JPS63264854A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、走査形電子顕微鏡の改良に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、高分解能用高性能対物レンズを用いた場
合、試料傾斜角、試料サイズ等に大きな制限があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

高倍率、高分解能での試料ａ察に適した走査形電子顕微
鏡は、試料の傾斜、試料サイズ等の点についての制約が
大きく、大型試料を傾斜しての観察を行う場合、大巾に
性能が低下するという問題があった。

本発明の目的は、上記問題点を解決する手段を提供する
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的は、高性能対物レンズの下部磁極を分割し、そ
の一部を着脱可能とすることにより達成される。

（作用〕 下部磁極の一部を分割し、補助磁極として着脱可能とす
る。

小型試料または大型試料を傾斜しないでａ察する場合は
補助磁極を着けた状態で使用する。大形試料を傾斜ａｍ
しようとするときは、補助磁極を説とし、生じた空間を
利用することにより、試料を下げることなくａｍ出きる
ように構成する。これにより体物レンズの励磁を大きく
することで大形試料を傾斜ａ察する場合でも高分解能が
得られる。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図第２図により説明する。第１
図は補助磁極を取り外した場合、第２図は補助磁極を取
り付けた場合における対物レンズ部の縦断面図である。

上部磁極のを円錐状に形成し、その母線と電子ビームと
の交点に試料を置く。

この試料ｗ４察点を中心に、上部磁極の外側と、励磁コ
イル■、下部磁極■の間の球状部を空洞とするように対
物レンズを構成する。

第２図の様に補助磁極を取り外した場合は、大型試料■
を上部磁極円錐面まで傾斜可能であり、傾斜時にＷＤ　
（上部磁極から試料までの距離）を大きくとらずに済む
、したがって、大型試料を傾斜してのＲ察においても、
高倍率、高分解能の観察が可能となる。

小型試料■を観察する場合、又、大型試料を傾斜せずに
観察する場合は、第２図のように補助磁極を取り付ける
ことにより、下部磁極が試料に近づくことになる。した
がって、試料ｗｉ察点点付近磁場が強くなり、より高倍
率、高分解能でのｗｔ察が可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、必要に応じて補助磁極が着脱可能であ
るため、試料のサイズに関わらず、高倍率、高分解能で
の観察ができる。又、試料の傾斜範囲も広くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図第２図は本発明の一実施例における電子顕微鏡対
物レンズ部の電子ビーム方向の縦断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、下部磁極の一部を着脱可能に構成した対物レンズを
   備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。 ２、特許請求の範囲第１項において、上部磁極を円錐状
   に形成すると同時に、下部磁極の一部を着脱可能に構成
   し、脱の状態では上記円錐の母線上の試料観察点を中心
   とした上部磁極の外側の球状部を空洞とするように構成
   した対物レンズを備えたことを特徴とする走査形電子顕
   微鏡。