JPS6326545A - 光半導体素子の特性検査光学装置 - Google Patents
光半導体素子の特性検査光学装置Info
- Publication number
- JPS6326545A JPS6326545A JP17020586A JP17020586A JPS6326545A JP S6326545 A JPS6326545 A JP S6326545A JP 17020586 A JP17020586 A JP 17020586A JP 17020586 A JP17020586 A JP 17020586A JP S6326545 A JPS6326545 A JP S6326545A
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- JP
- Japan
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- lens
- focus
- handle fiber
- fiber
- laser diode
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
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- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光半導体素子の特性検査光学装置に関し、特に
半導体レーザダイオードの動的発振光出力特性を検査す
る特性検査光学装置に関する。
半導体レーザダイオードの動的発振光出力特性を検査す
る特性検査光学装置に関する。
従来の半導体レーザダイオードの発振光出力特性の検査
光学装置は、第３図に示す構成を有している。すなわち
、被検査試料であるレーザ・ダイオード１からの発振光
出力を特性試験装置へ導くためのファイバ６に効率良く
入射させるため、ファイバ４を三軸ステージ７で保持し
、そのＸ軸（Ｘ）とＹ軸（Ｙ）とＺ軸（Ｚ）の位置調整
を行うことによって各光軸の調整を行なっている。
光学装置は、第３図に示す構成を有している。すなわち
、被検査試料であるレーザ・ダイオード１からの発振光
出力を特性試験装置へ導くためのファイバ６に効率良く
入射させるため、ファイバ４を三軸ステージ７で保持し
、そのＸ軸（Ｘ）とＹ軸（Ｙ）とＺ軸（Ｚ）の位置調整
を行うことによって各光軸の調整を行なっている。
このような従来の特性検査光学装置は、レーザダイオー
ド１からの発振光出力を、三軸ステージ７の各軸の光軸
調整を行なうことによってファイバ６にその光出力を効
率よく入射させることが必要なため、調整作業に多大の
時間を費して作業能率が低く、さらにレーザダイオード
１自体の取付位置のばらつきも伴なうため、測定の精度
がおちるという欠点がある。
ド１からの発振光出力を、三軸ステージ７の各軸の光軸
調整を行なうことによってファイバ６にその光出力を効
率よく入射させることが必要なため、調整作業に多大の
時間を費して作業能率が低く、さらにレーザダイオード
１自体の取付位置のばらつきも伴なうため、測定の精度
がおちるという欠点がある。
本発明が解決しようとする問題点、換言すれば本発明の
′目的は、上述した従来のレーザダイオードの特性検査
光学装置の欠点を除去し、大口径ハンドルファイバと長
焦点レンズと短焦点レンズとを組合せて一体化すること
によってレーザダイオードとの光軸の調整を不用として
、検査作業の能率に優れ、レーザダイオードの位１のば
らつきに対しても充分に光量が得られて、高い測定精度
の得られるレーザダイオードの特性検査光学装置を提供
することにある。
′目的は、上述した従来のレーザダイオードの特性検査
光学装置の欠点を除去し、大口径ハンドルファイバと長
焦点レンズと短焦点レンズとを組合せて一体化すること
によってレーザダイオードとの光軸の調整を不用として
、検査作業の能率に優れ、レーザダイオードの位１のば
らつきに対しても充分に光量が得られて、高い測定精度
の得られるレーザダイオードの特性検査光学装置を提供
することにある。
本発明の光半導体素子の特性検査光学装置は、大口径の
ハンドルファイバと、このハンドルファイバの後方に設
けられ前記ハンドルファイバの開口角と同等以上の開口
角を有する長焦点のコリメータレンズと、このコリメー
タレンズの後方に設けられた短焦点の球レンズとを備え
、前記ハンドルファイバと前記コリメータレンズと前記
球レンズとの光軸を一致させて一体として固定して結合
して構成される。
ハンドルファイバと、このハンドルファイバの後方に設
けられ前記ハンドルファイバの開口角と同等以上の開口
角を有する長焦点のコリメータレンズと、このコリメー
タレンズの後方に設けられた短焦点の球レンズとを備え
、前記ハンドルファイバと前記コリメータレンズと前記
球レンズとの光軸を一致させて一体として固定して結合
して構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は、本発明の第一の実施例を示す構成図である。
第１図において、大口径のバンドルファイ２は、その入
射口２ａの近傍に被検体であるレーザダイオード１を取
付け、外部電源によってレーザダイオード１を発光させ
る。この発光出力は、バンドルファイバ２の入射口２ａ
に入射して他方の端面の出射口２ｂから出射する。バン
ドルファイバ２の後方にはその開口角と同等以上の開口
角を有する長焦点（’ｆｌ）のコリメータレンズ３が設
けられており、このコリメータレンズ３によって入射光
は平行な光となる。コリメータレンズ３の後方には焦点
路Ｍ（ｆ２）のきわめて短かい（ｆｌ＞＞ｆ２ ）球レ
ンズが設けられており、この球レンズ４によって集光し
て小口径の受光器５に入射し、ここで電気信号に変換さ
れて特性検査装置に送られる。これらのハンドルファイ
バ２とコリメータレンズ３と球レンズ４と受光器５とは
それらの光軸を一致させて一体として結合している。
射口２ａの近傍に被検体であるレーザダイオード１を取
付け、外部電源によってレーザダイオード１を発光させ
る。この発光出力は、バンドルファイバ２の入射口２ａ
に入射して他方の端面の出射口２ｂから出射する。バン
ドルファイバ２の後方にはその開口角と同等以上の開口
角を有する長焦点（’ｆｌ）のコリメータレンズ３が設
けられており、このコリメータレンズ３によって入射光
は平行な光となる。コリメータレンズ３の後方には焦点
路Ｍ（ｆ２）のきわめて短かい（ｆｌ＞＞ｆ２ ）球レ
ンズが設けられており、この球レンズ４によって集光し
て小口径の受光器５に入射し、ここで電気信号に変換さ
れて特性検査装置に送られる。これらのハンドルファイ
バ２とコリメータレンズ３と球レンズ４と受光器５とは
それらの光軸を一致させて一体として結合している。
また各部品は低損失の光学部品を用いている。
第２図は本発明の第二の実施例を示す構成図である。基
本的には第１図の実施例と同じ光学系を用い、球レンズ
からの出射光を直接受光器に入射させる代りにコア径の
小さいファイバ６に入射させ、このファイバ６を介して
特性検査装置に入力、するように構成している。その作
用・効果は第１図の実施例と同じである。
本的には第１図の実施例と同じ光学系を用い、球レンズ
からの出射光を直接受光器に入射させる代りにコア径の
小さいファイバ６に入射させ、このファイバ６を介して
特性検査装置に入力、するように構成している。その作
用・効果は第１図の実施例と同じである。
以上詳細に説明したように、本発明は大口径のハンドル
ファイバと長焦点距離（ｆｌ）のコリメータレンズと短
焦点距離（ｆ２）の球レンズとを用いることによって、
被検体に対する光軸の調整が不要となるという効果があ
り、従って高い作業能率が得られると同時に光学装置が
一体となっていることにより、保守・運用の両面におい
て大きな経済的な効果が得られる。
ファイバと長焦点距離（ｆｌ）のコリメータレンズと短
焦点距離（ｆ２）の球レンズとを用いることによって、
被検体に対する光軸の調整が不要となるという効果があ
り、従って高い作業能率が得られると同時に光学装置が
一体となっていることにより、保守・運用の両面におい
て大きな経済的な効果が得られる。
第１図および第２図は本発明の第一および第二の実施例
を示す構成図、第３図は従来の特性検査光学装置の一例
を示す構成図である。 １・・・レーザダイオード、２・・・バンドルファイバ
、３・・・コリメートレンズ、４・・・球レンズ、５・
・・受光器、６・・・ファイバ、７・・・三軸ステージ
。 代理人 弁理士 内 原 晋 １ レーヂタ゛イオード 第３図
を示す構成図、第３図は従来の特性検査光学装置の一例
を示す構成図である。 １・・・レーザダイオード、２・・・バンドルファイバ
、３・・・コリメートレンズ、４・・・球レンズ、５・
・・受光器、６・・・ファイバ、７・・・三軸ステージ
。 代理人 弁理士 内 原 晋 １ レーヂタ゛イオード 第３図
Claims (1)
- 大口径のハンドルファイバと、このハンドルファイバ
の後方に設けられ前記ハンドルファイバの開口角と同等
以上の開口角を有する長焦点のコリメータレンズと、こ
のコリメータレンズの後方に設けられた短焦点の球レン
ズとを備え、前記ハンドルファイバと前記コリメータレ
ンズと前記球レンズとの光軸を一致させて一体として固
定して結合したことを特徴とする光半導体素子の特性検
査光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17020586A JPS6326545A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 光半導体素子の特性検査光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17020586A JPS6326545A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 光半導体素子の特性検査光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326545A true JPS6326545A (ja) | 1988-02-04 |
Family
ID=15900612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17020586A Pending JPS6326545A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 光半導体素子の特性検査光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326545A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1065230C (zh) * | 1993-03-26 | 2001-05-02 | 赫尔克里斯有限公司 | 用叔胺经二聚作用生产烷基烯酮二聚物的方法 |
| CN102147291A (zh) * | 2011-03-12 | 2011-08-10 | 福建福光数码科技有限公司 | 中波红外两档视场一体化热成像系统 |
| JP2015230274A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 株式会社リコー | 検査装置 |
| CN108860210A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 弓网燃弧光学检测系统 |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP17020586A patent/JPS6326545A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1065230C (zh) * | 1993-03-26 | 2001-05-02 | 赫尔克里斯有限公司 | 用叔胺经二聚作用生产烷基烯酮二聚物的方法 |
| CN102147291A (zh) * | 2011-03-12 | 2011-08-10 | 福建福光数码科技有限公司 | 中波红外两档视场一体化热成像系统 |
| JP2015230274A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 株式会社リコー | 検査装置 |
| CN108860210A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 弓网燃弧光学检测系统 |
| CN108860210B (zh) * | 2017-05-10 | 2024-02-27 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 弓网燃弧光学检测系统 |
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