JPS63238272A - 超音波測定装置の探触子支持具 - Google Patents
超音波測定装置の探触子支持具Info
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- JPS63238272A JPS63238272A JP7183587A JP7183587A JPS63238272A JP S63238272 A JPS63238272 A JP S63238272A JP 7183587 A JP7183587 A JP 7183587A JP 7183587 A JP7183587 A JP 7183587A JP S63238272 A JPS63238272 A JP S63238272A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はヒートバイグロールに関し、例えば連続式真空
蒸着装置の蒸着部に適用される巻付ロール、真空シール
装置のシールロール、あるいは連続式焼鈍設備のハース
ロール等に適用できるヒートパイプロールに関する。
蒸着装置の蒸着部に適用される巻付ロール、真空シール
装置のシールロール、あるいは連続式焼鈍設備のハース
ロール等に適用できるヒートパイプロールに関する。
銅帯等の基板に連続的に例えば亜鉛等の金属をめっきす
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているか、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているか、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
図中、1は銅帯(蒸着基板]、2は複数のシール宣から
なる真空シール装置、5は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ロール4を加熱す
るヒータである。7は浴槽で内部には溶融金属(亜鉛等
)6が存在し、該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生
させ、矢印2で示すようにダクト(チャンネル)8で鋼
帯1まで導く。鋼帯1に蒸着させるに必要な金属蒸気量
(蒸発量)は、浴槽7内に設置したヒータ9の電力と、
浴槽7出口に設置したシャッタ10を例えばシリンダ等
の開閉装置11で開閉して開口部120面積とを変える
ことによシ制御できるように構成されている。
なる真空シール装置、5は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ロール4を加熱す
るヒータである。7は浴槽で内部には溶融金属(亜鉛等
)6が存在し、該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生
させ、矢印2で示すようにダクト(チャンネル)8で鋼
帯1まで導く。鋼帯1に蒸着させるに必要な金属蒸気量
(蒸発量)は、浴槽7内に設置したヒータ9の電力と、
浴槽7出口に設置したシャッタ10を例えばシリンダ等
の開閉装置11で開閉して開口部120面積とを変える
ことによシ制御できるように構成されている。
上記の浴槽7内の溶融金属6は蒸着室3下部の溶解炉1
3゛から圧力差によりスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
3゛から圧力差によりスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
蒸着室3は、管15及び弁16を介して真空ポンプ17
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素(N、)等の不活性ガスにより保持されてい
る。
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素(N、)等の不活性ガスにより保持されてい
る。
以上の構成において、運転に際しては製造指令(鋼種、
板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等〕に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当りの蒸着量)に
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャッタ10
の開度を調整することにより、銅帯1表面の蒸着量すな
わち蒸着膜厚を目檄値に制御する。
板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等〕に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当りの蒸着量)に
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャッタ10
の開度を調整することにより、銅帯1表面の蒸着量すな
わち蒸着膜厚を目檄値に制御する。
ところで、上記した従来の巻付ロール4では、亜鉛蒸気
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
5を設はロールを約500℃に加熱している。
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
5を設はロールを約500℃に加熱している。
第3図は、この巻付ロール4の横断面を示す図で、ロー
ル4の内部に配置されたヒータ5はロール全長にわたっ
ているのに対して、銅帯10幅は各檻寸法の銅帯を取り
扱うためロールよりもせまく、しかもロール4が約50
0℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつき前適正温
度である200〜250℃であ−る。
ル4の内部に配置されたヒータ5はロール全長にわたっ
ているのに対して、銅帯10幅は各檻寸法の銅帯を取り
扱うためロールよりもせまく、しかもロール4が約50
0℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつき前適正温
度である200〜250℃であ−る。
従って、第3図に示したようにロール4表面のうち中央
部の鋼帯1に接触する部分A部は温度が低く、ロール4
店の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなってし
まう。
部の鋼帯1に接触する部分A部は温度が低く、ロール4
店の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなってし
まう。
しかも、鋼帯1に接触しているA部の内でも接触面圧の
不均等によって温度差があるため、ロール4全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯1の破断ある
いはめつき面への傷の原因となっていた。
不均等によって温度差があるため、ロール4全体に熱変
形が生じ、ロール曲り、振動を生じて鋼帯1の破断ある
いはめつき面への傷の原因となっていた。
本発明は、このような欠点のない巻付ロールとして適用
できるヒートパイプロールを提供するものである。
できるヒートパイプロールを提供するものである。
本発明は、ロールシェル円面にロール軸方向に複数個の
溝を設け、かつ内部に溶融金属を封入してなるヒートパ
イプロールに関するものである。
溝を設け、かつ内部に溶融金属を封入してなるヒートパ
イプロールに関するものである。
本発明に訃いて、ロールシェル内面に設けられる溝の形
状は特に限定しないが、後述するようにヒートパイプの
作動流体である溶融金属をできる限p保持できるよう断
面矩形とすることが望ましい。
状は特に限定しないが、後述するようにヒートパイプの
作動流体である溶融金属をできる限p保持できるよう断
面矩形とすることが望ましい。
また、この溶融金属もヒートパイプ作動流体としての作
用をなすものであれば特に限定しないが、液体カリウム
、液体ナトリウム、液体リチウム等が使用される。
用をなすものであれば特に限定しないが、液体カリウム
、液体ナトリウム、液体リチウム等が使用される。
溶融金属のロール内部への封入量は、余り多過ぎても逆
に余シ少な過ぎてもヒートパイプ作動流体としての作用
を示さないことから、ロール内空間部容積のcL1〜5
01程度が適してお夕、好ましくは1〜10%とすれば
ローラ表面温度金均−にする上で一層効果的である。
に余シ少な過ぎてもヒートパイプ作動流体としての作用
を示さないことから、ロール内空間部容積のcL1〜5
01程度が適してお夕、好ましくは1〜10%とすれば
ローラ表面温度金均−にする上で一層効果的である。
本発明では、ロール内部に封入された浴融金属によるヒ
ートパイプ作用、すなわちロール内部ではロール熾部の
高温部からロール中央の低温部に溶融金属蒸気が流れ、
低温部で凝縮し、熱が輸送される作用によりロール温度
をその軸方向に均一化する。
ートパイプ作用、すなわちロール内部ではロール熾部の
高温部からロール中央の低温部に溶融金属蒸気が流れ、
低温部で凝縮し、熱が輸送される作用によりロール温度
をその軸方向に均一化する。
ただし、ロール全体がヒートパイプとしての作動を容易
に行うためには、ロール内部に封入されたヒートパイプ
作動流体としての溶融金属が、ロール回転数か小さい場
合であっても、常にロールシェル内面を濡らした状態に
しておくことが重要である。
に行うためには、ロール内部に封入されたヒートパイプ
作動流体としての溶融金属が、ロール回転数か小さい場
合であっても、常にロールシェル内面を濡らした状態に
しておくことが重要である。
この状態を実現するために、本発明ではロールシェル円
面にロール軸方向の溝を設けるのである。
面にロール軸方向の溝を設けるのである。
この溝がロールの回転によって溶融金属をかき上げ、ロ
ールの回転数が減少した場合であっても、常にフールシ
ェル内面を濡らす作用を生じる。
ールの回転数が減少した場合であっても、常にフールシ
ェル内面を濡らす作用を生じる。
第1図(Jl)とそのムーA線断面図である第1図(B
)は本発明のヒートパイプロールの例を示す図である。
)は本発明のヒートパイプロールの例を示す図である。
図<おz−’c、4hロールシエル、21iロ一ルシエ
ル4内面に設けられたロール軸方向の溝である。5はロ
ールシェル4を加熱するためのヒータであり、本発明ロ
ールを第2図に示した連続式真空蒸着装置の巻付ロール
として使用する場合は、鋼帯はこのヒータ5に対面して
ロールシェル4に巻付きながら通過することになる。
ル4内面に設けられたロール軸方向の溝である。5はロ
ールシェル4を加熱するためのヒータであり、本発明ロ
ールを第2図に示した連続式真空蒸着装置の巻付ロール
として使用する場合は、鋼帯はこのヒータ5に対面して
ロールシェル4に巻付きながら通過することになる。
溝21を、溝偏5ws、、溝ピッチ10趨、溝深さ1f
iで製作した巻付ロールを便用し、内部にm融金属22
として液体カリウムを内部空間容積の11チから509
6までの範囲で各種の量で封入し、実験したところ、い
ずれの量で封入した場合もローラ表面温度が均一となる
ことを確認した。
iで製作した巻付ロールを便用し、内部にm融金属22
として液体カリウムを内部空間容積の11チから509
6までの範囲で各種の量で封入し、実験したところ、い
ずれの量で封入した場合もローラ表面温度が均一となる
ことを確認した。
本発明によれば、ロールシェル内部に封入されたヒート
パイプ作動流体の作用によって、ロール表面全体がほぼ
均一温度となり、ロールの熱変形が防止され、鋼帯の破
断、めりき面の傷の発生を防止することができる。
パイプ作動流体の作用によって、ロール表面全体がほぼ
均一温度となり、ロールの熱変形が防止され、鋼帯の破
断、めりき面の傷の発生を防止することができる。
第1図(A)、 (B)は、本発明の一実施例としての
巻付ロールの構造図で、第1図(B)は第1図に)のA
−A線断面図、第2図は従来の巻付ロールの適用例を説
明するための連続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従
来の巻付ロールの構造図である。
巻付ロールの構造図で、第1図(B)は第1図に)のA
−A線断面図、第2図は従来の巻付ロールの適用例を説
明するための連続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従
来の巻付ロールの構造図である。
Claims (1)
- ロールシェル内面にロール軸方向に複数個の溝を設け、
かつ内部に溶融金属を封入してなるヒートパイプロール
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7183587A JPS63238272A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 超音波測定装置の探触子支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7183587A JPS63238272A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 超音波測定装置の探触子支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238272A true JPS63238272A (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=13471997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7183587A Pending JPS63238272A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 超音波測定装置の探触子支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63238272A (ja) |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP7183587A patent/JPS63238272A/ja active Pending
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