JPS63240518A - マルチビ−ム合成器 - Google Patents
マルチビ−ム合成器Info
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- JPS63240518A JPS63240518A JP7569887A JP7569887A JPS63240518A JP S63240518 A JPS63240518 A JP S63240518A JP 7569887 A JP7569887 A JP 7569887A JP 7569887 A JP7569887 A JP 7569887A JP S63240518 A JPS63240518 A JP S63240518A
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- prism
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数の光ビームを合成するマルチビーム合成
器に関し、特に、各光ビーム間の位置関係を正確に維持
した状態で複数の光ビームを合成するマルチビーム合成
器に関する。
器に関し、特に、各光ビーム間の位置関係を正確に維持
した状態で複数の光ビームを合成するマルチビーム合成
器に関する。
光学装置においては、複数の光ビームを合成して近接し
た複数本の平行光ビームを得るためにマルチビーム合成
器が必要な場合がある。
た複数本の平行光ビームを得るためにマルチビーム合成
器が必要な場合がある。
例えば、レーザプリンタ等においては、出力の高速化を
目的として、独立に変調された複数の光ビームをマルチ
ビーム合成器により合成し、この合成されたビームを回
転多面鏡で偏向することにより、複数の光ビームで感光
体を走査することが行われている。
目的として、独立に変調された複数の光ビームをマルチ
ビーム合成器により合成し、この合成されたビームを回
転多面鏡で偏向することにより、複数の光ビームで感光
体を走査することが行われている。
このような、マルチビーム合成器の一つとして、特公昭
60−53857号公報に記載のものがある。
60−53857号公報に記載のものがある。
これは、第4図に示されるように、光源である半導体レ
ーザ1aからの光ビームをコリメートレンズ2aを介し
て偏光ビームスプリッタ4の一方の面に入射させ、他の
半導体レーザ1bからの光ビームをコリメートレンズ2
b及び各波長板3を介して偏光ビームスプリッタ4の他
方の面に入射させて、合成された出射ビーム12を得て
いる。このとき、半導体レーザla、 lbからの各光
ビームを偏光ビームスプリッタ4に互いに直交する方向
から入射させるために、半導体レーザla、 lbその
ものの位置を互いに直交するように配置している。
ーザ1aからの光ビームをコリメートレンズ2aを介し
て偏光ビームスプリッタ4の一方の面に入射させ、他の
半導体レーザ1bからの光ビームをコリメートレンズ2
b及び各波長板3を介して偏光ビームスプリッタ4の他
方の面に入射させて、合成された出射ビーム12を得て
いる。このとき、半導体レーザla、 lbからの各光
ビームを偏光ビームスプリッタ4に互いに直交する方向
から入射させるために、半導体レーザla、 lbその
ものの位置を互いに直交するように配置している。
また、第4図に示される装置の小型化を目的として、第
5図に示されるように、半導体レーザla。
5図に示されるように、半導体レーザla。
1bを同じ向きに配置し、これらを一体化した構成とし
た装置が特願昭61−98728号として本出願人より
出願されている。この場合、半導体レーザla。
た装置が特願昭61−98728号として本出願人より
出願されている。この場合、半導体レーザla。
1bからの各光ビームの位置関係は固定されるが、偏光
ビームスプリッタ4に対し直交する方向から光ビームを
入射させるために、光路を直角に曲げるミラー5が必要
となる。
ビームスプリッタ4に対し直交する方向から光ビームを
入射させるために、光路を直角に曲げるミラー5が必要
となる。
第4図及び第5図に示される従来例によれば、複数のビ
ームを合成することができるが、以下に述べる理由によ
り、各ビーム間の位置関係、すなわち、アライメントの
調整及び維持が困難であった。
ームを合成することができるが、以下に述べる理由によ
り、各ビーム間の位置関係、すなわち、アライメントの
調整及び維持が困難であった。
すなわち、特公昭60−53857号公報に記載の従来
技術では、光源である半導体レーザla、 lbが独立
しているため、相互の位置ズレにより、また特願昭61
−98728号で提案された技術では、追加されたミラ
ー5の位置ズレ、角度ズレにより、結像面上の複数の光
ビームのアライメントに狂いが生じるという欠点があっ
た。また、2波長板3.偏光ビームスプリッタ4.ミラ
ー5等を個々に調整していたため調整に手間がかかると
いう問題があった。
技術では、光源である半導体レーザla、 lbが独立
しているため、相互の位置ズレにより、また特願昭61
−98728号で提案された技術では、追加されたミラ
ー5の位置ズレ、角度ズレにより、結像面上の複数の光
ビームのアライメントに狂いが生じるという欠点があっ
た。また、2波長板3.偏光ビームスプリッタ4.ミラ
ー5等を個々に調整していたため調整に手間がかかると
いう問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するために案出されたもの
であって、光ビームの合成に不可欠な反射部、偏光ビー
ムスブリック及び%波長板を一体に構成することにより
、各光学要素間の位置ズレの影響が生じに<<シ、結像
面上の光ビームアライメントを常に正しく保つことを目
的とする。
であって、光ビームの合成に不可欠な反射部、偏光ビー
ムスブリック及び%波長板を一体に構成することにより
、各光学要素間の位置ズレの影響が生じに<<シ、結像
面上の光ビームアライメントを常に正しく保つことを目
的とする。
本発明のマルチビーム合成器は、前記目的を達成するた
め、光源からの平行な複数の光ビームの光軸に対して傾
斜している一対の傾斜面を有する平行四辺形プリズムの
前記光源に向いている側の傾斜面に直角プリズムを固着
すると共に、前記四辺形プリズムと直角プリズムとの固
着面に偏光ビームスプリフタを形成し、更に前記平行四
辺形プリズム又は前記直角プリズムの前記光源側の面に
各波長板を固着したことを特徴とする。
め、光源からの平行な複数の光ビームの光軸に対して傾
斜している一対の傾斜面を有する平行四辺形プリズムの
前記光源に向いている側の傾斜面に直角プリズムを固着
すると共に、前記四辺形プリズムと直角プリズムとの固
着面に偏光ビームスプリフタを形成し、更に前記平行四
辺形プリズム又は前記直角プリズムの前記光源側の面に
各波長板を固着したことを特徴とする。
本発明においては、光源部本体からの一方の光ビームは
平行四辺形プリズムの光源とは反対側に向いている傾斜
面で反射し他方の傾斜面に入射する。また、光源部本体
からの他方の光ビームは直角プリズムを通過して他方の
傾斜面に入射する。
平行四辺形プリズムの光源とは反対側に向いている傾斜
面で反射し他方の傾斜面に入射する。また、光源部本体
からの他方の光ビームは直角プリズムを通過して他方の
傾斜面に入射する。
一方及び他方の光ビームの偏光特性は各波長板により互
いに異なっており、また、平行四辺形プリズムと直角プ
リズムの固着面には偏光ビームスプリッタが形成されて
いるので、一方及び他方の光ビームはこの偏光ビームス
プリッタで合成される。
いに異なっており、また、平行四辺形プリズムと直角プ
リズムの固着面には偏光ビームスプリッタが形成されて
いるので、一方及び他方の光ビームはこの偏光ビームス
プリッタで合成される。
このとき、マルチビーム合成器が光源部本体に対して平
行に移動したとしても、前記平行四辺形プリズムの各傾
斜面の間隔は一定であるので各光ビームの光路自体は移
動しない。したがって、マルチビーム合成器から出射さ
れる各光ビームの位置関係は常に一定に保たれる。
行に移動したとしても、前記平行四辺形プリズムの各傾
斜面の間隔は一定であるので各光ビームの光路自体は移
動しない。したがって、マルチビーム合成器から出射さ
れる各光ビームの位置関係は常に一定に保たれる。
以下、図面を参照しながら実施例に基づいて本発明の特
徴を具体的に説明する。
徴を具体的に説明する。
第1図は本発明実施例のマルチビーム合成器の概略図を
示す。
示す。
図において、la、 lbは半導体レーザを示し、同半
導体レーザla、 lbから出射した光線5a、 6b
は、各々コリメートレンズ2a、 2bにより平行光束
7a。
導体レーザla、 lbから出射した光線5a、 6b
は、各々コリメートレンズ2a、 2bにより平行光束
7a。
7bとなる。半導体レーザla、 lb及びコリメート
レンズ2a、 2bは、そのアライメント調整後に光源
部本体8に一体に固定される。したがって、光源部本体
8からの平行光束7a、 7bの位置関係は固定されて
いる。
レンズ2a、 2bは、そのアライメント調整後に光源
部本体8に一体に固定される。したがって、光源部本体
8からの平行光束7a、 7bの位置関係は固定されて
いる。
光源部本体8からの平行光束7a、 7bはマルチビー
ム合成器10に入射する。このマルチビーム合成器lO
は、平行四辺形プリズムであるラムボイドプリズム9.
直角プリズム11及び%波長板3を一体に固着すること
により構成され、ラムボイドプリズム9及び直角プリズ
ム11の固着面が偏光ビームスプリフタ部へを形成して
いるものである。
ム合成器10に入射する。このマルチビーム合成器lO
は、平行四辺形プリズムであるラムボイドプリズム9.
直角プリズム11及び%波長板3を一体に固着すること
により構成され、ラムボイドプリズム9及び直角プリズ
ム11の固着面が偏光ビームスプリフタ部へを形成して
いるものである。
すなわち、平行光束7a、 7bに対してラムボイドプ
リズム9の対向する二つの傾斜面9a、 9bが45゜
の角度を持ち、且つ、平行光束7a、 7bに対して、
対向する他の二つの面9c、 9dが直交するようにラ
ムボイドプリズム9を装置する。そして、傾斜面9bに
対して直角プリズム11の傾斜面が固着され、更にこの
直角プリズム11の光源部本体8側の面に2波長板3が
固着されている。この固着手段としえは、バルサム、紫
外線硬化性樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエ
ステル樹脂等を使用することができる。
リズム9の対向する二つの傾斜面9a、 9bが45゜
の角度を持ち、且つ、平行光束7a、 7bに対して、
対向する他の二つの面9c、 9dが直交するようにラ
ムボイドプリズム9を装置する。そして、傾斜面9bに
対して直角プリズム11の傾斜面が固着され、更にこの
直角プリズム11の光源部本体8側の面に2波長板3が
固着されている。この固着手段としえは、バルサム、紫
外線硬化性樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエ
ステル樹脂等を使用することができる。
このラムボイドプリズム9及び直角プリズム11の固着
部においては、ラムボイドプリズム9或いは直角プリズ
ム11の面には干渉膜が形成され偏光ビームスブリフタ
部Aが形成される。例えば、重フリントガラスから構成
されるラムボイドプリズム9又は直角プリズム11の面
に、真空蒸着、スパッタリング等によりM g F 2
膜及びZrO□膜を多層膜コーティングすることにより
干渉膜が形成される。
部においては、ラムボイドプリズム9或いは直角プリズ
ム11の面には干渉膜が形成され偏光ビームスブリフタ
部Aが形成される。例えば、重フリントガラスから構成
されるラムボイドプリズム9又は直角プリズム11の面
に、真空蒸着、スパッタリング等によりM g F 2
膜及びZrO□膜を多層膜コーティングすることにより
干渉膜が形成される。
なおこのとき、Mgl’2膜は低屈折率膜として、また
、ZrO2膜は高屈折率膜として作用する。
、ZrO2膜は高屈折率膜として作用する。
光源皿本体8からの平行光束7aはラムボイドプリズム
9の傾斜面9aにて反射され傾斜面9bに入射するが、
本実施例では、平行光束7a、 7bの偏光は、傾斜面
9bに形成される偏光ビームスプリッタ部Aに対しS波
となっているため、傾斜面9bで反射され出射ビーム1
2の光路をとる。一方、平行光束7bは、各波長板3に
よりP波に変換されるため偏光ビームスブリフタ部Aと
して作用する傾斜面9bを透過し、同じく出射ビーム1
2の光路をとるので、両方の光ビームが合成される。
9の傾斜面9aにて反射され傾斜面9bに入射するが、
本実施例では、平行光束7a、 7bの偏光は、傾斜面
9bに形成される偏光ビームスプリッタ部Aに対しS波
となっているため、傾斜面9bで反射され出射ビーム1
2の光路をとる。一方、平行光束7bは、各波長板3に
よりP波に変換されるため偏光ビームスブリフタ部Aと
して作用する傾斜面9bを透過し、同じく出射ビーム1
2の光路をとるので、両方の光ビームが合成される。
このとき、両方の光ビームの偏光を2波長板3により、
互いに異ならせているので、両方の光ビームのパターン
を一致させた状態で合成することができる。すなわち、
半導体レーザla、 lbからの光線[ia、 5bは
偏光されているので、半導体レーザla、 lbの一方
を光軸を中心として90°回転させれば、2波長板3を
使用することなく偏光ビームスプリッタ部Aで光ビーム
を合成することができるが、半導体レーザla、 lb
の発光パターンは一般に楕円であるで、このような合成
を行った場合、両方の光ビームのパターンが一致せず、
解像度低下等の不都合を招く。
互いに異ならせているので、両方の光ビームのパターン
を一致させた状態で合成することができる。すなわち、
半導体レーザla、 lbからの光線[ia、 5bは
偏光されているので、半導体レーザla、 lbの一方
を光軸を中心として90°回転させれば、2波長板3を
使用することなく偏光ビームスプリッタ部Aで光ビーム
を合成することができるが、半導体レーザla、 lb
の発光パターンは一般に楕円であるで、このような合成
を行った場合、両方の光ビームのパターンが一致せず、
解像度低下等の不都合を招く。
この合成された光ビームは、回転多面鏡スキャナ13に
照射され、ここで偏向をうけ、fθレンズ14により像
面15上に結像、走査される。このとき、半導体レーザ
la、 lbは、回転多面鏡スキャナ13の軸方向に僅
かにその位置をずらしているので、像面15は複数の光
ビームで同時に走査されることになる。
照射され、ここで偏向をうけ、fθレンズ14により像
面15上に結像、走査される。このとき、半導体レーザ
la、 lbは、回転多面鏡スキャナ13の軸方向に僅
かにその位置をずらしているので、像面15は複数の光
ビームで同時に走査されることになる。
次に、光源皿本体8に対してマルチビーム合成器10の
位置が移動したときの光路について説明する。
位置が移動したときの光路について説明する。
いま、マルチビーム合成器10が第1図の紙面内で光源
皿本体8に対し左右方向に位置ズレをtじた場合、平行
光束7bの光路は直進のまま不変である。一方、平行光
束7aの光路は、ラムボイドプリズム9の傾斜面9aと
、偏光ビームスブリフタ部Aを構成している傾斜面9b
の移動量が常に等しく且つ平行であるため、マルチビー
ム合成器10の位置ズレ量に拘わらず出射ビーム12と
同一の光路となり、マルチビーム合成器10が移動した
場合でもその光路は変化しない。
皿本体8に対し左右方向に位置ズレをtじた場合、平行
光束7bの光路は直進のまま不変である。一方、平行光
束7aの光路は、ラムボイドプリズム9の傾斜面9aと
、偏光ビームスブリフタ部Aを構成している傾斜面9b
の移動量が常に等しく且つ平行であるため、マルチビー
ム合成器10の位置ズレ量に拘わらず出射ビーム12と
同一の光路となり、マルチビーム合成器10が移動した
場合でもその光路は変化しない。
また、マルチビーム合成器1oが第1図の紙面内で、光
源皿本体8に対し上下方向に位置ズレを生じた場合も、
上記と同様に出射ビーム12の光路は不変である。
源皿本体8に対し上下方向に位置ズレを生じた場合も、
上記と同様に出射ビーム12の光路は不変である。
更に、マルチビーム合成器1oが光源皿本体8に対し、
第1図の紙面に対し垂直方向に位置ズレした場合にも出
射ビーム12の光路が不変なのは明らかである。
第1図の紙面に対し垂直方向に位置ズレした場合にも出
射ビーム12の光路が不変なのは明らかである。
以上の説明から明らかなように、マルチビーム走査光学
系の中で、マルチビーム合成器1oにおいて位置ズレが
発生しても、合成されたマルチビームの光学系内の絶対
位置及び光ビーム同士の相対位置に変化は生じない。し
たがって、常に正しい光ビームアライメントが結像面上
において得られることになる。
系の中で、マルチビーム合成器1oにおいて位置ズレが
発生しても、合成されたマルチビームの光学系内の絶対
位置及び光ビーム同士の相対位置に変化は生じない。し
たがって、常に正しい光ビームアライメントが結像面上
において得られることになる。
第2図はマルチビーム合成器1oの変形例であり、発光
源である半導体レーザla、 lbの偏光が偏光ビーム
スプリフタ部へに対しP波の場合には、図に示されるよ
うに各波長板3の位置を変え、平行光束7a側に設けれ
ばよい。
源である半導体レーザla、 lbの偏光が偏光ビーム
スプリフタ部へに対しP波の場合には、図に示されるよ
うに各波長板3の位置を変え、平行光束7a側に設けれ
ばよい。
また、第1図に示される光学系において、すなわち、半
導体レーザla、 lbの偏光が偏光ビームスプリッタ
部へに対しS波の場合にふいて、各波長板3の位置を、
第3図に示されるように平行光束7b側に変えるだけで
合成光ビームの取り出しの向きを90°変えることが可
能である。したがって、マルチビーム走査光学系内の各
光学素子の配置の制約がある場合でもこれに対応するこ
とができる。
導体レーザla、 lbの偏光が偏光ビームスプリッタ
部へに対しS波の場合にふいて、各波長板3の位置を、
第3図に示されるように平行光束7b側に変えるだけで
合成光ビームの取り出しの向きを90°変えることが可
能である。したがって、マルチビーム走査光学系内の各
光学素子の配置の制約がある場合でもこれに対応するこ
とができる。
以上説明したように、本発明によればマルチビーム合成
器が光源部に対してどの方向に平行に移動しても、合成
された光ビームの光源部に対する絶対位置及び光ビーム
同士の相対位置は不変である。したがって、結像面上の
光ビームも変動を受けず各光ビーム間の正確なアライメ
ントが安定に維持される。このため、マルチビームによ
り画像を再現する場合でも、歪みのない正確な画像を得
ることができる。また本発明によるマルチビーム合成器
では、各光学要素が一体的に構成されているだめに、調
整個所が減少し、従来の各光学要素を独立に調整するも
のに比べてはるかに容易に調整できる。
器が光源部に対してどの方向に平行に移動しても、合成
された光ビームの光源部に対する絶対位置及び光ビーム
同士の相対位置は不変である。したがって、結像面上の
光ビームも変動を受けず各光ビーム間の正確なアライメ
ントが安定に維持される。このため、マルチビームによ
り画像を再現する場合でも、歪みのない正確な画像を得
ることができる。また本発明によるマルチビーム合成器
では、各光学要素が一体的に構成されているだめに、調
整個所が減少し、従来の各光学要素を独立に調整するも
のに比べてはるかに容易に調整できる。
第1図は本発明実施例のマルチビーム合成器を使用した
マルチビーム走査光学系の概略を示す構成図、第2図は
マルチビーム合成器の変形例を示す概略図、第3図はマ
ルチビーム合成器の更に他の変形例を示す概略図、第4
図は光源が直交して配置された従来のマルチビーム合成
器の概略図、第5図は光源が平行に配置された従来のマ
ルチビーム合成器の概略図である。 la、lb:半導体レーザ 2a、2b:コリメート
レンズ3:′/を波長板 4:偏光ビームス
プリッタ5a、 6b:光線 7a、7b:
平行光束8:光源部本体 9:ラムボイドプ
リズム9a、9b:傾斜面 10:マルチビー
ム合成器11:直角プリズム 12:出射ビーム
13:回転多面鏡スキャナ 14;fθレンズ15:像
面 ^:偏光ビームスプリフタ部 特許出願人 富士ゼロックス株式会社代 理
人 小 堀 益(ほか2名)第1図 第2図
マルチビーム走査光学系の概略を示す構成図、第2図は
マルチビーム合成器の変形例を示す概略図、第3図はマ
ルチビーム合成器の更に他の変形例を示す概略図、第4
図は光源が直交して配置された従来のマルチビーム合成
器の概略図、第5図は光源が平行に配置された従来のマ
ルチビーム合成器の概略図である。 la、lb:半導体レーザ 2a、2b:コリメート
レンズ3:′/を波長板 4:偏光ビームス
プリッタ5a、 6b:光線 7a、7b:
平行光束8:光源部本体 9:ラムボイドプ
リズム9a、9b:傾斜面 10:マルチビー
ム合成器11:直角プリズム 12:出射ビーム
13:回転多面鏡スキャナ 14;fθレンズ15:像
面 ^:偏光ビームスプリフタ部 特許出願人 富士ゼロックス株式会社代 理
人 小 堀 益(ほか2名)第1図 第2図
Claims (1)
- 1、光源からの平行な複数の光ビームの光軸に対して傾
斜している一対の傾斜面を有する平行四辺形プリズムの
前記光源に向いている側の傾斜面に直角プリズムを固着
すると共に、前記四辺形プリズムと直角プリズムとの固
着面に偏光ビームスプリッタを形成し、更に前記平行四
辺形プリズム又は前記直角プリズムの前記光源側の面に
1/2波長板を固着したことを特徴とするマルチビーム
合成器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7569887A JPS63240518A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | マルチビ−ム合成器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7569887A JPS63240518A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | マルチビ−ム合成器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63240518A true JPS63240518A (ja) | 1988-10-06 |
Family
ID=13583695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7569887A Pending JPS63240518A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | マルチビ−ム合成器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63240518A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286481A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Jtekt Corp | 分割合波ユニット及び半導体レーザ集光装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6053857A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-03-27 | Fujitsu Ltd | 装置間接続の確認方式 |
| JPS61170721A (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-01 | Fujitsu Ltd | 偏波結合器 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP7569887A patent/JPS63240518A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6053857A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-03-27 | Fujitsu Ltd | 装置間接続の確認方式 |
| JPS61170721A (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-01 | Fujitsu Ltd | 偏波結合器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286481A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Jtekt Corp | 分割合波ユニット及び半導体レーザ集光装置 |
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