JPS63252973A - セラミックス複合体及びその製法並びにその用途 - Google Patents

セラミックス複合体及びその製法並びにその用途

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JPS63252973A
JPS63252973A JP62086871A JP8687187A JPS63252973A JP S63252973 A JPS63252973 A JP S63252973A JP 62086871 A JP62086871 A JP 62086871A JP 8687187 A JP8687187 A JP 8687187A JP S63252973 A JPS63252973 A JP S63252973A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックス複合体に係り、特に電気抵抗率
の異なる二種以上のセラミックスから成る電気部品に適
したセラミックス複合体に関する。
〔従来の技術〕
従来より発熱体としては金属発熱体やセラミックス発熱
体が提供されている。金属発熱体にはニクロムやタンタ
ルなどがあるが、これらは耐熱性に乏しく1000’C
以上になると劣化すると云う問題がある。
セラミックス発熱体として実用されているのは、炭化け
い素、安定化ジルコニア、ランタンクロマイト、モリブ
デンシリサイドなどがあるが、これらの材料は比較的電
気抵抗が高く、また抵抗温度係数が負であるために熱暴
走をひき起こし易く、温度制御が難しい。また機械的強
度、耐熱衝撃性も低いという欠点をもっており、これら
に代わる新しい導電性セラミックスが望まれており、い
ろいろな方法で検討されている。
例えば、特開昭57−41796号に示されているよう
に、SiOやSi3N4に導電性化合物を混合し、ホッ
トプレス焼結することにより上記の問題を解決している
。しかし、ホットプレス法は、焼結体の緻密化が可能で
あるが膨大なエネルギを必要とするために製造コストが
高いという問題がある。
また特開昭60−44990号に示されているように導
電性セラミックスの外層を電気絶縁性セラミックスで包
み一体焼結しているが、ホットプレス法であるため、先
と同様に膨大なエネルギを必要とし、複雑形状の一体成
形、一体焼結が困難である。
また、電気抵抗率が異なるセラミックスを一体焼結する
には、熱膨張係数を制御しなければならないが、ホット
プレス法では焼結温度が高いので。
熱膨張係数の差により焼結体にクラックが発生し易かっ
た。
更に、特開昭60−60983号に示されているように
、5iaN4に導電性化合物を混合し、常圧焼結法によ
り導電性セラミックスを得ているが、焼結助剤を利用す
るために高温での軟化や変形が生じる。また焼結時の体
積収縮が約40〜60%あり、変形などの問題がある。
焼結助剤を用いずに5iaN4粉末と導電性化合物を焼
結すると密度が向上しないために比抵抗が大きいという
問題があり、導電性セラミックスの性能としては不充分
である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
前記の従来技術によれば、特に焼結時の成形体の収縮に
ついて配慮されておらず、収縮に伴って変形が起こり、
特にこうした電気抵抗率の異なる層を2層以上複合した
焼結体を得ることは容易でなかった。
本発明の第1の目的は、ニアネットシエイプ(Near
 net 5hape)によって形成した電気抵抗率が
異なる層を2層以−ヒ有する複合セラミックスを提供す
ることにある。
本発明の第2の目的は、上記焼結体の焼結時の寸法変化
率が極めて小さい腹合セラミックスを提供することにあ
る。
第3の目的としては、前記複合セラミックスを用いた回
転電機の集電環を提供することにある。
更に、その他の目的については、明細書の記載から明ら
かとなろう。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のセラミックス複合体は、電気抵抗率のし 異なるセラミックスを一体成形、一体焼結!、金属Si
またはフェロSiから生成した5iaN++S i 2
N2O 、 S i○2の少なくとも1種の粒子または
ウィスカで結合したものである。
本発明におけるセラミックス複合体は、隣り合うセラミ
ックスの電気抵抗率が異なり、電気抵抗率を変えるため
の導電性化合物は非酸化物系の導電材であり、ma、I
Va、Va、VIat■族の窒化物、炭化物、ホウ化物
、ケイ化物であり、特にTiN、TiC,TiBz、T
i5iz、ZrN。
ZrC,ZrBz、Zr5iz、HfN、HfC。
TaN、TaC,TaBz、Ta5iz、MO2N。
Mo2C,MoB、CrzN、Cracz、CrB。
Cr5iz、NbN、NbC,Nb5iz、VN。
VC,WC,WS izが主に用いられる。
特に、T x N + T iCh Z r N + 
Z r C+ CrzN eCraCzは耐酸化性に優
れており好適である。
本発明において、電気抵抗率を小さくするための焼結体
中の導電性粒子の含有量は80voQ%以下とするのが
好ましい、なぜなら80voQ%より多くなるとセラミ
ックスの機械的強度、耐熱衝撃性、耐酸化性などの特性
が低下するからである。
本発明において、焼結体の電気抵抗率は、焼結体中の導
電性粒子を5〜80voQ%と変化させることにより、
任意に変化させることができる。さらに、電気絶縁性粒
子を焼結体中に含有させることにより、1014Ω1か
ら10−”0口の範囲で任意に作製できる。
本発明のセラミックス複合体は、金属Siまた、SL はフエゴ弓ら生成したS i aN4. S i zN
2O 。
SiO2の少なくとも一種で導電性粒子または絶縁性粒
子を結合したもので、焼結時の体積変化率が小さく、変
形もない。また、電気抵抗率の異なる層の2層間を金属
SiまたはフェロSiから生成した5iaN4,5iz
Nzo、またはSiO2で結合されており、結合界面は
母体と同様に耐熱。
]耐熱衝撃性に優れている。
本発明の焼結体は、その気孔率を5〜−0%とするのが
好ましい。気孔率が80%を越えると機械的強度が低下
すると共に抵抗率を小さくするのが困難である。また気
孔率が5%より小さいと金属Si、またはフェロSxが
反応するための窒化性ガスや酸化性ガスなどの通気抵抗
が大きくなり良好な焼結体を得ることが難しい。なぜな
ら導電性化合物や絶縁性化合物と金属Siまたはフェロ
Siが窒化性ガスや酸化性ガスなどと反応してS i 
3N4. S i 02+または5izNzO相に変化
させ絶縁性化合物や導電性化合物を結合するために、上
記のガスが成形体中を通過する通気孔が必要である。
焼結体中に気孔を5〜10%存在させることにより電気
抵抗率の異なるセラミックスの各層の熱膨張係数の違い
による応力を緩和するので焼結体のクラック発生を防止
できる。
また、本発明において、金属SiまたはフェロSiの平
均粒径を5μm以下とするのが好ましい。
なぜなら、平均粒径が5μmよりも大きくなると窒化時
間が長くなると共に残留Siが存在するようになるから
である。
本発明において、成形用バインダとしては例えばポリビ
ニルブチラールやポリエチレンなどの熱可塑性樹脂物や
、シリコンイミド化合物やポリシラン化合物などの有機
Si高分子化合物などが用いられ、その配合量は2〜2
O重量部添加し、成形体の相対密度を60%以上とする
のが好ましい。
本発明において、成形体は窒素、アンモニア、酸素(必
要に応じて水素、アルゴン、ヘリウム。
−酸化炭素などのガスを加える)などの窒化性。
酸化性、酸窒化性ガス雰囲気で少なくとも1350℃ま
で加熱する。
前記金属Si、フェロSi、絶縁性化合物および導電性
化合物は市販のものをそのまま用いることができる。な
お、ミルなどにより枠砕し、丸みを帯びた粒子を使用す
るのがより好ましい。
予めウィスカを原料に混合9分散させた場合は、全ての
ウィスカが粒子と結合されず、塊状のウィスカや単独で
存在するウィスカが焼結体粒子間に残る。これに対し本
発明では粒子間の空隙を成形体中の粒子から生成した多
数の針状のウィスカがほぼ真直ぐに交差することにより
結合し、耐熱衝撃性、高強度に大きく寄与する。
本発明によれば、絶縁性化合物および導電性化合物の粒
子及び/又はウィスカ間の空隙を、成形体中のSi粒子
から生成した多数のウィスカにより3次元的に結合され
ており、結合状態でないウィスカがほとんど存在しない
ので高じん性、高温強度の優れた焼結体が得られる。
前記絶縁性化合物および導電性化合物の粒子の平均粒径
は、100μm以下とするのが好ましい。
なぜなら100μmより大きくなると焼結体の強度を低
下させる。また絶縁性化合物および導電性化合物の既製
のウィスカを用いるときは、平均アスペクト比2〜50
、長さ0.2〜100μmが好ましい。アスペクト比が
2未満、長さが0.2μm1未満だとウィスカとしての
効果がないし、またアスペクト比が50を超え、長さが
100μm超えると原料の混合が難しく、分散性が悪く
なる。
本発明において、焼結体中の生成粒子およびウィスカに
対してウィスカが1〜70voQ%(好ましくは10〜
30voQ%)含まれる複合セラミックスとした理由は
、上記範囲外では効果が得られないからである。
成形方法は、射出成形、鋳込み成形、ラバープレス成形
、押出し成形1.金型成形など形状と要求特性に応じて
成形方法を選択する。
この成形体から成形助剤等を除去させた後、本発明に従
って、ウィスカ生成熱処理を行う。
本発明において、金属SiまたはフェロSiから生成す
る粒子またはウィスカは、Si3N4が最も好ましい。
本発明において、導電性化合物のうちケイ化物、ホウ化
物は窒化性ガス中において窒素と反応するために、焼結
時間が不適切であると焼結体にクラックが入りやすいの
で、窒化物、炭化物を用いるのが最が好ましい。
本発明において、Si粒子から生成するウィスカ以外に
、原料としてS 1aN4+ S i Cなどのウィス
カを混合してもよい。但し、多く混合すると不均質にな
り好ましくない。また、絶縁性化合物、導電性化合物に
ウィスカを使用しても良い。
本発明において、焼結体の気孔率を5%より小さくする
ために、焼結した焼結体を再焼結することも可能である
。再焼結は、ホットプレスや熱間静水圧プレスまた焼結
助剤を利用した常圧による二次焼結が可能である。これ
により、ウィスカが焼結体中に3次元に存在するため高
熱性のセラミックス複合体が得られる。但し、熱膨張係
数の差をできる限り小さくしないとクラックが入る可能
性がある。
また1本発明の焼結体は気孔を有するので、その気孔中
に潤滑剤等を含有させることもできる。
〔作用〕
本発明のセラミックス複合体は、セラミックス複合体中
の導電性化合物及び絶縁性化合物を金属Siから生成し
たS i 3N4. S i zNz○またはS i 
O2粒子またはライ・スカが強固に結合するために、焼
結時の体積変化率が小さく、耐熱性、に優れている。ま
た、気孔を有するので耐熱衝撃を吸収できる。
本発明によれば、焼結による体積変化率が小さく、導電
性化合物、絶縁性化合物の配合量を調整することにより
1Q14〜10−bオームmの範囲で任意の抵抗率を持
つセラミックス複合体が容易に得られる。
これにより、各種ヒータ、発電機集電材、モータ用ブラ
シ、スタータモータ用コンミテータ、オルタネータ用コ
ンミテータなどに用いることができる。
以下に、実施例を示し本発明を更に具体的に説明する。
〔実施例〕
実施例1 平均粒径0.9μmの金属Si粉末を22.7wt%、
平均粒径1.2μmのTiN粉末を77.3wt%混合
した原料100重量部に対してポリエチレン系熱可塑性
樹脂、ステアリン酸からなるバインダを9重量部添加し
、加圧ニーダを用いて160℃で12時間混練した。そ
して、混線物を10Mesh以下に粉砕したのち、導電
体セラミックスAの原料とした。
次に、平均粒径0.9μmの金属Si粉末を38wt%
、平均粒径2μmのAl2O3粉末を62Wj%混合し
た原料100重量部に対して低密度ポリエチレン、合成
ワックス、ステアリン酸を加えたものからなるバインダ
を9重量部添加し、加圧ニーダを用いて160℃で12
時間混練した。そして、混練物をlOMesh以下に粉
砕し、絶縁体セラミックスBの原料とした。
次に、金型にセラミックスAおよびBの原料を順に16
0’C,1000kg/adで充填し、第1図に示すよ
うな層状のリングを成形した。そして、成形体中のバイ
ンダを3℃/hで500℃まで加熱して除去したのち窒
素雰囲気中5℃/ m i nで1100℃まで加熱し
、1100℃〜1350℃まで4℃/hの昇温速度で長
時間かけて加熱することにより、b ia N 4のウ
ィスカ/粒子=179を含む焼結体を得た。
ここで、このウィスカ/粒子の配合比は、1100℃〜
1400℃までの加熱昇温速度を変化させ、昇温の途中
に段階的に保持することにより調整することができる。
また、ウィスカ/粒子の割合は、焼結体の走査電顕fj
A察、透過電顕観察から求めることができる。得られた
焼結体の特性を第1表に示す。成形体から焼結体への寸
法変化率は±0.2%と小さく、クラックも発生しなか
った。セラミックスA部の抵抗率は9x10″″4Ω1
.セラミックス8部の抵抗率は7X10”0口であった
。導電部と絶縁部との境界付近の電顕写真を第2図に示
す。導電部と絶縁部は強固に結合していることが判る。
これは、金属Siから生成した5iaNaにより結合さ
れている。
第1表 ここで、導電部の熱膨張係数は5.2 X 10″″B
℃′″1、絶縁部は5.I X 10−6℃−1、はと
んど同じ値を示し、この点からも耐熱衝撃性が優れてい
実施例1のT’jN粒子の代わりに第2表に示す導電性
粒子を添加し、実施例1と同様に成形、焼結した。その
結果を第2表に示す。絶縁部Bの焼結体組成は実施例1
と同様S i3N番 : A Q 2O8=50:50
(voQ%)であるので第2表への記載への寸法変化率
は+0.2%以下と小さく、クラックも発生もなかった
。導電部Aと絶縁部Bとの境界は、実施例1同様に強固
に結合している。
また、導電性化合物と絶縁性化合物を複合混存させるこ
とによっても電気抵抗率を1014Ω口から10−6Ω
1まで任意に組合せて一体成形、一体焼結可能である。
比較例1〜2 比較のために実施例1の金属Si粉末のかわりに平均粒
径0.8μmの5iaNa粉末を使用し、同様にして成
形体を得、ホットプレスを用いて真空中、150kg/
a+f、1800℃で4時間焼結して焼結体を得た。ま
た、焼結助剤としてY2O3゜AQNを各3voQ%添
加し、実施例1と同様にして成形し、窒素雰囲気中、1
800℃で4時間、常圧焼結した。得られた焼結体の特
性を第3表に示す。
第3表 以上より、ホットプレス品、常圧焼結晶と4鵜結体にク
ラッタが入り、良好なセラミックス複合体を得ることカ
ーできなかった。本発明品がクランクや変形を起さない
のは、焼結温度が低く、かつ開気孔を有するため熱膨張
係数の差による応力が緩和されるものと考えられる。
実施例37〜43 平均粒径0.9μmの金fisi粉末と平均粒径1.2
 μmのTiN粉末を第4表の割合に混合した原料10
0重量部に対してポリエチレン系熱可塑性樹脂、ステア
リン酸からなるバインダを9重量部添加し、加圧ニーダ
を用いて160℃で12時間混練した。そして、混練物
を10Mesh以下に粉砕したのち、導電体セラミック
スAの原料とした。次に、平均粒径0.9μmの金属S
i粉末と平均粒径2μmのAl2zOa粉末を第4表の
割合に混合した原料100重量部に対してポリエチレン
系熱可塑性樹脂、ステアリン酸からなるバインダを9重
量部添加し、加圧ニーダを用いて160℃で12時間混
練した。そして、混練物を10Mesh以下に粉砕し、
絶縁体セラミックスBの原料とした。
次に、金型にセラミックスAおよびBの原料を順に充填
し、第3図に示すような層状のリングを成形した。そし
て、成形体中のバインダを除去したのち窒素雰囲気中5
℃/ m i nで1000℃まで加熱し、1100℃
〜1350℃まで3℃/hの昇温速度で長時間かけて加
熱することにより、5isNaのウィスカ/粒子=2/
9の焼結体を得た。得られた焼結体の特性を第4表に示
す。
以上より9本発明は、導電性化合物の配合量を変えるこ
とにより、電気抵抗率の異なる層から成るセラミックス
を一体成形、一体焼結することができる。
第4図は、TiN含有量と焼結時の体積変化率を、また
AQzOa含有量と焼結時の体積変化率の関係を示す図
である。
また比較例として、先の比較例2の焼結体組成を実施例
37〜43と同様の焼結体組成にして、比較例2と同様
の条件で成形、焼結2、焼結時の寸法変化率が極めて小
さく、クラックもない優れた焼結体が得られる。
第5図に、曲げ強さと試験温度の関係を示す。
第5図から本発明品は、高温でも強度低下がない。これ
に対し比較例量は、焼結助剤を添加しているためにガラ
ス相が存在し、このガラス相が高温で軟化するために高
温での強度が低下するものと考える。
実施例44 実施例1と同様にして、セラミックスAをフェロSi粉
末(平均粒径2μm)をSi3N+換算で50voQ%
とZrN粉末(平均粒径2μm)50voQ%、混合し
た原料100重量部に対してバインダとしてポリシラン
化合物を10重量部添加した混合粉とし、セラミックス
Bは、実施例1と同じ配合量でバインダとしてポリシラ
ン化合物を10重量部添加した混合粉とした。これらの
粉末を実施例1と同様に成形したのち、窒化性雰囲気中
で最高1450℃まで段階的に時間をかけて加熱し、焼
結体を得た。
得られたセラミックス複合体の特性は、相対密度93%
、抵抗率4 X 10−3Q ・cm、曲げ強さ42O
M P a 、焼結時の寸法変化率+3.8%である。
実施例45 実施例44と同様に、原料フェロSi粉末の粒径を変え
たものについて曲げ強さとの関係を調べた。
第6図にその結果を示す。Si粒径は5μrn以下がよ
い。
5μmを超えると、焼結体中に未窒化のSiが残り、こ
れが加熱によって蒸発するために強度が低下するものと
考える。
実施例46〜50および比較例3.4 実施例1と同様にして成形体を作成した。そして、窒素
雰囲気中1100℃から1400℃まで昇温速度を変え
、段階的に加熱時間を変えて焼結を行い、5ial’L
aウイスカの生成量を調整した焼結体を得た。得られた
焼結体の特性を第5表に示す。
以上より、Siより生成した5iaN4相の1〜7Qv
oQ%5iaN4ウィスカが存在する本発明品は、耐熱
衝撃性に優れていることが判る。
ここで、熱衝撃値は焼結体を12O0℃で30分間保持
した後、水中に投入して急冷し、亀裂を発生するまで反
復し、その回数を以下示した。
実施例51〜57 実施例1と同様にして成形体を作製した。そして、窒化
性ガス中の酸素分圧を変化させて、金属Siから生成す
る和をS 13Na、S 12Nzo。
SiO2の各量を調整した焼結体を得た。得られた焼結
体の特性を第6図に示す。
以上より、Siから生成した相が5iaNaよりS 1
zNzo、5i02が多くなると抵抗率、耐熱衝撃性が
低下する傾向がある。
実施例58〜61 実施例1のTiNおよびAl112O3粒子のかわり表 に第7viに示す原料を添加し、同様に成形、焼結を行
った。その結果を第7表に示す。
本発明品は導電性化合物と絶縁性化合物を複合して組合
せることにより電気抵抗率を1014Ωlから10−1
80口の範囲で任意に組合せて一体成形。
一体焼結可能である。
第7表 実施例62 自動車のオルタネータ用集電材として、実施例1で得ら
れたS i 3N4/T i N導電性セラミックスと
S i 3N4/ A n 2O a絶縁性セラミック
スを第3図に示すように一体成形、一体焼結した。そし
て、集電特性を検討した。その結果を第8表に示す。こ
れより、本発明品は従来の銅/耐熱性樹脂に較べ、耐熱
性、耐摩耗性に優れていることが判る。
第  8  表 条件:30.OOOrpm 集電子電流密度70A/cnf 実施例63 自動車のスタータモータ用コンミテータとして、実施例
1で得られたS i aN4/ T i N導電性セラ
ミックスとS 1aNa/AQzoa絶縁性セラミツク
スを第7図に示すように一体成形、一体焼結した。
そして、集電特性を検討した。その結果、先の実施例6
3と同様に本発明品は従来の銅/耐熱性樹脂に較べ、耐
熱性、耐摩耗性に優れており、不燃化モータの作成が可
能であることが確認できた。
実施例64 平均粒径0.5μmの金属Si粉末22.7wt%、ア
スペクト比50、長さ50μmのTiNウィスカ77.
3 w t%混合した原料100重量部に対し低密度ポ
リエチレン、合成ワックスおよびステアリン酸から成る
バインダ9重量部添加し。
加圧ニーダを用いて160℃、12時時間線した。
該混線物を10Mesh以下に粉砕したのち、導電体セ
ラミックスAの原料とした。
次いで、平均粒径0.9μmの金属5138wし%、平
均粒径35pmのAQ2O3wt%混合した原料100
重量部に対し上記バインダ9重量部添加し、上記と同様
混練したものを粉砕し、絶縁体セラミックスBの原料と
した。これらA、 Bを用いて実施例1同様にし、複合
焼結体を作成した。
該焼結体の寸法変化率は+0.2%で、A部は、抵抗率
7X10″′4Ω■、気孔率18%2曲げ湿度291M
Pa、熱膨張径数54X10−6であった。また、B部
は、抵抗率5X10”0口、気孔率2O%1曲げ湿度2
50 M P a、熱膨張径数5、lX10−’であっ
た。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ニアネットシエイプによって成形焼結
された焼結体は1寸法変化率が極めて小さく、導電性部
と絶縁性部とが任意の抵抗率のセラミックス複合体を容
易に提供することができる。
これを用いることにより、セラミックスヒータ、回転電
機用集電環、モータ用ブラシ、スタータモータ用コンミ
テータ、オルタネータ用コンミテータなどを提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第3図、第7図は本発明のセラミックス複合体
の一実施例を示す図、第2図はセラミックス複合体の導
電性部と絶縁性部の焼結体の結晶粒子の顕微釘写X図、
第4図はTiN、AΩXOS含有量と焼結時の寸法変化
率との関係を示す図。 第5図は曲げ強さと温度との関係を示す図、そして第6
図は金gCSi粒径と曲げ強さとの関係を示す図である
。 1・・・導電性部、2・・・絶縁性部。 代理人 71.エ 7J1,11□ ・、二じ第 3 
日 第 4 口 丁rRor Af!2O3 t (VO)y、)弗 5
 口 試験l(°す Sll径径/J悄) 第 7a 2         Z−1

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物また
    は酸窒化物から選ばれる1種以上から成る無機化合物粒
    子とSi_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO_
    2の粒子およびウイスカを含み、且つ、前記無機化合物
    中の導電性成分の量が異なる層が2層以上一体焼結され
    、該焼結体が気孔率5〜40%の開気孔を有することを
    特徴とするセラミックス複合体。 2、前記Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSi
    O_2の粒子およびウイスカの比が容積比で ウイスカ/粒子=(1/99〜70/30)であること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載のセラミックス
    複合体。 3、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物また
    は酸窒化物から選ばれる1種以上から成る無機化合物粒
    子とSi_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO_
    2の粒子およびウイスカとを含み、且つ、導電性の層と
    、導電性粒子を含まない絶縁性の層とが2層以上一体焼
    結され該焼結体が気孔率5〜40%の開気孔を有するこ
    とを特徴とするセラミックス複合体。 4、前記Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSi
    O_2の粒子およびウイスカの比が容積比で ウイスカ/粒子=(1/99〜70/30)であること
    を特徴とする特許請求の範囲第3項記載のセラミックス
    複合体。 5、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物また
    は酸窒化物から選ばれる1種以上から成る無機化合物粒
    子が、Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO
    _2の粒子およびウイスカによつて結合され、且つ、導
    電性粒子成分の量が異なる層が2層以上一体焼結され該
    焼結体が気孔率5〜40%の開気孔を有することを特徴
    とするセラミックス複合体。 6、前記Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSi
    O_2の粒子およびウイスカの比が容積比で ウイスカ/粒子=(1/99〜70/30)であること
    を特徴とする特許請求の範囲第5項記載のセラミックス
    複合体。 7、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物また
    は酸窒化物から選ばれる1種以上から成る無機化合物粒
    子が、Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO
    _2の粒子およびウイスカによつて結合され、且つ、導
    電性粒子成分を含む層と、導電性粒子成分を含まない層
    とが一体焼結され、該焼結体が気孔率5〜40%の開気
    孔を有することを特徴とするセラミックス複合体。 8、前記Si_3N_4、Si_2N_2またはSiO
    _2の粒子およびウイスカの比が容積比で ウイスカ/粒子=(1/99〜70/30)であること
    を特徴とする特許請求の範囲第7項記載のセラミックス
    複合体。 9、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物また
    は酸窒化物から選ばれる1種以上から成る無機化合物粒
    子とSi_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO_
    2の粒子およびウイスカを含み、且つ、電気抵抗率が異
    なる層が2層以上一体焼結され、該焼結体が気孔率5〜
    40%の開気孔を有することを特徴とするセラミックス
    複合体。 10、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物ま
    たは酸窒化物から選ばれる少なくとも導電性成分の1種
    を含む無機化合物の粉末と金属Si粉末を成形バインダ
    と混合した原料Aと、炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化
    物、ケイ化物または酸窒化物から選ばれる導電性成分を
    含まない無機化合物の粉末と金属Si粉末を成形バイン
    ダと混合した原料Bとを、層状に一体成形し、該成形体
    を窒化性雰囲気中(または酸化性雰囲気)で焼結するこ
    とにより、Si_3N_4、Si_2N_2O(または
    SiO_2)の粒子およびウイスカを生成して前記炭化
    物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物または酸窒化
    物の焼結粒子を結合することにより導電性成分の量が異
    なる層を2層以上有するセラミックス複合体の製法。 11、回転電機の相数に対応した導電部のそれぞれが絶
    縁材により層状に絶縁されて形成された回転電機用の集
    電環において、 A.前記導電部が (1)炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物、ケイ化物ま
    たは酸窒化物から選ばれる1種以上、 (2)導電性無機化合物粒子、 (3)Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO
    _2の粒子およびウイスカから成り、 B.前記絶縁材が (1)酸化物、ホウ化物、ケイ化物または酸窒化物から
    選ばれる絶縁性無機化合物と (3)Si_3N_4、Si_2N_2OまたはSiO
    _2の粒子およびウイスカから成り、 上記導電部と絶縁材が一体焼結されているセラミックス
    複合体より構成されていることを特徴とする回転電機用
    の集電環。
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