JPS63255575A - ポンプ装置 - Google Patents
ポンプ装置Info
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- JPS63255575A JPS63255575A JP8800087A JP8800087A JPS63255575A JP S63255575 A JPS63255575 A JP S63255575A JP 8800087 A JP8800087 A JP 8800087A JP 8800087 A JP8800087 A JP 8800087A JP S63255575 A JPS63255575 A JP S63255575A
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- JP
- Japan
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- chamber
- rod
- screw shaft
- motor
- ball screw
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- Pending
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 5
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Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、一般的に往復移動形のポンプ装置、さらに詳
しくは、ヘローズやダイヤフラム等の可撓性容積可変体
を備え、該容積可変体に作動ロッドの往復運動を伝達し
て作動するようになしたポンプ装置に関する。
しくは、ヘローズやダイヤフラム等の可撓性容積可変体
を備え、該容積可変体に作動ロッドの往復運動を伝達し
て作動するようになしたポンプ装置に関する。
本発明のポンプ装置は液体用、気体用に広く適応し得る
ものである。
ものである。
従来、広く知られている往復ポンプとして、プランジャ
ポンプがあり、従来のプランジャポンプは、一般に、第
4図に示すように、モータ (図示せず)でカム1を回
転し、このカム1の回転円運動をピストン(またはプラ
ンジャ)2に伝達してピストン2をシリンダ4内で直線
運動さゼ、ピストン2の戻りをバネ3で行なうようにし
、或いは、クランクの円運動をピストンの直線運動に変
えるように構成されている。
ポンプがあり、従来のプランジャポンプは、一般に、第
4図に示すように、モータ (図示せず)でカム1を回
転し、このカム1の回転円運動をピストン(またはプラ
ンジャ)2に伝達してピストン2をシリンダ4内で直線
運動さゼ、ピストン2の戻りをバネ3で行なうようにし
、或いは、クランクの円運動をピストンの直線運動に変
えるように構成されている。
しかし、」1記した従来技術は、カムやクランクの円運
動をピストン(またはプランジャ)の直線運動に変える
ように構成しであるため、脈動の発生やプランジャのス
トローク長の制御の点等で問題を有していると共にコン
ピュータによる制御に適していない等、改良を加えるべ
き多くの問題点を有している。
動をピストン(またはプランジャ)の直線運動に変える
ように構成しであるため、脈動の発生やプランジャのス
トローク長の制御の点等で問題を有していると共にコン
ピュータによる制御に適していない等、改良を加えるべ
き多くの問題点を有している。
本発明は上記のような点に着目して発明したものであっ
て、本発明の目的の1つは、脈動を少なくし得るポンプ
装置を提供するにある。
て、本発明の目的の1つは、脈動を少なくし得るポンプ
装置を提供するにある。
本発明の他の目的の1つは容量および圧力を自由に可変
制御し得るポンプ装置を提供するにある。
制御し得るポンプ装置を提供するにある。
本発明の他の目的の1つは、コンピュータによる制?f
f1lに適したポンプ装置を提供するにある。
f1lに適したポンプ装置を提供するにある。
本発明の他の目的の1つは、可撓性容積可変体を作動す
る作動ロッドの移動速度をストローク内において自由に
制御し得るポンプ装置を提供するにある。
る作動ロッドの移動速度をストローク内において自由に
制御し得るポンプ装置を提供するにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の目的を達成するための本発明の構成を、実施例と
対応する第1図〜第2図を用いて説明すると、本発明は
、(イ)回転自在、かつ、軸方向の動きを阻止して配設
したボールネジ軸18、(ロ)該ボールネジ軸1日を駆
動するモータ12、(ハ)ボールネジ軸18にボール1
9を介して螺合され、ボールネジ軸18の正逆回転によ
りボールネジ軸18上を往復移動させるようになして配
設したポールナツト部材20、(ニ)ボールナンド部材
20と一体運動するようになして配設した作動ロッド2
3、(ホ)逆流通を阻止するチェック弁を有する吸込口
27および吐出口28を備え、上記ロッド23の前方側
に位置させて配設した送給室26、 (へ)容積可変室
32を有し、該可変室32を上記送給室26と気密に連
結してあると共に後端部を上記ロッド23の先端と連結
して配設した可撓性容積可変体31、とを備え上記モー
タ12を正逆回転することにより、上記ロッド23を介
して可撓性容積可変体31を伸縮させるように構成した
ことを特徴とするものである。
対応する第1図〜第2図を用いて説明すると、本発明は
、(イ)回転自在、かつ、軸方向の動きを阻止して配設
したボールネジ軸18、(ロ)該ボールネジ軸1日を駆
動するモータ12、(ハ)ボールネジ軸18にボール1
9を介して螺合され、ボールネジ軸18の正逆回転によ
りボールネジ軸18上を往復移動させるようになして配
設したポールナツト部材20、(ニ)ボールナンド部材
20と一体運動するようになして配設した作動ロッド2
3、(ホ)逆流通を阻止するチェック弁を有する吸込口
27および吐出口28を備え、上記ロッド23の前方側
に位置させて配設した送給室26、 (へ)容積可変室
32を有し、該可変室32を上記送給室26と気密に連
結してあると共に後端部を上記ロッド23の先端と連結
して配設した可撓性容積可変体31、とを備え上記モー
タ12を正逆回転することにより、上記ロッド23を介
して可撓性容積可変体31を伸縮させるように構成した
ことを特徴とするものである。
本発明は次のように作用する。モータ12を正回転させ
ると、ボールネジ軸18が正回転するので、ボールナツ
ト部材20は前進し、ポールナツト部材20と一体の作
動ロッド23も前進する。作動ロッド23が前進すると
容積可変体31は押圧されて収縮されるので、送給室2
6内の圧力が増加し、チェック弁29は閉し、チェック
弁30が開いて室26内の液体または気体が加圧されて
吐出口28から吐出される。
ると、ボールネジ軸18が正回転するので、ボールナツ
ト部材20は前進し、ポールナツト部材20と一体の作
動ロッド23も前進する。作動ロッド23が前進すると
容積可変体31は押圧されて収縮されるので、送給室2
6内の圧力が増加し、チェック弁29は閉し、チェック
弁30が開いて室26内の液体または気体が加圧されて
吐出口28から吐出される。
次にモータ12を逆回転させると、ボール7ジ軸18は
逆回転するので、ボールナンド部材20は後退し、作動
ロット23も後退する。ロッド23が後退すると、容積
可変体31は牽引されて伸長するので、送給室26内は
減圧され、弁30は閉、弁29は開となり、液体または
気体が吸込口27から送給室26および容積可変室32
内へ吸入される。
逆回転するので、ボールナンド部材20は後退し、作動
ロット23も後退する。ロッド23が後退すると、容積
可変体31は牽引されて伸長するので、送給室26内は
減圧され、弁30は閉、弁29は開となり、液体または
気体が吸込口27から送給室26および容積可変室32
内へ吸入される。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。第1図〜第2図は本発明の1実施例を示すポンプ装置
である。実施例のポンプ装置は第1図に示すように、ハ
ウジングlOに2台のポンプユニット11、Ilaを並
列に配設して成っている。
。第1図〜第2図は本発明の1実施例を示すポンプ装置
である。実施例のポンプ装置は第1図に示すように、ハ
ウジングlOに2台のポンプユニット11、Ilaを並
列に配設して成っている。
ごの場合、ポンプユニットの台数は1台でも良く、また
、3台以上配設しても良いものである。
、3台以上配設しても良いものである。
ポンプユニットIL llaとは同一構造であり、一方
のボンプユニノ1−11につき、まづ、その構成等を説
明する。ポンプユニット11はモータ12により駆動さ
れる。実施例のモータ12はパルスモータを採用しであ
るが、他の任意の交流あるいは直流モータ等のモータを
採用しても良い。モータ12の出力軸13には軸14が
連結され、軸14はハウジングIOの後板10aにラジ
アルベアリング等15を介して回転自在に軸支されてい
る。ハウジング1oの後板10aの前後面にはスラスト
ベアリング等16およびストッパ一部材17が後板10
aを挟んで配設され、軸】4の軸方向の動きを阻止しで
ある。軸14の先端にはハウジングIO内に位置させて
ボールネジ軸I8が軸14と一体に連接されており、上
記出力軸13と軸14およびボールネジ軸18は一体回
転するようになっている。
のボンプユニノ1−11につき、まづ、その構成等を説
明する。ポンプユニット11はモータ12により駆動さ
れる。実施例のモータ12はパルスモータを採用しであ
るが、他の任意の交流あるいは直流モータ等のモータを
採用しても良い。モータ12の出力軸13には軸14が
連結され、軸14はハウジングIOの後板10aにラジ
アルベアリング等15を介して回転自在に軸支されてい
る。ハウジング1oの後板10aの前後面にはスラスト
ベアリング等16およびストッパ一部材17が後板10
aを挟んで配設され、軸】4の軸方向の動きを阻止しで
ある。軸14の先端にはハウジングIO内に位置させて
ボールネジ軸I8が軸14と一体に連接されており、上
記出力軸13と軸14およびボールネジ軸18は一体回
転するようになっている。
ボールネジ軸18には第2図に詳細に示すように、多数
のボール19を介してポールナツト部材2oが螺合され
、ボールネジ軸18を正逆回転するごとにより、ボール
ナツト部材19を軸方向に往復移動させるようになって
いる。ボールナツト部材19は、ガイド(図示せず)に
より軸方向へ案内され、かつ、回転を阻止された軸継手
21の一端側に固着されている。軸継手21の他端側に
はロッドホルダー22を介して作動ロッド23が固着さ
れている。これにより、ロット23はボールナツト部材
20と一体運動することになる。
のボール19を介してポールナツト部材2oが螺合され
、ボールネジ軸18を正逆回転するごとにより、ボール
ナツト部材19を軸方向に往復移動させるようになって
いる。ボールナツト部材19は、ガイド(図示せず)に
より軸方向へ案内され、かつ、回転を阻止された軸継手
21の一端側に固着されている。軸継手21の他端側に
はロッドホルダー22を介して作動ロッド23が固着さ
れている。これにより、ロット23はボールナツト部材
20と一体運動することになる。
ハウジング■0の前板10bの前面にはへソトマウント
フランジ24を介してポンプヘットが固設されており、
上記ロッド23の先端はフランジ24の中心部を貫通し
てポンプヘッド25内へ挿入されている。
フランジ24を介してポンプヘットが固設されており、
上記ロッド23の先端はフランジ24の中心部を貫通し
てポンプヘッド25内へ挿入されている。
26はロッド23の前方側に位置させてポンプヘッド2
5に穿設されたT字状の送給室で、送給室26は吸込口
27と吐出口28とを備え、室26の吸込口27側には
室26外への流出を阻止するチェック弁29が、また、
吐出口28側には室26内への流入を阻止するチェック
弁30が配設されており、これにより逆流通を阻止する
ように構成しである。
5に穿設されたT字状の送給室で、送給室26は吸込口
27と吐出口28とを備え、室26の吸込口27側には
室26外への流出を阻止するチェック弁29が、また、
吐出口28側には室26内への流入を阻止するチェック
弁30が配設されており、これにより逆流通を阻止する
ように構成しである。
31は容積可変室32を有する可撓性容積可変体で、容
積可変体31は可変室32を送給室26と気密に連結し
てあると共に後端部をロッド23の先端と連結して配設
されている。実施例の容積可変体31はステンレス、テ
フロンその他の材質でベローズ形に形成したものが図示
されている。33はロッド23を支持したヘアリングで
ある。
積可変体31は可変室32を送給室26と気密に連結し
てあると共に後端部をロッド23の先端と連結して配設
されている。実施例の容積可変体31はステンレス、テ
フロンその他の材質でベローズ形に形成したものが図示
されている。33はロッド23を支持したヘアリングで
ある。
次にボンプユニソ目1aは上述したようにポンプユニッ
ト11と全く同一構造であり、説明を簡単にするために
ポンプユニット11と同一構成部分には同一符号を付し
てその詳細な説明を省略する。
ト11と全く同一構造であり、説明を簡単にするために
ポンプユニット11と同一構成部分には同一符号を付し
てその詳細な説明を省略する。
而して、本実施例のポンプ装置は上記のように構成した
複数のポンプユニットを並列に配設して成っている。
複数のポンプユニットを並列に配設して成っている。
第1図において、34は一端をポンプユニット11の吸
込口27に連結した輸送管、35は一端をポンプユニッ
ト11の吐出口28に連結した輸送管、36は一端をポ
ンプユニットllaの吸込口27に連結した輸送管、3
7は一端をポンプユニットllaの吐出口28に連結し
た輸送管、38は管35.37中に介装して配設され、
圧力や流星等を検知するセンサー、39はへ/D変換器
、40はマイクロコンピュータ、41はコンピュータ4
0の入力部、42.43はドライバを示すものである。
込口27に連結した輸送管、35は一端をポンプユニッ
ト11の吐出口28に連結した輸送管、36は一端をポ
ンプユニットllaの吸込口27に連結した輸送管、3
7は一端をポンプユニットllaの吐出口28に連結し
た輸送管、38は管35.37中に介装して配設され、
圧力や流星等を検知するセンサー、39はへ/D変換器
、40はマイクロコンピュータ、41はコンピュータ4
0の入力部、42.43はドライバを示すものである。
実施例のポンプ装置は上記のように構成したもので、次
に使用方法および作用等につき説明する。
に使用方法および作用等につき説明する。
たとえば、貯溜容器44内の液体45を移送する場合を
例に挙げて説明する。管34.36の下端を容器44内
へ挿入する。そこで、ポンプユニット11側のモータ1
2を正回転させると、作動ロット23が前進する。ロッ
ド23が前進すると容積可変体31は押圧されて収縮す
るので、送給室26内圧力が増加し、チェック弁29が
閉しると共にチェック弁30が開き、室26および32
内の液体43が加圧されて吐出口28から管35へ吐出
される。
例に挙げて説明する。管34.36の下端を容器44内
へ挿入する。そこで、ポンプユニット11側のモータ1
2を正回転させると、作動ロット23が前進する。ロッ
ド23が前進すると容積可変体31は押圧されて収縮す
るので、送給室26内圧力が増加し、チェック弁29が
閉しると共にチェック弁30が開き、室26および32
内の液体43が加圧されて吐出口28から管35へ吐出
される。
次に、モータ12を逆回転させると、ロッド23が後退
して容積可変体31は牽引され、伸長するので、送給室
26内は減圧され、弁30は閉、弁29は開となり、容
器44内の液体が管34を通って室26および32内へ
吸入される。
して容積可変体31は牽引され、伸長するので、送給室
26内は減圧され、弁30は閉、弁29は開となり、容
器44内の液体が管34を通って室26および32内へ
吸入される。
同様に、ポンプユニソ目la側のモータ12を正回転さ
せると、ロッド23が前進し、容積可変体31は押圧さ
れて収縮するので、室26.32内が加圧され、液体4
5が吐出口28から管37へ吐出され、モータ12を逆
回転させると、ロッド23が後退して室26.32内が
減圧され、容器44内の液体45が管36を通って室2
6.32内に吸入される。
せると、ロッド23が前進し、容積可変体31は押圧さ
れて収縮するので、室26.32内が加圧され、液体4
5が吐出口28から管37へ吐出され、モータ12を逆
回転させると、ロッド23が後退して室26.32内が
減圧され、容器44内の液体45が管36を通って室2
6.32内に吸入される。
以上のことから、ポンプユニット11およびIlaの作
動ロッド23.23を交互に往復移動させることにより
、容器44内の液体45を連続的に移送させることがで
き、また、ロッド23.23の往復移動速度およびスト
ローク長を制御することにより流址および圧力を制御で
き、さらに、両ロッド23.23の移動タイミングを制
御するごとにより定圧、定流i制御を行なえる。
動ロッド23.23を交互に往復移動させることにより
、容器44内の液体45を連続的に移送させることがで
き、また、ロッド23.23の往復移動速度およびスト
ローク長を制御することにより流址および圧力を制御で
き、さらに、両ロッド23.23の移動タイミングを制
御するごとにより定圧、定流i制御を行なえる。
そこで、次に圧力および流星の制御について説明する。
人力部41を操作してプログラムをコンピュータ40に
入力する。これにより、コンピュータ40はセンサー3
日からの信号により圧力が設定値に一定に、かつ、圧力
変動幅が最小になるようにドライム42.43を介して
モータ12.12を駆動し、ロット23.23の往復移
動速度、ストローク長、移動タイミングを制御する。
入力する。これにより、コンピュータ40はセンサー3
日からの信号により圧力が設定値に一定に、かつ、圧力
変動幅が最小になるようにドライム42.43を介して
モータ12.12を駆動し、ロット23.23の往復移
動速度、ストローク長、移動タイミングを制御する。
したがって、定圧、定流量、かつ、無脈動で流体を連続
的に移送することができる。
的に移送することができる。
なお、実施例では流体の移送につき例示したが、ガス等
の気体の移送の場合についても同様である。
の気体の移送の場合についても同様である。
また、実施例では2台のポンプユニットを配設した場合
を図示したが、このポンプユニットの台数は増減できる
こと上述したとおりである。
を図示したが、このポンプユニットの台数は増減できる
こと上述したとおりである。
第3図は本発明の別実施例を示すものである。
本実施例では、可撓性容積可変体31として、所望材料
で造ったダイヤフラム形のものを採用し、このダイヤフ
ラム形の容積可変体31を作動ロッド23で伸縮させる
ように構成したものである。他の構成は第1図の実施例
と全く同一であるため、同一構成部分に同一符号を付し
て説明を省略する。そして、この実施例は第1図の実施
例と同様に作用する。
で造ったダイヤフラム形のものを採用し、このダイヤフ
ラム形の容積可変体31を作動ロッド23で伸縮させる
ように構成したものである。他の構成は第1図の実施例
と全く同一であるため、同一構成部分に同一符号を付し
て説明を省略する。そして、この実施例は第1図の実施
例と同様に作用する。
本発明によれば次のような効果を期待することができる
。
。
+al 液体や気体等を無脈動で連続的に移送できる
ポンプ装置か得られる。
ポンプ装置か得られる。
(bl 定圧、定流縫制御を正確に行なえるポンプ装
置が得られる。
置が得られる。
(C1作動ロッドの移動速度をストローク内において自
由に制御できるポンプ装置が得られる。
由に制御できるポンプ装置が得られる。
+d+ コンピュータによる制御に適したポンプ装置
を得ることができる。
を得ることができる。
第1図は本発明に係るポンプ装置の1実施例を示す全体
構成図、第2図はポールネジ部を拡大して示す縦断面図
、第3図は本発明の別実施例を示す全体構成図、第4図
は従来のプランジャ(ピストン)ポンプの1例を示す縦
断面図である。 10−−−−−−−ハウジング、11.11a−−−−
−−−−−−−ポンプユニット、12−−一−−−−−
−モータ、111−−−−−−−−軸、18−−−−−
−−ボールネジ軸、19−−−−−−−−−ボール、2
0−−−−−−−−−−ポールナンド部材、23〜−−
−−−−一−−作動ロノド、25−一−−−−−−−−
ポンプヘット、26−−−〜−−一−−−送給室、27
−=−−−−−−一吸込口、28−−−−−−−−−〜
−吐出口、29.3Q−−−−−−−チェック弁、31
−−−−−−−可撓性容積可変体、32−一一−−−−
−−容積可変室。
構成図、第2図はポールネジ部を拡大して示す縦断面図
、第3図は本発明の別実施例を示す全体構成図、第4図
は従来のプランジャ(ピストン)ポンプの1例を示す縦
断面図である。 10−−−−−−−ハウジング、11.11a−−−−
−−−−−−−ポンプユニット、12−−一−−−−−
−モータ、111−−−−−−−−軸、18−−−−−
−−ボールネジ軸、19−−−−−−−−−ボール、2
0−−−−−−−−−−ポールナンド部材、23〜−−
−−−−一−−作動ロノド、25−一−−−−−−−−
ポンプヘット、26−−−〜−−一−−−送給室、27
−=−−−−−−一吸込口、28−−−−−−−−−〜
−吐出口、29.3Q−−−−−−−チェック弁、31
−−−−−−−可撓性容積可変体、32−一一−−−−
−−容積可変室。
Claims (1)
- (1)(イ)回転自在、かつ、軸方向の動きを阻止して
配設したボールネジ軸、(ロ)該ボールネジ軸を駆動す
るモータ、(ハ)ボールネジ軸にボールを介して螺合さ
れ、ボールネジ軸の正逆回転によりボールネジ軸上を往
復移動するようになして配設したボールナット部材、(
ニ)該ボールナット部材と一体運動するようになして配
設した作動ロッド、(ホ)逆流通を阻止するチェック弁
を有する吸込口および吐出口を備え、上記ロッドの前方
側に位置させて配設した送給室、(ヘ)容積可変室を有
し、該可変室を上記送給室と気密に連結してあると共に
後端部を上記ロッドの先端と連結して配設した可撓性容
積可変体、とを備え、上記モータを正逆回転することに
より、上記ロッドを介して可撓性容積可変体を伸縮させ
るように構成したことを特徴とするポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8800087A JPS63255575A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8800087A JPS63255575A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63255575A true JPS63255575A (ja) | 1988-10-21 |
Family
ID=13930515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8800087A Pending JPS63255575A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63255575A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08121342A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 定量供給ポンプ |
| WO2007123165A1 (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Nidec Sankyo Corporation | 定量ポンプ装置 |
| JP2009527674A (ja) * | 2005-12-02 | 2009-07-30 | エンテグリース,インコーポレイテッド | モータを用いて圧力変動を補正するためのシステムおよび方法 |
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| US9617988B2 (en) | 2004-11-23 | 2017-04-11 | Entegris, Inc. | System and method for variable dispense position |
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| WO2025100045A1 (ja) * | 2023-11-08 | 2025-05-15 | 日機装エイコー株式会社 | ポンプ装置および往復動ポンプ |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP8800087A patent/JPS63255575A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2025078373A (ja) * | 2023-11-08 | 2025-05-20 | 日機装エイコー株式会社 | ポンプ装置および往復動ポンプ |
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