中の濃度が平衡に達した後の
組成を求めた。なお第１槽は攪拌羽根で常時攪拌した。
（以下余白）
第 １ 表
又同時に、平衡に達した後の第２槽における第２溶剤の
濃度も求めた。
濃度も求めた。
第 ２ 表
第２表から明らかなように、平衡状態においても第２槽
における第２溶剤の混入は僅かである。
における第２溶剤の混入は僅かである。
［実施例２］
実施例１と同じ第１溶剤及び第２溶剤を使用し実際に洗
浄試験を行って１時間の経過に伴う第１槽における混合
溶剤の組成変化及び洗浄成績を求めた。
浄試験を行って１時間の経過に伴う第１槽における混合
溶剤の組成変化及び洗浄成績を求めた。
被洗浄物サンプルとして、鉄片に加熱溶解したワックス
を均一に塗布したものを用いた。
を均一に塗布したものを用いた。
洗浄工程としては。
第１槽：混合溶剤温浴浸漬２分→第２槽：第１溶剤沸膿
浴浸漬３０秒→第３槽：第１溶剤沸騰浴浸漬３０秒→第
４槽：第１溶剤冷浴３０秒→第１溶剤飽和蒸気域：蒸気
洗浄３０秒 とした。
浴浸漬３０秒→第３槽：第１溶剤沸騰浴浸漬３０秒→第
４槽：第１溶剤冷浴３０秒→第１溶剤飽和蒸気域：蒸気
洗浄３０秒 とした。
洗浄性判定方法は、住人３Ｍ社製スコッチテープを洗浄
後の鉄片に貼りつけ、テープの上からよくこすった後テ
ープを鉄片からはがし、テープに汚れが付着したか否か
を調べた。結果を第３表に示す。
後の鉄片に貼りつけ、テープの上からよくこすった後テ
ープを鉄片からはがし、テープに汚れが付着したか否か
を調べた。結果を第３表に示す。
第 ３ 表
第１槽液温度を８０℃に保持した場合は良好な洗浄結果
が得られることが明らかである。
が得られることが明らかである。
［実施例３］
第２溶剤としてＤＢＥ （二塩基酸エステル：米国デュ
ポン社製：沸点２０５℃）を用い、実−例２と同様なテ
ストを行った。
ポン社製：沸点２０５℃）を用い、実−例２と同様なテ
ストを行った。
（以下余白）
第 ４ 表
第１槽液温度を８０℃付近に保持した場合は良好な洗か
結果が得られることが明らかである。
結果が得られることが明らかである。
［実施例４］
第１檜における混合溶剤中の第２溶剤の沸点温度と混合
溶剤の設定温度との差を少なくした場合の平衡状態にお
ける第２槽での第２溶剤の濃度変化を求めるため、第１
槽にテトラクロロエチレン（沸点１２１℃）とフロン１
１３との混合溶剤を収容し、后剤組成が平衡に達した際
の第２槽中のテトラクロロエチレンの濃度を求めた。結
果を第５表に示す。
溶剤の設定温度との差を少なくした場合の平衡状態にお
ける第２槽での第２溶剤の濃度変化を求めるため、第１
槽にテトラクロロエチレン（沸点１２１℃）とフロン１
１３との混合溶剤を収容し、后剤組成が平衡に達した際
の第２槽中のテトラクロロエチレンの濃度を求めた。結
果を第５表に示す。
第 ５ 表
第１槽における混合溶剤中の第２溶剤の沸点温度と混合
溶剤の設定温度との差が３０℃以上であれば、第２槽に
おける第２溶剤の濃度は１％以下である。
溶剤の設定温度との差が３０℃以上であれば、第２槽に
おける第２溶剤の濃度は１％以下である。
ハ１発明の効果
既述の如く、本発明においては非毒性、非引火性のクロ
ロフルオロハイドロカーボンでペーパーシールされた状
態で第２溶剤を使用するので、引火性や毒性のある有機
溶剤であっても、大気中への漏洩、拡散を抑制しつつ高
温で使用して高い洗浄効果を達成することができ、運転
中の引火の危険や作業環境における毒性の問題が避けら
れる。
ロフルオロハイドロカーボンでペーパーシールされた状
態で第２溶剤を使用するので、引火性や毒性のある有機
溶剤であっても、大気中への漏洩、拡散を抑制しつつ高
温で使用して高い洗浄効果を達成することができ、運転
中の引火の危険や作業環境における毒性の問題が避けら
れる。
第１図は本発明の基本的態様を説明するための図で、洗
浄Ｓｔｔの容器ｌの下部に２槽が設置されている場合、
第２図は好ましい実施態様を説明するための図で容器１
の下部に４槽が設置されている場合を示す。 ｌ：容器 ２：冷却部 ３１：第１槽 ３２：第２槽 ３３：第３槽 ３４：第４槽 ４：クロロフルオロハイドロカーボン 飽和蒸気域
浄Ｓｔｔの容器ｌの下部に２槽が設置されている場合、
第２図は好ましい実施態様を説明するための図で容器１
の下部に４槽が設置されている場合を示す。 ｌ：容器 ２：冷却部 ３１：第１槽 ３２：第２槽 ３３：第３槽 ３４：第４槽 ４：クロロフルオロハイドロカーボン 飽和蒸気域
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフルオロハイドロ
カーボンの飽和蒸気域中に複数の槽を設置し、 ａ）複数の槽の中の少なくとも一つに前記クロロフルオ
ロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前記
クロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い沸
点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカー
ボンとの混合溶剤を収容し、前記クロロフルオロハイド
ロカーボンの沸点より高く前記有機溶剤の沸点より３０
℃以上低い範囲の任意の温度に保持して混合溶剤中のク
ロロフルオロハイドロカーボンの蒸発と飽和蒸気域のク
ロロフルオロハイドロカーボンの吸収により混合溶剤中
の有機溶剤とクロロフルオロハイドロカーボンとの混合
比を平衡に保ち、 ｂ）複数の槽の中の少なくとも一つに実質的に前記クロ
ロフルオロハイドロカーボンよりなる液を収容し加熱し
沸騰状態に保持してクロロフルオロハイドロカーボンの
飽和蒸気域を維持し、 ｃ）被洗浄物をまず前記混合溶剤中に浸漬し、ｄ）つい
で被洗浄物を沸騰状態に保持された前記クロロフルオロ
ハイドロカーボン液中に浸漬することを特徴とする洗浄
方法。 ２ クロロフルオロハイドロカーボンの飽和蒸気域中に
３つ以上の槽を設置し、その中の少なくとも一つに沸点
以下の温度に保持された実質的にクロロフルオロハイド
ロカーボンよりなる液を収容し、被洗浄物をまず混合溶
剤中に、ついで沸騰状態に保持されたクロロフルオロハ
イドロカーボン液中に浸漬したのち、さらに沸点以下の
温度に保持されたクロロフルオロハイドロカーボン液中
に浸漬することよりなる特許請求の範囲第１項記載の洗
浄方法。 ３ 頂部が解放され、上部に冷却部を有し、下部に複数
の槽が設置された一つの容器よりなり、複数の槽の中の
少なくとも一つは沸点２０〜５０℃の範囲のクロロフル
オロハイドロカーボンと相溶性を有し且つ非共沸性で前
記クロロフルオロハイドロカーボンより５０℃以上高い
沸点を有する有機溶剤と前記クロロフルオロハイドロカ
ーボンとの混合溶剤を収容した時にその混合溶剤を前記
クロロフルオロハイドロカーボンの沸点より高く前記有
機溶剤の沸点より３０℃以上低い範囲の任意の温度に保
持し得る加熱器と攪拌機とを備え、複数の槽の中の少な
くとも一つは実質的に前記クロロフルオロハイドロカー
ボンよりなる液を収容した時にそれを沸騰状態に保持し
得る加熱器を備えていることを特徴とする洗浄装置。 ４ 混合溶剤を収容する槽と、実質的にクロロフルオロ
ハイドロカーボンよりなる液を収容する槽との間に、冷
却部の高さに到達しない範囲で高い仕切壁が設けられ、
混合溶剤及び混合溶剤から発生する有機溶剤蒸気がクロ
ロフルオロハイドロカーボン槽に実質的にオーバーフロ
ーしないように構成されている特許請求の範囲第３項記
載の洗浄装置。 ５ 下部に３つ以上の槽が設置されており、その中の少
なくとも一つは沸点以下の温度に保持された実質的に該
クロロフルオロハイドロカーボンよりなる液を収容する
槽である特許請求の範囲第３項又は第４項記載の洗浄装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62061360A JPS63229185A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
| US07/168,886 US5104454A (en) | 1987-03-18 | 1988-03-15 | Cleaning method and an apparatus thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62061360A JPS63229185A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229185A true JPS63229185A (ja) | 1988-09-26 |
| JPH0355189B2 JPH0355189B2 (ja) | 1991-08-22 |
Family
ID=13168914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62061360A Granted JPS63229185A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5104454A (ja) |
| JP (1) | JPS63229185A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02191581A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-07-27 | Isc Chem Ltd | 部品を洗浄し乾燥する方法および装置 |
| JPH02241582A (ja) * | 1989-02-01 | 1990-09-26 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 可燃性洗浄溶剤による物体洗浄法 |
| JPH03106485A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-07 | Oogawara Kakoki Kk | 超音波洗浄乾燥方法およびその装置 |
| EP0588978A4 (en) * | 1991-06-14 | 1994-03-17 | Petroferm Inc | COMPOSITION AND METHOD FOR ELIMINATING RESIN WELDING FLOW USING TERPENE AND HYDROCARBONS. |
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