JPS63266338A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS63266338A JPS63266338A JP10162587A JP10162587A JPS63266338A JP S63266338 A JPS63266338 A JP S63266338A JP 10162587 A JP10162587 A JP 10162587A JP 10162587 A JP10162587 A JP 10162587A JP S63266338 A JPS63266338 A JP S63266338A
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- piezoelectric
- vibrator
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- electrodes
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、振動体の共振周波数を検出して該振動体に接
触している流体の密度または圧力を測定する振動式トラ
ンスジューサに好適に使用し得る圧電振動子に関する。
触している流体の密度または圧力を測定する振動式トラ
ンスジューサに好適に使用し得る圧電振動子に関する。
° 上述のような振動式トランスジューサについて、本
件出願人は、既に、金属性基体の少なくとも一面倒に該
面に対向する空洞と該空洞に測定流体を導く筒体とを設
け、金属性基体を該基体に接着した圧電基板で駆動して
曲げ振動させるトランスジューサを提案している（特願
昭６０−２３９２２８号参照）。
件出願人は、既に、金属性基体の少なくとも一面倒に該
面に対向する空洞と該空洞に測定流体を導く筒体とを設
け、金属性基体を該基体に接着した圧電基板で駆動して
曲げ振動させるトランスジューサを提案している（特願
昭６０−２３９２２８号参照）。
このトランスジューサは、空洞および筒体の大きさと金
属性基体の弾性とを適宜設定することによって低密度流
体に対しても精度のよい測定が行える利点があるが、金
属性基体の駆動をこの基体に接着した圧電基板で行って
いるので、金属性基体と圧電基板との各熱膨張係数に差
があると温度変動に伴って金属性基体がそり返るという
現象が発生する。したがって上記のようなトランスジュ
ーサでは、金属性基体および圧電基板の再熱膨張係数を
一４０℃〜＋１２０℃というような広い温度範囲にわた
って一致させることは困難であるから、広い温度範囲で
使用すと大きい測定誤差が発生するという問題がある。 そこで、本発明は、上述の点に鑑みてなされ、広い使用
温度範囲にわたって測定誤差の小さい圧電極動子を提供
することを目的とする。
属性基体の弾性とを適宜設定することによって低密度流
体に対しても精度のよい測定が行える利点があるが、金
属性基体の駆動をこの基体に接着した圧電基板で行って
いるので、金属性基体と圧電基板との各熱膨張係数に差
があると温度変動に伴って金属性基体がそり返るという
現象が発生する。したがって上記のようなトランスジュ
ーサでは、金属性基体および圧電基板の再熱膨張係数を
一４０℃〜＋１２０℃というような広い温度範囲にわた
って一致させることは困難であるから、広い温度範囲で
使用すと大きい測定誤差が発生するという問題がある。 そこで、本発明は、上述の点に鑑みてなされ、広い使用
温度範囲にわたって測定誤差の小さい圧電極動子を提供
することを目的とする。
このような目的を達成するために、本発明は、第１の圧
電基板と第２の圧電基板とを積層して接合し、第１の圧
電基板を固定保持し、第１の圧電基板を電気的に駆動す
ることによって、この積層した第１．第２の圧電基板に
屈曲振動を行わせることを特徴とする。 すなわち、第１図に本発明の原理構成を示すように、第
１の圧電基板１と第２の圧電基板２とが積層して接合さ
れ、第１の圧電基板１の片面周縁部が固定部２３に固定
される。第１の圧電基板１と第２の圧電基板２との間に
は電極７が設けられ、この電極７はアース接続される。 第１の圧電基板１の他面には電極４が設けられ、また第
２の圧電基板２の他面には電極１６が設けられる。 この場合、第１の圧電基板１は大径の円板（もしくは楕
円板）に形成されてその片面周縁部が固定部２３に固定
され、第２の圧電基ｖｉ２は小径の円板に形成され、そ
して、第１の圧電基板１は電極７．４間に交流電圧を印
加すると、半径方向に伸縮するように構成されている。 なお、第１の圧電基板１の周縁部の固定は全周に亘って
行う必要はない。
電基板と第２の圧電基板とを積層して接合し、第１の圧
電基板を固定保持し、第１の圧電基板を電気的に駆動す
ることによって、この積層した第１．第２の圧電基板に
屈曲振動を行わせることを特徴とする。 すなわち、第１図に本発明の原理構成を示すように、第
１の圧電基板１と第２の圧電基板２とが積層して接合さ
れ、第１の圧電基板１の片面周縁部が固定部２３に固定
される。第１の圧電基板１と第２の圧電基板２との間に
は電極７が設けられ、この電極７はアース接続される。 第１の圧電基板１の他面には電極４が設けられ、また第
２の圧電基板２の他面には電極１６が設けられる。 この場合、第１の圧電基板１は大径の円板（もしくは楕
円板）に形成されてその片面周縁部が固定部２３に固定
され、第２の圧電基ｖｉ２は小径の円板に形成され、そ
して、第１の圧電基板１は電極７．４間に交流電圧を印
加すると、半径方向に伸縮するように構成されている。 なお、第１の圧電基板１の周縁部の固定は全周に亘って
行う必要はない。
しかして、増幅器２１によって交流電圧を第１の圧電基
板１の電極７．４間に印加すると、半径方向に伸縮力が
働き、片面の周縁部が固定されているので、板厚及び伸
縮力に比例した曲げモーメントが固定部に生じ、圧電基
板１はその面に垂直な方向に振動する。。 一方、第２の圧電基板２にも分極処理を施しておくと、
電極７．１６間にはこの振動に応じた交流電圧が発生す
る。この交流電圧は第１の圧電基板１および第２の圧電
基板２から成る圧電振動子とこの圧電振動子に接する媒
体の付加質量とで定まる機械的共振周波数にて第１の圧
電基板１への印加交流電圧に対し９０＠位相が進む性質
を有する。 それゆえこの位相を補償して第１の圧電基板１に正帰還
回路２２を介して正帰還することにより、第１の圧電基
板１および第２の圧電基板２から成る圧電振動子はその
共振周波数で自動振動することになる。
板１の電極７．４間に印加すると、半径方向に伸縮力が
働き、片面の周縁部が固定されているので、板厚及び伸
縮力に比例した曲げモーメントが固定部に生じ、圧電基
板１はその面に垂直な方向に振動する。。 一方、第２の圧電基板２にも分極処理を施しておくと、
電極７．１６間にはこの振動に応じた交流電圧が発生す
る。この交流電圧は第１の圧電基板１および第２の圧電
基板２から成る圧電振動子とこの圧電振動子に接する媒
体の付加質量とで定まる機械的共振周波数にて第１の圧
電基板１への印加交流電圧に対し９０＠位相が進む性質
を有する。 それゆえこの位相を補償して第１の圧電基板１に正帰還
回路２２を介して正帰還することにより、第１の圧電基
板１および第２の圧電基板２から成る圧電振動子はその
共振周波数で自動振動することになる。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例の断面図、第３図は第２図の
Ａ−Ａ断面図、第４図は第２図の矢印Ｂ方向から示した
概略図である。 しかして、これらの図において、１は厚さ０．１ｍｌ１
１程度の圧電材料薄板から成る円板状の第１の圧電基板
であり、一方の面１ａにはほぼ同心状に電極４が設けら
れている。第１の圧電基板１の他面１ｂには、特に第３
図から明らかなように、この第１の圧電基板１に設けら
れたスルーホール５を介して電極４に電気的に接続され
た電極１５と、この電極１５とは電気的に絶縁されかつ
第１の圧電基板１の他面１ｂのほぼ全面を覆う電極７と
が設けられている。 この電極７上には、厚さ０．１ ｍｍ程度の圧電材料薄
板から成る円板状の第２の圧電基板２が積層して接合さ
れている。この第２の圧電基板２の一面２ａにはスルー
ホール８を介して前記電極６と接続した電極１６がほぼ
同心状に設けられる。円環状スペーサ３は圧電基板２と
同一の材料にて厚さも等しく形成され、その−面３ａに
はスルーホール９を介して電極６と接続された電極１７
と、スルーホール１０を介して電極１５と接続された電
極１８とが形成されている。また、この電極１７．１８
を除いた部分にはスルーホール１１を介して電極７と接
続された電極１９が設けられている。このようにして、
立体的に積層した第１の圧電基板１の面１ａに設けた電
極４、第１の圧電基板１の他面１ｂに設けた電極７、お
よび、第２の圧電基板２の面２ａに設けた電極１６が円
環状スペーサ３の一面にそれぞれスルーホール５，１０
，８，９．１１を介して導出される。 １２はこのように第１の圧電基板１、第２の圧電基板２
）スペーサ３で構成された圧電振動子である。このよう
な圧電振動子１２を製作するには例えばセラミックスの
多層配線基板の製作技術を応用することが可能である。 すなわち、グリーンシート法により製作した薄膜から成
る第１の圧電基板１、第２の圧電基板２．スペーサ３の
各面１ａ。 ｌｂ、’ｌａ、３ａにスクリーン印刷により電極パター
ンを形成し、所定形状に打抜いた後積層してセラミック
スの焼結と電極の焼付けを同時に行い、第１の圧電基板
１と第２の圧電基板２およびスペーサ３との機械的接合
と各電極間の電気的接合を同時に行う。このようにして
接合形成した振動子１２の電極４と７、および６と７の
間にそれぞれ直流電界を加えていわゆる分極処理を施す
ことにより、第１の圧電基板１および第２の圧電基板２
は圧電性を有することになる。ただし、スペーサ３はそ
の上下面にスルーホール１１を介して導通ずる電極７．
１９があるので分極はされない。 第５図は第２図ないし第４図に示した圧電振動子を用い
て流体の密度もしくは圧力を測定する振動式トランスジ
ューサを構成した一例を示す。この第５図において、１
３はこの振動子１２を保持するためのハウジングで、振
動子１２を形成する圧電材料とほぼ熱膨張係数が等しい
Ｎｉ −Ｆｅ合会合材料らなる。このハウジング１３は
その段差部１３ａでスペーサ３に設けた電極１９とハン
ダ付けまたは導電性接着剤等の接合手段を用いて電気的
に接続されるとともに、振動子１２を保持している。ハ
ウジング１３には電極１７および１８に対応した開口２
３および２４が設けられており、この電極１７．１８と
は絶縁されている。また、段差部１３ａの深さは振動子
１２の厚さｈよりも著干深くなっており、振動子１２が
突出しない構造となっている。２５および２６は前記電
極１７および１８に接続したリード線である。２７は底
部２７ａの外面に筒体２８の一端が固定された容器で、
底部２７ａには筒体２８の内部に連通ずる貫通孔２７ｃ
が設けられており、開口側の面２７ｂがハウジング１３
の端面と気密に接合され、振動子１２の電極４との間に
わずかな空隙が残される。なお、この容器２７ハウジン
グ１３と同材料で形成されている。 この容器２７と底部２７ａと圧電振動子１２との間に形
成された空洞２９と、筒体２８内との媒質によって音響
振動系が構成されるが、空洞２９の媒質のバネ定数を十
分大きくすることによって筒体２８内の媒質の質量のみ
が振動子１２の付加質量として作用するよう構成しであ
る。２１は電極４ 、１５．１８を介して交流電圧を第
１の圧電基板１に加える増幅器２２は第２の圧電基板２
に発生した電圧を電極１７，６．１６を介して検出して
増幅器２１に正帰環する帰環回路である。 第１の圧電基板１は前述のように電極７，４間に交流電
圧を印加すると半径方向に伸縮力が生じ、基板１の片面
周縁部が固定されているので、板厚及び伸縮力が比例し
た曲げモーメントが圧電基板１の固定部に加わり、その
面に垂直方向に振動する。一方、第２の圧電基板２も前
述のように分極処理を施しであるので、電極７．１６間
にこの振動に応じた交流電圧が発生する。この交流電圧
は第１の圧電基板１および第２の圧電基板２からなる圧
電振動子１２と筒体２８内の媒質の付加質量で定まる機
械的共振周波数で、圧電基板２に印加した交流電圧に対
し９０°位相が進む性質をもつので、この位相を補償し
て第２の圧電基板２に正帰環することにより、圧電振動
子１２はその共振周波数で自助振動をすることになる。 それゆえ、この周波数を検出回路２０にて計測すれば媒
質の付加１を量すなわち密度（または圧力）を計測でき
る。 ・この振動式トランスジューサにおいて
は、既に説明したように振動子を構成する第１の圧電基
板１を圧電基板２と同一材料にて構成しており、かつ、
同一条件で分極処理を施すので、第１の圧電基板１と第
２の圧電基板２との間の熱膨張率の差を広い温度範囲に
亘って無くすことができ、両者の熱膨張差に伴う、所謂
バイメタル状変形による振動子１２の共振周波数の変化
を防止することができ、精度よく密度を計測することが
できる。また、この振動式トランスジューサにおいては
、圧電基板２に交流電圧を印加するための電極および圧
電基板１の振動を検出するための電極とリード線部をパ
ターン形成し、それぞれをスルーホールで接続すること
によって一つの平面上でかつ振動子１２の固定部分とな
る周縁部分に引き出すようにしであるので、電気的に接
続することが容易でかつす−ド線の振動への影響が無（
なる。更に、第１の圧電基板１を駆動するので第２の圧
電基板の直径・板厚を小さくしても駆動力は低下せず、
外部加振で生じる変位量は軽量化となり小さくなる為、
測定誤差が小さくなり耐振性を向上できる。なお第２の
圧電基板２は第１の圧電基板１の変位を検出できるもの
ならどんな形状でも良い。また、以上の説明では、振動
子に接触している流体の密度または圧力を検出する振動
式トランスジューサに関するものであったが、この振動
子の応用は本実施例に限定されるものでなく、圧電振動
子を用いた形式の装置、たとえば積層型圧電アクチュエ
ータ、圧電ブザー、圧電スピーカ等にも適用できる。 【発明の効果］ 以上に説明したように、本発明によれば、振動子を従来
のごとく金属性基体に駆動用圧電金属性基板を接合した
ものとは異なり、固定保持された駆動用の第１の圧電基
板で形成した基体と振動取出用の第２の圧電基板とを接
合して構成したので、駆動用の第１の圧電基板から成る
基体と振動取出用の第２の圧電基板との間の膨張差をほ
ぼ同一にすることができ、熱膨張率の差による熱変形に
伴う振動子の共振周波数の変化を防止できる。 また、本発明によれば、２層に積層した圧電基板の電極
とこの電極に電圧を印加するための電極およびこの電極
から電圧を取り出すためのリード電極とを両圧電基板に
形成したスルーホールを介して一方の圧電基板の一つの
平面上でかつ振動子の固定部となる周縁部に引き出すよ
うに構成したので、回路部との接続を従来のように直接
振動している部品からリード線によって引き出すのと異
なり、リード線の質量や共振等によって振動子の共振周
波数の変動がなくかつ製作コストも低減できる効果があ
る。 更に、第１の圧電基板を駆動するように構成したので第
２の圧電基板２の板厚・直径を小さくしても駆動力が低
下せず軽量化できる為、外部からの加振による変位が小
さくなり測定精度が向上する効果もある。
Ａ−Ａ断面図、第４図は第２図の矢印Ｂ方向から示した
概略図である。 しかして、これらの図において、１は厚さ０．１ｍｌ１
１程度の圧電材料薄板から成る円板状の第１の圧電基板
であり、一方の面１ａにはほぼ同心状に電極４が設けら
れている。第１の圧電基板１の他面１ｂには、特に第３
図から明らかなように、この第１の圧電基板１に設けら
れたスルーホール５を介して電極４に電気的に接続され
た電極１５と、この電極１５とは電気的に絶縁されかつ
第１の圧電基板１の他面１ｂのほぼ全面を覆う電極７と
が設けられている。 この電極７上には、厚さ０．１ ｍｍ程度の圧電材料薄
板から成る円板状の第２の圧電基板２が積層して接合さ
れている。この第２の圧電基板２の一面２ａにはスルー
ホール８を介して前記電極６と接続した電極１６がほぼ
同心状に設けられる。円環状スペーサ３は圧電基板２と
同一の材料にて厚さも等しく形成され、その−面３ａに
はスルーホール９を介して電極６と接続された電極１７
と、スルーホール１０を介して電極１５と接続された電
極１８とが形成されている。また、この電極１７．１８
を除いた部分にはスルーホール１１を介して電極７と接
続された電極１９が設けられている。このようにして、
立体的に積層した第１の圧電基板１の面１ａに設けた電
極４、第１の圧電基板１の他面１ｂに設けた電極７、お
よび、第２の圧電基板２の面２ａに設けた電極１６が円
環状スペーサ３の一面にそれぞれスルーホール５，１０
，８，９．１１を介して導出される。 １２はこのように第１の圧電基板１、第２の圧電基板２
）スペーサ３で構成された圧電振動子である。このよう
な圧電振動子１２を製作するには例えばセラミックスの
多層配線基板の製作技術を応用することが可能である。 すなわち、グリーンシート法により製作した薄膜から成
る第１の圧電基板１、第２の圧電基板２．スペーサ３の
各面１ａ。 ｌｂ、’ｌａ、３ａにスクリーン印刷により電極パター
ンを形成し、所定形状に打抜いた後積層してセラミック
スの焼結と電極の焼付けを同時に行い、第１の圧電基板
１と第２の圧電基板２およびスペーサ３との機械的接合
と各電極間の電気的接合を同時に行う。このようにして
接合形成した振動子１２の電極４と７、および６と７の
間にそれぞれ直流電界を加えていわゆる分極処理を施す
ことにより、第１の圧電基板１および第２の圧電基板２
は圧電性を有することになる。ただし、スペーサ３はそ
の上下面にスルーホール１１を介して導通ずる電極７．
１９があるので分極はされない。 第５図は第２図ないし第４図に示した圧電振動子を用い
て流体の密度もしくは圧力を測定する振動式トランスジ
ューサを構成した一例を示す。この第５図において、１
３はこの振動子１２を保持するためのハウジングで、振
動子１２を形成する圧電材料とほぼ熱膨張係数が等しい
Ｎｉ −Ｆｅ合会合材料らなる。このハウジング１３は
その段差部１３ａでスペーサ３に設けた電極１９とハン
ダ付けまたは導電性接着剤等の接合手段を用いて電気的
に接続されるとともに、振動子１２を保持している。ハ
ウジング１３には電極１７および１８に対応した開口２
３および２４が設けられており、この電極１７．１８と
は絶縁されている。また、段差部１３ａの深さは振動子
１２の厚さｈよりも著干深くなっており、振動子１２が
突出しない構造となっている。２５および２６は前記電
極１７および１８に接続したリード線である。２７は底
部２７ａの外面に筒体２８の一端が固定された容器で、
底部２７ａには筒体２８の内部に連通ずる貫通孔２７ｃ
が設けられており、開口側の面２７ｂがハウジング１３
の端面と気密に接合され、振動子１２の電極４との間に
わずかな空隙が残される。なお、この容器２７ハウジン
グ１３と同材料で形成されている。 この容器２７と底部２７ａと圧電振動子１２との間に形
成された空洞２９と、筒体２８内との媒質によって音響
振動系が構成されるが、空洞２９の媒質のバネ定数を十
分大きくすることによって筒体２８内の媒質の質量のみ
が振動子１２の付加質量として作用するよう構成しであ
る。２１は電極４ 、１５．１８を介して交流電圧を第
１の圧電基板１に加える増幅器２２は第２の圧電基板２
に発生した電圧を電極１７，６．１６を介して検出して
増幅器２１に正帰環する帰環回路である。 第１の圧電基板１は前述のように電極７，４間に交流電
圧を印加すると半径方向に伸縮力が生じ、基板１の片面
周縁部が固定されているので、板厚及び伸縮力が比例し
た曲げモーメントが圧電基板１の固定部に加わり、その
面に垂直方向に振動する。一方、第２の圧電基板２も前
述のように分極処理を施しであるので、電極７．１６間
にこの振動に応じた交流電圧が発生する。この交流電圧
は第１の圧電基板１および第２の圧電基板２からなる圧
電振動子１２と筒体２８内の媒質の付加質量で定まる機
械的共振周波数で、圧電基板２に印加した交流電圧に対
し９０°位相が進む性質をもつので、この位相を補償し
て第２の圧電基板２に正帰環することにより、圧電振動
子１２はその共振周波数で自助振動をすることになる。 それゆえ、この周波数を検出回路２０にて計測すれば媒
質の付加１を量すなわち密度（または圧力）を計測でき
る。 ・この振動式トランスジューサにおいて
は、既に説明したように振動子を構成する第１の圧電基
板１を圧電基板２と同一材料にて構成しており、かつ、
同一条件で分極処理を施すので、第１の圧電基板１と第
２の圧電基板２との間の熱膨張率の差を広い温度範囲に
亘って無くすことができ、両者の熱膨張差に伴う、所謂
バイメタル状変形による振動子１２の共振周波数の変化
を防止することができ、精度よく密度を計測することが
できる。また、この振動式トランスジューサにおいては
、圧電基板２に交流電圧を印加するための電極および圧
電基板１の振動を検出するための電極とリード線部をパ
ターン形成し、それぞれをスルーホールで接続すること
によって一つの平面上でかつ振動子１２の固定部分とな
る周縁部分に引き出すようにしであるので、電気的に接
続することが容易でかつす−ド線の振動への影響が無（
なる。更に、第１の圧電基板１を駆動するので第２の圧
電基板の直径・板厚を小さくしても駆動力は低下せず、
外部加振で生じる変位量は軽量化となり小さくなる為、
測定誤差が小さくなり耐振性を向上できる。なお第２の
圧電基板２は第１の圧電基板１の変位を検出できるもの
ならどんな形状でも良い。また、以上の説明では、振動
子に接触している流体の密度または圧力を検出する振動
式トランスジューサに関するものであったが、この振動
子の応用は本実施例に限定されるものでなく、圧電振動
子を用いた形式の装置、たとえば積層型圧電アクチュエ
ータ、圧電ブザー、圧電スピーカ等にも適用できる。 【発明の効果］ 以上に説明したように、本発明によれば、振動子を従来
のごとく金属性基体に駆動用圧電金属性基板を接合した
ものとは異なり、固定保持された駆動用の第１の圧電基
板で形成した基体と振動取出用の第２の圧電基板とを接
合して構成したので、駆動用の第１の圧電基板から成る
基体と振動取出用の第２の圧電基板との間の膨張差をほ
ぼ同一にすることができ、熱膨張率の差による熱変形に
伴う振動子の共振周波数の変化を防止できる。 また、本発明によれば、２層に積層した圧電基板の電極
とこの電極に電圧を印加するための電極およびこの電極
から電圧を取り出すためのリード電極とを両圧電基板に
形成したスルーホールを介して一方の圧電基板の一つの
平面上でかつ振動子の固定部となる周縁部に引き出すよ
うに構成したので、回路部との接続を従来のように直接
振動している部品からリード線によって引き出すのと異
なり、リード線の質量や共振等によって振動子の共振周
波数の変動がなくかつ製作コストも低減できる効果があ
る。 更に、第１の圧電基板を駆動するように構成したので第
２の圧電基板２の板厚・直径を小さくしても駆動力が低
下せず軽量化できる為、外部からの加振による変位が小
さくなり測定精度が向上する効果もある。
第１図は本発明の原理構成図、第２図は本発明の一実施
例の断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ断面図、第４図は
第２図の矢印Ｂ方向から示した概略図、第５図は第２図
ないし第４図に示した実施例を用いた振動式トランスジ
ューサの概略断面図である。 １ ・−・第１の圧電基板、２ ・−・第２の圧電基板
、４、 ７．１６−・電極。 第１図 １２ ｔ、 ＋ａ 第５図
例の断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ断面図、第４図は
第２図の矢印Ｂ方向から示した概略図、第５図は第２図
ないし第４図に示した実施例を用いた振動式トランスジ
ューサの概略断面図である。 １ ・−・第１の圧電基板、２ ・−・第２の圧電基板
、４、 ７．１６−・電極。 第１図 １２ ｔ、 ＋ａ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）第１の圧電基板と第２の圧電基板とを積層して接合
し、前記第１の圧電基板を固定保持し、前記第１の圧電
基板を電気的に駆動することにより、この前記した第１
および第２の圧電基板に屈曲振動を行わせることを特徴
とする圧電振動子。 ２）特許請求の範囲第１項に記載の圧電振動子において
、第１の圧電基板の片面周縁部を固定保持することを特
徴とする圧電振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10162587A JPS63266338A (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 圧電振動子 |
| GB8728115A GB2200211B (en) | 1986-12-08 | 1987-12-01 | Vibration-type transducer |
| US07/129,521 US4961345A (en) | 1986-12-08 | 1987-12-07 | Vibration type transducer |
| DE19873741568 DE3741568A1 (de) | 1986-12-08 | 1987-12-08 | Vorrichtung und verfahren zur erfassung der resonanzfrequenz eines schwingungsorgans, das mit einem fluid in beruehrung steht |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10162587A JPS63266338A (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63266338A true JPS63266338A (ja) | 1988-11-02 |
Family
ID=14305583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10162587A Pending JPS63266338A (ja) | 1986-12-08 | 1987-04-24 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63266338A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002047246A1 (en) * | 2000-12-07 | 2002-06-13 | Amersham Biosciences K.K. | Chip quartz oscillator and liquid-phase sensor |
| CN105375900A (zh) * | 2014-08-19 | 2016-03-02 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 压电装置及包含所述压电装置的电子装置 |
| JP2016145762A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | オリンパス株式会社 | ガスセンサ |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP10162587A patent/JPS63266338A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002047246A1 (en) * | 2000-12-07 | 2002-06-13 | Amersham Biosciences K.K. | Chip quartz oscillator and liquid-phase sensor |
| US7045931B2 (en) | 2000-12-07 | 2006-05-16 | Amersham Biosciences Kk | Chip quartz oscillator and liquid-phase sensor |
| CN105375900A (zh) * | 2014-08-19 | 2016-03-02 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 压电装置及包含所述压电装置的电子装置 |
| JP2016046803A (ja) * | 2014-08-19 | 2016-04-04 | イノチップ テクノロジー シーオー エルティディー | 圧電素子およびこれを備える電子機器 |
| CN105375900B (zh) * | 2014-08-19 | 2018-09-07 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 压电装置及包含所述压电装置的电子装置 |
| JP2016145762A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | オリンパス株式会社 | ガスセンサ |
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