JPS63290104A - 案内装置 - Google Patents
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- JPS63290104A JPS63290104A JP63113740A JP11374088A JPS63290104A JP S63290104 A JPS63290104 A JP S63290104A JP 63113740 A JP63113740 A JP 63113740A JP 11374088 A JP11374088 A JP 11374088A JP S63290104 A JPS63290104 A JP S63290104A
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- guiding
- bearings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B60L13/10—Combination of electric propulsion and magnetic suspension or levitation
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- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
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- H—ELECTRICITY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は案内装置に関するもので、案内装置は少なくと
も１個の台座部、少なくとも１個の空気静力学的に軸支
され台座部に関して移動できる移動車部及び移動車部に
対する駆動装置から構成されている。前記台座部には案
内軌道が設けられ、前記移動車部には複数の軸受が設け
られ、軸受は案内軌道と共働し、又そこにはダクトが空
気クツ ・ジョンを発生させかつ持続するための
加圧空気の供給のために設けてあり、空気クッションは
空気軸受として作用し、前記案内装置は空気軸受にプレ
ストレスを与える手段をも構成する。
も１個の台座部、少なくとも１個の空気静力学的に軸支
され台座部に関して移動できる移動車部及び移動車部に
対する駆動装置から構成されている。前記台座部には案
内軌道が設けられ、前記移動車部には複数の軸受が設け
られ、軸受は案内軌道と共働し、又そこにはダクトが空
気クツ ・ジョンを発生させかつ持続するための
加圧空気の供給のために設けてあり、空気クッションは
空気軸受として作用し、前記案内装置は空気軸受にプレ
ストレスを与える手段をも構成する。
かかる案内装置はＵＳ−ＰＳ ４，３９２，６４２にお
いて既知である。この既知の案内装置において、移動車
は７個の空気軸受により支持され直線上の移動中案内さ
れる。移動車は案内ブロックの水平面で３個の軸受によ
り支持され、そして２個の垂直平行な案内軌道の手段に
より移動の方向に対し横の方向で位置決めされる。各案
内軌道は２個の別の軸受と共働する。このように、移動
車の６個の自由度のうち５個が７個の軸受の手段により
決定される。移動車を支持する３個の空気軸受は移動車
の重量によりプレストレスが与えられる。移動車を案内
するように働く４個の空気軸受は同じくプレストレスが
与えられる。しかし、これがどのようにして成し遂げら
れるのかについては前記特許明細書には記述されていな
い。
いて既知である。この既知の案内装置において、移動車
は７個の空気軸受により支持され直線上の移動中案内さ
れる。移動車は案内ブロックの水平面で３個の軸受によ
り支持され、そして２個の垂直平行な案内軌道の手段に
より移動の方向に対し横の方向で位置決めされる。各案
内軌道は２個の別の軸受と共働する。このように、移動
車の６個の自由度のうち５個が７個の軸受の手段により
決定される。移動車を支持する３個の空気軸受は移動車
の重量によりプレストレスが与えられる。移動車を案内
するように働く４個の空気軸受は同じくプレストレスが
与えられる。しかし、これがどのようにして成し遂げら
れるのかについては前記特許明細書には記述されていな
い。
本発明の目的は案内装置の位置決め精度を向上させそし
て位置決め作業速度を速くすることである。
て位置決め作業速度を速くすることである。
本発明においては、案内軌道は相互に一つの角をなす２
個の案内平面を形成し、かつ空気軸受をプレストレスす
るための手段が永久磁石部分及゛び強磁性部分から構成
される磁石システムから成り立っており、永久磁石部分
及び強磁性部分は台座部と移動車部に相互に対向して配
置され、磁石システムの中心線を通る対象平面は２個の
案内平面と鋭角をなしていることにより、この目的が達
成される。
個の案内平面を形成し、かつ空気軸受をプレストレスす
るための手段が永久磁石部分及゛び強磁性部分から構成
される磁石システムから成り立っており、永久磁石部分
及び強磁性部分は台座部と移動車部に相互に対向して配
置され、磁石システムの中心線を通る対象平面は２個の
案内平面と鋭角をなしていることにより、この目的が達
成される。
本発明においては案内平面の数は２個に限定されている
事実に因り、移動車の位置決め精度の向上は２個の案内
平面以上を持つ案内装置に関して得られる。空気軸受に
初期張力（Ｐｒｅｔｅｎｓｉｏｎ）或いは逆の力を引き
起すために磁石システムを更に利用することにより、か
つ磁石システムの中心線、その中心線は案内軌道の長手
軸に平行になっているが、それを通る対象平面が２個の
案内平面に関し斜めの位置にあるように磁石システムを
取り付けることにより、全ての空気軸受を磁石システム
の手段のみによりプレストレスすることが可能である。
事実に因り、移動車の位置決め精度の向上は２個の案内
平面以上を持つ案内装置に関して得られる。空気軸受に
初期張力（Ｐｒｅｔｅｎｓｉｏｎ）或いは逆の力を引き
起すために磁石システムを更に利用することにより、か
つ磁石システムの中心線、その中心線は案内軌道の長手
軸に平行になっているが、それを通る対象平面が２個の
案内平面に関し斜めの位置にあるように磁石システムを
取り付けることにより、全ての空気軸受を磁石システム
の手段のみによりプレストレスすることが可能である。
強磁性部分は強磁性材料の帯から成り、それは台座部分
又は移動車部分のいずれかの上に設けられ、一方永久磁
石部分は強磁性担体の上に配置された複数の永久磁石か
ら成る。望ましくは、強磁性材料の帯はより長い台座部
に設け、そして永久磁石はより短い移動車部に設けると
永久磁石の数は最小に迄減少させることができる。更に
、強磁性部分の長さは台座部の長さにかつ移動車部の所
要ストロークに単純な方法で合わせることができる。磁
石はサマリウム−コバルト（Ｓａｍａｒｉｕｍ） −（
Ｃｏｂａ ｌ ｔ）又はネオジム（Ｎｅｏｄｙ＋ｗｉｕ
ｍ）−鉄−ホウ素製であるのが好ましい。別に初期張力
手段或いは初期張力要素は必要とされない。特に、移動
車部の最適加速を得ることができるように初期張力を与
える大きな重量或いは別の重量の附加は必要とれない。
又は移動車部分のいずれかの上に設けられ、一方永久磁
石部分は強磁性担体の上に配置された複数の永久磁石か
ら成る。望ましくは、強磁性材料の帯はより長い台座部
に設け、そして永久磁石はより短い移動車部に設けると
永久磁石の数は最小に迄減少させることができる。更に
、強磁性部分の長さは台座部の長さにかつ移動車部の所
要ストロークに単純な方法で合わせることができる。磁
石はサマリウム−コバルト（Ｓａｍａｒｉｕｍ） −（
Ｃｏｂａ ｌ ｔ）又はネオジム（Ｎｅｏｄｙ＋ｗｉｕ
ｍ）−鉄−ホウ素製であるのが好ましい。別に初期張力
手段或いは初期張力要素は必要とされない。特に、移動
車部の最適加速を得ることができるように初期張力を与
える大きな重量或いは別の重量の附加は必要とれない。
装置は比較的短周期で運転することができるので、その
結果生産性が向上する。本発明に係る手段により、移動
されるべき大きな重量は最早必要ではないので、部品が
変形する危険は減少し、それは位置決め精度に有利な影
響を与える。
結果生産性が向上する。本発明に係る手段により、移動
されるべき大きな重量は最早必要ではないので、部品が
変形する危険は減少し、それは位置決め精度に有利な影
響を与える。
注意すべきことは、ＵＳ−ＰＳ ４，５０５，４６４が
テーブルと移動車から構成される装置 る。移動車は移動車とテーブル間に引力を生ぜし一める
ため永久磁石部分及び強磁性部分からなる磁石システム
を利用している。しかし、この力は単一の平面において
のみ働きそして使用されているローラ・ベアリングの間
隙がないようにするのに役立つ。
テーブルと移動車から構成される装置 る。移動車は移動車とテーブル間に引力を生ぜし一める
ため永久磁石部分及び強磁性部分からなる磁石システム
を利用している。しかし、この力は単一の平面において
のみ働きそして使用されているローラ・ベアリングの間
隙がないようにするのに役立つ。
更に、移動車を２個の直交する案内平面において空気軸
受で支持することは本来ＵＳ−ＰＳ ３，２７２，５６
８にて既知である。磁気引力が案内平面と移動車との間
で各案内平面に対し個々の永久磁石の手段により生じる
ということにより空気軸受はプレストレスが与えられる
。
受で支持することは本来ＵＳ−ＰＳ ３，２７２，５６
８にて既知である。磁気引力が案内平面と移動車との間
で各案内平面に対し個々の永久磁石の手段により生じる
ということにより空気軸受はプレストレスが与えられる
。
空気軸受に使用される軸受は本来既知の構造で例えば特
にＵＳ−ＰＳ ４，４４９，８３４にて既知である。
にＵＳ−ＰＳ ４，４４９，８３４にて既知である。
本発明にかかる案内装置の好適実施例において、一の案
内平面は２個の軸受及び１個の軸受と夫々共働する第１
及び第２の案内軌道から構成されていて、他の案内平面
は２個の軸受と共働する単一の案内軌道から構成される
。移動車部の特徴的配置、すなわち一の案内平面におけ
る３点の支持及び他の案内平面における２点の支持に因
り、５個の軸受は移動車部の５個の自由度を決定するの
に十分である。第２の直線案内平面が無しですますこと
ができるように構造は静的に決定される。
内平面は２個の軸受及び１個の軸受と夫々共働する第１
及び第２の案内軌道から構成されていて、他の案内平面
は２個の軸受と共働する単一の案内軌道から構成される
。移動車部の特徴的配置、すなわち一の案内平面におけ
る３点の支持及び他の案内平面における２点の支持に因
り、５個の軸受は移動車部の５個の自由度を決定するの
に十分である。第２の直線案内平面が無しですますこと
ができるように構造は静的に決定される。
注意すべきことは、一の案内平面の第１及び第２の案内
軌道は必ずしも同一幾何学的平面に存在する必要はない
。若し、唯２個の案内軌道が相互に平行で、同じ方向に
それらの自由表面が方向付けされ、そして３点支持によ
る３個の軸受との共働により１個の案内平面を形成する
ならば、２個の案内軌道が２個の異なる幾何学的平面に
存在してもよい。
軌道は必ずしも同一幾何学的平面に存在する必要はない
。若し、唯２個の案内軌道が相互に平行で、同じ方向に
それらの自由表面が方向付けされ、そして３点支持によ
る３個の軸受との共働により１個の案内平面を形成する
ならば、２個の案内軌道が２個の異なる幾何学的平面に
存在してもよい。
２個の案内平面が相互に鋭角から鈍角への角をなす。本
発明に係る案内装置の別の好適実施例は２個の案内平面
が直交しかつ磁石システムの中心線を通る対象平面は一
の案内平面と鋭角をなし、他の案内平面とその補角をな
すことに特徴がある。
発明に係る案内装置の別の好適実施例は２個の案内平面
が直交しかつ磁石システムの中心線を通る対象平面は一
の案内平面と鋭角をなし、他の案内平面とその補角をな
すことに特徴がある。
本発明に係る案内装置の更に好適な実施例においては、
移動車部は台座部と懸架する位置で連結され、同時に対
象平面が一及び他の案内平面となす角は夫々６０″及び
３０゜となる。この手段に因り、磁気による初期張力の
利用が可能となる。移動車部と台座部との懸架連結は台
座部には下向きの案 ・内軌道が配置され、台座
部は一又は二以上の支持部、すなわち胆又はそれに似た
ものに支持され、一種のコンソール、門或は橋を形成す
ることを意味する。このような配置は移動車部の下に加
工用材料を供給し、位置決めし、取り去るための自由な
空間が確保できるという利点がある。夫々−６０。
移動車部は台座部と懸架する位置で連結され、同時に対
象平面が一及び他の案内平面となす角は夫々６０″及び
３０゜となる。この手段に因り、磁気による初期張力の
利用が可能となる。移動車部と台座部との懸架連結は台
座部には下向きの案 ・内軌道が配置され、台座
部は一又は二以上の支持部、すなわち胆又はそれに似た
ものに支持され、一種のコンソール、門或は橋を形成す
ることを意味する。このような配置は移動車部の下に加
工用材料を供給し、位置決めし、取り去るための自由な
空間が確保できるという利点がある。夫々−６０。
及び３０゜の角度に因り、重力は釣合い、かつ全ての軸
受が実質的に同程度に荷重されるように軸受に分布され
る。
受が実質的に同程度に荷重されるように軸受に分布され
る。
注意すべきは、前述（７）ＵＳ−ＰＳ ３，２７２．５
６８は空気静力学的に、かつ空気軸受の磁気による初期
張力が加えられて懸架する位置で軸支される移動車を開
示する。各案内平面には別個の永久磁石が使用される。
６８は空気静力学的に、かつ空気軸受の磁気による初期
張力が加えられて懸架する位置で軸支される移動車を開
示する。各案内平面には別個の永久磁石が使用される。
比較的軽量でそれにも拘らず剛性が高い移動車部は本発
明に係る案内装置の別の好適実施例において示される。
明に係る案内装置の別の好適実施例において示される。
それは移動車部がアルミニウム類で骨組構造の断面を有
する。アルミニウム類のかかる形状は比較的安価で効率
のよい方法で押し出し成型の手段により製作されること
ができる。
する。アルミニウム類のかかる形状は比較的安価で効率
のよい方法で押し出し成型の手段により製作されること
ができる。
案内装置の更に好適な実施例は台座部が花崗岩（Ｇｒａ
ｎｉ ｔｅ）製であるということに特徴がある。この実
施例は移動する必要のない静止式台座部を有する案内装
置において特に使用される。案内装置、の部品に対する
花崗岩の使用は本来既知である。
ｎｉ ｔｅ）製であるということに特徴がある。この実
施例は移動する必要のない静止式台座部を有する案内装
置において特に使用される。案内装置、の部品に対する
花崗岩の使用は本来既知である。
花崗岩は応力がなく、正確に寸法通り作ることができ、
外からの侵入物に抵抗力があり、かつ減衰性状を有する
。
外からの侵入物に抵抗力があり、かつ減衰性状を有する
。
しかしながら、若し台座部が移動できるものとすれば、
例えばＸ−Ｙ案内装置酸いはｘ−ｙ−ｚ案内装置の場合
においては、本発明によれば台座部はアルミニウム類で
骨組構造の断面形状を有する。前述したように、かかる
形状は押し出し成型で効率的で安価な方法で製作でき比
較的軽量で高い剛性を有する。
例えばＸ−Ｙ案内装置酸いはｘ−ｙ−ｚ案内装置の場合
においては、本発明によれば台座部はアルミニウム類で
骨組構造の断面形状を有する。前述したように、かかる
形状は押し出し成型で効率的で安価な方法で製作でき比
較的軽量で高い剛性を有する。
本発明に係る案内“装置は、例えば、ＵＳ−ＰＳ ４．
６４４゜６４２に係る基体の上に部品を配置する装置で
使用できる。この既知の装置において、移動車部は回転
型電気モータの手段によりビニオンとラック機構を経て
駆動される。電気モータとピニオンは案内装置の構造及
び台座部と移動車部の寸法に応じて台座部上または移動
車部上のいずれかに取付けることができる。
６４４゜６４２に係る基体の上に部品を配置する装置で
使用できる。この既知の装置において、移動車部は回転
型電気モータの手段によりビニオンとラック機構を経て
駆動される。電気モータとピニオンは案内装置の構造及
び台座部と移動車部の寸法に応じて台座部上または移動
車部上のいずれかに取付けることができる。
空気軸受にプレストレスを与える磁気手段及び移動車部
の駆動装置は本発明に係る案内装置の別の好適実施例と
効果的かつ効率よく組合せられる。
の駆動装置は本発明に係る案内装置の別の好適実施例と
効果的かつ効率よく組合せられる。
すなわち、移動車部の駆動装置は固定子及び電機子と共
に永久磁石を有するリニア電気モータとして製作され、
それらは空気軸受にプレストレスを与える磁石システム
として働く。これらの手段に因り、全ての空気軸受にプ
レストレスを与えるためには永久磁石の性質及び公知の
リニア電気モータの手段を利用することで十分である。
に永久磁石を有するリニア電気モータとして製作され、
それらは空気軸受にプレストレスを与える磁石システム
として働く。これらの手段に因り、全ての空気軸受にプ
レストレスを与えるためには永久磁石の性質及び公知の
リニア電気モータの手段を利用することで十分である。
別の初期張力手段は必要とされない。永久磁石は−の部
品、すなわち固定子又は電機子のいずれかに固定してよ
く、−力強磁性成層鉄心を有するコイルを他の部品に取
り付ける。しかし、望ましくは電機子の上にコイルをそ
して固定子の上に永久磁石を取付けることにより、コイ
ルの数を最小にし、固定子により構成される磁石部分の
長さを簡易な方法で移動車の所要のストローク長さに合
わせ、かつコイルの数を変え及び強磁性部分を構成する
電機子を所要値まで拡長し又は短縮することにより磁力
を調整することが可能となる。
品、すなわち固定子又は電機子のいずれかに固定してよ
く、−力強磁性成層鉄心を有するコイルを他の部品に取
り付ける。しかし、望ましくは電機子の上にコイルをそ
して固定子の上に永久磁石を取付けることにより、コイ
ルの数を最小にし、固定子により構成される磁石部分の
長さを簡易な方法で移動車の所要のストローク長さに合
わせ、かつコイルの数を変え及び強磁性部分を構成する
電機子を所要値まで拡長し又は短縮することにより磁力
を調整することが可能となる。
注意すべきことは、移動車の駆動装置のためにリニア電
気モータを使用することはＵＳ−ＰＳ ４，５０５゜４
６４で本来既知である。該電気モータは永久磁石と大量
の強磁性材料からなり、その結果として花崗岩製の移動
車の重量に加えて引張力が移動車に加えられる。しかし
、これらの力は移動車が軸支されているローラ・ベアリ
ングの間隙を除くのに、すなわち一方向にのみ働く。
気モータを使用することはＵＳ−ＰＳ ４，５０５゜４
６４で本来既知である。該電気モータは永久磁石と大量
の強磁性材料からなり、その結果として花崗岩製の移動
車の重量に加えて引張力が移動車に加えられる。しかし
、これらの力は移動車が軸支されているローラ・ベアリ
ングの間隙を除くのに、すなわち一方向にのみ働く。
ブラシなしモータがリニア電気モータとして使用されて
いることに特徴のある本発明に係る案内装置の別の好適
実施例において、運転支障度の低い運転を行うことがで
きる。かかるモータはブラシ・モータより摩損に対して
高い抵抗力を有する。
いることに特徴のある本発明に係る案内装置の別の好適
実施例において、運転支障度の低い運転を行うことがで
きる。かかるモータはブラシ・モータより摩損に対して
高い抵抗力を有する。
望ましくは、ブラシなしリニア・モータは出願人の先願
未公開の特許出願において記述されている種類のものを
使うのがよい。
未公開の特許出願において記述されている種類のものを
使うのがよい。
本発明に係る案内装置はＸ−Ｙ運動を行うために前述の
特徴を有する２台の移動車部及び２個の台座部から構成
され、第２の台座部は第１の移動車部と連結される。相
応する方法で案内装置は更にＸ−Ｙ−Ｚ移動を行うため
に第３の台座部と第３の移動車部から構成してもよい。
特徴を有する２台の移動車部及び２個の台座部から構成
され、第２の台座部は第１の移動車部と連結される。相
応する方法で案内装置は更にＸ−Ｙ−Ｚ移動を行うため
に第３の台座部と第３の移動車部から構成してもよい。
前記第３の台座部は第２の移動車部に連結されるか或い
は第３の移動車部は第１の台座部に連結される。
は第３の移動車部は第１の台座部に連結される。
望ましくは、静止のままの台座部は全ての実施例におい
て花崗岩製であるのがよい。
て花崗岩製であるのがよい。
図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
第１図は基体に電気及びまたは電子部品を配置するため
の装置１の実施例を鳥敞図的に示めしている。この装置
１は主として部品を取り付けるための２個の配置ユニッ
ト２、基体Ｓを供給するための１個の供給ユニット３、
及び配置ユニット２を制御するための２個の制御キャビ
ネット４から構成される装置ユニットの−の前面には、
コンテナ５が設置され、そこでテープに包まれた部品と
共に巻わく６が軸支されている。判り易くするため、第
１図においては他の配置ユニット用のコンテナは省略さ
れている。配置ユニット２にはＸ−Ｙ方向で移動自在な
単−又は多数の取り付はヘッド（図示されていない）が
備えである。第１図において参照番号９が付されている
本発明に係る案内装置は取り付はヘッドを移動するのに
役立つ。
の装置１の実施例を鳥敞図的に示めしている。この装置
１は主として部品を取り付けるための２個の配置ユニッ
ト２、基体Ｓを供給するための１個の供給ユニット３、
及び配置ユニット２を制御するための２個の制御キャビ
ネット４から構成される装置ユニットの−の前面には、
コンテナ５が設置され、そこでテープに包まれた部品と
共に巻わく６が軸支されている。判り易くするため、第
１図においては他の配置ユニット用のコンテナは省略さ
れている。配置ユニット２にはＸ−Ｙ方向で移動自在な
単−又は多数の取り付はヘッド（図示されていない）が
備えである。第１図において参照番号９が付されている
本発明に係る案内装置は取り付はヘッドを移動するのに
役立つ。
第２図は案内装置９の底面図で、案内装置９は第１の台
座部１１、第１の移動車部１３、第２の台座部１１１、
及び第２の移動車部１１３から構成される。
座部１１、第１の移動車部１３、第２の台座部１１１、
及び第２の移動車部１１３から構成される。
更に図示されていない取り付はヘッドが前記第２の移動
車部に固定されている。台座部１１は花崗岩でできてお
り、鋳鉄製の２本のキャリア７に支えられる鋳鉄製の橋
梁部８に第１図に示される通りはめ込められている。こ
の如く、組立体は門又は橋を形成するので十分な空間が
取り付はヘッドの下での基体の移動に利用できる。この
ような構造ができるように移動車部１３は台座部１１に
懸架する位置で連結される。相応する方法で、移動車部
１１３は台座部１１１に懸架する位置で連結され、台座
部は移動車部１３に固定される。台座部１１には案内軌
道１５．１７及び１９が設けられ、それ等は２個の直交
案内平面上に存在する。すなわち、第３図に示される通
り案内軌道１５及び１７は水平案内平面Ａ−Ａ上に存在
し、一方案内軌道１９は垂直案内平面Ｂ−Ｂ上に存在す
る。
車部に固定されている。台座部１１は花崗岩でできてお
り、鋳鉄製の２本のキャリア７に支えられる鋳鉄製の橋
梁部８に第１図に示される通りはめ込められている。こ
の如く、組立体は門又は橋を形成するので十分な空間が
取り付はヘッドの下での基体の移動に利用できる。この
ような構造ができるように移動車部１３は台座部１１に
懸架する位置で連結される。相応する方法で、移動車部
１１３は台座部１１１に懸架する位置で連結され、台座
部は移動車部１３に固定される。台座部１１には案内軌
道１５．１７及び１９が設けられ、それ等は２個の直交
案内平面上に存在する。すなわち、第３図に示される通
り案内軌道１５及び１７は水平案内平面Ａ−Ａ上に存在
し、一方案内軌道１９は垂直案内平面Ｂ−Ｂ上に存在す
る。
移動車部１３はアルミニウム製で押し出し成型され、断
面は骨組構造の外形を存する。従って、移動車部１３は
比較的軽量で、花崗岩の台座部１１に比較すれば特に軽
量である。移動車部は５個の空気軸受、すなわち水平案
内平面Ａ−Ａで３個により垂直案内平面Ｂ−Ｂで２個に
より空気静力学的に軸支される。この目的のため、５個
の軸受２１が移動車部１３に設けである。すなわち案内
軌道１５にある２個の軸受及び案内軌道１７にある１個
の軸受が水平案内平面Ａ−Ａにおける１個の３点支持を
構成する。案内軌道１９にある２個の軸受により、移動
車部１３は垂直案内平面Ｂ−Ｂにおいて案内される。こ
のように、移動車部１３の５個の自由度が決定される。
面は骨組構造の外形を存する。従って、移動車部１３は
比較的軽量で、花崗岩の台座部１１に比較すれば特に軽
量である。移動車部は５個の空気軸受、すなわち水平案
内平面Ａ−Ａで３個により垂直案内平面Ｂ−Ｂで２個に
より空気静力学的に軸支される。この目的のため、５個
の軸受２１が移動車部１３に設けである。すなわち案内
軌道１５にある２個の軸受及び案内軌道１７にある１個
の軸受が水平案内平面Ａ−Ａにおける１個の３点支持を
構成する。案内軌道１９にある２個の軸受により、移動
車部１３は垂直案内平面Ｂ−Ｂにおいて案内される。こ
のように、移動車部１３の５個の自由度が決定される。
軸受には空気ダクト２３が設けられ、それは加圧空気導
管２５に接続され、空気軸受として作用する空気クッシ
ョンを作りかつ持続するためにそれを通して圧縮空気が
供給される。磁気的手段が前記空気軸受にプレストレス
を、すなわち反対力を引き起すために用いられる。先に
述べた通り、磁石システムがこの目的のために使用され
てよく、それは永久磁石部分と強磁性部分とから構成さ
れ、そのうちの−の部分が台座部１１に設けられ、かつ
他の部分が移動車部１３に設けられる。このような分離
した磁石システムは特に回転型電気モータとの組合せで
用いられ、回転型電気モータはウオームスクリュ機構成
いはピニオン−ラック機構を経て移動車部に対する駆動
力源となる。しかしながら、図示の実施例では、移動車
部１３は永久磁石と共にリニアー電気モータにより駆動
される。このモータは空気軸受にプレストレスを与える
のに好都合である。電気モータは固定子３１を備え、そ
れは一連の永久磁石３３からなり、永久磁石は帯状の強
磁性担体３５に固定される。固定子３１は花崗岩の台座
１１の溝状凹部３９にアンカー３７により取付けられる
。
管２５に接続され、空気軸受として作用する空気クッシ
ョンを作りかつ持続するためにそれを通して圧縮空気が
供給される。磁気的手段が前記空気軸受にプレストレス
を、すなわち反対力を引き起すために用いられる。先に
述べた通り、磁石システムがこの目的のために使用され
てよく、それは永久磁石部分と強磁性部分とから構成さ
れ、そのうちの−の部分が台座部１１に設けられ、かつ
他の部分が移動車部１３に設けられる。このような分離
した磁石システムは特に回転型電気モータとの組合せで
用いられ、回転型電気モータはウオームスクリュ機構成
いはピニオン−ラック機構を経て移動車部に対する駆動
力源となる。しかしながら、図示の実施例では、移動車
部１３は永久磁石と共にリニアー電気モータにより駆動
される。このモータは空気軸受にプレストレスを与える
のに好都合である。電気モータは固定子３１を備え、そ
れは一連の永久磁石３３からなり、永久磁石は帯状の強
磁性担体３５に固定される。固定子３１は花崗岩の台座
１１の溝状凹部３９にアンカー３７により取付けられる
。
複数のコイルと強磁性の担体からなる電気モータの電機
子４１は移動車部１３に固定される。電機子４１には冷
却用リブ４３及び冷却液の循環のための冷却用ダクト４
５が設けである。モータの中心線Ｘ−Ｘを通る対象平面
Ｃ−Ｃが夫々水平案内平面Ａ−Ａと鋭角αをなし、垂直
案内平面Ｂ−Ｂと鋭角βをなすように電気モータ２９は
配置される。固定子３１と電機子４１は永久磁石部分と
強磁性部分からなる磁石システムを構成し、磁石システ
ムは空気軸受に初期張力を与えるのに役立つ。電気モー
タが斜めに位置していることに因り、電気モータにより
生した永久磁石の引力の結果としてのみ、５個の空気軸
受はこれ以上のプレストレス附加手段なしに全てプレス
トレスが与えられることができ、かつ移動車は２個の案
内平面において案内されることができる。夫々αが６０
°かつβが３０″で示されている実施例では、重力は全
ての空気軸受が同じ荷重を受けるような方法で釣合うこ
とが判明している。すなわち、プレストレスの作用点、
換言すれば電気モータの中心線の位置は全てのモーメン
トの合計が零になるように選定される。
子４１は移動車部１３に固定される。電機子４１には冷
却用リブ４３及び冷却液の循環のための冷却用ダクト４
５が設けである。モータの中心線Ｘ−Ｘを通る対象平面
Ｃ−Ｃが夫々水平案内平面Ａ−Ａと鋭角αをなし、垂直
案内平面Ｂ−Ｂと鋭角βをなすように電気モータ２９は
配置される。固定子３１と電機子４１は永久磁石部分と
強磁性部分からなる磁石システムを構成し、磁石システ
ムは空気軸受に初期張力を与えるのに役立つ。電気モー
タが斜めに位置していることに因り、電気モータにより
生した永久磁石の引力の結果としてのみ、５個の空気軸
受はこれ以上のプレストレス附加手段なしに全てプレス
トレスが与えられることができ、かつ移動車は２個の案
内平面において案内されることができる。夫々αが６０
°かつβが３０″で示されている実施例では、重力は全
ての空気軸受が同じ荷重を受けるような方法で釣合うこ
とが判明している。すなわち、プレストレスの作用点、
換言すれば電気モータの中心線の位置は全てのモーメン
トの合計が零になるように選定される。
台座部１１上の移動車部１３の位置は台座部１１に固定
された測定定規４９及び移動車部１３に固定された光学
的センサー５１を有する既知の変位測定システムにより
決定される。この測定システムは発明の部分を構成しな
い。
された測定定規４９及び移動車部１３に固定された光学
的センサー５１を有する既知の変位測定システムにより
決定される。この測定システムは発明の部分を構成しな
い。
第３図において、参照番号５３及び５５は帯状の遮蔽部
品を表示し、それらは台座部１１の２個の長手方向側面
に設けられる。判り易くするため、これらの遮蔽部品は
第２図では省略れれている。
品を表示し、それらは台座部１１の２個の長手方向側面
に設けられる。判り易くするため、これらの遮蔽部品は
第２図では省略れれている。
第２の台座部１１１と第２の移動車部１１３は第１の台
座部１１と第１の移動車部１３が共働するのと同じよう
に共働する。移動車部１１３は移動車部１３と同じくア
ルミニウム製で、骨組構造の断面を有している。花崗岩
の台座部１１と対照的に、台座部１１１はアルミニウム
製で骨組構造の断面形状を有している。結果として、移
動すべき全体重量は小さくされている。
座部１１と第１の移動車部１３が共働するのと同じよう
に共働する。移動車部１１３は移動車部１３と同じくア
ルミニウム製で、骨組構造の断面を有している。花崗岩
の台座部１１と対照的に、台座部１１１はアルミニウム
製で骨組構造の断面形状を有している。結果として、移
動すべき全体重量は小さくされている。
台座部１１１には３本の案内軌道１１５，１１７及び１
１９が設けられ、それらは２個の直交する室内平面に位
置する。すなわち、第４図に示される通り、案内軌道１
１５及び１１７は水平案内平面Ｄ−Ｄに位置し、一方案
内軌道１１９は垂直案内平面Ｅ−Ｅに位置する。移動車
部１１３は同じく５個の空気軸受により、すなわち、３
個は水平案内平面Ｄ−Ｄにおいて２個は垂直案内平面Ｅ
−Ｈにおいて空気静力学的に軸支される。この目的のた
め、移動車部１１３には５個の軸受１２１が設けられる
。すなわち、案内軌道１１５にある２個の軸受及び案内
軌道１１７にある１個の軸受が水平案内平面Ｄ−Ｄにお
ける３点案内を構成する。案内軌道１１９にある２個の
軸受は垂直案内平面Ｅ−Ｈにおける２点案内を構成する
。台座部１１１及び移動車部１１３からなる第２の組立
体の軸受容量は台座部１１及び移動車部１３からなる第
１の組立体の軸受容量に等しくする必要はない。従って
第２の組立体の部品は第１の組立体の相応する部品より
小さい寸法でよい。例えば、移動車部１１３の軸受１２
１は移動車部１３の軸受２１より小さい直径であり台座
部１１１の案内軌道１１５，１１７及び１１９は台座部
１１の案内軌道１５．１７及び１９より相対的に小さい
。軸受１２１には空気ダクトが設けられ、空気ダクトは
加圧空気導管１２５に連通ずる。永久磁石を有する第２
のリニア・サーボ・モータ１２９が第１のサーボ・モー
タ２９と同じように配置されている。永久磁石１３３と
強磁性材料の担体１３５からなる固定子１３１がアンカ
一の手段なしに台座部１１１に直接固定されている。冷
却リブ１４３及び冷却用ダクト１４５が設けである電機
子１４１が移動車部１１３に取り付けである。台座部１
１１及び移動車部１１３から成る第２の組立体の所要軸
受容量は小さくてよいので、固定子１４１は固定子４１
より短い長さでよい。サーボ・モータ１２９の中心線Ｙ
−Ｙを通る対象平面Ｆ−Ｆが夫々水平案内平面Ｄ−Ｄと
鋭角Ｔをなし、垂直平面Ｅ−Ｅと鋭角δをなすような角
度でサーボ・モータ１２９は配置される。この場合も又
、５個の空気軸受の荷重は夫々角Ｔが６０°及び角δが
３０°で均一となる。測定定規１４９及び光学的センサ
ー１５１は移動車の位置を感知するのに役立つ。第４図
において、参照番号１５３及び１５５は遮蔽部品を示し
、それら遮蔽部品は判り易（するために第２図ではこれ
又省略されている。本発明に係る案内装置の実施例のデ
ータを以下に記述する： 第１のサーボ・モータの磁カニ ３００ＯＮ第２の
サーボ・モータの磁カニ １５０ＯＮリニア電気モ
ータのエア・ギヤ１２２５０μｍ空気軸受のエア・ギャ
プ厚さ２１０８ｍ空気軸受の空気圧：
６ ｂａｒ変位の最大連さ： １．５
ｍ／ｓ最大加速度：２Ｇ 位置決め精度：１０μｍ 配置されそして位置決めされる要素、例えば部品の配置
のための単−又は複数の取り付はヘッド、テーブル、基
体のためのキャリア、ツール、加工用材料及び其の他領
た物が移動車部１１３に固定される。
１９が設けられ、それらは２個の直交する室内平面に位
置する。すなわち、第４図に示される通り、案内軌道１
１５及び１１７は水平案内平面Ｄ−Ｄに位置し、一方案
内軌道１１９は垂直案内平面Ｅ−Ｅに位置する。移動車
部１１３は同じく５個の空気軸受により、すなわち、３
個は水平案内平面Ｄ−Ｄにおいて２個は垂直案内平面Ｅ
−Ｈにおいて空気静力学的に軸支される。この目的のた
め、移動車部１１３には５個の軸受１２１が設けられる
。すなわち、案内軌道１１５にある２個の軸受及び案内
軌道１１７にある１個の軸受が水平案内平面Ｄ−Ｄにお
ける３点案内を構成する。案内軌道１１９にある２個の
軸受は垂直案内平面Ｅ−Ｈにおける２点案内を構成する
。台座部１１１及び移動車部１１３からなる第２の組立
体の軸受容量は台座部１１及び移動車部１３からなる第
１の組立体の軸受容量に等しくする必要はない。従って
第２の組立体の部品は第１の組立体の相応する部品より
小さい寸法でよい。例えば、移動車部１１３の軸受１２
１は移動車部１３の軸受２１より小さい直径であり台座
部１１１の案内軌道１１５，１１７及び１１９は台座部
１１の案内軌道１５．１７及び１９より相対的に小さい
。軸受１２１には空気ダクトが設けられ、空気ダクトは
加圧空気導管１２５に連通ずる。永久磁石を有する第２
のリニア・サーボ・モータ１２９が第１のサーボ・モー
タ２９と同じように配置されている。永久磁石１３３と
強磁性材料の担体１３５からなる固定子１３１がアンカ
一の手段なしに台座部１１１に直接固定されている。冷
却リブ１４３及び冷却用ダクト１４５が設けである電機
子１４１が移動車部１１３に取り付けである。台座部１
１１及び移動車部１１３から成る第２の組立体の所要軸
受容量は小さくてよいので、固定子１４１は固定子４１
より短い長さでよい。サーボ・モータ１２９の中心線Ｙ
−Ｙを通る対象平面Ｆ−Ｆが夫々水平案内平面Ｄ−Ｄと
鋭角Ｔをなし、垂直平面Ｅ−Ｅと鋭角δをなすような角
度でサーボ・モータ１２９は配置される。この場合も又
、５個の空気軸受の荷重は夫々角Ｔが６０°及び角δが
３０°で均一となる。測定定規１４９及び光学的センサ
ー１５１は移動車の位置を感知するのに役立つ。第４図
において、参照番号１５３及び１５５は遮蔽部品を示し
、それら遮蔽部品は判り易（するために第２図ではこれ
又省略されている。本発明に係る案内装置の実施例のデ
ータを以下に記述する： 第１のサーボ・モータの磁カニ ３００ＯＮ第２の
サーボ・モータの磁カニ １５０ＯＮリニア電気モ
ータのエア・ギヤ１２２５０μｍ空気軸受のエア・ギャ
プ厚さ２１０８ｍ空気軸受の空気圧：
６ ｂａｒ変位の最大連さ： １．５
ｍ／ｓ最大加速度：２Ｇ 位置決め精度：１０μｍ 配置されそして位置決めされる要素、例えば部品の配置
のための単−又は複数の取り付はヘッド、テーブル、基
体のためのキャリア、ツール、加工用材料及び其の他領
た物が移動車部１１３に固定される。
以上記述した実施例に係る案内装置には２台の移動車部
が設けてあり、それらは懸架する位置で相応する台座と
連結されている。本発明は単一の移動車部或いは３台の
移動車部を有する案内装置において同様に使用してもよ
い。台座部と移動車部との懸架式連結は必要とされない
；台座部と移動車部との水平連結の場合は、同じ有利な
効果が原則的に得られる。
が設けてあり、それらは懸架する位置で相応する台座と
連結されている。本発明は単一の移動車部或いは３台の
移動車部を有する案内装置において同様に使用してもよ
い。台座部と移動車部との懸架式連結は必要とされない
；台座部と移動車部との水平連結の場合は、同じ有利な
効果が原則的に得られる。
第１図は基体の上に電気及び／又は電子部品を配置する
ための装置を鳥緻図的に示している。この装置には本発
明に係る案内装置が設けである：第２図は本発明に係る
案内装置の実施例の底面斜視図である； 第３図は第２図において矢印■の方向で見た装置の部分
を示す： 第４図は第２図において矢印■の方向で見た装置の別の
部分を示す。
ための装置を鳥緻図的に示している。この装置には本発
明に係る案内装置が設けである：第２図は本発明に係る
案内装置の実施例の底面斜視図である； 第３図は第２図において矢印■の方向で見た装置の部分
を示す： 第４図は第２図において矢印■の方向で見た装置の別の
部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも１個の台座部、台座部に関し移動可能で
あって空気静力学的に軸支されている少なくとも１個の
移動車部、及び移動車部の駆動装置から構成される案内
装置であって、前記台座部には案内軌道が設けられ、前
記移動車部には複数の軸受が設けられ、該軸受は案内軌
道と共働し、該軸受には空気軸受として作用する空気ク
ッションを発生させかつ持続するための加圧空気を供給
するためにダクトが設けられ、前記案内装置は空気軸受
にプレストレスを与える手段を更に備えている案内装置
において、案内軌道は相互に一の角を挟む２個の案内平
面を形成し、かつ空気軸受にプレストレスを与える手段
が相互に対向して台座部及び移動車部に配置される永久
磁石部分及び強磁性部分を有する磁石システムから成り
、磁石システムの中心線を通る対称平面が２個の案内平
面と鋭角をなすことに特徴のある前記案内装置。 ２、一の案内平面が２個の軸受及び１個の軸受と夫々共
働する第１及び第２の案内軌道により形成され、かつ他
の案内平面が２個の軸受と共働する単一の案内軌道によ
り形成されることに特徴のある請求項１記載の案内装置
。 ３、２個の案内平面が相互に直交し、かつ磁石システム
の中心線を通る対象平面が一の案内平面と鋭角をなしか
つ他の案内平面と補角をなすことに特徴のある請求項１
または請求項２記載の案内装置。 ４、移動車部が台座部に懸架する位置で連結され、かつ
対象平面が１の及び他の案内平面となす角度が夫々６０
°及び３０°であることに特徴のある請求項１、２又は
３のうちいずれか１項記載の案内装置。 ５、移動車部がアルミニウム製で、骨組構造の断面を有
することに特徴のある請求項１、２、３又は４のうちい
ずれか１項記載の案内装置。 ６、台座部が花崗岩製であることに特徴のある請求項１
から５のうちいずれか１項記載の案内装置。 ７、台座部がアルミニウム製で断面が骨組構造形状を有
することに特徴のある請求項１から５のうちいずれか１
項記載の案内装置。 ８、移動車部の駆動装置は永久磁石を備え固定子と電機
子を有するリニア電気モータの形をとっており、前記固
定子と前記電機子が空気軸受にプレストレスを与える磁
石システムとして作用することに特徴のある請求項１か
ら７のうちいずれか１項記載の案内装置。 ９、ブラシなしモータがリニア電気モータとして使用さ
れることに特徴のある請求項８記載の案内装置。 １０、第２の台座部及び第２の移動車部が請求項１から
９のうちいずれか１項記載の特徴を有し、第２の台座部
の案内軌道及び第２の移動車部の運動の方向が第１の台
座部の案内軌道及び第１の移動車部の運動の方向に対し
夫々直角をなし、かつ第２の台座部が第１の移動車部に
連結されていることに特徴のある請求項１から９のうち
いずれか１項記載の案内装置。 １１、第３の台座部及び第３の移動車部が請求項１から
９のうちいずれか１項記載の特徴を有し、第３の台座部
の案内軌道及び第３の移動車部の運動の方向が第１及び
第２の台座部の案内軌道と第１及び第２の移動車部の運
動の方向に対し夫々直角をなし、かつ第３の台座部が第
２の移動車部に連結されていることに特徴のある請求項
１０記載の案内装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8701139A NL8701139A (nl) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | Geleideinrichting. |
| NL8701139 | 1987-05-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63290104A true JPS63290104A (ja) | 1988-11-28 |
| JP2718694B2 JP2718694B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=19850004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63113740A Expired - Lifetime JP2718694B2 (ja) | 1987-05-13 | 1988-05-12 | 案内装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4817930A (ja) |
| EP (1) | EP0291119B1 (ja) |
| JP (1) | JP2718694B2 (ja) |
| KR (1) | KR970011063B1 (ja) |
| DE (1) | DE3882584T2 (ja) |
| NL (1) | NL8701139A (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8902472A (nl) * | 1989-10-05 | 1991-05-01 | Philips Nv | Positioneerinrichting. |
| JP3031940B2 (ja) * | 1990-02-21 | 2000-04-10 | キヤノン株式会社 | 移動案内装置 |
| US5228358A (en) * | 1990-02-21 | 1993-07-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Motion guiding device |
| US6989647B1 (en) * | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
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