JPS63250717A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
- Publication number
- JPS63250717A JPS63250717A JP8557787A JP8557787A JPS63250717A JP S63250717 A JPS63250717 A JP S63250717A JP 8557787 A JP8557787 A JP 8557787A JP 8557787 A JP8557787 A JP 8557787A JP S63250717 A JPS63250717 A JP S63250717A
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- flow
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液体の瞬時流ｉ−に対して該瞬時流量の最終
値が零になるバッジ式のプログラム制御を行う流量制御
装置、特にプログラム制御された液体の最終到達積算量
の実際値と設定値との差を少くすることができる制御装
置に関する。
値が零になるバッジ式のプログラム制御を行う流量制御
装置、特にプログラム制御された液体の最終到達積算量
の実際値と設定値との差を少くすることができる制御装
置に関する。
従来、化学プラントの反応槽等においＣは、該反応槽に
投入する液体の瞬時流Ｉｌ′％：所定の時間関数に従り
℃プログラム制御する流量制御装置が用いられることが
ある。第５図はこのような従来の流量制御装置の構成図
である。第５図におい工。
投入する液体の瞬時流Ｉｌ′％：所定の時間関数に従り
℃プログラム制御する流量制御装置が用いられることが
ある。第５図はこのような従来の流量制御装置の構成図
である。第５図におい工。
ｌは管路２を流動する液体、３は管路２から流出した液
体ｌが流入する反応槽で、４は管路２中の液体ｌの瞬時
流ｔＱｍを検出しＣ，この検出結果に応じた瞬時流量信
号４ａを出力する流量検出部である。５を＝１瞬時流量
信号４ａと該信号４ａとは別に外部から入力さｉる瞬時
流量設定信号６とを用い工所定の演算を行って、液体ｌ
の瞬時流ｔＱｍを調節するように管路２Ｖｃ設けた。流
量調節弁のような操作部７に操作信号５ａを出力する調
節部で、８は流量検出部４と調節部５と操作部７とから
なる流量側ａ１部である。流量側ａｓ８は、操作部７に
操作信号５８１に与えることによっ″Ｃ１管路２中の液
体ｌの瞬時流量Ｑｍが瞬時流量設定信号６に応じた瞬時
流量値Ｑｓ Ｋ等しくなるように。
体ｌが流入する反応槽で、４は管路２中の液体ｌの瞬時
流ｔＱｍを検出しＣ，この検出結果に応じた瞬時流量信
号４ａを出力する流量検出部である。５を＝１瞬時流量
信号４ａと該信号４ａとは別に外部から入力さｉる瞬時
流量設定信号６とを用い工所定の演算を行って、液体ｌ
の瞬時流ｔＱｍを調節するように管路２Ｖｃ設けた。流
量調節弁のような操作部７に操作信号５ａを出力する調
節部で、８は流量検出部４と調節部５と操作部７とから
なる流量側ａ１部である。流量側ａｓ８は、操作部７に
操作信号５８１に与えることによっ″Ｃ１管路２中の液
体ｌの瞬時流量Ｑｍが瞬時流量設定信号６に応じた瞬時
流量値Ｑｓ Ｋ等しくなるように。
操作部７で液体ｌの流動を制御するよう（構成されてい
る。９は瞬時流量設定信号６を出力する投定信号発生部
で、この場合、信号６は第６図にＱｓで示した経時特性
線に従り″Ｃ経時変化をするように設定され工いる。第
５図においＣは各部が上述のようＶＣ構成されているの
で、液体ｌの瞬時流量Ｑｍはほぼ第６図の経時特性線Ｑ
、に沿り℃経時変化をすることになる。そうして瞬時流
量設定値ＱｓがＸを時間ｔの関数とＬ−Ｃ（１）式で表
されるものとすると、Ｑ、が零に到達する時刻Ｔでは１
反応槽３には（２）式で表される積算量ＶＳｅのｔ成体
ｌが貯蔵されることになる。
る。９は瞬時流量設定信号６を出力する投定信号発生部
で、この場合、信号６は第６図にＱｓで示した経時特性
線に従り″Ｃ経時変化をするように設定され工いる。第
５図においＣは各部が上述のようＶＣ構成されているの
で、液体ｌの瞬時流量Ｑｍはほぼ第６図の経時特性線Ｑ
、に沿り℃経時変化をすることになる。そうして瞬時流
量設定値ＱｓがＸを時間ｔの関数とＬ−Ｃ（１）式で表
されるものとすると、Ｑ、が零に到達する時刻Ｔでは１
反応槽３には（２）式で表される積算量ＶＳｅのｔ成体
ｌが貯蔵されることになる。
Ｑ 、 ＝ Ｘ （ｔ） ・・
・・・・（１）” ｓｅ ＝ｆＴＸ１ｔｌ＊ ｄ ｔ
・・・・、・（２）第６図におけるｖ８
は（３）式による積’Ｒ−ｔ Ｖ ｓ を示し℃おり
、■、がｔ ；Ｔ Ｖｃオイ１： ＶＳ６ ＶＣ；ｌ’
、、ｃ ルコとは上述した所から明らかである。（３）
式におけるＹはｔの関数である。
・・・・（１）” ｓｅ ＝ｆＴＸ１ｔｌ＊ ｄ ｔ
・・・・、・（２）第６図におけるｖ８
は（３）式による積’Ｒ−ｔ Ｖ ｓ を示し℃おり
、■、がｔ ；Ｔ Ｖｃオイ１： ＶＳ６ ＶＣ；ｌ’
、、ｃ ルコとは上述した所から明らかである。（３）
式におけるＹはｔの関数である。
Ｖ ｓ ” Ｊ″ Ｑ、 ・ｄ ｔ＝ ｆ Ｘ（ｔ）
−ｄｔ＝Ｙ（ｔ） −・・−（３１〔発明が解決し
ようとする問題点〕 第５図の流量制御装置では上述のようにし１流量制御が
行われるが、この流量制御系に液体ｌの供給圧力が変化
するなどの外乱が作用した場合。
−ｄｔ＝Ｙ（ｔ） −・・−（３１〔発明が解決し
ようとする問題点〕 第５図の流量制御装置では上述のようにし１流量制御が
行われるが、この流量制御系に液体ｌの供給圧力が変化
するなどの外乱が作用した場合。
液体１の瞬時流１帖が設定泥漿Ｑ、とは異なった値にな
り、この結果１時刻’ｆ ｖｃおい工反応槽３積 に貯蔵される液体ｌの谷ｗ Ｖ ｍｅに、（２）式で示
される積算量ＶＳｅとは異なった値になる。すなわち。
り、この結果１時刻’ｆ ｖｃおい工反応槽３積 に貯蔵される液体ｌの谷ｗ Ｖ ｍｅに、（２）式で示
される積算量ＶＳｅとは異なった値になる。すなわち。
第５図の流量制御装置にを：、瞬時流量ＱｍがＱｓにな
るように制御しているが、流量制御系に外乱が侵入する
とＱｍがＱ５に等しくなＩ−１ない場合が生じる結果１
反応槽３に貯蔵されろ液体ｌの最終貯蔵ｉＶ□ｅが設定
量ｖｓｅに対してかなり異なった値になるという問題点
があることになる。
るように制御しているが、流量制御系に外乱が侵入する
とＱｍがＱ５に等しくなＩ−１ない場合が生じる結果１
反応槽３に貯蔵されろ液体ｌの最終貯蔵ｉＶ□ｅが設定
量ｖｓｅに対してかなり異なった値になるという問題点
があることになる。
本発明の目的は、最終瞬時流量が零になるよう（するバ
ッジ式の瞬時流量プログラム制御部Ｗｔにおい″′ｃ、
外部の影ｍｌを受けることなく、バッジ工程の最終時に
得られる流動積′ＪＪｔ−１ｖ□ｅが設定積算ｉｔ ｖ
ｓｅに等しくなるようにすることにある。
ッジ式の瞬時流量プログラム制御部Ｗｔにおい″′ｃ、
外部の影ｍｌを受けることなく、バッジ工程の最終時に
得られる流動積′ＪＪｔ−１ｖ□ｅが設定積算ｉｔ ｖ
ｓｅに等しくなるようにすることにある。
上記問題点を解決するために１本発明によれば。
外部から入力される瞬時流量設定信号に応じた瞬時流量
値になるように液体の流動な制御する流量制御部と、前
記流量制御部によって流動が制御された前記液体の流動
積算量を検出してこの検出結果に応じた積算信号な出力
する積算量検出部と。
値になるように液体の流動な制御する流量制御部と、前
記流量制御部によって流動が制御された前記液体の流動
積算量を検出してこの検出結果に応じた積算信号な出力
する積算量検出部と。
前記積算信号に対しｔ所定の演算を行いこの演算結果に
応じた前記瞬時Ｒ，量膜設定信号出力する演算部とを備
えるように流量制御装置を構成するものとする。
応じた前記瞬時Ｒ，量膜設定信号出力する演算部とを備
えるように流量制御装置を構成するものとする。
上記のように構成すると１ｇ体の流動績′ｎ量が所定の
設定積算量く一致した時に演算部から出力される瞬時流
量設定信号の値が液体の零の瞬時流量に対応するように
演算部を構成しておけば、この時以降液体の流動が流量
制御部によって遮断されるので、流量制御系ｖｃｇ体の
供給圧力が変動するなどの外乱が侵入しても該液体の流
動積算量が設定積算量に対して異なった値になるという
ことは起らない。
設定積算量く一致した時に演算部から出力される瞬時流
量設定信号の値が液体の零の瞬時流量に対応するように
演算部を構成しておけば、この時以降液体の流動が流量
制御部によって遮断されるので、流量制御系ｖｃｇ体の
供給圧力が変動するなどの外乱が侵入しても該液体の流
動積算量が設定積算量に対して異なった値になるという
ことは起らない。
第１図は本発明の第１実施列の構成図である。
図におい工、ｌＯは反応槽３１Ｃ貯蔵された液体ｌの液
位を検出してこの液位に応じた信号１０ａを出力するよ
うにした液位針、１１は信号１０ａについて所定の演算
を行って反応槽３に貯蔵された液体ｌの貯Ｍ量ｖｍＶｃ
応じた信号１１３を出力するようにした貯蔵量演算部で
ある。貯蔵量ｖｍは流量制御部Ｂｖｃよって流動が制御
された液体ｌの流動積Ｗ、ｔｖｃ等しいから、液位針ｌ
Ｏと演算部ｆ’ｔとで、前記流動積算ｔｖｍを検出して
この検出結果に応じた信号ｉｔａを積算信号として出力
する積ｌｊ？、量検出部１２を構成しているということ
ができる。
位を検出してこの液位に応じた信号１０ａを出力するよ
うにした液位針、１１は信号１０ａについて所定の演算
を行って反応槽３に貯蔵された液体ｌの貯Ｍ量ｖｍＶｃ
応じた信号１１３を出力するようにした貯蔵量演算部で
ある。貯蔵量ｖｍは流量制御部Ｂｖｃよって流動が制御
された液体ｌの流動積Ｗ、ｔｖｃ等しいから、液位針ｌ
Ｏと演算部ｆ’ｔとで、前記流動積算ｔｖｍを検出して
この検出結果に応じた信号ｉｔａを積算信号として出力
する積ｌｊ？、量検出部１２を構成しているということ
ができる。
さて、前述したように、■ｓは（３）式で表される時間
ｔの関数であるから、関数Ｙの逆関数ｉ、、 ｙ−１で
表すと（４）式が得られ、したがって（す式と（４）式
とから（５）式が得られる。つまり％Ｑ５はｖ３の関数
Ｚで表されるわけで、この結果関数ＸとＹとＺとの間の
関係はたとえば第２図に示したようになる。
ｔの関数であるから、関数Ｙの逆関数ｉ、、 ｙ−１で
表すと（４）式が得られ、したがって（す式と（４）式
とから（５）式が得られる。つまり％Ｑ５はｖ３の関数
Ｚで表されるわけで、この結果関数ＸとＹとＺとの間の
関係はたとえば第２図に示したようになる。
、ｔ＝Ｙ（Ｖ、） ・・・・・・（滲Ｑ
、＝ＸｒＹ （Ｖ、））＝Ｚ（Ｖ、） ・
−・（５）すなわち、（５式のＶ、に流動積算量Ｖｍを
代入して得られろＱｓの値に、液体ｌの瞬時流量値Ｑｍ
が一致するように、液体ｌの流動？制御することができ
れば、液体目工瞬時流量値Ｑｍが詑２図に示した経時パ
ターンＱ５に従って制御されろわけで、この場合、編２
図から明らかなようＶｃＶ、 ＝ｖｓｅでＱ、＝０にな
るから％ｖｍがＶＳｅニ等Ｌ（なるとＱｍ＝０となる。
、＝ＸｒＹ （Ｖ、））＝Ｚ（Ｖ、） ・
−・（５）すなわち、（５式のＶ、に流動積算量Ｖｍを
代入して得られろＱｓの値に、液体ｌの瞬時流量値Ｑｍ
が一致するように、液体ｌの流動？制御することができ
れば、液体目工瞬時流量値Ｑｍが詑２図に示した経時パ
ターンＱ５に従って制御されろわけで、この場合、編２
図から明らかなようＶｃＶ、 ＝ｖｓｅでＱ、＝０にな
るから％ｖｍがＶＳｅニ等Ｌ（なるとＱｍ＝０となる。
第１図における１３は積算信号１１ａに対し工所定の演
算を行い、この演算結果に応じた信号として開時流量設
定信号６を出力するようにした演算部で、この演算部１
３においては、流動積算量■ｍな表す信号１１ａが入力
されろと％（５）式のｖ８ｖｃ Ｖｍの値を代入Ｌ″′
ＣＱ、を求める演算が行われて。
算を行い、この演算結果に応じた信号として開時流量設
定信号６を出力するようにした演算部で、この演算部１
３においては、流動積算量■ｍな表す信号１１ａが入力
されろと％（５）式のｖ８ｖｃ Ｖｍの値を代入Ｌ″′
ＣＱ、を求める演算が行われて。
その結果が％を号６として出力されるようになつ工いろ
。したがって、この流量制御系に液体１の供給圧力変動
のよっな外乱が侵入し王も、ｖｍがｖｓｅに等しくなれ
ばＱｓ＝Ｏとなり、このため流量制御部８によってＱ□
＝ＯＫされるので、液体１の最終積算量■ｍｅは設定最
終積算量ｖｓｅに等しくなってｖｍｅとｖｓｅとの間に
誤差を生じないことになろ。第２図においてＶ、＝Ｏの
時Ｑ５＝Ｏとイるとこの流量制御装置は起動しないので
、第２図のＱ。
。したがって、この流量制御系に液体１の供給圧力変動
のよっな外乱が侵入し王も、ｖｍがｖｓｅに等しくなれ
ばＱｓ＝Ｏとなり、このため流量制御部８によってＱ□
＝ＯＫされるので、液体１の最終積算量■ｍｅは設定最
終積算量ｖｓｅに等しくなってｖｍｅとｖｓｅとの間に
誤差を生じないことになろ。第２図においてＶ、＝Ｏの
時Ｑ５＝Ｏとイるとこの流量制御装置は起動しないので
、第２図のＱ。
−ｖ、％６ｖｃオイーｃ＋ｓ、 実際Ｋ）Ｓ、Ｖ、 ＝
ＯでＱｓに若干の値が与えられている。
ＯでＱｓに若干の値が与えられている。
第３図は本発明の第２実施例の構成図で１本図の第１図
と異なる所は、容器３が省略されていることと、瞬時流
量信号４ａが入力されるとこの信号に対し″Ｃ積分動作
を行つ”ｃｍ体ｌの流動積算量■ｍＶｃ応じた積算信号
１４ａを出力する流量積算部１４が設けられていること
で、この場合、演算部１３は、信号１４ａが入力される
と第１図の場合と同様な演算を行って信号６を出力する
ように構成されている。第３図で１′Ｌ流量積算部！４
が上記のようｖｃ構成されているので、流上１検出部４
と流量積算部１４とで、第１図における積算量検出部１
２と同様な機能を有する横算量検出部１５を構成してい
るということができる。したがって。
と異なる所は、容器３が省略されていることと、瞬時流
量信号４ａが入力されるとこの信号に対し″Ｃ積分動作
を行つ”ｃｍ体ｌの流動積算量■ｍＶｃ応じた積算信号
１４ａを出力する流量積算部１４が設けられていること
で、この場合、演算部１３は、信号１４ａが入力される
と第１図の場合と同様な演算を行って信号６を出力する
ように構成されている。第３図で１′Ｌ流量積算部！４
が上記のようｖｃ構成されているので、流上１検出部４
と流量積算部１４とで、第１図における積算量検出部１
２と同様な機能を有する横算量検出部１５を構成してい
るということができる。したがって。
第３図の流量制御装置においても、液体１の瞬時流量Ｑ
ｍを第２図に示した経時ＩＲ性Ｑ、に従って制御するこ
とができ、しかもこの場合流量制御系に外乱が侵入し又
も最終積算量ｖｍｅを設定ｔＶｓｅに等しくすることが
できる。
ｍを第２図に示した経時ＩＲ性Ｑ、に従って制御するこ
とができ、しかもこの場合流量制御系に外乱が侵入し又
も最終積算量ｖｍｅを設定ｔＶｓｅに等しくすることが
できる。
第４図は本発明の第３実施例の構成図である。
本図の第１図と太き（異なる所は、流量制御部８が容器
１６から管路１７を介し１排出される液体１の流量を制
＃するようになっていることで、この場合も容器１６に
は該容器に貯められた液体１の液位を検出して該液位に
応じた信号ｔＯａを出力する液位針が設けられ工いる。
１６から管路１７を介し１排出される液体１の流量を制
＃するようになっていることで、この場合も容器１６に
は該容器に貯められた液体１の液位を検出して該液位に
応じた信号ｔＯａを出力する液位針が設けられ工いる。
そうして、信号ｔＯａは排出量演算部１８に入力される
ようになっていて、この演算＠ｘ８は信号１０ａにもと
づき所定の演算を行って容器１６から排出された液体ｌ
の積算量ｖｍに応じた積算信号１８ａを出力するように
なっているので、この場合も、第１図の積算量検出部１
２と同じく、液位針ｌＯと演算部１８とで、流量制御部
８によりｔ流動が制御された液体ｌの流動積算量ｖｍを
検出してこの検出結果に応じた積算信号ｔ ｓ ’ａ
ｖ中力する積算量検出部１９を構成していると考えるこ
とができろ。
ようになっていて、この演算＠ｘ８は信号１０ａにもと
づき所定の演算を行って容器１６から排出された液体ｌ
の積算量ｖｍに応じた積算信号１８ａを出力するように
なっているので、この場合も、第１図の積算量検出部１
２と同じく、液位針ｌＯと演算部１８とで、流量制御部
８によりｔ流動が制御された液体ｌの流動積算量ｖｍを
検出してこの検出結果に応じた積算信号ｔ ｓ ’ａ
ｖ中力する積算量検出部１９を構成していると考えるこ
とができろ。
そうＬ℃、第４図におい工も、演算部１３は信号１８ａ
が入力されると第１図、第３図におけると同様な動作を
して信号６を出力するようになつ℃いるので、液体ｌの
最終積算排出量ｖｍｅを設定量ｖ、ｅに等しくすること
ができる。
が入力されると第１図、第３図におけると同様な動作を
して信号６を出力するようになつ℃いるので、液体ｌの
最終積算排出量ｖｍｅを設定量ｖ、ｅに等しくすること
ができる。
上述したようＶＣ，本発明においＣ・１．外部から入力
される瞬時流量設定信号に応じた瞬時流量値になるよう
に液体の流動を制御でる流量制御部と。
される瞬時流量設定信号に応じた瞬時流量値になるよう
に液体の流動を制御でる流量制御部と。
流量側ｇＩＪ部によって流動が制御された液体の流動積
算量を検出してこの検出結果に応じた積算信号を出力す
地積算量検出部と、積算信号に対し工所定の演算を行い
この演算結果に応じた前記瞬時流量設定信号を出力する
演算部とを備えるようにして流量制御装置なｒ４成した
。
算量を検出してこの検出結果に応じた積算信号を出力す
地積算量検出部と、積算信号に対し工所定の演算を行い
この演算結果に応じた前記瞬時流量設定信号を出力する
演算部とを備えるようにして流量制御装置なｒ４成した
。
このため、上記のようＶＣ構成すると、液体の流動積算
量が所定の設定積算量に一致した時に演算部から出力さ
れる瞬時流量設定信号の値が液体の零の瞬時流量に対応
するように演算部を構成しておけば、この時以降液体の
流動が流量制御部によって遮断さねるので、本発明には
、流量制御系に液体の供給圧力が変動するなどの外乱が
侵入しても液体の流動積算社が設定積算破に等しくなる
効果がある。
量が所定の設定積算量に一致した時に演算部から出力さ
れる瞬時流量設定信号の値が液体の零の瞬時流量に対応
するように演算部を構成しておけば、この時以降液体の
流動が流量制御部によって遮断さねるので、本発明には
、流量制御系に液体の供給圧力が変動するなどの外乱が
侵入しても液体の流動積算社が設定積算破に等しくなる
効果がある。
第１図、第３図及び第４図はそれぞれ本発明の第１．第
２及び第３実施例の各構成図、第２図は本発明の詳細な
説明図％第５図は従来の流量制御装置の構成図、第６図
は第５図に示した流量制御装置ｅにおける問題点の説明
図である。 ｌ・・・・・・液体％ ６・・・・・・瞬時流量設定信
号、８・・・・・・流量制御部ｓ ｌ ｌ ａｈ １
４ ａｅ １８ ａ・””’ ４算量号、１２゜１５．
１９・・・・・・積算量検出部、１３・・・・・・演算
部。 箋 １ 口 箆 ３１！］ ｖ ｚ 口 篤 ４ 口 箋 ５ 閉
２及び第３実施例の各構成図、第２図は本発明の詳細な
説明図％第５図は従来の流量制御装置の構成図、第６図
は第５図に示した流量制御装置ｅにおける問題点の説明
図である。 ｌ・・・・・・液体％ ６・・・・・・瞬時流量設定信
号、８・・・・・・流量制御部ｓ ｌ ｌ ａｈ １
４ ａｅ １８ ａ・””’ ４算量号、１２゜１５．
１９・・・・・・積算量検出部、１３・・・・・・演算
部。 箋 １ 口 箆 ３１！］ ｖ ｚ 口 篤 ４ 口 箋 ５ 閉
Claims (1)
- 外部から入力される瞬時流量設定信号に応じた瞬時流量
値になるように液体の流動を制御する流量制御部と、前
記流量制御部によって流動が制御された前記液体の流動
積算量を検出してこの検出結果に応じた積算信号を出力
する積算量検出部と、前記積算信号に対して所定の演算
を行いこの演算結果に応じた前記瞬時流量設定信号を出
力する演算部とを備えたことを特徴とする流量制御装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8557787A JPS63250717A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8557787A JPS63250717A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | 流量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63250717A true JPS63250717A (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=13862667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8557787A Pending JPS63250717A (ja) | 1987-04-07 | 1987-04-07 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63250717A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166026A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給湯制御装置 |
| JPS6174014A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-16 | Toshiba Corp | 積算流量調節装置 |
-
1987
- 1987-04-07 JP JP8557787A patent/JPS63250717A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166026A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 給湯制御装置 |
| JPS6174014A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-16 | Toshiba Corp | 積算流量調節装置 |
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