JPS63248414A - 薬液循環フイルタ−リングシステム - Google Patents
薬液循環フイルタ−リングシステムInfo
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- JPS63248414A JPS63248414A JP62085064A JP8506487A JPS63248414A JP S63248414 A JPS63248414 A JP S63248414A JP 62085064 A JP62085064 A JP 62085064A JP 8506487 A JP8506487 A JP 8506487A JP S63248414 A JPS63248414 A JP S63248414A
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- JP
- Japan
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- chemical
- filter
- tank
- valve
- pure water
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造において、半導体基板を薬液槽に
入れて、半導体基板の洗浄またはエツチングなどの薬液
処理を行なう半導体製造装置の薬液循環フィルターリン
グシステムに関する。
入れて、半導体基板の洗浄またはエツチングなどの薬液
処理を行なう半導体製造装置の薬液循環フィルターリン
グシステムに関する。
従来の薬液循環フィルターリングシステムは第２図のよ
うに薬液を薬液槽１０１に入れて、ポンプ１０２を介し
てフィルター（フィルターエレメントおよびフィルター
リングングを示す）１０３を通じて、再び、薬液槽へも
どしている。フィルターを交換する時には、薬液槽内の
薬液を一度全部排液し薬液槽へ純水を入れフィルター内
を充分に純水で置換した後にフィルターを取りはずして
いた。またテフロン系のフィルターエレメントを有する
フィルターを酸系の薬液のフィルターリングのため新た
に取り付ける時には、フィルター内をアルコールで浸し
、ぬれ性を向上させてから、純水で置換を行なう必要が
あった。そのためフィルターを取シ付けた後に薬液槽へ
薬液を入れてフィルター内を薬液で置換し、ふたたび新
しい薬液に入れ換えてから使用する必要がありた。
うに薬液を薬液槽１０１に入れて、ポンプ１０２を介し
てフィルター（フィルターエレメントおよびフィルター
リングングを示す）１０３を通じて、再び、薬液槽へも
どしている。フィルターを交換する時には、薬液槽内の
薬液を一度全部排液し薬液槽へ純水を入れフィルター内
を充分に純水で置換した後にフィルターを取りはずして
いた。またテフロン系のフィルターエレメントを有する
フィルターを酸系の薬液のフィルターリングのため新た
に取り付ける時には、フィルター内をアルコールで浸し
、ぬれ性を向上させてから、純水で置換を行なう必要が
あった。そのためフィルターを取シ付けた後に薬液槽へ
薬液を入れてフィルター内を薬液で置換し、ふたたび新
しい薬液に入れ換えてから使用する必要がありた。
上述した従来のフィルターリングシステムでは、フィル
ターの交換時に薬液槽の薬液を全部排液し、純水を薬液
槽へ入れフィルター内を置換する必要があり、またフィ
ルターを取り付けた後にも薬液槽を通して、純水・薬液
で順次置換する必要があったため薬液の使用量も多くな
り、フィルターの交換の作、業時間も長くかかってしま
うという欠点があった。
ターの交換時に薬液槽の薬液を全部排液し、純水を薬液
槽へ入れフィルター内を置換する必要があり、またフィ
ルターを取り付けた後にも薬液槽を通して、純水・薬液
で順次置換する必要があったため薬液の使用量も多くな
り、フィルターの交換の作、業時間も長くかかってしま
うという欠点があった。
本発明は、従来の問題点に着目し、フィルターリングシ
ステムとして、薬液注入口または第２薬液槽を有し、フ
ィルターの交換時に薬液槽の薬液を排液することなしに
、薬液注入口または第２薬液槽を通じてフィルターの純
水または薬液置換を行なうことができるようにした。
ステムとして、薬液注入口または第２薬液槽を有し、フ
ィルターの交換時に薬液槽の薬液を排液することなしに
、薬液注入口または第２薬液槽を通じてフィルターの純
水または薬液置換を行なうことができるようにした。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例である。薬液は薬液槽１から
ポンプ２を介してフィルター３ｔ−通シ、薬液槽へもど
る。薬液注入口または第２薬液槽４へ供給された薬液は
、バルブ７を開けることによシ、フィルター内を通すこ
とが可能である。フィルターの交換時には薬液注入口ま
たは第２薬液槽へ純水を入れバルブ７を開けてバルブ５
を閉じる。その後パルプ６を閉じて、バルブ８を開けて
薬液注入口または第２薬液槽の純水をフィルターを通し
て排液し、フィルター内を充分に置換する。その後、フ
ィルターを新しいものと取り替える。またテフロン系の
フィルターエレメントを有するフィルターを取シ付ける
時には、薬液注入口または第２薬液槽よジアルコールを
フィルター内へ流し、フィルターエレメントのぬれ性を
向上させて、その後、純水そして薬液と順次大れて置換
を行なう。
ポンプ２を介してフィルター３ｔ−通シ、薬液槽へもど
る。薬液注入口または第２薬液槽４へ供給された薬液は
、バルブ７を開けることによシ、フィルター内を通すこ
とが可能である。フィルターの交換時には薬液注入口ま
たは第２薬液槽へ純水を入れバルブ７を開けてバルブ５
を閉じる。その後パルプ６を閉じて、バルブ８を開けて
薬液注入口または第２薬液槽の純水をフィルターを通し
て排液し、フィルター内を充分に置換する。その後、フ
ィルターを新しいものと取り替える。またテフロン系の
フィルターエレメントを有するフィルターを取シ付ける
時には、薬液注入口または第２薬液槽よジアルコールを
フィルター内へ流し、フィルターエレメントのぬれ性を
向上させて、その後、純水そして薬液と順次大れて置換
を行なう。
それカラ、バルブ７、バルブ８を閉じてバルブ５、バル
ブ６を開けて通常の薬液フィルターリングシステムとし
て使用することができる。
ブ６を開けて通常の薬液フィルターリングシステムとし
て使用することができる。
以上説明したように本発明を用いた半導体製造装置の薬
液循環フィルターリングシステムは、薬液槽内の薬液を
排液することなく、また薬液槽を通しての純水などによ
るフィルターの置換を行なう必要がなくなるので使用す
る薬液量が少なくなシフイルター交換の作業時間を短か
くすることができる効果がある。
液循環フィルターリングシステムは、薬液槽内の薬液を
排液することなく、また薬液槽を通しての純水などによ
るフィルターの置換を行なう必要がなくなるので使用す
る薬液量が少なくなシフイルター交換の作業時間を短か
くすることができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の配管図であシ、第２図は従
来の方法による一例の配管図である。 ｌ・・・・・・薬液槽、２・・・・・・循環ポンプ、３
・・・・・・薬液フィルター、４・・・・・・薬液注入
口または第２薬液槽、５−−−−−−バルブ、６・・・
・−・バルブ、７・・・・・・バルブ、８・・・・・・
バルブ、１０１・・・・・・薬液槽、１０２・・・・・
・薬液槽、１０２・・・・・・循環ポンプ、１０３・・
・・・・薬液フィルター、１０６・・・・・・バルブ、
１０７・・・・・・バルブ。 ＡＬ 第１図 液 第２図
来の方法による一例の配管図である。 ｌ・・・・・・薬液槽、２・・・・・・循環ポンプ、３
・・・・・・薬液フィルター、４・・・・・・薬液注入
口または第２薬液槽、５−−−−−−バルブ、６・・・
・−・バルブ、７・・・・・・バルブ、８・・・・・・
バルブ、１０１・・・・・・薬液槽、１０２・・・・・
・薬液槽、１０２・・・・・・循環ポンプ、１０３・・
・・・・薬液フィルター、１０６・・・・・・バルブ、
１０７・・・・・・バルブ。 ＡＬ 第１図 液 第２図
Claims (1)
- 半導体の製造時の薬液循環フィルターリングシステムを
有する薬液処理装置において、フィルターの交換時に薬
液槽内の薬液を排液することなく、フィルター内を純水
などで置換を行なうことができるように薬液注入口また
は第２薬液槽を有することを特徴とする半導体製造装置
の薬液循環フィルターリングシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62085064A JPS63248414A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 薬液循環フイルタ−リングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62085064A JPS63248414A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 薬液循環フイルタ−リングシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63248414A true JPS63248414A (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=13848200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62085064A Pending JPS63248414A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 薬液循環フイルタ−リングシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63248414A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017069345A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 |
-
1987
- 1987-04-06 JP JP62085064A patent/JPS63248414A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017069345A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 |
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