JPS63280478A - レ−ザ発振器のミラ−角度調整装置 - Google Patents
レ−ザ発振器のミラ−角度調整装置Info
- Publication number
- JPS63280478A JPS63280478A JP11450187A JP11450187A JPS63280478A JP S63280478 A JPS63280478 A JP S63280478A JP 11450187 A JP11450187 A JP 11450187A JP 11450187 A JP11450187 A JP 11450187A JP S63280478 A JPS63280478 A JP S63280478A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- support plate
- container
- end plates
- holding plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ発振器のミラー角度調整装置に関する
。
。
（従来の技術）
レーザ光は、周知のように指向性が極めて良く、Ｒつ大
きなエネルギー密度を有するため、切断、溶接、熱処理
等の加工熱源として用いられている。
きなエネルギー密度を有するため、切断、溶接、熱処理
等の加工熱源として用いられている。
レーザ発振器は、アノード及びカソードの電極を釘した
容器内にガス（例えばＣＯ２，Ｎ２．ＨＯ等の混合ガス
）を密封し、送風機でガスを循環させ、アノード、カソ
ード間にグロー放電させることによりＣＯ２分子を高エ
ネルギー状態に励起させ、反射ミラーと出力ミラーとの
間で共振させることによりレーザ光を得ている。この場
合、反射ミラーと出力ミラーとの間でレーザ光を共振さ
せるためには、その反射ミラーと出力ミラーとは平行で
なければならず、これら相互の同転角が変化するとレー
ザ出力は低下する。即ち、第４図に示すように、ミラー
回転角が２Ｘ１０−”ｒａｄ変化するとレーザ出力は約
６０％低下する。、従って、レーザ発振器のミラー角度
調整装置には１０’ｒａｄのＩｌ１位での微調整が不可
欠となるとともに高い精度保持が要求される。
容器内にガス（例えばＣＯ２，Ｎ２．ＨＯ等の混合ガス
）を密封し、送風機でガスを循環させ、アノード、カソ
ード間にグロー放電させることによりＣＯ２分子を高エ
ネルギー状態に励起させ、反射ミラーと出力ミラーとの
間で共振させることによりレーザ光を得ている。この場
合、反射ミラーと出力ミラーとの間でレーザ光を共振さ
せるためには、その反射ミラーと出力ミラーとは平行で
なければならず、これら相互の同転角が変化するとレー
ザ出力は低下する。即ち、第４図に示すように、ミラー
回転角が２Ｘ１０−”ｒａｄ変化するとレーザ出力は約
６０％低下する。、従って、レーザ発振器のミラー角度
調整装置には１０’ｒａｄのＩｌ１位での微調整が不可
欠となるとともに高い精度保持が要求される。
従来のレーザ発振器のミラー角度調整装置を第５図に示
す。即ち、発振器箱としての本体容８１の上下に配置さ
れた４本の支持棒２の端部ｉ；端板３が取付けられてい
る。ミラー４はミラーホルダ５に保持され、ミラーホル
ダ５はミラー支持板６に取付けられている。ミラー支持
板６は、端板３に突設された複数本の取付棒７に左右方
向に移動ｉ＝Ｊ能に支持され、ばね８により右方向（端
板３方向）に付勢されている。そして、ミラー支持板６
には、■数個のマイクロメータからなる調整ねじ９が取
付けられていて、そのスピンドル９ａの先端部が端板３
の筒部３ａに嵌合されている。従って、調整ねじ９のシ
ンプル９ｂを回転させることによりミラー支持板６の取
付は角度を微調整し得ろものである。尚、１０は端板３
とミラー支持板６とを気密に連結するための蛇腹状の連
結部材である。
す。即ち、発振器箱としての本体容８１の上下に配置さ
れた４本の支持棒２の端部ｉ；端板３が取付けられてい
る。ミラー４はミラーホルダ５に保持され、ミラーホル
ダ５はミラー支持板６に取付けられている。ミラー支持
板６は、端板３に突設された複数本の取付棒７に左右方
向に移動ｉ＝Ｊ能に支持され、ばね８により右方向（端
板３方向）に付勢されている。そして、ミラー支持板６
には、■数個のマイクロメータからなる調整ねじ９が取
付けられていて、そのスピンドル９ａの先端部が端板３
の筒部３ａに嵌合されている。従って、調整ねじ９のシ
ンプル９ｂを回転させることによりミラー支持板６の取
付は角度を微調整し得ろものである。尚、１０は端板３
とミラー支持板６とを気密に連結するための蛇腹状の連
結部材である。
（発明が解決しようとする問題点）
然しなから、上記構成においては、レーザ発振器の動作
中、本体容器１内の圧力が変化すると、ミラー支持板６
の取付は角度が変化し、この結果、ミラー４の回転角が
変化してレーザ出力が低下する。また、送風機等の振動
がミラー支持板６に伝達されても、ミラー４の回転角が
変化し、この結果、レーザ出力が低下する。従って、レ
ーザ出力が低下する度にミラーの回転角を微調整しなけ
ればならないという問題があった。
中、本体容器１内の圧力が変化すると、ミラー支持板６
の取付は角度が変化し、この結果、ミラー４の回転角が
変化してレーザ出力が低下する。また、送風機等の振動
がミラー支持板６に伝達されても、ミラー４の回転角が
変化し、この結果、レーザ出力が低下する。従って、レ
ーザ出力が低下する度にミラーの回転角を微調整しなけ
ればならないという問題があった。
そこで本発明の目的は、本体容器内の圧力が変化した場
合、また、送風機等の振動が伝達された場合でも、レー
ザ出力の低下を防止し得るレーザ発振器のミラー角度調
整装置を提供するにある。
合、また、送風機等の振動が伝達された場合でも、レー
ザ出力の低下を防止し得るレーザ発振器のミラー角度調
整装置を提供するにある。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明のレーザ発振器のミラー角度、調整装置は、ミラ
ーを保持したミラーホルダをミラー支持板に取付け、こ
のミラー支持板を本体容器の端板に支持させるものであ
って、前記ミラー支持板から前記端板にかけて設けられ
た調整ねじと、前記ミラー支持板及び端板間を連結する
略鼓形円筒状をなす連結体とを備え、この連結体を、全
体を一体物としてばね材で形成し若しくは複数に分割し
てばね材で形成したことを特徴とするものである。
ーを保持したミラーホルダをミラー支持板に取付け、こ
のミラー支持板を本体容器の端板に支持させるものであ
って、前記ミラー支持板から前記端板にかけて設けられ
た調整ねじと、前記ミラー支持板及び端板間を連結する
略鼓形円筒状をなす連結体とを備え、この連結体を、全
体を一体物としてばね材で形成し若しくは複数に分割し
てばね材で形成したことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のレーザ発振器のミラー角度２Ｊ整装置によれば
、調整ねじを回すことによりミラー支持板を介して略鼓
形円筒状をなす連結体に引張力を作用させると、その連
結体の反発力により調整ねじの先端部が端板に圧接し、
以て、ミラー支持板が端板に強固に連結される。従って
、本体容器内の圧力が変化しても或いは振動が伝達され
てもミラー相互間のル行度に変化が生じない。そして、
ミラー支持板は、調整ねじによりその取付は角度を微調
整できる。
、調整ねじを回すことによりミラー支持板を介して略鼓
形円筒状をなす連結体に引張力を作用させると、その連
結体の反発力により調整ねじの先端部が端板に圧接し、
以て、ミラー支持板が端板に強固に連結される。従って
、本体容器内の圧力が変化しても或いは振動が伝達され
てもミラー相互間のル行度に変化が生じない。そして、
ミラー支持板は、調整ねじによりその取付は角度を微調
整できる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例につき第１図乃至第３図を参照
して説明する。
して説明する。
先ず第２図において、１１は本体容器で、これは、複数
の電極１２ををして内部を放電部１３とする放電筒部１
４と、この放電筒部１４の両側に位置する出力筒部１５
及び反射筒部１６とから成っており、放電筒部１４と出
力筒部１５及び反射筒部１６とは蛇腹状の接続筒部１７
及び１８を介して気密に連結されている。１９は出力筒
部１５の左端開口部にこれを塞ぐように取着された端板
で、これの中央部に透孔１９ａが形成されている。
の電極１２ををして内部を放電部１３とする放電筒部１
４と、この放電筒部１４の両側に位置する出力筒部１５
及び反射筒部１６とから成っており、放電筒部１４と出
力筒部１５及び反射筒部１６とは蛇腹状の接続筒部１７
及び１８を介して気密に連結されている。１９は出力筒
部１５の左端開口部にこれを塞ぐように取着された端板
で、これの中央部に透孔１９ａが形成されている。
２０はミラーホルダで、これは、第１図に示すように、
接続筒部２１と、段部２２ａを有する筒状のホルダ部２
２と、ミラー押え２３とから構成されており、出力ミラ
ー２４が透孔１９ａに臨んでホルダ部２２の段部２２ａ
に収納され０リング２５を介°してミラー押え２３によ
り固定されている。
接続筒部２１と、段部２２ａを有する筒状のホルダ部２
２と、ミラー押え２３とから構成されており、出力ミラ
ー２４が透孔１９ａに臨んでホルダ部２２の段部２２ａ
に収納され０リング２５を介°してミラー押え２３によ
り固定されている。
２６はミラーホルダ２０が取付けられたミラー支持板で
ある。２７は連結体で、これは、ばね材で一体物として
形成され、第３図に示すように、両端の円環状の端板部
２７ａ、２７ａと、これら端板部２７ａ、、２７ａの内
周部間を連続して曲線状に連結する如く中央がくびれた
円弧部２７ｂとから成り、全体として鼓形円筒状をなし
ている。そして、両端の端板部２７ａ、２７ａｔ４１互
間は、軸方向には伸縮可能であるが、軸方向に対して直
角の方向には変位不能になっている。この連結体２７は
、一方の端板部２７ａがミラー支持板２６に取付けられ
、他方の端板部２７ａが端板１９に取付けられてミラー
支持板２６を端板１９に気密に連結している。２８はミ
ラー支持板２６に螺合された複数個の調整ねじて、その
先端部が端板１９に当接し、連結体２７にミラー支持板
２６を介し引張力を作用させてこれを伸長させた状態に
保持している。従って、ミラー支持板２６は、連結体２
７の圧縮せんとする反発力により調整ねじ２８の先端部
が端板１９に圧接することによって、端板１９に強固に
連結される。そして、これら次数の調整ねじ２８を夫々
別々に螺進退させてミラー支持板２６の取付は角度を調
整することにより、出力ミラー２４の回転角を微調整す
るようになっている。一方、２９は反射筒部１６の右端
開口部にこれを塞ぐように取着された端板で、これの中
央部に透孔２９ａが形成されている。そして、この端板
２９側にも反射ミラー３０を取付は保持するためのミラ
ーホルダ２０．ミラー支持板２６゜連結体２７及び２整
ねじ２８が設けられており、反射ミラー３０が端板２９
の透孔２９ａに臨んでいる。而して、このような本体容
器１１は上下台二本の支持棒３１に支持され、これらの
支持棒３１は適宜の静止部材に支持されている。
ある。２７は連結体で、これは、ばね材で一体物として
形成され、第３図に示すように、両端の円環状の端板部
２７ａ、２７ａと、これら端板部２７ａ、、２７ａの内
周部間を連続して曲線状に連結する如く中央がくびれた
円弧部２７ｂとから成り、全体として鼓形円筒状をなし
ている。そして、両端の端板部２７ａ、２７ａｔ４１互
間は、軸方向には伸縮可能であるが、軸方向に対して直
角の方向には変位不能になっている。この連結体２７は
、一方の端板部２７ａがミラー支持板２６に取付けられ
、他方の端板部２７ａが端板１９に取付けられてミラー
支持板２６を端板１９に気密に連結している。２８はミ
ラー支持板２６に螺合された複数個の調整ねじて、その
先端部が端板１９に当接し、連結体２７にミラー支持板
２６を介し引張力を作用させてこれを伸長させた状態に
保持している。従って、ミラー支持板２６は、連結体２
７の圧縮せんとする反発力により調整ねじ２８の先端部
が端板１９に圧接することによって、端板１９に強固に
連結される。そして、これら次数の調整ねじ２８を夫々
別々に螺進退させてミラー支持板２６の取付は角度を調
整することにより、出力ミラー２４の回転角を微調整す
るようになっている。一方、２９は反射筒部１６の右端
開口部にこれを塞ぐように取着された端板で、これの中
央部に透孔２９ａが形成されている。そして、この端板
２９側にも反射ミラー３０を取付は保持するためのミラ
ーホルダ２０．ミラー支持板２６゜連結体２７及び２整
ねじ２８が設けられており、反射ミラー３０が端板２９
の透孔２９ａに臨んでいる。而して、このような本体容
器１１は上下台二本の支持棒３１に支持され、これらの
支持棒３１は適宜の静止部材に支持されている。
斯様な構成の上記実施例においては、次の効果を奏する
ことができる。即ち、ミラー支持板２６と本体容器１１
の端板１９（端板２９についても同様）との間には、常
に調整ねじ２８により伸長された連結体２７の圧縮せん
とする反発力Ｆ′が作用している。この反発力Ｆは本体
容器１１内が真空に保持された時に本体容器１１の端板
１９（及び２９）及びミラー支持板２６に作用する力に
比して充分に大なる例えば数倍の大きさに設定されてい
る。従って、ミラー支持板２６はその反発力により端板
１９（及び２９）に強固に連結されることになって、本
体容器１１内の圧力即ち、真空度が変化したとしてもミ
ラー支持板２６の取付は角度が変化することはなく、出
力ミラー２４及び反射ミラー３０の平行度も変化せず、
レーザ出力が低下しない。また、連結体２７がミラーホ
ルダ２０と本体容器１１の端板１９（及び２９）とを−
Ｌ下方向に関係位置が変化しないように強固に連結して
いるので、送風機等の振動が伝達された場合でも、ミラ
ーホルダ２０は本体容器１１と一体化されて出力ミラー
２４及び反射ミラー３０の相互間の関係位置が変化せず
、レーザ出力が低下しない。これにより、例えば輸送中
に振動が加わった場合でも出力ミラー２４及び反射ミラ
ー３０の相互間の関係位置が変化しないことになるので
、設置現場で再調整する必要がなくなる利点がある。
ことができる。即ち、ミラー支持板２６と本体容器１１
の端板１９（端板２９についても同様）との間には、常
に調整ねじ２８により伸長された連結体２７の圧縮せん
とする反発力Ｆ′が作用している。この反発力Ｆは本体
容器１１内が真空に保持された時に本体容器１１の端板
１９（及び２９）及びミラー支持板２６に作用する力に
比して充分に大なる例えば数倍の大きさに設定されてい
る。従って、ミラー支持板２６はその反発力により端板
１９（及び２９）に強固に連結されることになって、本
体容器１１内の圧力即ち、真空度が変化したとしてもミ
ラー支持板２６の取付は角度が変化することはなく、出
力ミラー２４及び反射ミラー３０の平行度も変化せず、
レーザ出力が低下しない。また、連結体２７がミラーホ
ルダ２０と本体容器１１の端板１９（及び２９）とを−
Ｌ下方向に関係位置が変化しないように強固に連結して
いるので、送風機等の振動が伝達された場合でも、ミラ
ーホルダ２０は本体容器１１と一体化されて出力ミラー
２４及び反射ミラー３０の相互間の関係位置が変化せず
、レーザ出力が低下しない。これにより、例えば輸送中
に振動が加わった場合でも出力ミラー２４及び反射ミラ
ー３０の相互間の関係位置が変化しないことになるので
、設置現場で再調整する必要がなくなる利点がある。
尚、本発明は上記し且つ図面に示す実施例にのみ限定さ
れるものではなく、例えば、連結体２７をばね祠で一体
物として形成したが、これに代えて全体を次数に分割し
た状態でばね祠で形成しこれらを覆うようにゴムモール
ド等で一体に連結成形しても良い等、要旨を逸脱しない
範囲で種々の変形が可能である。
れるものではなく、例えば、連結体２７をばね祠で一体
物として形成したが、これに代えて全体を次数に分割し
た状態でばね祠で形成しこれらを覆うようにゴムモール
ド等で一体に連結成形しても良い等、要旨を逸脱しない
範囲で種々の変形が可能である。
［発明の効果］
以−１−の説明から明らかなように本発明は、ミラー支
持板及び端板間を全体を一体物としてばね材で形成し若
しくは複数に分割してばね材で形成した略鼓形円筒状を
なす連結体で連結したので、本体容器内の圧力が変化し
た場合、また、送風機等の振動が加わった場合でも、レ
ーザ出力の低下を防止し得るという優れた効果を奏する
。
持板及び端板間を全体を一体物としてばね材で形成し若
しくは複数に分割してばね材で形成した略鼓形円筒状を
なす連結体で連結したので、本体容器内の圧力が変化し
た場合、また、送風機等の振動が加わった場合でも、レ
ーザ出力の低下を防止し得るという優れた効果を奏する
。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例を示すもので、第
１図は要部の縦断側面図、第２図は全体の縦断側面図、
第３図は連結体の斜視図であり、第４図はミラーの回転
角とレーザ出力の関係を示す図、第５図は従来例の第１
図相当図である。 図中、１１は本体容器、１９．２９は端板、２０はミラ
ーホルダ、２４は出力ミラー、２６はミラー支持、板、
２７は連結体、２８は調整ねじ、３０は反射ミラーを示
す。
１図は要部の縦断側面図、第２図は全体の縦断側面図、
第３図は連結体の斜視図であり、第４図はミラーの回転
角とレーザ出力の関係を示す図、第５図は従来例の第１
図相当図である。 図中、１１は本体容器、１９．２９は端板、２０はミラ
ーホルダ、２４は出力ミラー、２６はミラー支持、板、
２７は連結体、２８は調整ねじ、３０は反射ミラーを示
す。
Claims (1)
- １、ミラーを保持したミラーホルダをミラー支持板に取
付け、このミラー支持板を本体容器の端板に支持させる
ものであって、前記ミラー支持板から前記端板にかけて
設けられた調整ねじと、前記ミラー支持板及び端板間を
連結する略鼓形円筒状をなす連結体とを備え、この連結
体を、全体を一体物としてばね材で形成し若しくは複数
に分割してばね材で形成したことを特徴とするレーザ発
振器のミラー角度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11450187A JPS63280478A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レ−ザ発振器のミラ−角度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11450187A JPS63280478A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レ−ザ発振器のミラ−角度調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63280478A true JPS63280478A (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=14639330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11450187A Pending JPS63280478A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | レ−ザ発振器のミラ−角度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63280478A (ja) |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP11450187A patent/JPS63280478A/ja active Pending
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