JPS632393A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS632393A JPS632393A JP14491286A JP14491286A JPS632393A JP S632393 A JPS632393 A JP S632393A JP 14491286 A JP14491286 A JP 14491286A JP 14491286 A JP14491286 A JP 14491286A JP S632393 A JPS632393 A JP S632393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- gas laser
- laser medium
- flow velocity
- discharge electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（発明の技術分野）
本発明はガスレーザ発振装置に係り、特に横流方式の装
置に関する。
置に関する。
（従来の技術）
第３図は横流方式のガスレーザ発振装置の一つであるＴ
ＥＡ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ Ｂｘｉｃムｔｅｄ
Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃｐｒｅｓｓｕｒｅ ） Ｃｏ
、レーザ発振器で概路次のように構成されている。すな
わち、気密容器（１）と、その内部において所定の間隔
をおいて対向配置され主放電電極を構成する陰極（２）
アよぴ陽極（３）と、陰極（２）の近傍に設けられた予
備放電電極（４）と、陽罹（３）の背面側に設けられ、
上記気密容器（１）内に封入されたガスレーザ媒質を気
密容器（１）内で環流させる送風装置（５）と、この送
風装置（５）の送風側に設けられガスレーザ媒質を冷却
する熱交換器（６）と、パルス放電回路を備え上記主放
電電極台よび予備放電電極（４）にそれぞれ所定の電力
を供給する電源部（力とで構成されている。なお、陰極
（２）および陽極（３）はそれぞれ絶縁板（８ａ）、
（８ｂ）に保持されている。ところで、上記送風装置（
５）は第４図に示すように多数の軸流フテン（５ａ）乃
至（５ｆ）を送風方向が気密容器（１）の内壁面に沿う
ようにするとともに、気密容器（１）の軸方向に沿って
均等なピッチで配置しである。
ＥＡ （Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ Ｂｘｉｃムｔｅｄ
Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃｐｒｅｓｓｕｒｅ ） Ｃｏ
、レーザ発振器で概路次のように構成されている。すな
わち、気密容器（１）と、その内部において所定の間隔
をおいて対向配置され主放電電極を構成する陰極（２）
アよぴ陽極（３）と、陰極（２）の近傍に設けられた予
備放電電極（４）と、陽罹（３）の背面側に設けられ、
上記気密容器（１）内に封入されたガスレーザ媒質を気
密容器（１）内で環流させる送風装置（５）と、この送
風装置（５）の送風側に設けられガスレーザ媒質を冷却
する熱交換器（６）と、パルス放電回路を備え上記主放
電電極台よび予備放電電極（４）にそれぞれ所定の電力
を供給する電源部（力とで構成されている。なお、陰極
（２）および陽極（３）はそれぞれ絶縁板（８ａ）、
（８ｂ）に保持されている。ところで、上記送風装置（
５）は第４図に示すように多数の軸流フテン（５ａ）乃
至（５ｆ）を送風方向が気密容器（１）の内壁面に沿う
ようにするとともに、気密容器（１）の軸方向に沿って
均等なピッチで配置しである。
上記の構成では送風装置（５）によって環流するガスレ
ーザ媒質は陰極（２）と陽極（３）間の放電方向および
気密容器（１）の両端に設けられた光共振器（９ａ）。
ーザ媒質は陰極（２）と陽極（３）間の放電方向および
気密容器（１）の両端に設けられた光共振器（９ａ）。
（９ｂ）の共振軸にそれぞれ交差して放電部鵠に流れる
。このガスレーザ媒質は第５図に示すように光共振器（
９ａ）、 （９ｂ）に近い側が他の部分に比べて流れが
遅くなる流速分布になっている。ところで。
。このガスレーザ媒質は第５図に示すように光共振器（
９ａ）、 （９ｂ）に近い側が他の部分に比べて流れが
遅くなる流速分布になっている。ところで。
陰極（２）、陽極（３）のそれぞれの両端部では電界強
度が不均一になりやすいため、−般的にアーク放電が発
生しやすいが、上記のようなガスレーザ媒質の遅い流れ
ではこのアーク放電現象はより発生しやすい状況となり
、レーザ発根に必要とされるグロー放電を安定に維持で
きない問題があった。
度が不均一になりやすいため、−般的にアーク放電が発
生しやすいが、上記のようなガスレーザ媒質の遅い流れ
ではこのアーク放電現象はより発生しやすい状況となり
、レーザ発根に必要とされるグロー放電を安定に維持で
きない問題があった。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように適正な放電が得られない区域に着目し１本
発明はこの区域のガスレーザ媒質の流速分布を改善し、
安定な放電を維持することのできるガスレーザ発振装置
の提供を目的とする。
発明はこの区域のガスレーザ媒質の流速分布を改善し、
安定な放電を維持することのできるガスレーザ発振装置
の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するためシζ、光共振器間で互いに対
向配置された放電電極間に供給されるガスレーザ媒質を
上記放電電極の放電方向に交差゛して流す横流方式のガ
スレーザ発揚装置において。
向配置された放電電極間に供給されるガスレーザ媒質を
上記放電電極の放電方向に交差゛して流す横流方式のガ
スレーザ発揚装置において。
上記放電電極の光共振器側になる両端部でのガスレーザ
媒質の流速を中央部より大にした構成としたものである
。
媒質の流速を中央部より大にした構成としたものである
。
（作用）
放電電極間における放電部でのガスレーザ媒質の流速分
布が平均化し、グロー放電を阻害因子が除去され、安定
な放電が維持できるよってなった。
布が平均化し、グロー放電を阻害因子が除去され、安定
な放電が維持できるよってなった。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基いて説明する゛。
第１図は本発明の一実施例で、！３図に示した従来例と
同様に多数の小型送風機を用いてガスレーザ媒質を環流
する方式であるので、共通する部分に同一符号を付して
説明する。すなわち、送風装置（５）である軸流ファン
（５り乃至（５ｆ）の配置間隔を等間隔とせずに、光共
振器（９ａ）、 （９ｂ）側に近ずくにつれて小にした
構成としたものである。すなわち、中央部における軸流
ファン（５ｃ）と（５ｄ）の間隔を（Ｘ、）、その両側
の間隔である軸流ファン（５Ｃ）と（５ｂ）および（５
ｄ）と（５Ｃ）の間隔を（Ｘりとし、またそれらの両側
の間隔である細流ファン（５ｂ）と（５ａ）および（５
ｅ）と（５ｆ）の間隔を（Ｘ、）とすると！、 ＞ ｘ
、 ＞ ｘ、という関係になっている。
同様に多数の小型送風機を用いてガスレーザ媒質を環流
する方式であるので、共通する部分に同一符号を付して
説明する。すなわち、送風装置（５）である軸流ファン
（５り乃至（５ｆ）の配置間隔を等間隔とせずに、光共
振器（９ａ）、 （９ｂ）側に近ずくにつれて小にした
構成としたものである。すなわち、中央部における軸流
ファン（５ｃ）と（５ｄ）の間隔を（Ｘ、）、その両側
の間隔である軸流ファン（５Ｃ）と（５ｂ）および（５
ｄ）と（５Ｃ）の間隔を（Ｘりとし、またそれらの両側
の間隔である細流ファン（５ｂ）と（５ａ）および（５
ｅ）と（５ｆ）の間隔を（Ｘ、）とすると！、 ＞ ｘ
、 ＞ ｘ、という関係になっている。
以上の構成において、第２図に示すように両端側のガス
レーザ媒質の流速が増し、放電部の共振軸方向における
流量均等化されるようになった。
レーザ媒質の流速が増し、放電部の共振軸方向における
流量均等化されるようになった。
なお、上記実施例では軸流ファンの設電位置を中央部で
粗にし両端部で密にすることによりガスレーザ媒質の流
量分布を調節するようにしたが。
粗にし両端部で密にすることによりガスレーザ媒質の流
量分布を調節するようにしたが。
これに限定されることなく１例えば設置間隔を均等ｉｃ
Ｉ、、各ファンの風速を変化させるようにしたり、ある
いはシロッコファンのような横流式のものを単体で設置
しその前面に可動式の多数のフィンを設けて中央部およ
び両端部への風量を調節するようにしてもよい。
Ｉ、、各ファンの風速を変化させるようにしたり、ある
いはシロッコファンのような横流式のものを単体で設置
しその前面に可動式の多数のフィンを設けて中央部およ
び両端部への風量を調節するようにしてもよい。
共振軸方向における電極の両端部へのガスレーザ媒質の
流速が増したこ゛とにより１両端部での流量不足が解消
され、アーク放電が著しく減少しグロー放電が安定して
得られるようになった。したがって、安定したレーザ出
力が得られるとともに、アーク放電の減少によって主放
電電極やその近傍に設けられる予備放電電極の劣化が少
なくなり、装置の高寿命化を達成することができた。
流速が増したこ゛とにより１両端部での流量不足が解消
され、アーク放電が著しく減少しグロー放電が安定して
得られるようになった。したがって、安定したレーザ出
力が得られるとともに、アーク放電の減少によって主放
電電極やその近傍に設けられる予備放電電極の劣化が少
なくなり、装置の高寿命化を達成することができた。
第１図は本発゛明の一実施例を示す要部構成図。
第２図は上記実施例におけるガスレーザ媒質の流速分布
図、第３図および第４図は従来例を示す横断面図および
縦断両図、第５図は従来例におけるガスレーザ媒質の流
速分布図である。 （１）・・・気密容器 （５）・・・送風装置 （９ａ）、 （９ｂ）・・・光共振器 ａ〔・・・放電部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ５送凰装！ 第１図 第３図 ＩＩ４図
図、第３図および第４図は従来例を示す横断面図および
縦断両図、第５図は従来例におけるガスレーザ媒質の流
速分布図である。 （１）・・・気密容器 （５）・・・送風装置 （９ａ）、 （９ｂ）・・・光共振器 ａ〔・・・放電部 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ５送凰装！ 第１図 第３図 ＩＩ４図
Claims (1)
- 光共振器間で互いに対向して配置された放電電極間にな
る放電部に供給されるガスレーザ媒質を上記放電電極の
放電方向に交差して流す横流式のガスレーザ発振装置に
おいて、上記放電部の光共振器側になる両端部でのガス
レーザ媒質の流速を中央部より大にした構成としたこと
を特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14491286A JPS632393A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14491286A JPS632393A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632393A true JPS632393A (ja) | 1988-01-07 |
Family
ID=15373157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14491286A Pending JPS632393A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS632393A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012152877A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Yoshiharu Hamono Kk | コーナー切断具 |
| WO2016181511A1 (ja) * | 2015-05-12 | 2016-11-17 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器 |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP14491286A patent/JPS632393A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012152877A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Yoshiharu Hamono Kk | コーナー切断具 |
| WO2016181511A1 (ja) * | 2015-05-12 | 2016-11-17 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器 |
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