JPS63254767A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS63254767A JPS63254767A JP62089536A JP8953687A JPS63254767A JP S63254767 A JPS63254767 A JP S63254767A JP 62089536 A JP62089536 A JP 62089536A JP 8953687 A JP8953687 A JP 8953687A JP S63254767 A JPS63254767 A JP S63254767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- horizontal
- imaging device
- state imaging
- solid
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/15—Charge-coupled device [CCD] image sensors
- H10F39/158—Charge-coupled device [CCD] image sensors having arrangements for blooming suppression
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は固体撮像装置に関するものである。
従来の技術
第３図は従来の固体撮像装置を構成している垂直転送Ｃ
ＣＤと水平転送ＣＣＤの結合部分の図である。第３図に
おいて、１．２，３．４は水平転送ゲート、５は水平転
送チャネル、６は垂直転送チャネル、７は垂直転送ゲー
トの最終ゲートである０ 以上のように構成された従来の水平転送ＣＣＤについて
以下その動作を説明する。
ＣＤと水平転送ＣＣＤの結合部分の図である。第３図に
おいて、１．２，３．４は水平転送ゲート、５は水平転
送チャネル、６は垂直転送チャネル、７は垂直転送ゲー
トの最終ゲートである０ 以上のように構成された従来の水平転送ＣＣＤについて
以下その動作を説明する。
水平転送ゲー）１．２，３，４および垂直転送ゲートの
最終ゲート７の各電圧をそれぞれφＨ１ＴφＨ２＋φＢ
３．φＨ４，φマ４とする。水平ブランキング期間中の
それぞれのクロックを第４図に示す。
最終ゲート７の各電圧をそれぞれφＨ１ＴφＨ２＋φＢ
３．φＨ４，φマ４とする。水平ブランキング期間中の
それぞれのクロックを第４図に示す。
水平ブランキング期間中に、水平転送ゲートの電圧を、
φＨ２＞φＩｌｌ＞φ［４＞φ１１５とセットしておく
。
φＨ２＞φＩｌｌ＞φ［４＞φ１１５とセットしておく
。
そして、垂直転送ゲートに転送りロックパルスを印加す
ることによって垂直転送チャネルから水平転送チャネル
に信号電荷を転送する。次に水平転送ゲー）１．２，３
．４に転送パルスを印加することによって、出力部に信
号電荷を順次転送する。
ることによって垂直転送チャネルから水平転送チャネル
に信号電荷を転送する。次に水平転送ゲー）１．２，３
．４に転送パルスを印加することによって、出力部に信
号電荷を順次転送する。
最近、一度垂直転送チャネルにある信号電荷を排出した
あと、必要な信号電荷を転送したいという要望がある。
あと、必要な信号電荷を転送したいという要望がある。
そこで、現在では垂直転送チャネルに存在する余分な信
号電荷は水平転送チャネルのある方向とは逆の方向に設
けられたドレインに排出したあと、次に必要とする信号
電荷を、水平転送チャネルに転送するという手法が用い
られている。
号電荷は水平転送チャネルのある方向とは逆の方向に設
けられたドレインに排出したあと、次に必要とする信号
電荷を、水平転送チャネルに転送するという手法が用い
られている。
発明が解決しようとする問題点
ところが、この方法では余分な信号電荷を排出する時と
、必要とする信号電荷を転送する時とで、転送方向が異
なるために、垂直転送部分の近くで光電変換された信号
電荷の一部が垂直転送チャネルに混入することによって
発生する、いわゆるスミア信号電荷が、光が照射された
部分よシ水平転送チャネルとは反対側で重畳されてしま
う。
、必要とする信号電荷を転送する時とで、転送方向が異
なるために、垂直転送部分の近くで光電変換された信号
電荷の一部が垂直転送チャネルに混入することによって
発生する、いわゆるスミア信号電荷が、光が照射された
部分よシ水平転送チャネルとは反対側で重畳されてしま
う。
本発明は上記欠点に鑑み、スば子信号が重畳されること
を防ぐことができる固体撮像装置を提供するものである
。
を防ぐことができる固体撮像装置を提供するものである
。
問題点を解決するための手段
上記欠点を解決するために、本発明の固体撮像装置は、
水平ＣＣＤチャネルの下側に、余分な信号電荷を排出す
るオーバーフロードレインを設けて構成されている。
水平ＣＣＤチャネルの下側に、余分な信号電荷を排出す
るオーバーフロードレインを設けて構成されている。
作用
この構成によって、余分な信号電荷を排出する時と、必
要とする信号電荷を転送する時とで、転送方向を変える
必要がなくなるために、スミア信号電荷が重畳されると
いう現象を完全に防ぐことができる。
要とする信号電荷を転送する時とで、転送方向を変える
必要がなくなるために、スミア信号電荷が重畳されると
いう現象を完全に防ぐことができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。第１図は、本発明の実施例における固体撮像
装置の水平ＣＣＤと垂直ｃａｎの結合部分の上面図であ
る。
説明する。第１図は、本発明の実施例における固体撮像
装置の水平ＣＣＤと垂直ｃａｎの結合部分の上面図であ
る。
第１図において、８は垂直ＣＣＤから、水平ＣＣＤへ転
送されてきた余分な信号電荷を、オーバーフローさせる
、転送チャネルとは反対導伝型の打返し層、９は余分な
信号電荷を吸いとるためのドレイン、第２図は第１図に
おけるムー人′の断面図である。この図は転送チャネル
が、ｎ型チャネルの場合である。１０はゲート酸化膜で
ある。
送されてきた余分な信号電荷を、オーバーフローさせる
、転送チャネルとは反対導伝型の打返し層、９は余分な
信号電荷を吸いとるためのドレイン、第２図は第１図に
おけるムー人′の断面図である。この図は転送チャネル
が、ｎ型チャネルの場合である。１０はゲート酸化膜で
ある。
以上のように構成された固体撮像装置の動作について説
明する。
明する。
余分な信号電荷をドレイン９に排出する時には、水平転
送ゲート１，２には、それぞれ、第２図のφＨ１，φＨ
２の電圧を印加しておく。余分な信号電荷は、垂直転送
チャネルから、水平転送チャネルに転送されるが、その
信号電荷が多い場合、水平転送チャネルの容量をオーバ
ーしてしまう。そのオーバーした信号電荷はチャネルと
は反対導伝型の打返し層８を通って、ドレイン９に吸い
とられるように、ドレイン９にドレイン電圧ＶＤを印加
しておく。
送ゲート１，２には、それぞれ、第２図のφＨ１，φＨ
２の電圧を印加しておく。余分な信号電荷は、垂直転送
チャネルから、水平転送チャネルに転送されるが、その
信号電荷が多い場合、水平転送チャネルの容量をオーバ
ーしてしまう。そのオーバーした信号電荷はチャネルと
は反対導伝型の打返し層８を通って、ドレイン９に吸い
とられるように、ドレイン９にドレイン電圧ＶＤを印加
しておく。
そして最後に水平ＣＣＤにまだ残っている余分な信号電
荷は、ダミーの信号として、出力部へ、転送してしまう
。以上のようにして、余分な信号電荷を全て排出した後
、必要とする信号電荷を垂直転送チャネルから水平転送
チャネルへ転送し、出力部へ、その信号電荷を順次転送
する。
荷は、ダミーの信号として、出力部へ、転送してしまう
。以上のようにして、余分な信号電荷を全て排出した後
、必要とする信号電荷を垂直転送チャネルから水平転送
チャネルへ転送し、出力部へ、その信号電荷を順次転送
する。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば、極めて簡単な
水平転送ＣＣＤの構成で、スミア信号の重畳という現象
を防ぐことができ、実用的に極めて有用である。
水平転送ＣＣＤの構成で、スミア信号の重畳という現象
を防ぐことができ、実用的に極めて有用である。
第１図は、本発明の実施例における固体撮像装置の水平
ｃａｐと垂直ａｃＤの結合部の平面図、第２図は、第１
図のム−Ａ′の断面図、第３図は、従来の固体撮像装置
の水平転送ＣｔＣＤと垂直転送ＣＣＤの結合部の平面図
、第４図は、水平ブランキング期間の、水平転送ゲート
、及び、垂直転送ゲートの最終段のパルス波形を示す図
である。 １．２，３．４・・・・・・水平転送ゲート、５・川・
・水平転送チャネル、６・・・・・・垂直転送チャネル
、７・・・・・・最終段の垂直転送ゲート、８・・・・
・・反対導伝型の打返し層、９・・・・・・オーバーフ
ローした信号電荷を吸いとるドレイン。
ｃａｐと垂直ａｃＤの結合部の平面図、第２図は、第１
図のム−Ａ′の断面図、第３図は、従来の固体撮像装置
の水平転送ＣｔＣＤと垂直転送ＣＣＤの結合部の平面図
、第４図は、水平ブランキング期間の、水平転送ゲート
、及び、垂直転送ゲートの最終段のパルス波形を示す図
である。 １．２，３．４・・・・・・水平転送ゲート、５・川・
・水平転送チャネル、６・・・・・・垂直転送チャネル
、７・・・・・・最終段の垂直転送ゲート、８・・・・
・・反対導伝型の打返し層、９・・・・・・オーバーフ
ローした信号電荷を吸いとるドレイン。
Claims (1)
- 一導伝型の半導体基板上に垂直ＣＣＤ及び水平転送ＣＣ
Ｄが形成されるとともに、前記水平転送ＣＣＤが、前記
垂直転送ＣＣＤと接続されている側とは反対側に、一導
伝型の半導体領域を介して、反対導伝型の半導体領域と
接していることを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62089536A JPS63254767A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62089536A JPS63254767A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63254767A true JPS63254767A (ja) | 1988-10-21 |
Family
ID=13973536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62089536A Pending JPS63254767A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63254767A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02205359A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Sharp Corp | 固体撮像装置 |
| US5902995A (en) * | 1996-07-30 | 1999-05-11 | Nec Corporation | CCD image sensor with overflow barrier for discharging excess electrons at high speed |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58125958A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像素子 |
| JPS58212167A (ja) * | 1982-06-03 | 1983-12-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | インタ−ライントランスフア−電荷結合素子 |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP62089536A patent/JPS63254767A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58125958A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 固体撮像素子 |
| JPS58212167A (ja) * | 1982-06-03 | 1983-12-09 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | インタ−ライントランスフア−電荷結合素子 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02205359A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Sharp Corp | 固体撮像装置 |
| US5902995A (en) * | 1996-07-30 | 1999-05-11 | Nec Corporation | CCD image sensor with overflow barrier for discharging excess electrons at high speed |
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