JPS63257250A - マ−キング装置 - Google Patents
マ−キング装置Info
- Publication number
- JPS63257250A JPS63257250A JP9087087A JP9087087A JPS63257250A JP S63257250 A JPS63257250 A JP S63257250A JP 9087087 A JP9087087 A JP 9087087A JP 9087087 A JP9087087 A JP 9087087A JP S63257250 A JPS63257250 A JP S63257250A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- marking
- light
- laser
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、Ｘ子部品、特にレジン封止型半導体装置のマ
ーキングに適用して有効な技術に関するものである。
ーキングに適用して有効な技術に関するものである。
半導体装置のマーク面へ会社マーク、会社名。
ロット歯等を印刷する手段として特開昭５７−１３７４
８号公報にて開示されているように、マーク前にあらか
じめ半導体装置の樹脂（レジン）表面に滲み出している
離型剤や油脂分を水素ガスを燃焼させてその火焔で燃焼
除去することが知られている。
８号公報にて開示されているように、マーク前にあらか
じめ半導体装置の樹脂（レジン）表面に滲み出している
離型剤や油脂分を水素ガスを燃焼させてその火焔で燃焼
除去することが知られている。
ところが、前記手段は水素ガスを利用するため、引火爆
発の危険があり、その取扱いが難しいものであった。
発の危険があり、その取扱いが難しいものであった。
本発明の目的は、安全に離型剤や油脂分を除去でき、マ
ーク強度の向上できるマーキング技術を提供するもので
ある。
ーク強度の向上できるマーキング技術を提供するもので
ある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらか釦なるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらか釦なるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、マーク前に焦光した光をマーク面に照射する
ものである。
ものである。
上記した手段によれば、マーク面の離型剤や油脂分を安
全に除去できるので、マークの捺印性。
全に除去できるので、マークの捺印性。
耐久性を向上できるものである。
第１図は本発明の一実施例であるマーキング装置の概略
構成図、第２図は、第１図の動作説明図である。以下図
面に従い説明する。マーク前処理部ｌは光源、本実施例
ではレーザ発振器２と、ビームエキスパンダ３．フレキ
シブルスリット４゜レンズ５とからなる光学系６からな
っている。
構成図、第２図は、第１図の動作説明図である。以下図
面に従い説明する。マーク前処理部ｌは光源、本実施例
ではレーザ発振器２と、ビームエキスパンダ３．フレキ
シブルスリット４゜レンズ５とからなる光学系６からな
っている。
このとき、搬送シュート７上の半導体装置８のマーク面
ａの位置は、レンズ５の焦点Ｏから若干ずれるようにレ
ンズ５もしくは搬送シュート７の相対的位置を変えられ
るようになっている。なお。
ａの位置は、レンズ５の焦点Ｏから若干ずれるようにレ
ンズ５もしくは搬送シュート７の相対的位置を変えられ
るようになっている。なお。
本実施例ではレンズ５を移動させてマーク面８ａが焦点
Ｏの手前にくるように調節されている。９はマーキング
部であり、上下動自在な上下動＠１０とその先端に取り
付けられたマーク台１１と、前記マーク台１１に接着材
等により取り付けられたマーク印１２からなっている。
Ｏの手前にくるように調節されている。９はマーキング
部であり、上下動自在な上下動＠１０とその先端に取り
付けられたマーク台１１と、前記マーク台１１に接着材
等により取り付けられたマーク印１２からなっている。
次に本実施例について動作を説明する。レーザ発振器１
から発生したレーザＬ、をビームエキスパンダ３でその
光径を拡大し、さらに半導体装置８へ照射する光の大ぎ
さや形を制御するために前記拡大されたレーザＬ、をフ
レキシブルスリット４に送りこむ。このフレキシブルス
リット４を通過したレーザＬ、はレンズ５で焦光され、
マーク面８ａに照射される。このときのスポット１３（
マーク面でのレーザを示す）の径Ｈは、フレキシブルス
リット４の開口径りと、レンズ５とマーク面との距離り
で規定することができる。このスポット１３の径）Ｉは
文字の大きさより大にしてマーク面を一度移動させるだ
けで、離型剤や油脂分の除去が必要な最低限のマーキン
グ領域１４を照射できるようになりている。半導体装置
８は図示しない搬送爪で搬送シュート７上を移動しりつ
レーザＬ、によりマーク前処理を施す。次にマーキング
部９ＶＣ達した半導体装置８はマーキング位置で停止し
たのち上方から上下動軸１０が下降してマーク印１２を
マーク面に押し付はマークを施す。
から発生したレーザＬ、をビームエキスパンダ３でその
光径を拡大し、さらに半導体装置８へ照射する光の大ぎ
さや形を制御するために前記拡大されたレーザＬ、をフ
レキシブルスリット４に送りこむ。このフレキシブルス
リット４を通過したレーザＬ、はレンズ５で焦光され、
マーク面８ａに照射される。このときのスポット１３（
マーク面でのレーザを示す）の径Ｈは、フレキシブルス
リット４の開口径りと、レンズ５とマーク面との距離り
で規定することができる。このスポット１３の径）Ｉは
文字の大きさより大にしてマーク面を一度移動させるだ
けで、離型剤や油脂分の除去が必要な最低限のマーキン
グ領域１４を照射できるようになりている。半導体装置
８は図示しない搬送爪で搬送シュート７上を移動しりつ
レーザＬ、によりマーク前処理を施す。次にマーキング
部９ＶＣ達した半導体装置８はマーキング位置で停止し
たのち上方から上下動軸１０が下降してマーク印１２を
マーク面に押し付はマークを施す。
次に作用、効果について説明する。
（１）マーク前処理として焦光した光をマーク面に照射
するととＫより、危険なガスを用いる必要がないので、
安全にマーキング作業が行なえると共にメンテナンスが
容易であるという効果が得られるものである。
するととＫより、危険なガスを用いる必要がないので、
安全にマーキング作業が行なえると共にメンテナンスが
容易であるという効果が得られるものである。
（２）マーク前処理として焦光した光をマーク面に照射
することにより、簡単に離型剤や油脂分を除去すること
ができるので、複雑なマーク前洗浄を不要にしてマーキ
ング工程のスルーブットヲ大幅に向上することができる
という効果が得られるものである。
することにより、簡単に離型剤や油脂分を除去すること
ができるので、複雑なマーク前洗浄を不要にしてマーキ
ング工程のスルーブットヲ大幅に向上することができる
という効果が得られるものである。
（３）マーク前処理として離型剤や油脂分を除去するに
必要な比較的低出力のレーザな使用できるので、レーザ
で直接マーキングを施すような高出力なレーザ発振器は
不要であり、コンパクトなマーキング装置が得られると
いう効果が得られるものである。
必要な比較的低出力のレーザな使用できるので、レーザ
で直接マーキングを施すような高出力なレーザ発振器は
不要であり、コンパクトなマーキング装置が得られると
いう効果が得られるものである。
（４） マーク面へ当てている光（スポット）の径を
４゜マーク領域の幅とほぼ一致するように調節すること
により、−回のスポット移動で離型剤や油脂分を除去で
きるという効果が得られるものである。
４゜マーク領域の幅とほぼ一致するように調節すること
により、−回のスポット移動で離型剤や油脂分を除去で
きるという効果が得られるものである。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、光はレーザ
などの単色光に限定されず、少なくともマーク面に焦光
した光が離型剤等を除去できるに十分なエネルギーを有
するものであれば良い。また、スポットを往復させてマ
ーク面の前処理を施すようにしても良い。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、光はレーザ
などの単色光に限定されず、少なくともマーク面に焦光
した光が離型剤等を除去できるに十分なエネルギーを有
するものであれば良い。また、スポットを往復させてマ
ーク面の前処理を施すようにしても良い。
本願くおいて開示される発明のうち代表的なものＫよっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、安全でかつ確実に離型剤や油脂分を除去でき
る等極めて良好なマーク前処理が行なえるマーキング技
術を得られるものである。
る等極めて良好なマーク前処理が行なえるマーキング技
術を得られるものである。
第１図は本発明の一実施例であるマーキング装置の概略
構成図、 第２図は第１図のマーキング装置の動作説明図である。 １・・・マーク前処理部、２・・・レーザ発振器、３・
・・ビームエキスパンダ、４・・・フレキシブルスリッ
ト、５・・・レンズ、６・・・光学系、７・・・搬送シ
ュート、８・・・半導体装置、９川マ一ク部、１ｏ・・
・上下動軸、１１・・・マーク台、１２・・・マーク印
、１３・・・スポット、１４・・・マーキング領域。 ／１−マークピＵ
構成図、 第２図は第１図のマーキング装置の動作説明図である。 １・・・マーク前処理部、２・・・レーザ発振器、３・
・・ビームエキスパンダ、４・・・フレキシブルスリッ
ト、５・・・レンズ、６・・・光学系、７・・・搬送シ
ュート、８・・・半導体装置、９川マ一ク部、１ｏ・・
・上下動軸、１１・・・マーク台、１２・・・マーク印
、１３・・・スポット、１４・・・マーキング領域。 ／１−マークピＵ
Claims (1)
- １、半導体装置のマーク面に光を照射し加熱するマーク
前処理部と、マーク面にマークを施すためのマーキング
部を有するマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087087A JPS63257250A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | マ−キング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087087A JPS63257250A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | マ−キング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63257250A true JPS63257250A (ja) | 1988-10-25 |
Family
ID=14010550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9087087A Pending JPS63257250A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | マ−キング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63257250A (ja) |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP9087087A patent/JPS63257250A/ja active Pending
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