JPS6324258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6324258U JPS6324258U JP11725186U JP11725186U JPS6324258U JP S6324258 U JPS6324258 U JP S6324258U JP 11725186 U JP11725186 U JP 11725186U JP 11725186 U JP11725186 U JP 11725186U JP S6324258 U JPS6324258 U JP S6324258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation material
- plate
- crucible
- shaped evaporation
- storage guide
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案の板状蒸発材料
供給装置の一実施例にかかり、第１図は縦断面図
、第２図は回転ラチエツト部分の正面図である。 １……密閉容器、２……るつぼ、１０……板状
蒸発材料供給装置、１１……板状蒸発材、１２…
…収納ガイド、１４……回転ラチエツト、２０…
…装入シユート。
供給装置の一実施例にかかり、第１図は縦断面図
、第２図は回転ラチエツト部分の正面図である。 １……密閉容器、２……るつぼ、１０……板状
蒸発材料供給装置、１１……板状蒸発材、１２…
…収納ガイド、１４……回転ラチエツト、２０…
…装入シユート。
Claims (1)
- 蒸発材料を加熱蒸発させるるつぼの上方に板状
蒸発材を積層状態で収納するとともに下端部に排
出口が形成された収納ガイドを設け、この排出口
に板状蒸発材の端面に回転しながら係止して収納
ガイドから引き出す回転ラチエツトを設け、この
回転ラチエツトに近接させて引き出された板状蒸
発材をるつぼに装入供給する装入シユートを設け
たことを特徴とする板状蒸発材料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11725186U JPS6324258U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11725186U JPS6324258U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324258U true JPS6324258U (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=31002591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11725186U Pending JPS6324258U (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324258U (ja) |
-
1986
- 1986-07-30 JP JP11725186U patent/JPS6324258U/ja active Pending