JPS63241893A - スパ−クギヤツプスイツチ - Google Patents
スパ−クギヤツプスイツチInfo
- Publication number
- JPS63241893A JPS63241893A JP7662787A JP7662787A JPS63241893A JP S63241893 A JPS63241893 A JP S63241893A JP 7662787 A JP7662787 A JP 7662787A JP 7662787 A JP7662787 A JP 7662787A JP S63241893 A JPS63241893 A JP S63241893A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spark gap
- gap switch
- electrode
- cathode
- trigger pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ignition Installations For Internal Combustion Engines (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、ＴＥＡＣＯ２レーザやエキシマレーザ等にお
いてパルス発振するガスレーザ発振装置に適用されるス
パークギャップスイッチに関する。
いてパルス発振するガスレーザ発振装置に適用されるス
パークギャップスイッチに関する。
（従来の技術）
第３図はガスレーザ発振装置の橋成図であって、高圧直
流電源部１には主コンデンサ２が接続されるとともにス
イッチング素子としてのスパークギャップスイッチ３を
介して放電抵抗４が接続されている。そして、スパーク
ギャップスイッチ３と放電抵ｖＥ４との接続点に電圧波
形整形用のコイル５を介してピーキングコンデンサ６が
接続されるとともにＴＥＡＣＱ２レーザやエキシマレー
ザ等のガスレーザ管７が接続されている。このガスレー
ザ管７は主電極８，９を対向配置しかつ均一な主放電を
容易に発生させるための予備電離を起こさせるトリがビ
ン電極１０が備えられている。
流電源部１には主コンデンサ２が接続されるとともにス
イッチング素子としてのスパークギャップスイッチ３を
介して放電抵抗４が接続されている。そして、スパーク
ギャップスイッチ３と放電抵ｖＥ４との接続点に電圧波
形整形用のコイル５を介してピーキングコンデンサ６が
接続されるとともにＴＥＡＣＱ２レーザやエキシマレー
ザ等のガスレーザ管７が接続されている。このガスレー
ザ管７は主電極８，９を対向配置しかつ均一な主放電を
容易に発生させるための予備電離を起こさせるトリがビ
ン電極１０が備えられている。
このような構成であれば、スパークギャップスイッチ３
が非導通状態にあるときに主コンデンサ２に充電が行わ
れ、スパークギャップスイッチ３がトリガ信号１１の印
加によって導通状態となると、主コンデンサ２に蓄えら
れた電荷が放電され、この電荷がコイル５を通してピー
キングコンデンサ６に供給される。そして、このピーキ
ングコンデンサ６の両端電圧はガスレーザ管７に加わっ
てトリがビン電極１０で放電が発生して予備電離が起こ
る。そして、ガスレーザ管７に加わる電圧がプラズマパ
ラメータによって決まる一定電圧に達すると主電極８．
９間で主放電が発生し、かくしてガスレーザ光が発蚕さ
れる。
が非導通状態にあるときに主コンデンサ２に充電が行わ
れ、スパークギャップスイッチ３がトリガ信号１１の印
加によって導通状態となると、主コンデンサ２に蓄えら
れた電荷が放電され、この電荷がコイル５を通してピー
キングコンデンサ６に供給される。そして、このピーキ
ングコンデンサ６の両端電圧はガスレーザ管７に加わっ
てトリがビン電極１０で放電が発生して予備電離が起こ
る。そして、ガスレーザ管７に加わる電圧がプラズマパ
ラメータによって決まる一定電圧に達すると主電極８．
９間で主放電が発生し、かくしてガスレーザ光が発蚕さ
れる。
ところで、スパークギャップスイッチ３が導通したとき
このスパークギャップスイッチ３には主コンデンサ２か
らの電荷が急激な立ち上がり変化で大量に流れるために
、スパークギャップスイッチ３はその電流による影響を
受けない構成としなければならない。第４因はスパーク
ギャップスイッチ３の構成図である。このスイッチ３は
トリガトロン方式の３点式ギャップスイッチであって、
絶縁支持筒１２によって陰極１３と陽極１４とが対向配
置され、その内部室１５が気密状態となっている。そし
て、陰ｗＡ１３の中央部には絶縁体１６により挟持され
てトリガピン電極１７が内部室１５に配置されている。
このスパークギャップスイッチ３には主コンデンサ２か
らの電荷が急激な立ち上がり変化で大量に流れるために
、スパークギャップスイッチ３はその電流による影響を
受けない構成としなければならない。第４因はスパーク
ギャップスイッチ３の構成図である。このスイッチ３は
トリガトロン方式の３点式ギャップスイッチであって、
絶縁支持筒１２によって陰極１３と陽極１４とが対向配
置され、その内部室１５が気密状態となっている。そし
て、陰ｗＡ１３の中央部には絶縁体１６により挟持され
てトリガピン電極１７が内部室１５に配置されている。
なお、内部室１５にはドライエアーやＣＯ２ガス等が所
定圧力で封入あるいは循環されたり、又真空状態となっ
ている。
定圧力で封入あるいは循環されたり、又真空状態となっ
ている。
しかるに、トリガピン電極１７にトリガ信号が印加され
ると、このトリガ信号はトリガピン電極１７と陰極１３
とに加わって陰極１３と陽極１４との間にアーク放電が
発生する。ところで、このアーク放電は絶縁体１６の面
上に沿うように発生するために絶縁体１６が加熱されて
絶縁強度を低下させたり、又削られ易（なってトリガ作
用を行えなくなってしまう。一方、陰極１３及び陽極１
４はアーク放電によってスパッタされるので、このスパ
ッタした金属が絶縁体１６に付着して絶縁強度を低下さ
せている。
ると、このトリガ信号はトリガピン電極１７と陰極１３
とに加わって陰極１３と陽極１４との間にアーク放電が
発生する。ところで、このアーク放電は絶縁体１６の面
上に沿うように発生するために絶縁体１６が加熱されて
絶縁強度を低下させたり、又削られ易（なってトリガ作
用を行えなくなってしまう。一方、陰極１３及び陽極１
４はアーク放電によってスパッタされるので、このスパ
ッタした金属が絶縁体１６に付着して絶縁強度を低下さ
せている。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように絶縁体１６の面に沿ってアーク放電が発生
しかつスパッタした金属が絶縁体１７に付着して絶縁体
１６での絶縁強度が低下させてしまい、これによってス
イッチング素子としての曙能が果されなくなって長期に
亙っで使用できなくなる。
しかつスパッタした金属が絶縁体１７に付着して絶縁体
１６での絶縁強度が低下させてしまい、これによってス
イッチング素子としての曙能が果されなくなって長期に
亙っで使用できなくなる。
そこで本発明は、トリガピン電極と陰極と間の絶縁強度
を低下させることなく長期に屋っで確実なスイッチング
機能が得られるスパークギャップスイッチを提供するこ
とを目的とする。
を低下させることなく長期に屋っで確実なスイッチング
機能が得られるスパークギャップスイッチを提供するこ
とを目的とする。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
本発明は、気密容器内に陽極と陰極とを対向配置すると
ともに陰極の中央部にトリガピンｔ ｔｉを配置して成
るスパークギャップスイッチにおいて、気密容器に冷却
媒体の出入口を設けトリガピン電極及びこのトリガピン
電極近傍に直接冷却媒体を導く冷却手段を備えて上記目
的を達成しようとするスパークギャップスイッチである
。
ともに陰極の中央部にトリガピンｔ ｔｉを配置して成
るスパークギャップスイッチにおいて、気密容器に冷却
媒体の出入口を設けトリガピン電極及びこのトリガピン
電極近傍に直接冷却媒体を導く冷却手段を備えて上記目
的を達成しようとするスパークギャップスイッチである
。
（作用）
このような手段を備えたことにより、冷却手段によって
冷却媒体が直接トリガピン電極及びこのトリガピン電極
の近傍に流される。
冷却媒体が直接トリガピン電極及びこのトリガピン電極
の近傍に流される。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図はスパークギャップスイッチの構成図である。絶
縁支持筒２ｏは内壁及び外壁に多数の溝を形成したもの
となっており、この絶縁支持筒２０の両端にはそれぞれ
電極支持板２１．２２が設けられて絶縁支持筒２０内が
気密容器に形成されている。これら電極支持板２１．２
２にはそれぞれ半球面状の陰極２３、陽極２４が対向し
て設けられている。なお、これら陰極２３．陽極２４は
スタンバの少ない銅−タングステン焼結合金やＣｕ −
Ｎｂ 、Ｃ，Ｃｕ −Ｍｏ 、Ｍｏ ＳＣｕ −Ｃｒ−
Ｚｒ 、Ｃｕ −Ｚｒ ＳＣｕ等により形成されている
。さて、電極支持板２１にはトリガ電極プラグ２５が設
けられている。このトリガ電極プラグ２５は第２図に示
すようにトリガピン電極２６を絶縁体２７の内部に設け
てその先端２６ａを突出させている。そして、電極支持
板２１に設ける側にはタップ部２８が形成されている。
縁支持筒２ｏは内壁及び外壁に多数の溝を形成したもの
となっており、この絶縁支持筒２０の両端にはそれぞれ
電極支持板２１．２２が設けられて絶縁支持筒２０内が
気密容器に形成されている。これら電極支持板２１．２
２にはそれぞれ半球面状の陰極２３、陽極２４が対向し
て設けられている。なお、これら陰極２３．陽極２４は
スタンバの少ない銅−タングステン焼結合金やＣｕ −
Ｎｂ 、Ｃ，Ｃｕ −Ｍｏ 、Ｍｏ ＳＣｕ −Ｃｒ−
Ｚｒ 、Ｃｕ −Ｚｒ ＳＣｕ等により形成されている
。さて、電極支持板２１にはトリガ電極プラグ２５が設
けられている。このトリガ電極プラグ２５は第２図に示
すようにトリガピン電極２６を絶縁体２７の内部に設け
てその先端２６ａを突出させている。そして、電極支持
板２１に設ける側にはタップ部２８が形成されている。
ところで、前記陰ｔｊ２３の中央部にはトリガ電極配置
穴２３ａが形成されている。そして、トリガ電極プラグ
２５を電極支持板２１に設けたときにトリガピン電極２
６の先端がトリガ電極配置穴２３ａの略中央に配置され
てトリガピン電極２６の先端２６ａ及び絶縁体２７と陰
極２３との間に隙間が形成されるようになっている。な
お、Ｎ極支持板２１とタップ部２８との間にはガスケッ
ト、Ｏリング、シールテープ等が施されて気密性が保た
れている。又、電極支持板２１には冷却手段を構成する
冷却媒体の入口２９及び出口３０が設けられている。そ
して、入口２９には冷却媒体導き管３１が接続され、こ
の冷却媒体導き管３１の他端が陰極２３の中空部２３ｂ
に接続されている。ところで、入口２９から流入される
冷却媒体Ｑは、露点−５０℃以下のドライエア、窒素ガ
ス、炭酸ガス、ＳＦｓガス、アルゴンガスあるいはこれ
らガスを組合せたガスである。なお、３２．３３はそれ
ぞれ陰極２３．陽極３４に対して電気的にリード線を接
続するためのボルト、タップであり、又３４．３５は絶
縁支持筒２０と陰極２３及び陽極２４との間の気密性を
持たせるためのＯリングである。
穴２３ａが形成されている。そして、トリガ電極プラグ
２５を電極支持板２１に設けたときにトリガピン電極２
６の先端がトリガ電極配置穴２３ａの略中央に配置され
てトリガピン電極２６の先端２６ａ及び絶縁体２７と陰
極２３との間に隙間が形成されるようになっている。な
お、Ｎ極支持板２１とタップ部２８との間にはガスケッ
ト、Ｏリング、シールテープ等が施されて気密性が保た
れている。又、電極支持板２１には冷却手段を構成する
冷却媒体の入口２９及び出口３０が設けられている。そ
して、入口２９には冷却媒体導き管３１が接続され、こ
の冷却媒体導き管３１の他端が陰極２３の中空部２３ｂ
に接続されている。ところで、入口２９から流入される
冷却媒体Ｑは、露点−５０℃以下のドライエア、窒素ガ
ス、炭酸ガス、ＳＦｓガス、アルゴンガスあるいはこれ
らガスを組合せたガスである。なお、３２．３３はそれ
ぞれ陰極２３．陽極３４に対して電気的にリード線を接
続するためのボルト、タップであり、又３４．３５は絶
縁支持筒２０と陰極２３及び陽極２４との間の気密性を
持たせるためのＯリングである。
このような構成であれば、冷却媒体Ｑは例えば’ＩＫ９
／ａＡの圧力で入口２９から流入されると冷却媒体導き
管３１内を通って陰極２３の中空部２３ｂに流れる。そ
うして、冷却媒体Ｑはトリガピン電極２６の先端２６ａ
と陰極２３との隙間を通って気密状態に形成された苗に
流入する。これにより、トリガピン電極２６の先端２６
ａ及びこの先端２６ａの近傍の絶縁体２７は冷却媒体に
よって直接冷却される。従って、この状態にトリガピン
電極２６にトリガは号が印加されると陰極２３と陽極２
４との間にアーク放電が発生して、陰極２３と＋ｉ極２
４との間は導通状態となって電流が流れる。
／ａＡの圧力で入口２９から流入されると冷却媒体導き
管３１内を通って陰極２３の中空部２３ｂに流れる。そ
うして、冷却媒体Ｑはトリガピン電極２６の先端２６ａ
と陰極２３との隙間を通って気密状態に形成された苗に
流入する。これにより、トリガピン電極２６の先端２６
ａ及びこの先端２６ａの近傍の絶縁体２７は冷却媒体に
よって直接冷却される。従って、この状態にトリガピン
電極２６にトリガは号が印加されると陰極２３と陽極２
４との間にアーク放電が発生して、陰極２３と＋ｉ極２
４との間は導通状態となって電流が流れる。
ところで、導通状態となったときに発生するアーク放電
によって絶縁体２７は加熱されるが、この絶縁体２７は
常時冷却媒体Ｑによって直接冷却されているので絶縁体
２７は熱により劣化することはない。又、アーク放電に
よりスパッタした金属が絶縁体２７に付着しようとする
が、冷却媒体Ｑにより絶縁体２７が冷ｆｉｌ］されると
ともに絶縁体２７近傍の冷却媒体Ｑの流れによってスパ
ッタした金属が絶縁体２７に付着しなくなる。
によって絶縁体２７は加熱されるが、この絶縁体２７は
常時冷却媒体Ｑによって直接冷却されているので絶縁体
２７は熱により劣化することはない。又、アーク放電に
よりスパッタした金属が絶縁体２７に付着しようとする
が、冷却媒体Ｑにより絶縁体２７が冷ｆｉｌ］されると
ともに絶縁体２７近傍の冷却媒体Ｑの流れによってスパ
ッタした金属が絶縁体２７に付着しなくなる。
このように上記一実施例においては、陰極２３とトリガ
ピン電ｔ’！！！２６との間の隙間に冷却媒体Ｑを流す
構成としたので、絶縁体２７の絶縁強度を低下させるこ
となく、かつこの絶縁体２７にスパッタした金属を付着
させることがない。従って、スイッチング素子としての
機能を従来の１０倍以上の長期に亙って劣化させること
なく確実に動作させることができる。そして、このスパ
ークギャップスイッチをガスレーザ発振装置に適用すれ
ば、ガスレーザ発振装置における保守点検作業を軽減で
き、かつジッタの少ない安定したガスレーザ光を発振で
きる。
ピン電ｔ’！！！２６との間の隙間に冷却媒体Ｑを流す
構成としたので、絶縁体２７の絶縁強度を低下させるこ
となく、かつこの絶縁体２７にスパッタした金属を付着
させることがない。従って、スイッチング素子としての
機能を従来の１０倍以上の長期に亙って劣化させること
なく確実に動作させることができる。そして、このスパ
ークギャップスイッチをガスレーザ発振装置に適用すれ
ば、ガスレーザ発振装置における保守点検作業を軽減で
き、かつジッタの少ない安定したガスレーザ光を発振で
きる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の土日を逸脱しない範囲でで変形してもよい。例えば、
陰極、ｌｉｉ！極は一対でなく複数組設けられていても
よい。
の土日を逸脱しない範囲でで変形してもよい。例えば、
陰極、ｌｉｉ！極は一対でなく複数組設けられていても
よい。
［発明の効果］
以上詳記したように本発明によれば、トリガピン電極と
陰極と間の絶縁強度を低下させることなく長期に亙っで
確実なスイッチング機能が得られるスパークギャップス
イッチナ提供できる。
陰極と間の絶縁強度を低下させることなく長期に亙っで
確実なスイッチング機能が得られるスパークギャップス
イッチナ提供できる。
第１図は本発明に係わるスパークギャップスイッチの一
実施例を示す構成図、第２図は同スイッチに使用される
トリが電型プラグの構成図、第３図はガスレーザ発振装
置の構成図、第４図は従来のスパークギャップスイッチ
の構成図である。 ２０・・・絶縁支持体、２１．２２・・・電極支持体、
２３・・・陰極、２４・・・陽極、２５・・・トリガ電
極プラグ、２６・・・トリガピン電極、２７・・・絶縁
体、２８・・・タップ部、２９・・・入口、３０・・・
出口、３１・・・冷却媒体導き管。
実施例を示す構成図、第２図は同スイッチに使用される
トリが電型プラグの構成図、第３図はガスレーザ発振装
置の構成図、第４図は従来のスパークギャップスイッチ
の構成図である。 ２０・・・絶縁支持体、２１．２２・・・電極支持体、
２３・・・陰極、２４・・・陽極、２５・・・トリガ電
極プラグ、２６・・・トリガピン電極、２７・・・絶縁
体、２８・・・タップ部、２９・・・入口、３０・・・
出口、３１・・・冷却媒体導き管。
Claims (3)
- （１）気密容器内に陽極と陰極とを対向配置するととも
に前記陰極の中央部にトリガピン電極を配置して成るス
パークギャップスイッチにおいて、前記気密容器に冷却
媒体の出入口を設け前記トリガピン電極及びこのトリガ
ピン電極近傍に直接前記冷却媒体を導く冷却手段を備え
たことを特徴とするスパークギャップスイッチ。 - （２）陰極とトリガピン電極との間には隙間が形成され
この隙間を通して冷却媒体が流れる特許請求の範囲第（
１）項記載のスパークギャップスイッチ。 - （３）冷却手段は、露点−５０℃以下のドライエア、窒
素ガス、炭酸ガス、ＳＦ＿６ガス、アルゴンガスあるい
はこれらガスを組合せた冷却媒体を流す特許請求の範囲
第（１）項記載のスパークギャップスイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7662787A JPS63241893A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | スパ−クギヤツプスイツチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7662787A JPS63241893A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | スパ−クギヤツプスイツチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63241893A true JPS63241893A (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0535557B2 JPH0535557B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=13610601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7662787A Granted JPS63241893A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | スパ−クギヤツプスイツチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63241893A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103400717A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-11-20 | 国家电网公司 | 多电极场畸变气体开关及多开关同步触发方法 |
| WO2013186909A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | 合資会社シーエスディ | 火花ギャップアレスタ |
| JPWO2013186951A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-02-01 | 合資会社シーエスディ | 火花ギャップアレスタ |
| JP2019500726A (ja) * | 2015-12-10 | 2019-01-10 | 中国電力科学研究院有限公司Ｃｈｉｎａ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｃｏｍｐａｎｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ | トリガーギャップに適用する装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5828186A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | コンパニイ・ジェネラル・デレクトリシテ | 火花放電装置 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7662787A patent/JPS63241893A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5828186A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | コンパニイ・ジェネラル・デレクトリシテ | 火花放電装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013186909A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | 合資会社シーエスディ | 火花ギャップアレスタ |
| WO2013186951A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | 合資会社シーエスディ | 火花ギャップアレスタ |
| JPWO2013186951A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-02-01 | 合資会社シーエスディ | 火花ギャップアレスタ |
| CN103400717A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-11-20 | 国家电网公司 | 多电极场畸变气体开关及多开关同步触发方法 |
| JP2019500726A (ja) * | 2015-12-10 | 2019-01-10 | 中国電力科学研究院有限公司Ｃｈｉｎａ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｃｏｍｐａｎｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ | トリガーギャップに適用する装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0535557B2 (ja) | 1993-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1147048A (en) | High power laser and cathode structure therefor | |
| US2415816A (en) | Ionic discharge device | |
| JPH0225266B2 (ja) | ||
| JPS6340299A (ja) | 非移行式プラズマト−チの電極構造 | |
| KR20010062136A (ko) | 자외선을 방출하는 가스 레이저 장치 | |
| CA1172741A (en) | Te laser amplifier | |
| US4342114A (en) | TEA Laser configuration | |
| JPH0535557B2 (ja) | ||
| US5684814A (en) | Pulsed gas lasers | |
| JPH04259274A (ja) | 高入力に適した電気的ポンピングガスレーザ | |
| JP3808511B2 (ja) | パルスガスレーザ発生装置 | |
| Targ et al. | High-repetition-rate xenon laser with transverse excitation | |
| US4178563A (en) | System for generating a high-energy electrical signal through a brief time, and a laser comprising such a system | |
| US2422659A (en) | Spark gap discharge device | |
| SU736374A1 (ru) | Способ отключени посто нного тока и устройство дл его осуществлени | |
| Harry et al. | Multiple electrode system for high power CO2 laser excitation | |
| JPS5828186A (ja) | 火花放電装置 | |
| CA1040735A (en) | Generation of corona for laser excitation | |
| JPH0864141A (ja) | 気体放電閉路スイッチ | |
| JP3281032B2 (ja) | 放電励起型ガスレーザ装置 | |
| US3469144A (en) | Arrangement of electrical components to define a low inductance plasma generating apparatus | |
| JPS63313487A (ja) | ギヤツプスイツチ | |
| JP3842814B2 (ja) | パルスガスレーザ発生装置 | |
| JPS61174682A (ja) | ガスレ−ザ−およびその操作方法 | |
| JPH0318749B2 (ja) |