JPS63250037A - ガス放電表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、プラズマディスプレイまたはその他の、放
電現象を利用したガス放電表示パネルの製造方法に関す
る。

（従来の技術） 従来、密閉されたガラス管内に種々のガスを封入し、放
電せしめて発光させることにより、種々の情報をディス
プレイ上に表示するためのガス放電表示パネルか知られ
ている。

以下、従来知られているガス放電表示パネルの製造方法
につき図面を参照して説明する。

第２図（Ａ）及び（Ｂ）は、従来量も広く用いられてい
る、直流式のガス放電表示パネルの製造方法を概略的な
装置断面により示す製造工程図である。これ゛らの図に
おいて、断面を示すハツチングは省略している。また、
図中、１１及び１３はガラスまたはその他任意好適な透
明性を有する結縛材料からなる第１基板或いは第２基板
、１５及び１７は例えばニッケルまたはその他任意好適
な導電材料からなる第１電極或いは第２電極、１９は基
板に配設された穴部、２１は穴部１９を有する基板に固
定配置されたガラス管体、２３及び２７は例えばフリッ
トガラスペーストよりなるガラス管体用封止剤或いは基
板用封止剤、２５は第１基板１１及び第２基板１３を離
間配置せしめるための絶縁材料からなるスペーサー、２
９はガス空間、３１はガス放電表示パネルである。さら
に、以下の説明の理解を容易とするため、各製造過程の
装Ｍをガス放電表示パネルとして包括的に表現するもの
とする。

まず始めに、この種のガス放電表示パネルでは第１基板
１１及び第２基板１３の一方の面（表面）に、例えばス
パッタ法またはその他任意好適な被着方法により上述の
導電材料を被着せしめた後、ホトリソ技術或いはその他
の任意好適な技術により、第１基板１１或いは第２基板
１３の上に複数のストライブ状の第１電極１５及び第２
電極１７ヲ画成する。

続いて、上述した電極を画成した基板のうちの例えば第
２基板１３の電極を画成していない部分に穴部１９ヲ穿
設する。然る後、当該穴部１９からの排気及び放電ガス
の導入（後述）か行ない得るように、第２基板１３の裏
面側（第２電極１７を画成した面とは反対側）にガラス
管体２１を配設し、ガラス管体用封止剤２３ヲ塗布、焼
成することにより固定配置する。

次に、第１基板１１の表面に画成された複数の第１電極
１５と、第２基板１３の表面に画成された複数の第２電
極１７とを、両基板１１及び１３との間に設けたスペー
サー２５ヲ介して、設計に応した所定の間隔を以って、
互い（こ直交するように対向させて離間配置せしめる。

この後、基板用封止剤２７ヲスベーサー２５の周縁部に
塗布し、第１基板１１とスペーサー２５及び第２基板１
３とスペーサー２５との夫々か密着するように熱処理し
、焼成してガス空間２９を配設した状態のガス放電表示
パネル３１を得る（第２図（Ａ））。

上述したガラス管体２１の固定と、第１基板１１と第２
基板１３との封止に当っては、通常、ガラスの融点に相
当する４００℃以上の温度で焼成が行なわれる。

次に、上述したガス放電表示パネル２９に配設されたガ
ラス管体２１を介して、ガス放電表示パネルの設計に応
し、ガス空間２９内を任意好適な真空度まで一度排気し
た後、例えばアルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）及びそ
の他の放電ガス（図示せず）を当該ガス空間２９内に導
入する。然る後、この放電ガスを導入したまま、ガス空
間２９を外気と隔絶するため、ガラス管体２１１Ｆ！：
封じ切り、ガス放電表示パネル３１を完成する（第２図
（Ｂ））。但し、第２図（Ｂ）では、封じ切ったガラス
管体２１を省略し、穴部１９ヲ封止する構成成分として
は、ガラス管体用封止剤２３のみを図示している。

しかしながら、上述した従来のガス放電表示パネルの製
造方法では、電極を配設した基板へのガラス管体の固定
配置、或いは電極を配設した基板間の固定に当り、フリ
ットガラスを用いるため、当該フリットガラスを溶融せ
しめるための高温処理を必要としていた。これがため、
基板に配設された電極が当該高温処理により酸化せしめ
られ、電極の劣化が生じるという欠点が有った。

上述の欠点に対処するため、例えば文献：特公昭５３−
１４３４０号公報に開示されるように、基板上に配設さ
れた電極の表面に、耐酸化被膜を塗布する方法か知られ
ている。

（発明か解決しようとする問題点） しかしながら、上述した従来のガス放電表示パネルの製
造方法では、当該パネルを構成する一方の基板にガス空
間に対する排気或いは放電ガスの導入を行なうためのガ
ラス管体を配設しなければならない。このガラス管体を
配設する（こ当っては、基板へのガラス管体の固定及び
放電ガス導入後の封じ切りといった、機械化することが
難しい工程が多く、製造歩留りの向上或いは製造コスト
の低減を図ることが難しいという問題が有った。

さらに、前述したように、封止剤としてフリットガラス
を用いていたため、ガス放電表示パネルをフリットガラ
スの融点以上の高温処理にさらさなければならないらな
い。これかため、ガス放電表示パネルを構成する材料の
選択に当り、電極の耐酸化性、或いは基板を構成する構
成材料の耐熱性及びその他の種々の制約を有するという
問題点か有った。

この発明の目的は、上述した従来の問題点に鑑み、工程
の簡略化、構成材料の選択性の向上及び製造歩留りの向
上を図り得るガス放電表示パネルの製造方法を掃供する
こと１こある。

（問題点を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明のガス放電表示パ
ネルの製造方法によれば、 スペーサーを介して、夫々設計に応じた所定の電極が形
成された二枚の基板を対向させ、このスペーサーの周縁
部て封止剤により密封してガス放電表示パネルを製造す
るに当り、 上述の封止剤として、上述した二枚の基板のうちの一方
の基板に熱硬化性を有するエポキシ系封止剤を塗布して
固化させ、対向させた二枚の基板を放電ガス雰囲気中に
設置した後、上述の固化させた封止剤を熱硬化させて密
封することを特徴としでいる。

（作用） この発明のガス放電表示パネルの製造方法によれば、基
板用封止剤を従来のフリットガラスから、熱硬化性を有
するエポキシ系封止剤とし、ざらに、放電ガス雰囲気中
で基板同士を密封してガス空間を形成する構成となって
いる。これがため、ガス放電表示パネルに対する熱及び
酸素の影響を低減することができる。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明のガス放電表示パネル
の製造方法の実施例につき説明する。

また、以下に説明する実施例では、この発明の好ましい
特定の材料、数値例、配置関係及びその他の条件で説明
するか、これら材料、数値例その他の条件にのみ限定さ
れるものではないことを理解されたい。

第１図（Ａ）〜ＣＣ）は、この発明の詳細な説明するた
め、第２図（Ａ）及び（Ｂ）と同様に装置の概略的な断
面により示した製造工程図である。図中、この発明の特
徴となる構成成分を除いて、第２図（Ａ）及び（Ｂ）と
同一の構成成分には同一の符号を付して示すと共に、断
面を示すハツチングは省略して示す。さらに、各工程で
特徴となる構成成分を除き、符号を省略して図示する場
合も有る。

まず始めに、従来技術として既に説明したように、第１
基板１１及び第２基板１３の一方の面（表面）に複数の
ストライブ状の第１電極１５及び第２電極１７を画成す
る。

続いて、例えば第１基板１１の表面の所定の位置（こス
ペーサー２５ヲ配設し、他方の基板である第２基板１３
の表面の所定の位置に基板用封止剤３３を固化した状態
で配設する。この実施例では、基板用封止剤３３として
、熱硬化性を有するエポキシ系封止剤「シーラキャップ
」　（京セラ製、商品名）を用いた。

このように、第１基板１１と第２基板１３との電極を画
成した方の面の周縁部に、夫々、スペーサー２５または
基板用封止剤３３ヲ配設した後、第１基板１１の表面に
画成された複数の第１電極１５と、第２基板１３の表面
に画成された複数の第２電極１７とがスペーサー２５或
いは基板用封止剤３３ヲ介して、所定の間隔を以って、
互いに直交するように対向させてＮ１間配置するように
位置合わせを行なう。

これにより、ガス放電表示パネル３５にガス空間２９か
形成される（第１図（Ａ））。

続いて、上述のガス放電表示パネル３５の仲買すれがな
いように任意な圧接力を以って保持した状態で、第１図
（Ｂ）に図示したような、真空排気手段３７、放電ガス
導入手段３９及び加熱手段４１を有するチャンバー４３
内１こ載百する。

然る後、ます、チャンバー４３に具えられた真空排気手
段３７により、当該チャンバー４３内を例えば１０”６
ｔｏｒｒ程度まで排気した後、当該減圧状態を約２０時
周保持する。この際、例えば基板に配設した基板用封止
剤３３表面のうねり、基板と基板に画成された電極との
段差或いはその他の原因による間隙か、両基板間に存在
する。これかため、当該ガス空間２９とチャンバ〜４３
とは、気圧の平衡状態を達成することが可能となり、ガ
ス空間２９内の気圧も、はぼ１Ｏ−６ｔｏｒｒとするこ
とができる。

続いて、上述したガス空間２９とチャンバー４３との気
圧平衡を行なった後、放電ガス導入手段３９により、当
該チャンバー４３の中に、例えばアルゴン（Ａｒ）２０
重景％とネオン（Ｎｅ）８０重量％とよりなる放電ガス
（図示せず）を、例えば２００　ｔｏｒｒ程度の圧力ま
で導入する。この放電ガスの導入俊、所定の時間を経て
、上述した排気の場合と同様、ガス空間２９とチャンバ
ー４３との間にガス圧の平衡状態を達成することができ
る。

このようにして、ガス空間２９内に放電ガスを導入した
後、固化した状態で基板に塗布せしめられた基板用封止
剤３３ヲ加熱することにより、ガス放電表示パネル３５
のガス空間２９内に放電ガスを密封する。但し、第１図
（Ｂ）中では、プレート状の加熱手段４１として図示し
ているが、他の加熱手段としても良く、例えば赤外線を
利用した加熱手段として実施することも可能である。

この密封工程に当っては、前述したような熱硬化性を有
するエポキシ系封止剤の一般的な性質に基づいて、チャ
ンバー４３内に配設せしめられた加熱手段４１により、
ます、１２５℃の温度で約２０分間維持する。この温度
では、前述の基板用封止剤３３が一度溶融する。然る後
、当該加熱手段４１により１６０℃の温度まで加熱した
後、約６０分間、この温度に維持し、基板用封着剤３３
を完全に硬化せしめ、ガス放電表示パネル３５ヲ完成す
る（第１図（Ｃ））。

上述した溶融及び硬化の工程では、第１基板１１とスペ
ーサー２５及び第２基板１３とスペーサー２５との夫々
が記者するように、ガス放電表示パネル３３に適当な圧
接力を加えるのが好適である。この圧接は、ガス放電表
示パネル３５に配設されたガス空間２９の密閉性を高め
るのみならず、チャンバー４３内に配設せしめられた加
熱手段４１による熱が、第１基板１１を介して基板用封
止剤３３に良く伝わるように行なうものである。

以上、この発明のガス放電表示パネルの製造方法の実施
例につき詳細に説明したが、この発明は上述した実施例
にのみ限定されるものでないこと明らかである。例えば
、基板用封止剤として、前述の熱硬化性を有するエポキ
シ系封止剤を用いたが、この発明は当該基板用封止剤に
のみ限定して実施するものではない。少なくとも常温で
固化しており、基板上に配設した後に行なわれる位置合
わせに際して、取扱い易いように固定せしめ得る材料で
あり、かつ加熱以外の物理的手段により溶融或いは硬化
するものであれば他の材料で構成されていても良い。さ
らに、密封工程で図示して説明したチャンバーの構成、
ガス放電表示パネルを構成する種々の材料、放電ガスの
種類、封入する際のガス圧或いはその他の条件は、この
発明の目的の節囲内で、設計の変更及び変形を行ない得
ること明らかである。

（発明の効果） 上述した説明から明らかなように、この発明のガス放電
表示パネルの製造方法によれば、基板用封止剤を従来の
ノリットガラスの代わりに熱硬化性を有するエポキシ系
封止剤とし、これ（こ加えて、放電ガス雰囲気中で基板
同士を密封してガス空間を形成する構成となっている。

これがため、従来の封止（密封）に要する熱処理の温度
よりも低い温度で、かつ封止を行なう工程か放電ガス雰
囲気中で行なわれることにより、例えば耐酸化性、耐熱
性及びその他の特性に関する条件を大幅に緩和し得るた
め、材料選択の自由度を向上させることができる。

さらに、ガラス管体を用いた工程がないため、機械化に
よる製造コストの低減を図ることができ、優れたガス放
電表示パネルを歩留り良く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜（Ｃ）は、この発明であるガス放電表示
パネルの製造方法の実施例の説明に供するため、装置の
概略的断面により示した製造工程図、 第２図（Ａ）及び（Ｂ）は、従来の製造方法の説明に供
する製造工程図である。 １１・・・・第１基板、１３・・・・第２基板１５・・
・・第１電極、１７・・・・第２電極１９・・・・穴部
、２１・・・・ガラス管体２３・・・・ガラス管体用封
止剤 ２５・・・・スペーサー、２７．３３・・・・基板用封
止剤２９・・・・ガス空間、３１．３５・・・・ガス放
電表示パネル３７・・・・真空排気手段、３９・・・・
放電ガス導入手段４１・・・・加熱手段、４３・・・・
チャンバー。 特許出願人　　　　沖電気工業株式会社従来技術の説明
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）スペーサーを介して、夫々所定の電極が形成され
   た二枚の基板を対向させ、該スペーサーの周縁部で封止
   剤により密封してガス放電表示パネルを製造するに当り
   、 前記封止剤として熱硬化性を有するエポキシ系封止剤を
   一方の基板に塗布して固化させ、前記二枚の基板を放電
   ガス雰囲気中に設置した後、前記封止剤を熱硬化させて
   密封する ことを特徴とするガス放電表示パネルの製造方法。