JPS6324665U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6324665U JPS6324665U JP11859586U JP11859586U JPS6324665U JP S6324665 U JPS6324665 U JP S6324665U JP 11859586 U JP11859586 U JP 11859586U JP 11859586 U JP11859586 U JP 11859586U JP S6324665 U JPS6324665 U JP S6324665U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- casing
- housing
- cassette
- positioning means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案に係る計数装置の第１の実施例
を示す要部断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ′線
での断面図、第３図は本考案に係る計数装置の第
２の実施例を示す要部断面である。 １……カセツト、６……当接部材、２……収納
溝、７……腕部材、４……ストツパー（左右方向
）、５……ストツパー（前後方向）、１８，１９
……光電スイツチ、２２……カムシヤフト。
を示す要部断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ′線
での断面図、第３図は本考案に係る計数装置の第
２の実施例を示す要部断面である。 １……カセツト、６……当接部材、２……収納
溝、７……腕部材、４……ストツパー（左右方向
）、５……ストツパー（前後方向）、１８，１９
……光電スイツチ、２２……カムシヤフト。
Claims (1)
- その上部の所要位置に開口部を有する筐体と、
該筐体の開口部に対応すべくカセツトを位置決め
するための位置決め手段と、位置決めされたカセ
ツト内壁に刻設されたウエハ収納溝と対向すべく
筐体開口部下方に配置され、かつ、昇降自在に構
成された複数の当接部材と、複数の当接部材を順
次昇降させるための駆動手段と、当接部材の昇降
に伴ない順次昇降するウエハを検出するためカセ
ツト上方に配置された光電スイツチと、該光電ス
イツチの出力信号を計数するカウンターとからな
ることを特徴とする収納容器内のウエハ枚数計数
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11859586U JPS6324665U (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11859586U JPS6324665U (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324665U true JPS6324665U (ja) | 1988-02-18 |
Family
ID=31005195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11859586U Pending JPS6324665U (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324665U (ja) |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP11859586U patent/JPS6324665U/ja active Pending