JPS632660Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS632660Y2 JPS632660Y2 JP4271483U JP4271483U JPS632660Y2 JP S632660 Y2 JPS632660 Y2 JP S632660Y2 JP 4271483 U JP4271483 U JP 4271483U JP 4271483 U JP4271483 U JP 4271483U JP S632660 Y2 JPS632660 Y2 JP S632660Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- bearing pad
- air
- air bearing
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Pipe Accessories (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〈考案の技術分野〉
本考案は、精密測定機、精密ロボツト、精密工
作機等に実施される静圧空気軸受に関連し、殊に
本考案は、空気軸受に構成されるオリフイスに関
する。
作機等に実施される静圧空気軸受に関連し、殊に
本考案は、空気軸受に構成されるオリフイスに関
する。
〈考案の背景〉
従来この種空気軸受では、軸受パツド面に一定
寸法のオリフイスを有し、かかるオリフイスの寸
法は変えることができない。このため、一定の空
気圧力の下では、浮上すきまは決つた値しか得る
ことができない。
寸法のオリフイスを有し、かかるオリフイスの寸
法は変えることができない。このため、一定の空
気圧力の下では、浮上すきまは決つた値しか得る
ことができない。
〈考案の目的〉
本考案は、電圧印加により膨脹する電歪材料を
オリフイスに用いることにより、一定圧力下にお
いて軸受浮上すきまを可変できる新規な空気軸受
を提供することを目的とする。
オリフイスに用いることにより、一定圧力下にお
いて軸受浮上すきまを可変できる新規な空気軸受
を提供することを目的とする。
〈実施例の説明〉
図面は空気軸受本体１に本考案の一実施例にか
かる空気軸受パツド２を取付け固定している。
かる空気軸受パツド２を取付け固定している。
上記軸受パツド２は、中央部に空気導孔３を穿
設して基端に圧縮空気供給管４を接続すると共
に、空気導孔３の先端には、軸受パツド面５に位
置して本考案の特徴をなすオリフイス６を備えて
いる。該オリフイス６は、横断面が矩形の下孔６
１中へ、電圧印加により膨脹変形、縮小変形する
例えばピエゾ素子等の電歪部材６２を嵌着して、
部材６２の一側面と下孔６１側面との間に可変孔
６３を形成すると共に、電歪部材６２は、リード
線６４を介して電源に接続している。前記軸受パ
ツド面５には、オリフイス６の一部を構成するリ
セス部６５が下孔６１を囲み凹設され、又、軸受
パツド面５の適所には変位センサ７が配備され、
該センサ７はオリフイス６と組合せ、制御機構
（図示せず）に連繋して制御することにより、軸
受案内面８に対する空気軸受パツド２のオリフイ
ス６寸法を自動制御し、最適浮上すきまを得るこ
とが出来る。尚、上記軸受パツド２及びオリフイ
ス６の形状は図示例に限定せず、又、オリフイス
の個数、配置位置は実施に際し任意に設定する。
設して基端に圧縮空気供給管４を接続すると共
に、空気導孔３の先端には、軸受パツド面５に位
置して本考案の特徴をなすオリフイス６を備えて
いる。該オリフイス６は、横断面が矩形の下孔６
１中へ、電圧印加により膨脹変形、縮小変形する
例えばピエゾ素子等の電歪部材６２を嵌着して、
部材６２の一側面と下孔６１側面との間に可変孔
６３を形成すると共に、電歪部材６２は、リード
線６４を介して電源に接続している。前記軸受パ
ツド面５には、オリフイス６の一部を構成するリ
セス部６５が下孔６１を囲み凹設され、又、軸受
パツド面５の適所には変位センサ７が配備され、
該センサ７はオリフイス６と組合せ、制御機構
（図示せず）に連繋して制御することにより、軸
受案内面８に対する空気軸受パツド２のオリフイ
ス６寸法を自動制御し、最適浮上すきまを得るこ
とが出来る。尚、上記軸受パツド２及びオリフイ
ス６の形状は図示例に限定せず、又、オリフイス
の個数、配置位置は実施に際し任意に設定する。
〈考案の効果〉
本考案は上記の如く、空気軸受パツドに形成し
たオリフイスを、電圧印加により膨脹、縮小変化
する電歪部材を配備してオリフイス寸法を可変す
るようにしたから、本案の空気軸受は、一定空気
圧の下で浮上すきまを自由に制御でき、所期の目
的を達成した実用上の効果を奏する。
たオリフイスを、電圧印加により膨脹、縮小変化
する電歪部材を配備してオリフイス寸法を可変す
るようにしたから、本案の空気軸受は、一定空気
圧の下で浮上すきまを自由に制御でき、所期の目
的を達成した実用上の効果を奏する。
第１図は本案の一実施例にかかる空気軸受パツ
ドの縦断面図、第２図は第１図の下面図である。 ２……空気軸受パツド、３……空気導孔、５…
…軸受パツド面、６……オリフイス、６１……下
孔、６２……電歪部材、６３……可変孔。
ドの縦断面図、第２図は第１図の下面図である。 ２……空気軸受パツド、３……空気導孔、５…
…軸受パツド面、６……オリフイス、６１……下
孔、６２……電歪部材、６３……可変孔。
Claims (1)
- 軸受パツド面に設けたオリフイスに電歪部材を
備え、電圧印加によりオリフイス寸法を可変可能
となした空気軸受パツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4271483U JPS59147922U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 空気軸受パツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4271483U JPS59147922U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 空気軸受パツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147922U JPS59147922U (ja) | 1984-10-03 |
| JPS632660Y2 true JPS632660Y2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=30173247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4271483U Granted JPS59147922U (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 空気軸受パツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59147922U (ja) |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4271483U patent/JPS59147922U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59147922U (ja) | 1984-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61209838A (ja) | 一軸ステ−ジ | |
| JPS632660Y2 (ja) | ||
| JP3143582B2 (ja) | 静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ | |
| JPS55139630A (en) | Supporter for magnetic head | |
| JPS63101515A (ja) | 静圧空気軸受 | |
| JPS6197628U (ja) | ||
| JPS63107858U (ja) | ||
| JPS63123780U (ja) | ||
| JPH0518497Y2 (ja) | ||
| JPS6158984U (ja) | ||
| FR2386755A1 (fr) | Servo-commande pneumatique d'une soupape regulatrice | |
| JPS6019817U (ja) | 空気軸受パツド | |
| JPS63232912A (ja) | 流体軸受装置 | |
| JPH0333641U (ja) | ||
| JPH0369702U (ja) | ||
| JPH0212484U (ja) | ||
| JPH0183902U (ja) | ||
| JPS631368U (ja) | ||
| JPH0333640U (ja) | ||
| JPH0284119U (ja) | ||
| JPS62113995U (ja) | ||
| JPS63123648A (ja) | 精密機械用微動機構 | |
| JPS61284349A (ja) | 微動機構 | |
| JPS59187564U (ja) | 車速感応形動力舵取装置 | |
| JPH0392617U (ja) |