JPS6326362A - Production of dull roll for rolling and apparatus for forming hard surface layer - Google Patents
Production of dull roll for rolling and apparatus for forming hard surface layerInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、圧延用ダルロールの製造方法および表面硬
質層形成装置に関し、とくにダル仕上げされたロール表
面を効果的に改質することにより、その表面硬度ならび
に耐摩耗性の有利な向上を図ろうとするものである。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for producing a dull roll for rolling and a hard surface layer forming device, and in particular, to a method for manufacturing a dull roll for rolling and a device for forming a hard surface layer. The objective is to advantageously improve surface hardness and wear resistance.
(従来の技術)
冷間圧延鋼板に要求される表面品質としては、塗膜やほ
うろうの密着性、プレス加工性、耐食性および光沢など
が挙げられるが、これらの特性には冷間圧延鋼板の表面
粗さが重要な影響を与える。(Prior art) Surface qualities required for cold-rolled steel sheets include adhesion of paint films and enamel, press workability, corrosion resistance, and gloss. Roughness has an important influence.
これらの特性に応じた望ましい表面粗さを有する金属表
面を得る一般的な方法は、冷間圧延ロールや調質圧延ロ
ールなどの圧延用ロールの表面を所望の粗さにダル加工
しておき、このダルロールで鋼板を所定の圧力で圧延し
、鋼板表面にロール表面の粗さを転写させる方法である
。A general method for obtaining a metal surface with a desired surface roughness according to these characteristics is to dull the surface of a rolling roll such as a cold rolling roll or a temper rolling roll to the desired roughness. This is a method in which the steel plate is rolled at a predetermined pressure using this dull roll, and the roughness of the roll surface is transferred to the steel plate surface.
ところで上述の冷間圧延ロールや調質圧延ロールを粗面
化する方法としては、ショツトブラスト法や放電加工法
がある。By the way, methods for roughening the above-mentioned cold rolling rolls and temper rolling rolls include shot blasting and electrical discharge machining.
前者のショツトブラスト法は非常に簡便であり、しかも
かかる加工によってロール表面が加工硬化してロールの
耐摩耗性を向上させるなどの長所があるが、その反面、
表面粗さが不規則であることや、硬いロールには加工に
長時間を要し、しかも深い粗さにはつけにくいなどの欠
点があった。The former shot blasting method is very simple and has the advantage of work-hardening the roll surface and improving the wear resistance of the roll, but on the other hand,
Disadvantages include that the surface roughness is irregular, hard rolls require a long time to process, and it is difficult to create deep roughness.
一方後者の放電加工法では、回転するロールとロールの
軸方向に移動する電極との間の印加電圧と周波数を変え
ることによりロール表面の粗さを制御しているが、クレ
ータの大きさを決定する火花の及ぶ範囲は電極の形状寸
法により決まるので、微細なピッチの小さな粗さを得る
ことは難しく、また放電加工によって生じた凸部は、機
械的に弱いため、圧延中のロールの初期摩耗が激しく、
ひいては転写された板表面粗度の変化も著しいという問
題があった。On the other hand, in the latter electric discharge machining method, the roughness of the roll surface is controlled by changing the applied voltage and frequency between the rotating roll and the electrode moving in the axial direction of the roll, but this does not determine the size of the crater. The range covered by the sparks is determined by the shape and dimensions of the electrode, so it is difficult to obtain a small roughness with a fine pitch.Also, the protrusions produced by electrical discharge machining are mechanically weak, so they may cause initial wear of the rolls during rolling. is intense,
Furthermore, there is a problem in that the roughness of the surface of the transferred plate changes significantly.
その他最近、レーザビームを照射し−Cロール表面をダ
ル仕上げする方法が提案されている(特開昭56−16
0892号公報、特公昭58−25557号公報、特開
昭54−61043号公報、特開昭55−94790号
公報)。In addition, a method has recently been proposed in which the surface of the C roll is dull-finished by irradiating it with a laser beam (Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-16
0892, JP 58-25557, JP 54-61043, JP 55-94790).
この方法は、第1図に示すように、ロール回転支持装置
2によりロール1を支持・回転しながら、レーザ発振器
3から発振されたレーザビームを複数のミラーを介して
ロール1の表面に照射して、レーザ照射ヘッド4をロー
ル1の軸方向に移動させることにより、ロール表面をダ
ル仕上げする方法である。As shown in FIG. 1, this method irradiates the surface of the roll 1 with a laser beam emitted from a laser oscillator 3 via a plurality of mirrors while the roll 1 is supported and rotated by a roll rotation support device 2. This is a method of dull finishing the roll surface by moving the laser irradiation head 4 in the axial direction of the roll 1.
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら上記のようにしてレーザビームによるダル
仕上げを施した圧延用ロールは、ロールの初期摩耗がか
なり大きく、満足いく実効を上げられないとこるる問題
を残していた。(Problems to be Solved by the Invention) However, rolling rolls subjected to dull finishing using a laser beam as described above suffer from considerable initial wear of the rolls, leaving problems that cannot be achieved satisfactorily. Ta.
この発明は、上記の問題を有利に解決するもので、かか
るレーザビームによるダル仕上げ表面を効果的に改質し
て、長時間の使用においてもロール表面の粗度低下が少
ない従って鋼板に対し所望の表面粗さを付与できる、硬
度が高くかつ耐摩耗性に優れた圧延用ダルロールの製造
方法を、その方法の実施に用いて好適な表面硬質層形成
装置と共に提案することを目的とする。The present invention advantageously solves the above-mentioned problems, and effectively modifies the dull finish surface produced by the laser beam, so that even after long-term use, the roughness of the roll surface is reduced to a minimum, thus making it desirable for steel sheets. The purpose of the present invention is to propose a method for manufacturing a dull roll for rolling that has high hardness and excellent wear resistance, which can provide a surface roughness of
(問題点を解決するための手段)
さて発明者らは、レーザダル加工を施したロールの表面
が、何故初期摩耗が大きいのか、その原因を解明すべく
、ロールを輪切りにして、表面近傍の断面m織および硬
度分布について調査した。(Means for Solving the Problem) In order to find out why the surface of a roll subjected to laser dulling has large initial wear, the inventors cut the roll into rounds and developed a cross-section near the surface. The weave and hardness distribution were investigated.
その結果、レーザダル仕上げロールの表面には、その凸
部の極く表面近傍に母材よりも軟らかい残留オーステナ
イトが存在し、それ故良好な耐摩耗性が得られないこと
を突止めた。As a result, it was found that retained austenite, which is softer than the base material, exists on the surface of the laser dull finished roll very close to the surface of the convex portions, and therefore good wear resistance cannot be obtained.
そこで発明者らは、上記の問題を解決すべく、鋭意研究
を重ねた結果、かかるレーザダル仕上げ表面にイオンイ
ンプランテーションによってNやTi、 (1,rなど
のイオンを注入してやることが、所期した目的を達成す
る上で極めて効果的であることの知見を得た。In order to solve the above problem, the inventors conducted intensive research and found that it was possible to inject N, Ti, (1,r, etc.) ions into the laser dulled surface by ion implantation. We have found that this method is extremely effective in achieving our goals.
この発明は、上記の知見に立脚するものである。This invention is based on the above knowledge.
すなわちこの発明は、圧延用ロールの表面にレーザービ
ームを照射してロール表面をダル仕上げした後、イオン
インプランテーションにより、イオン化された粒子を、
ロール表面に高速で注入し、高硬度でかつ耐摩耗性に富
む表面硬質層を形成させることを特徴とする圧延用ダル
ロールの製造方法(第1発明)である。That is, in this invention, after irradiating the surface of a rolling roll with a laser beam to give the roll surface a dull finish, ionized particles are removed by ion implantation.
This is a method for manufacturing a dull roll for rolling (first invention), which is characterized by injecting into the roll surface at high speed to form a hard surface layer having high hardness and high wear resistance.
またこの発明は、圧延用ロールの表面にレーザービーム
を照射してロール表面をダル仕上げした後、スパッタリ
ングによって生成させた中性粒子の一部をイオン化し、
ついでイオンインプランテーションにより、イオン化さ
れた粒子を、非イオン化中性粒子を帯同させつつロール
表面に高速で注入し、高硬度でかつ耐摩耗性に富む表面
硬質層を形成させることを特徴とする圧延用ダルロール
の製造方法(第2発明)である。In addition, this invention irradiates the surface of the rolling roll with a laser beam to give the roll surface a dull finish, and then ionizes some of the neutral particles generated by sputtering.
A rolling process characterized by ion implantation, in which ionized particles are injected onto the roll surface at high speed while entrained with non-ionized neutral particles to form a hard surface layer with high hardness and high wear resistance. This is a manufacturing method (second invention) for a dull roll.
さらにこの発明は、イオン発生源と、発生イオンの加速
部材および該イオンによってスパッタリングされるター
ゲット材をそなえる蒸着装置において、ターゲット材と
被処理材ダルロールとの間に、スパッタリングされた粒
子中のイオン化粒子を加速する加速用電極を配設したこ
とを特徴とする圧延用ダルロールの表面硬質層形成装置
(第3発明)である。Furthermore, the present invention provides a vapor deposition apparatus including an ion generation source, an accelerating member for generated ions, and a target material sputtered by the ions, in which ionized particles in the sputtered particles are placed between the target material and a dull roll of the material to be processed. This is a surface hard layer forming apparatus (third invention) for a dull roll for rolling, characterized in that an acceleration electrode for accelerating is disposed.
以下この発明の基礎となった実験結果について説明する
。The experimental results that formed the basis of this invention will be explained below.
まず前掲第1図に示したレーザビームを用いたロール粗
面化加工装置を用いて、次の要領でダル加工を施した。First, using the roll surface roughening processing apparatus using a laser beam shown in FIG. 1 above, dull processing was performed in the following manner.
圧延用ロール1をロール回転支持装置2により、所定の
速度で回転させつつ、レーザビーム発振器3から発振さ
れたレーザビームを複数のミラーを介して、ロール表面
に焦点を合わせ、レーザビームを絞り、レーザ照射ヘッ
ド4がロール回転と同期した駆動ねじ50回転により、
ロール軸方向に移動する間に、ロール表面にパルス化し
たレーザビームを照射して、ロール表面をダル仕上げし
た。While the rolling roll 1 is rotated at a predetermined speed by the roll rotation support device 2, a laser beam emitted from a laser beam oscillator 3 is focused on the roll surface via a plurality of mirrors, and the laser beam is narrowed down. The laser irradiation head 4 rotates the drive screw 50 times in synchronization with the roll rotation.
While the roll was moving in the axial direction, the roll surface was irradiated with a pulsed laser beam to give the roll surface a dull finish.
なおロール表面の表面粗さパターンおよび深さは、パル
スの周波数とロールの回転数およびレーザ照射ヘッドの
移動速度によって適宜に調整できる。Note that the surface roughness pattern and depth of the roll surface can be adjusted as appropriate by the frequency of the pulse, the rotational speed of the roll, and the moving speed of the laser irradiation head.
ついでかくして得られたダル仕上げロール表面に、イオ
ンインプランテーションにより、N゛イオン200 k
eVで注入して表層に硬質層をつ(す、かかるロールを
用いて圧延を実施したところ、通常処理トン数の1.5
倍までの処理が可能となり、耐摩耗性の効果が顕著に現
れた。Next, the surface of the dull-finished roll thus obtained was injected with 200 kN ions by ion implantation.
A hard layer is formed on the surface layer by injection at eV. When rolling was carried out using such a roll, it was found that 1.5
It is now possible to process up to twice as much water, and the effect of wear resistance is noticeable.
また上述したダル仕上げロールの表面に、ターゲット材
としてCr板、スパッタイオンとして計イオンを用いた
スパッタリングによっ゛ζ生成させたCr粒子につきそ
の一部をイオン化したC、rイオンを、10000Vの
電位差で加速して、非イオン化Cr粒子を帯同させつつ
注入して、ロール表面に1μm厚のCr膜をそなえる表
面硬質層を形成し、かかるロールを用いて圧延を実施し
たところ、未処理のロールに比べてロール寿命は約2倍
に向」ニジた。Further, on the surface of the dull finishing roll described above, C and R ions, which are partially ionized from Cr particles generated by sputtering using a Cr plate as a target material and meter ions as sputter ions, are applied to the surface of the dull finishing roll at a potential difference of 10,000 V. By accelerating the process with The lifespan of the rolls has been approximately doubled.
上述の例は、ロール表面に硬度が高く耐摩耗性のあるC
rを被覆させた場合であるが、この他TiやW等硬度が
高く耐摩耗性のある金属をターゲットとして使用すれば
、同様にして各金属またはこれらの合金の被膜を形成で
きると共に各金属のイオンをロール表面に注入させるこ
とが可能である。In the above example, the roll surface is made of C, which has high hardness and wear resistance.
This is the case where a coating of each metal or an alloy of these metals can be formed in the same way, and if a metal with high hardness and wear resistance such as Ti or W is used as a target. It is possible to have ions implanted into the roll surface.
また、不活性ガス中に窒素ガス、酸素ガスを混合すれば
、金属イオンをロール表面に入射できると共に金属の窒
化物、酸化物の被膜をロール表面に形成することもでき
る。Further, by mixing nitrogen gas and oxygen gas in the inert gas, metal ions can be incident on the roll surface, and a film of metal nitride or oxide can also be formed on the roll surface.
第2図に、上記の如き表面硬質層を形成するのに好適な
装置を模式で示す。FIG. 2 schematically shows an apparatus suitable for forming the above hard surface layer.
図中番号6はイオン化チャンバー、7はイオン化効率を
上げるためのマグネットであり、両者でイオン発生源を
構成する。8は発生イオンを引き出すための加速電極、
9はスパッタリングのターゲット、10はスパッタ粒子
をイオン化するための熱フィラメント、11はグリッド
、そして12がイオンを加速するための加速用電極であ
る。なお13は被処理材であるダルロール、14はスパ
ッタリング用のビーム、15はスパッタリングされた粒
子流である。In the figure, number 6 is an ionization chamber, and number 7 is a magnet for increasing ionization efficiency, and both constitute an ion generation source. 8 is an accelerating electrode for extracting generated ions;
9 is a sputtering target, 10 is a hot filament for ionizing sputtered particles, 11 is a grid, and 12 is an acceleration electrode for accelerating ions. Note that 13 is a dull roll which is a material to be processed, 14 is a beam for sputtering, and 15 is a stream of sputtered particles.
第2図に示したところにおいて、イオンチャンバー6で
は、マグネット7で形成される磁場中での放電により、
たとえば希ガスを効率よくイオン化し、ついで加速電極
8により高速で引き出される。かかるスパッタリング用
の希ガスイオンビーム14がターゲット9に衝突すると
、ターゲット9からはスパッタリング効果によって、タ
ーゲット9の成分の粒子流15が形成される。In the place shown in FIG. 2, in the ion chamber 6, due to electric discharge in the magnetic field formed by the magnet 7,
For example, a rare gas is efficiently ionized and then extracted at high speed by the accelerating electrode 8. When the rare gas ion beam 14 for sputtering collides with the target 9, a particle stream 15 of the components of the target 9 is formed from the target 9 due to the sputtering effect.
スパッタリングされた粒子流15は熱電子放出用フィラ
メント10によって一部イオン化された後、かかるイオ
ン化された粒子を加速するためのグリッド11および加
速用電極12を経て、非イオン化粒子を帯同しつつ、高
速でロール8に注入されるのである。After the sputtered particle stream 15 is partially ionized by the thermionic emission filament 10, it passes through the grid 11 and accelerating electrode 12 for accelerating the ionized particles, and then passes through the grid 11 and the acceleration electrode 12 to accelerate the particles at high speed while entraining non-ionized particles. Then, it is injected into the roll 8.
(作 用)
第2発明に従い、イオン化された高速の粒子と中性の低
速の粒子とを同時にロール表面に照射することによって
蒸着とイオン注入とを同時に行うことができ、たとえば
イオンビームミキシング法(ニジD法)などの密着強度
を上げる方法と比べてもそん色のない密着強度が得られ
ると共に、硬質層の厚さをイオン注入のみの場合と比べ
て厚くできるためロール寿命の延長も図り得る。(Function) According to the second invention, vapor deposition and ion implantation can be performed simultaneously by simultaneously irradiating ionized high-speed particles and neutral low-speed particles onto the roll surface. For example, ion beam mixing method ( It is possible to obtain adhesion strength that is comparable to methods for increasing adhesion strength such as Niji D method), and it is also possible to extend the life of the roll because the thickness of the hard layer can be made thicker than when using only ion implantation. .
さらにIVD法と異なる大きな点は、TVD法ではイオ
ンと蒸着粒子の成分が全く異なるのに対して、この発明
による方法ではイオンと中性粒子の成分が同一であるた
め、被膜の内質欠陥が少ないという大きなメリットがあ
る。Another major difference from the IVD method is that in the TVD method, the components of ions and deposited particles are completely different, whereas in the method according to this invention, the components of ions and neutral particles are the same, so that internal defects in the film are eliminated. There is a big advantage of being small.
(発明の効果)
かくしてこの発明によれば、レーザビームによって表面
をダル仕上げした圧延用ロールについても、その後にイ
オンインプランテーションにより硬質層を被成すること
によって、ロールの表面硬度を著しく上昇させることが
でき、かくしてロール表面を所望の粗さに長期にわたっ
て確保できると共に耐摩耗性も向上し、ひいてはロール
の寿命延長に有効に寄与する。(Effects of the Invention) Thus, according to the present invention, even for a rolling roll whose surface has been dull-finished by a laser beam, the surface hardness of the roll can be significantly increased by subsequently forming a hard layer by ion implantation. In this way, the desired roughness of the roll surface can be maintained for a long period of time, and wear resistance is also improved, which in turn effectively contributes to extending the life of the roll.
第1図は、レーザビームを用いたロール粗面化加工装置
の模式図、
第2図は、この発明に従う表面硬質層形成装置の模式図
である。
■・・・ロール 2・・・ロール回転支持装
置3・・・レーザ発振器 4・・・レーザ照射ヘッ
ド5・・・駆動ねじ 6・・・イオン化チャン
バー7・・・マグネット 8・・・加速電極9・
・・ターゲット 10・・・熱フィラメント11
・・・グリッド 12・・・加速用電極13・
・・ダルロール
14・・・スパッタリング用ビーム
15・・・スパッタリングされた粒子流第2図
手 続 補 正 書
昭和61年9月 1日FIG. 1 is a schematic diagram of a roll surface roughening processing device using a laser beam, and FIG. 2 is a schematic diagram of a surface hard layer forming device according to the present invention. ■... Roll 2... Roll rotation support device 3... Laser oscillator 4... Laser irradiation head 5... Drive screw 6... Ionization chamber 7... Magnet 8... Accelerating electrode 9・
...Target 10...Hot filament 11
... Grid 12 ... Acceleration electrode 13.
... Dull roll 14 ... Sputtering beam 15 ... Sputtered particle flow Figure 2 Procedures Correction September 1, 1986
Claims (1)
ール表面をダル仕上げした後、イオンインプランテーシ
ョンにより、イオン化された粒子を、ロール表面に高速
で注入し、高硬度でかつ耐摩耗性に富む表面硬質層を形
成させることを特徴とする圧延用ダルロールの製造方法
。 2、圧延用ロールの表面にレーザービームを照射してロ
ール表面をダル仕上げした後、スパッタリングによって
生成させた中性粒子の一部をイオン化し、ついでイオン
インプランテーションにより、イオン化された粒子を、
非イオン化中性粒子を帯同させつつロール表面に高速で
注入し、高硬度でかつ耐摩耗性に富む表面硬質層を形成
させることを特徴とする圧延用ダルロールの製造方法。 3、イオン発生源と、発生イオンの加速部材および該イ
オンによってスパッタリングされるターゲット材をそな
える蒸着装置において、ターゲット材と被処理材ダルロ
ールとの間に、スパッタリングされた粒子中のイオン化
粒子を加速する加速用電極を配設したことを特徴とする
圧延用ダルロールの表面硬質層形成装置。[Claims] 1. After dulling the roll surface by irradiating the surface of the rolling roll with a laser beam, ionized particles are injected into the roll surface at high speed by ion implantation to achieve high hardness. A method for manufacturing a dull roll for rolling, characterized by forming a hard surface layer with high wear resistance. 2. After irradiating the surface of the rolling roll with a laser beam to give the roll surface a dull finish, some of the neutral particles generated by sputtering are ionized, and then the ionized particles are processed by ion implantation.
A method for manufacturing a dull roll for rolling, characterized by injecting nonionized neutral particles into the roll surface at high speed while entraining them to form a hard surface layer having high hardness and excellent wear resistance. 3. In a vapor deposition apparatus equipped with an ion generation source, a member for accelerating generated ions, and a target material to be sputtered by the ions, ionized particles in the sputtered particles are accelerated between the target material and a dull roll of the material to be processed. A device for forming a hard surface layer on a dull roll for rolling, characterized in that an acceleration electrode is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61168128A JPS6326362A (en) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | Production of dull roll for rolling and apparatus for forming hard surface layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61168128A JPS6326362A (en) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | Production of dull roll for rolling and apparatus for forming hard surface layer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326362A true JPS6326362A (en) | 1988-02-03 |
Family
ID=15862359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61168128A Pending JPS6326362A (en) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | Production of dull roll for rolling and apparatus for forming hard surface layer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326362A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0551726A (en) * | 1991-08-20 | 1993-03-02 | Limes:Kk | Method for hardening surface of metal member and production of hard film-coated metal member |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP61168128A patent/JPS6326362A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0551726A (en) * | 1991-08-20 | 1993-03-02 | Limes:Kk | Method for hardening surface of metal member and production of hard film-coated metal member |
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