JPS63238203A - 小板状物を含有するタンタル粉末 - Google Patents

小板状物を含有するタンタル粉末

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JPS63238203A
JPS63238203A JP63038763A JP3876388A JPS63238203A JP S63238203 A JPS63238203 A JP S63238203A JP 63038763 A JP63038763 A JP 63038763A JP 3876388 A JP3876388 A JP 3876388A JP S63238203 A JPS63238203 A JP S63238203A
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JP
Japan
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powder
platelet
tantalum powder
fsss
surface area
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JP63038763A
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English (en)
Inventor
エドワード カール シール
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Fansteel Inc
Original Assignee
Fansteel Inc
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004Details
    • H01G9/04Electrodes or formation of dielectric layers thereon
    • H01G9/048Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by their structure
    • H01G9/052Sintered electrodes
    • H01G9/0525Powder therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電解コンデンサー用の陽極に加工するのに適し
ているタンタル粉末に向けられる。
電解コンデンサーに陽極を作るためにタンタル粉末を用
いることは一般的に周知である。そのような陽極即ち電
極は、タンタル粉末を加圧成形して凝集賦形物にし、そ
の加圧成形体を焼結し、次いでその焼結した製造物上に
連続した誘電体酸化物被膜を形成させることによって製
造される。流動性及び生強度は、タンタル粉末について
の、経済的な陽極製造にとって重要な物理特性である。
同様に、化学純度及び粉末表面積は、得られる陽極の電
気特性について考慮すべき重要な事項である。残念なが
ら、粉末特性の1種以上を改良するために用いられてい
るか、又は理想に満たない粉末特性を陽極製造中に調整
するために用いられている諸工程は一般的には粉末及び
/又は陽極のその他の特性に悪影響を及ぼす。
電解コンデンサー用タンタル粉末において改良された比
電荷又は容量(CV#又はμF −V# )を達成する
ことに向けられた1つのアプローチは粒子形状又は形R
構造を修正することである。米国特許第3,647.4
15号には電解コンデンサー用のタンタル粉末が開示さ
れており、その場合にそのタンタル粉末は2〜60の平
均薄片化度をもち、その粉末の少なくとも80重量%が
3〜250μmの短径をもつ粒子からなり、且つ約50
0μmを越える短径をもつ粒子を含まない。
米国特許第4,441,927号にはインゴットから誘
導された、BET表面積約0.20〜0.40m2/y
の薄片化タンタル粉末約20〜40重量%と混合した粒
径10μm未満の粒状タンタル粉末を含む電解コンデン
サー用のタンタル粉末組成物が開示されている。改良さ
れた表面積、満足な生強度、焼結中の表面積損失抵抗性
、及び結果として得られる改良された電気特性が主張さ
れている。その薄片化粉末は、電子ビームで溶融された
インゴットから誘導された粒径範囲10〜44μmのタ
ンタル粒子を粉砕することによって造られる。米国特許
第4,555,268号には取り扱い特性を改良するた
めに粒状粉末との混合の前にその薄片化粉末を予備凝集
させることが示唆されている。
本発明の重要な第一の局面に従えば、インゴットから誘
導される非凝集のく又は予備凝集した)タンタル粉末組
成物は、2μm未満、好ましくは約0.6〜1.1μm
の範囲の平均フィッシャー・サブ・シープ粒径(Fis
her 5ub−sieve 5ize)(FSSS)
、約1.83#/cJIコ(301? /in3)以下
のスコツト密度(5cott density) 、及
び少なくとも0.7m2/aのBET表面績をもつ小板
状タンタル粉末を含む9本発明の一実施心様においては
、そのような粉末を凝集させそして粉砕して、約1.0
〜3.0μmの粒径、少なくとも約0.43 m’/g
のBET表面積、及び1.10〜1 、6587cm”
 (18〜27 g/:n3)の範囲のスコツト密度を
もつタンタル粉末製品を形成させる。
本発明のその他の実施態様においては、非凝集の小板状
粉末を、好ましくは四面体形R構造の粒状タンタル粉末
と混合する。その小板状粉末及び粒状粉末を別々に又は
混合して凝集させる。その結果として得られる小板状/
粒状組成物は少なくとも25重量%の小板状粉末を含み
且つ少なくとも0.4m2/gのBET表面積をもつ。
その組成物は全体として少なくと、も約1.53.9/
cir’(約25177in3)のスコツト密度、少な
くとも約0.7の空隙率、少なくとも約2.4μmの複
合FSSS、及び約2000ppm以下の酸素含有率を
もつ。
本発明は、本発明の追加の目的、特色及び利益と共に、
以下の説明、特許請求の範囲の記載及び添トtの図面か
ら最良に理解されるであろう。添付の図面において、第
1〜3図は本発明の好ましい3種の各々の実施態様に従
った小板状物含有タンタル粉末の製造を例示している作
業系統図である。
第1図を参照するに、まず最初に先駆物質を、好ましく
は、電子ビームで溶融されたインゴットから誘導された
、高温で水素ガスに暴露することによって脆化されてし
まっている粉末を分級することによって得る(10)、
好ましくはその粒状先駆物質を、出発インゴットを典型
的な3サイクルの電子ビーム精製で三重溶融(trip
le−+*elting)し、水素化し、そしてその生
成インゴットを粒状粉末の先駆物質に粉砕することによ
って得られた約1.75μmのFSSSに分級する0次
いで、吸収されている水素を除去するためにその粒状先
駆物質をガス抜きする(12)、14時間のような長時
間のボールミル粉砕操作で小板状粉末を製造する(14
)、最も好ましくは、この粉砕操作は、溶剤中の、好ま
しくは1.1.1−トリクロロエタン中の、ガス抜きさ
れた先駆物質粉末からなるスラリーで実施される。この
特定の溶剤は増強された結果をもたらすと考えられる。
そのスラリーを本質的に純粋なタンタル製の容器中に入
れ、本質的に純粋なタンタル製ボールを用いてその他の
点では慣用のボールミル粉砕機中で粉砕する。
タンタル製のボール及び容器を使用すると、結果として
得られる製品の純度を増強すると考えられる。その結果
として得られる約0.86μmの典型的な粒径(FSS
S)をもつ小板状粉末を酸洗浄しくHF及びHN Ox
 > 、乾燥しく16)−そして篩分けする(18)。
次いでその小板状粉末を100ppmの元素燐となるま
で燐酸塩でドーピングしく20)、1325℃で約1時
間凝集させる(22)、その生成ケークを一35メツシ
ュ(A37M標準)に粉砕しく24)、1100ppの
燐を含有するまで追加の燐酸塩でドーピングしく26)
、そして1325℃で約1時間再凝集させる(28)、
約2,0〜3.0μmのFSSSをもつその生成ケーク
を再度−35メツシユに粉砕する(30)、その生成小
板状粉末は約4000〜6000ppmの範囲の元素酸
素含有率をもち、このことはコンデンサーの製造には不
満足である。マグネシウムでの還元及び酸洗浄の操作(
32)は酸素含有率を2000ppm未満に減少させ且
つ電気特性を増強する。
次いでその生成小板状粉末を篩分けし、試験して(34
)、後記の諸表に記載の結果を得た。
第2図及び第3図は、本発明の部分修正した実施態様に
従った、小板状粉末と粒状粉末との混合組成物の製造を
例示している。各々のプロセスにおいて、上記した諸段
階に全く一致する諸段階は相応的に全く同じ参照番号に
よって示されており、また同様であるがしかし部分修正
されている段階は添え字“a”又は“b”の付いた同じ
参照番号によって示されている。
第2図において、四面体形態構造をもつ粒状先駆物質粒
子を3.1μmの典型的FSSSに分級しく10a)、
次いで前記したようにしてガス抜きし、ボールミル粉砕
して小板状物を造り、洗浄し、そして篩分けする。第二
のインゴットから誘導された、約3.1〜4.0μmの
粒径範囲の先駆物質を分級しく40)、ガス抜きしく1
2)、1375℃で約1時間″aIAさせ(22)、次
いで粉砕し、そして−200メツシユに篩分けする(4
2)0次いで、篩分は段階(18)から生じる小板状粉
末と粉砕/篩分は段階(42)から生じる粒状粉末とを
1:1の重量比で配合する。その配き物即ち混合物を1
00pp+*の元素燐となるまで燐酸塩でドーピングし
く26>、再凝集させ(28a)、粉砕し且つ篩分けし
く30)、マグネシウムで還元しく32)、酸洗浄し且
つ乾燥しく32)、そして試験する(34)。
第3図は、第2図の小板状粉末生成物に燐酸塩を添加し
く20)、1500℃で約1時間の単一凝集段階を行い
(22a> 、次いでマグネシウムで還元した(32)
ものを35重1%までの比で、2回凝集させ且つ燐酸塩
でドーピングした四面体形態構造の粒状粉末と混合する
プロセスを例示している。後者の粉末は、分級した粒状
粉末をHF+H2O2で洗浄しく50) 、その生成粉
末を乾燥しく52)且つ一200メツシュに篩分けしく
54)、100pp+sまでの元素燐を含有するまで燐
酸塩でドーピングしく20)、ガス抜きして水素を除去
しく12)−次いで2工程で凝集させ(22,28)、
それに続いて関連して粉砕し且つ一35メツシュに篩分
けする(24.30)ことによって得られる。典型的に
は25重量%の小板状粉末及び75重量%の粒状粉末を
含有する配合物(44a>を造って試験(46)の用意
をする。
第1〜3図における小板状物製造段階で製造された小板
状粉末は、酸洗浄及び乾燥の後であるがしかし凝集の前
には、第1表に挙げた物理特性をもっていた0期待され
るように、第2図及び第3図の段階(14)で製造され
た各々の小板状粉末は本質的に同一であったが、第1図
の小板状粉末は、より小さい先駆物質粒径の選択(第1
図において典型的な1.75μm対第2〜3図において
典型的な3.1μm)に起因して生じるより低いスコツ
ト密度及びより大きなりET表面積(通常の多点法によ
って測定)をもっていた、2段階の凝集、マグネシウム
での還元、及びすぐあとの工程の後では、第1図の小板
状粉末生成物は2.0〜3.0μm平均FSSS、0.
835の平均空隙iA、  1.10 〜1.65  
FI /cmコ(18〜 2 7  FI /in3)
の範囲のスコツト密度、及び0.43m2/gの典型的
なりET表面積をもっていた。配合(44a)の前に小
板状粉末を凝集(22a )及び粉砕(2/1 )に会
わせる第3図のプロセスにおいては、篩分は段FJ(3
4a)から生じる小板状粉末は2.0j1mの平均FS
SS、0.930の平均空隙率、0.82117cmコ
(13,5g /1n3)の平均スコツト密度、及び0
.44m2/J?の平均BET表面積をしっていた。
第1〜3図の最終粉末生成物の物理試験及び化学分析は
第2表に示した結果をもたらした。第1〜3図に従って
製造した最終粉末生成物の典型的な電気特性は第3〜5
表にそれぞれ記載しである。
第  1  表 ゛したままのハ   末の物理特性 1Ll tt+えl 匙11 O,60,60,6 FSSS      S     S     Sμm
       O,91,11,10,82フ    
 0.827     0.827空隙率      
S     S     SO,7840,7700,
770 0,840,640,64 スコツト密度 (10,55>  (10,55>  
(10,55>g /cm’      へ    \
    3(+?  /inコ)          
1.33      1.53      1.53(
21,8)   (25)    (25)1.44 
   1.44    1.448ET表面積   −
\    へ m ”/ El      1.077  0.76 
  0.784!−2jえ 第1図  第2図  第3図 FSSS(μm>  2.5  2.4  4.4空隙
率     0.845  0.813  0.765
スコツト密度 、97cm31.56   1.59   2.38(
,9/inり)          (25,52> 
   (26,06>    (39,05)流速(秒
)     99   65   55結合剤なしで下
記の密度に圧縮された直径6.6167屑z(0,26
05”)の円筒形ベレットについての ゛ 庁 k 1
b)4.5g/c1   無試験  無試験  3.1
8(7,0) 5.0 g /cz’    無試験  4.85  
 6.35(10,7>   (14,0> 5.5 11 /CI!コ        3.69 
     8.95     10.89(8,13)
  (19,73)  (24)6 、0 g /cw
37.17  15.10  17.69(15,80
)  (33,30)  (39)6.5y/cm3 
     12.11      +22.68   
   +22.68(26,70>  (+50>  
 (+50>7.01?/C肩319.19   無試
験  無試験(42,30> 第 2 表(、き) 第1図 第2図 第3図 圃篤j」し0狙り− O217041451200O N 2       35   44   86C40
75115 金属 Fe    15− 15 15− Ni    15− 15− 15− Cr    15− 15− 15− その他      10−10−10−γ 1 の篩 
番メツシュ   %) +80     21.7  16.0  20.6+
325 −325    55.1  61.0  59.5第
  3  表 焼結温度/時間:1500℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.O3、
5,41zz(0,213”)  、 4.597cm
ツ化成:0.01%H,PO,中、90℃で100V試
@:2分間の帯電の後に10%H3P0.中、25℃で
70V 焼結縮み(%)(直径):O,0% 電力容量(C−V/Fl): 20,738漏洩電流(
μA/μF・v)xlO−’: 25.96電流容量(
μAh):5.06 等価直列抵抗(Ω): 2.16 焼結温度/時間:1550℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度=1.09.
5.41++v(0,213″) 、4.5111cm
3化成:0.01%H,PO,中、90℃rloOV試
験:2分間の帯電の後に10%H3P O4中、25℃
で70V 焼結縮み(%) (直径):2.23%電力容量(C−
V#): 17,775漏洩電流(μA/μF−V)x
 10−’: 15.35電流容量(μA/#): 2
.74 等価直列抵抗(Ω):2.21 焼結温度/時間:1600℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.03.
5.41zz(0,213”) 、4.5JF/c1化
成:0.01%H,PO4中、90℃で100v試験=
2分間の帯電の後に10%H,PO,中、25℃で70
V 焼結縮み(%)(直径)’:4.3% 電力容量(C−v#): 15,213漏洩電流(μA
/μF・V)XIO−’: 15.5電流容量(μA/
l?): 2.35 等価直列抵抗(Ω):2.36 焼結温度/時間:1600℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.Og、
5.41zm(0,213”)、4.5FI/cm’化
成:0.01%H3P O4中、90℃で150v試験
=2分間の帯電の後に10%H,PO,中、25℃で1
05■ 焼結縮み(%) (直径):3.75%電力容量(C−
V/g): 14,313漏洩を流(、uA/u F 
・V)x 10−’ : 24.45電流容1(μA/
#): 3.75等 価直列抵抗(Ω):3.025焼 結温度/時間:1700℃/30分陽 極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度=1.03 、
 5.4 111(0,213″)  、 4.5  
El/cmコ化成:0.01%H,PO,中、90℃で
200■試験:2分間の帯電の後に10%H3P0.中
、25℃で140■ 焼結縮み(%)(直径):9.45% 電力容量(C・V/g):9.694 漏洩電流(μA’/μF・V)xlO−’: 20.9
8電流容量(μA/#): 3.12 等価直列抵抗(Ω): 3.11 焼結温度/時間:1800℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.03.
5.41zx(0,213”)、4.5#/cm’化成
:0.01%83PO,中、90℃で200V試@=2
分間の帯電の後に10%Hs P O<中、25℃で1
40■ 焼結縮み(%)(直径):12.4% 電力容Ji(C−V/y): 7,991漏洩電?jE
(μA/μF−V)XIO−’: 22.23電流容量
(μA#):1.8 等価直列抵抗(Ω):4.2 焼結温度/時間:1900℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.Og、
5.41ira(0,213″) 、4.5 y/cm
コ化成:0.01%H,PO,中、90.’Cで270
V試験:2分間の帯電の後に10%H,PO4中、25
℃で240V 焼結縮み(%) (直径):16.3%電力容量(C・
V#l): 5,132漏洩電流(μA/μF−V)X
 10−’: 54.15電流容員(μA/f9):2
.76 等価直列抵抗(Ω):5.35 焼結温度/時間:1500℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度;1.O8、
5,41,zz(0,213”)  、   5.5 
 g7cmコ化成:0.01%H,PO,中、90℃で
100V試験=2分間の帯電の後に10%Hy P O
4中、25℃で70V 焼結縮み(%)(直径):O,O% 電力容IL(C−V/g): 15.026漏洩電流(
μA/μF−V)XIO−’: 26.5電流容量(μ
A/19):3.95等 価直列抵抗(Ω):3.15 焼結温度/時間:1600℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1、Og、
5.41zi(0,213”) 、4.5#/cx’化
成:0.01%HffPO,中、90℃で100V試験
:2分間の帯電の後に10%H,PO,中、25℃で7
0V 焼結縮み(%) (直径):5.5% 電力容量(C−V/、IF): 12,050漏洩電流
(μA/μF−V)X 10−’: 12.5電流容量
(μA#):1.5 等価直列抵抗(Ω):2.55 焼結温度/時間:1700℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.03 
、 5.4 1 xz  (0,213”)  −6,
0g7cmコ化成: 0.01%H,PO,中、90℃
r200V試験=2分間の帯電の後に10%H,PO,
中、25℃で140V 焼結縮み(%)(直径)ニア、3% 電力容量(C・V/g): 6,991漏洩T4流(μ
A/μF−V)XIO−’: 13.26電流容量(μ
A/、?): 0.91等 価直列抵抗(Ω):5.7 焼結温度/時間:1800℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度=1.03.
5.41mm(0,213”) 、6.0g/cx3化
成:0.01%H,PO,中、90℃で200■試@=
2分間の帯電の後に1・0%H,PO,中、25℃で1
40■ 焼結縮み(%)(直径):12.16%電力容量(C・
V/、9): 5,453漏洩電流(μA/μF・V)
X 10づ:8.85電流容量(μA#)+0.4B 等価直列抵抗(Ω):5.6 焼結温度/時間:1800℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:1.0g 
、  5.4 1iv(0,213”) 、  6.O
II /cmコ化成:0.01%H,P○、中、90℃
で270■試験:2分間の帯電の後に10%H,PO,
中、25℃で240V 焼結縮み(%)(直径):12.5% 電力容量(C−Vl&>: 5,244漏洩電流(μA
/μF・v)xlO−’: 51.26電流容量(μA
/g): 2.68 等等価面抵抗(Ω):6.75 焼結温度/時間:1900℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度;1.0g 
、 5.41zz(0,213”)  、 6.Of/
CIlコ化成:0.01%Hs P O4中、90℃r
270V試験=2分間の帯電の後に10%Hs P O
4中、25℃で240V 焼結縮み(%) (直径):14.75%電力容量(C
−V/、9): 3,901漏洩電流(μA/μF −
V)X 10づ:56.25電流容量(μA#): 2
.19 等価面列抵抗(Ω): 5.2 1−1−民 焼結温度/時間:1800℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:2.08.
6.55zm(0,258”)、7.Of/cx3化成
: 0.0 ]、%H,PO,中、90℃r200V試
験=2分間の帯電の後に10%Hs P OJ中、25
℃で140V 焼結縮み(%)(直径):6.22% 電力容量(C・V/g): 5,040漏洩電流(μA
/μF−V)XIO−’: 11.55電流容it(μ
A/#): 0.58等 等価面抵抗(Ω):2.96 焼結温度/時間:1800℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:3,53.
6.55J11(0,258″) −7−O97cm”
化成:0.01%H,PO,中、90℃で200■試験
=2分間の帯電の後に10%H,PO,中、25℃で1
40V 焼結縮み(%)(直径):6.16% 電力容量(C−V/、9): 4,824漏洩電流(u
A#zF−V)XIO−’: 11.68電流容量(μ
A#): 0.56 等個直列抵抗(Ω)+2.46 焼結温度/時間:1900℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度:2.0g、
6.55zm(0,258″)、7.O#/cm’化成
: 0.01%H,PO,中、90℃で270V試験;
2分間の帯電の後に10%Hs P OA中、25℃で
240■ 焼結縮み(%)(直径):8.5% 電力容量(C・V/1i): 3,982漏洩電流(μ
A/μF・V)X 10づ:49.94電流容量(μA
/、9):1.99 等等価面抵抗(Ω):4.2 焼結温度/時間:1900℃/30分 陽極の重量、大きさく直径)及び圧縮密度=3.53 
、6.5511(0,258”)  、 7.0g/c
mコ化成:0.01%H,PO,中、90℃で270V
試験=2分間の帯電の後に10%Hs P OA中、2
5℃で240■ 焼結縮み(%)(直径):8.35% 電力容量(C・V#): 3,973 漏洩電流(μA/μF−V)XIO−’: 60.16
電流容量(μA/g): 2.41 等価面列抵抗(Ω):2.63 従って、第3図の小板状粉末/粒状粉末混合組成物は、
高い化成電圧でのより低いC・V/1?用途用のコンデ
ンサー陽極の製造に十分に適しており、且つ高重量陽極
に十分に適していることが認識されるであろう、第2図
の粉末は高い化成電圧で達成できるC・V#レベル拡張
する。第1図の総てが小板状の粉末は良好な高電圧特性
を提供し、そしてまた低電圧用途用の高いC−V/9値
を与え、これは高帯電の、ナトリウムで還元された粉末
のものと競合する。
【図面の簡単な説明】
第1〜3図はそれぞれ本発明の好ましい実施態様に従っ
た小板状物含有タンタル粉末の製造を例示して、いる作
業系統図である。 出 願 人  ファンスチール インコーホレイテッド 第1図 第2図 C 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、2μm未満の平均フィッシャー・サブ・シーブ粒径
    (Fisher sub−sieve particl
    e size)(FSSS)、約1.83g/cm^3
    (約30g/in^3)以下のスコット密度及び少なく
    とも約0.7m^2/gのBET表面積をもつ小板状タ
    ンタル粉末を含む、インゴットから誘導された非凝集の
    タンタル粉末組成物。 2、該FSSSが約0.6〜1.1μmの範囲にあり、
    そして該BET表面積が約0.76〜1.44m^2/
    gの範囲にある、請求項1記載の粉末。 3、約2μmのFSSS、約0.82g/cm^3(約
    13.5g/in^3)のスコット密度、及び0.44
    m^2/g程度のBET表面積をもつ小板状タンタル粉
    末を含む、インゴットから誘導された凝集したタンタル
    粉末組成物。 4、該スコット密度が約1.10〜1.65g/cm^
    3(約18〜27g/in^3)の範囲にある、請求項
    3記載の粉末。 5、四面体形態構造の粒状タンタル粉末と少なくとも2
    5重量%の、2.0μm以下のFSSS及び少なくとも
    0.43m^2/gのBET表面積をもつ小板状タンタ
    ル粉末とを含む、インゴットから誘導された凝集したタ
    ンタル粉末組成物であって、少なくとも約1.53g/
    cm^3(約25g/in^3)のスコット密度、少な
    くとも約2.0μmの複合FSSS及び約2000pp
    m以下の酸素含有率をもつ該組成物。 6、(a)インゴットから誘導された先駆物質であるタ
    ンタル粉末を用意する工程、及び (b)該先駆物質粉末を、約2μm未満の平均FSSS
    、約1.83g/cm^3(約30g/in^3)以下
    のスコット密度及び少なくとも約0.7m^2/gのB
    ET表面積をもつ小板状粉末を形成するのに十分な時間
    ボールミル粉砕する工程、 を含むことを特徴とする、小板状タンタル粉末の形成法
    。 7、該工程(b)の前に、該先駆物質を1,1,1−ト
    リクロロエタンを含むスラリー中で粉砕する追加工程を
    含む請求項6記載の方法。 8、該先駆物質粉末が約1.7〜3.1μmのFSSS
    をもつ請求項7記載の方法。
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