JPS6325530B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6325530B2 JPS6325530B2 JP54041815A JP4181579A JPS6325530B2 JP S6325530 B2 JPS6325530 B2 JP S6325530B2 JP 54041815 A JP54041815 A JP 54041815A JP 4181579 A JP4181579 A JP 4181579A JP S6325530 B2 JPS6325530 B2 JP S6325530B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- soft metal
- thin film
- fork type
- type crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0504—Holders or supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
- H03H9/0519—Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は音叉型水晶振動子の支持構造に関する
ものである。
ものである。
最近腕時計用音叉型水晶振動子は特に小型薄型
化の傾向が著しくなつて来た。この音叉型水晶振
動子は第１図に示す如く、１は音叉型水晶片で、
該水晶片１は化学的エツチング加工により形成さ
れているので厚さは0.1mm以下となつており、２
は音叉型水晶片１を支持する金属製リード端子
で、該端子２は半田等軟質金属又は接着剤によつ
て、前記水晶片１と接合され、また３は気密端
子、４は円筒状容器である。このような構成であ
るため支持部の接合部材に接着剤を使用する場
合、接着剤には多量のガスが内蔵されており、気
密封止直前に脱ガスを行つても完全に脱ガスする
ことは困難であり、この為、気密封止後に接着剤
から徐々にガスが放出され容器内の真空度を悪く
し、結果的に水晶振動子のＱ値を低下させること
になつてしまう。一方、ガス発生を抑えるために
接着剤の使用量を少く限定しようとすると、接着
剤そのものの接着強度不足により衝撃等の外乱に
弱くなる欠点を有している。
化の傾向が著しくなつて来た。この音叉型水晶振
動子は第１図に示す如く、１は音叉型水晶片で、
該水晶片１は化学的エツチング加工により形成さ
れているので厚さは0.1mm以下となつており、２
は音叉型水晶片１を支持する金属製リード端子
で、該端子２は半田等軟質金属又は接着剤によつ
て、前記水晶片１と接合され、また３は気密端
子、４は円筒状容器である。このような構成であ
るため支持部の接合部材に接着剤を使用する場
合、接着剤には多量のガスが内蔵されており、気
密封止直前に脱ガスを行つても完全に脱ガスする
ことは困難であり、この為、気密封止後に接着剤
から徐々にガスが放出され容器内の真空度を悪く
し、結果的に水晶振動子のＱ値を低下させること
になつてしまう。一方、ガス発生を抑えるために
接着剤の使用量を少く限定しようとすると、接着
剤そのものの接着強度不足により衝撃等の外乱に
弱くなる欠点を有している。
このような接着剤による脱ガス現象を防止する
ため、支持部の接合部材に半田を使用する場合
は、金くわれ現象が避けられず、その対策として
音叉型水晶片の基部の支持部のみ1μm以上の厚い
金メツキ等を施す必要があり、材料コスト的に不
利で又半田付け作業時に音叉型水晶片１又は金属
細棒２に予ビ半田付け作業を何らかの方法で施さ
なければならず、加工時間の面でコスト高は免れ
なかつた。
ため、支持部の接合部材に半田を使用する場合
は、金くわれ現象が避けられず、その対策として
音叉型水晶片の基部の支持部のみ1μm以上の厚い
金メツキ等を施す必要があり、材料コスト的に不
利で又半田付け作業時に音叉型水晶片１又は金属
細棒２に予ビ半田付け作業を何らかの方法で施さ
なければならず、加工時間の面でコスト高は免れ
なかつた。
本発明は上記の欠点をなくしたものでその構成
を詳述する図面第２図イ，ロ，ハは本発明におけ
る音叉型水晶振動子の支持構造を示すもので、イ
図は正面図、ロ図はイ図のAA断面図、ハ図は側
面図であり、１は音叉型水晶片、５は電極用金属
薄膜で通常CrAu（クロム金）が用いられ厚さは
1000〜2000Å（オングストローム）である。６は
電極用金属薄膜５の上に付着形成した軟質金属薄
膜で、本発明ではSn（錫）を用いて厚さは1000〜
100000Åの範囲である。７は更に軟質金属薄膜６
の上に付着形成された軟質金属厚膜で、本発明で
はPb（鉛）を用い厚さは10〜100μmの範囲であ
る。この場合の金よる成る電極用金属薄膜６と錫
より成る軟質金属薄膜６および該軟質金属薄膜６
と鉛より成る軟質金属厚膜７の密着力について
は、前記各膜が蒸着中に互に充分拡散し合うので
リフローしなくても密着強度に不足がないことは
実験的に確認した。なお図イにおいては電極用金
属薄膜５のパターンの図示は省略してある。音叉
型水晶片１と該水晶片１の支持部材であり外部と
の電気的導通をとるために一般に使用されるコバ
ール材より成る金属製リード端子８の接合は、鉛
より成る軟質金属厚膜７の溶融によつて行われ
る。その接合状態は第２図ロに詳しく示してあ
る。第２図ロの７ａ，７ｂは鉛より成る軟質金属
厚膜７が部分的に溶融している範囲を示してお
り、この場合、鉛より成る軟質金属厚膜７の部分
的溶融法は、図示しないが軟質金属厚膜７を一方
の電極としリード端子８を他方の電極としたスポ
ツト溶接を利用すれば非常に容易に出来る。他の
方法として、熱圧着法によりリード端子８にヒー
ターを押し当ててヒーターに電流を流すことによ
り発生する抵抗熱によつても接合は可能である
し、あるいはあらかじめ温度コントロールされた
適当な大きさのヒーターをリード端子８に押し当
てて、熱伝導により軟質金属厚膜７とリード端子
８が接触している付近を部分的に溶融させるので
ある。
を詳述する図面第２図イ，ロ，ハは本発明におけ
る音叉型水晶振動子の支持構造を示すもので、イ
図は正面図、ロ図はイ図のAA断面図、ハ図は側
面図であり、１は音叉型水晶片、５は電極用金属
薄膜で通常CrAu（クロム金）が用いられ厚さは
1000〜2000Å（オングストローム）である。６は
電極用金属薄膜５の上に付着形成した軟質金属薄
膜で、本発明ではSn（錫）を用いて厚さは1000〜
100000Åの範囲である。７は更に軟質金属薄膜６
の上に付着形成された軟質金属厚膜で、本発明で
はPb（鉛）を用い厚さは10〜100μmの範囲であ
る。この場合の金よる成る電極用金属薄膜６と錫
より成る軟質金属薄膜６および該軟質金属薄膜６
と鉛より成る軟質金属厚膜７の密着力について
は、前記各膜が蒸着中に互に充分拡散し合うので
リフローしなくても密着強度に不足がないことは
実験的に確認した。なお図イにおいては電極用金
属薄膜５のパターンの図示は省略してある。音叉
型水晶片１と該水晶片１の支持部材であり外部と
の電気的導通をとるために一般に使用されるコバ
ール材より成る金属製リード端子８の接合は、鉛
より成る軟質金属厚膜７の溶融によつて行われ
る。その接合状態は第２図ロに詳しく示してあ
る。第２図ロの７ａ，７ｂは鉛より成る軟質金属
厚膜７が部分的に溶融している範囲を示してお
り、この場合、鉛より成る軟質金属厚膜７の部分
的溶融法は、図示しないが軟質金属厚膜７を一方
の電極としリード端子８を他方の電極としたスポ
ツト溶接を利用すれば非常に容易に出来る。他の
方法として、熱圧着法によりリード端子８にヒー
ターを押し当ててヒーターに電流を流すことによ
り発生する抵抗熱によつても接合は可能である
し、あるいはあらかじめ温度コントロールされた
適当な大きさのヒーターをリード端子８に押し当
てて、熱伝導により軟質金属厚膜７とリード端子
８が接触している付近を部分的に溶融させるので
ある。
本発明によれば、接着剤を使用していないため
脱ガスの心配もないし、電極用薄膜と軟質金属薄
膜との境界面付近までは溶融されないので、電極
用薄膜が金食われ現象を起すことも無い。即ち電
極用薄膜の厚さは水晶振動子の性能上最も好まし
い値に設定することが出来る。更に基部に金等高
価な金属を厚く付着させる場合よりも材料コスト
が安くて済む。又軟質金属の厚さの大部分はPb
（鉛）で占めているが、Pbの蒸気圧は非常に高い
ので厚い膜でも極めて短時間で形成できる。例え
ば100μの厚みでも10分ていどで達成できる。又
音叉型水晶片は、水晶薄板上に100ケ以上整列し
たままの状態で軟質金属の蒸着が出来るので１ケ
ずつの作業と比べて非常に少い加工工数で済む。
脱ガスの心配もないし、電極用薄膜と軟質金属薄
膜との境界面付近までは溶融されないので、電極
用薄膜が金食われ現象を起すことも無い。即ち電
極用薄膜の厚さは水晶振動子の性能上最も好まし
い値に設定することが出来る。更に基部に金等高
価な金属を厚く付着させる場合よりも材料コスト
が安くて済む。又軟質金属の厚さの大部分はPb
（鉛）で占めているが、Pbの蒸気圧は非常に高い
ので厚い膜でも極めて短時間で形成できる。例え
ば100μの厚みでも10分ていどで達成できる。又
音叉型水晶片は、水晶薄板上に100ケ以上整列し
たままの状態で軟質金属の蒸着が出来るので１ケ
ずつの作業と比べて非常に少い加工工数で済む。
なお前述の実施例においては、軟質金属薄膜６
の材料として錫が用いられているが、電極用金属
薄膜５の材料および軟質金属厚膜７の材料に対し
て密着力を有するものであれば、他の材料の使用
も可能である。さらに軟質金属薄膜６の形成は必
ずしも必要ではなく、軟質金属厚膜７のみによつ
ても良好な支持構造が得られることは明らかであ
る。
の材料として錫が用いられているが、電極用金属
薄膜５の材料および軟質金属厚膜７の材料に対し
て密着力を有するものであれば、他の材料の使用
も可能である。さらに軟質金属薄膜６の形成は必
ずしも必要ではなく、軟質金属厚膜７のみによつ
ても良好な支持構造が得られることは明らかであ
る。
第１図は、従来の音叉型水晶振動子の斜視図、
第２図イ，ロ，ハは、本発明による音叉型水晶振
動子の支持構造を示す正面図、イ図のAA断面
図、側面図である。 １……音叉型水晶片、５……電極用金属薄膜、
６……軟質金属薄膜、７……軟質金属厚膜。
第２図イ，ロ，ハは、本発明による音叉型水晶振
動子の支持構造を示す正面図、イ図のAA断面
図、側面図である。 １……音叉型水晶片、５……電極用金属薄膜、
６……軟質金属薄膜、７……軟質金属厚膜。
Claims (1)
- １ 音叉型水晶振動子の支持構造において、前記
振動子を構成する音叉型水晶片の表面に少なくと
も貴金属を表面層とする電極用金属膜を形成し、
該電極用金属膜上に積層させて厚さ10〜100μmの
軟質金属膜を形成するとともに、該軟質金属膜の
溶融部が前記電極用金属膜に達しない程度に部分
加熱することによつて溶融される溶融接合によ
り、リード部材を前記音叉型水晶片に溶融固定し
たことを特徴とする音叉型水晶振動子の支持構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4181579A JPS55134523A (en) | 1979-04-06 | 1979-04-06 | Support structure of tuning fork type crystal vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4181579A JPS55134523A (en) | 1979-04-06 | 1979-04-06 | Support structure of tuning fork type crystal vibrator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55134523A JPS55134523A (en) | 1980-10-20 |
| JPS6325530B2 true JPS6325530B2 (ja) | 1988-05-25 |
Family
ID=12618796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4181579A Granted JPS55134523A (en) | 1979-04-06 | 1979-04-06 | Support structure of tuning fork type crystal vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55134523A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261919U (ja) * | 1988-10-20 | 1990-05-09 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6015163B2 (ja) * | 1978-06-27 | 1985-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶発振片の保持方法 |
-
1979
- 1979-04-06 JP JP4181579A patent/JPS55134523A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261919U (ja) * | 1988-10-20 | 1990-05-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55134523A (en) | 1980-10-20 |
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