JPS6328124U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6328124U JPS6328124U JP11937486U JP11937486U JPS6328124U JP S6328124 U JPS6328124 U JP S6328124U JP 11937486 U JP11937486 U JP 11937486U JP 11937486 U JP11937486 U JP 11937486U JP S6328124 U JPS6328124 U JP S6328124U
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- JP
- Japan
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- silicon wafers
- chemical vapor
- chemical
- vapor generator
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- Pending
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Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案によるシリコンウエーハの薬品
処理装置の一実施例の概略線図、第２図は第１図
に示した薬品処理装置に用いられるウエーハ処理
槽の斜視図、第３図は第１図に示した薬品処理装
置に用いられる薬品蒸気発生器の斜視図、第４図
は従来のシリコンウエーハの薬品処理装置の概略
線図、第５図イは正常なシリコンウエーハの平面
図および部分拡大図、第５図ロは表面に水が溜つ
たシリコンウエーハの平面図および部分拡大図で
ある。 ２ａ……薬液槽、３ａ……水洗槽、４……シリ
コンウエーハ、５……キヤリア、６……ロボツト
ハンドラ、１０……スクライブライン、１２……
薬品蒸気発生器、１３……ウエーハ処理槽、１４
……乾燥槽。
処理装置の一実施例の概略線図、第２図は第１図
に示した薬品処理装置に用いられるウエーハ処理
槽の斜視図、第３図は第１図に示した薬品処理装
置に用いられる薬品蒸気発生器の斜視図、第４図
は従来のシリコンウエーハの薬品処理装置の概略
線図、第５図イは正常なシリコンウエーハの平面
図および部分拡大図、第５図ロは表面に水が溜つ
たシリコンウエーハの平面図および部分拡大図で
ある。 ２ａ……薬液槽、３ａ……水洗槽、４……シリ
コンウエーハ、５……キヤリア、６……ロボツト
ハンドラ、１０……スクライブライン、１２……
薬品蒸気発生器、１３……ウエーハ処理槽、１４
……乾燥槽。
Claims (1)
- シリコンウエーハを処理する薬品の蒸気を発生
する薬品蒸気発生器と、該薬品蒸気発生器により
発生された薬品蒸気によりシリコンウエーハの表
面を処理するウエーハ処理槽と、表面処理したシ
リコンウエーハを乾燥する乾燥器とを有すること
を特徴とするシリコンウエーハの薬品処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11937486U JPS6328124U (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11937486U JPS6328124U (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6328124U true JPS6328124U (ja) | 1988-02-24 |
Family
ID=31006687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11937486U Pending JPS6328124U (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6328124U (ja) |
-
1986
- 1986-08-05 JP JP11937486U patent/JPS6328124U/ja active Pending
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