JPS63290699A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS63290699A JPS63290699A JP62125888A JP12588887A JPS63290699A JP S63290699 A JPS63290699 A JP S63290699A JP 62125888 A JP62125888 A JP 62125888A JP 12588887 A JP12588887 A JP 12588887A JP S63290699 A JPS63290699 A JP S63290699A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- light
- convex
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ加工装置に係り、特に、照射したレーザ
光の強さの密度分布を急激なものとするのに好適な加工
装置の照射光学系に関する。
光の強さの密度分布を急激なものとするのに好適な加工
装置の照射光学系に関する。
、 従来の装置は、特開昭６１−１６５２９０号公報に
記載ノヨウに、レーザ光を集光照射するレンズの入光側
に入光のレーザ光の直径よりも小さな径で一段目の曲率
をもつ凸面を形成し、さらに、その面に接した外側にレ
ーザ光より大きな直径（レンズの外径）で二段目の曲率
をもつ凸面を形成し、内側の曲率で加工のために集光さ
せ、外側の曲率では加熱ビームを集光させる平凸形の単
レンズとなっていた。
記載ノヨウに、レーザ光を集光照射するレンズの入光側
に入光のレーザ光の直径よりも小さな径で一段目の曲率
をもつ凸面を形成し、さらに、その面に接した外側にレ
ーザ光より大きな直径（レンズの外径）で二段目の曲率
をもつ凸面を形成し、内側の曲率で加工のために集光さ
せ、外側の曲率では加熱ビームを集光させる平凸形の単
レンズとなっていた。
上記従来技術はレーザ光の入光する側の凸面が内側と外
側の二段の曲率をもっているため製造上複雑である。内
側の曲率は外側より曲率が小さく面の変化が大きいため
、レーザ光の中心軸と曲率の中心軸との合せが重要ポイ
ントで、両者の軸ずれが加工物上のレーザ照射点のずれ
として大きく現われる。また、外周部の焦点距離が長く
、内側が短くなっているため、通常の加工時には外周光
は光軸芯側に傾いて照射され、反射率の高い材料加工時
は発振器側まで反射光が戻り、光学部品をいためる問題
があった。
側の二段の曲率をもっているため製造上複雑である。内
側の曲率は外側より曲率が小さく面の変化が大きいため
、レーザ光の中心軸と曲率の中心軸との合せが重要ポイ
ントで、両者の軸ずれが加工物上のレーザ照射点のずれ
として大きく現われる。また、外周部の焦点距離が長く
、内側が短くなっているため、通常の加工時には外周光
は光軸芯側に傾いて照射され、反射率の高い材料加工時
は発振器側まで反射光が戻り、光学部品をいためる問題
があった。
本発明の目的はレーザ光の入射位置、あるいは、方向が
異なってもレーザ照射点のずれを小さくすること及び入
光側の曲率を一定にして、レーザ光の外周部の集光性を
極端に少なくするとともにその反射光を外周側に逃すレ
ーザ加工装置を提供することにある。
異なってもレーザ照射点のずれを小さくすること及び入
光側の曲率を一定にして、レーザ光の外周部の集光性を
極端に少なくするとともにその反射光を外周側に逃すレ
ーザ加工装置を提供することにある。
上記目的は、集光レンズの形状をメニスカス型と平凸型
の形状を組合せたもの、あるいは、メニスカス型と凹型
を組合せた形状とすることにより達成される。すなわち
、メニスカス型と平凸型の組合せは入光側を単一曲率の
凸型の球面（入光面と称す）とし、被加工物側の面（対
物面と称す）は平面中央に、透過レーザ光より小径の凹
形球面を形成することである。また、メニスカス型と凹
型の組合せは入光面を単一曲率とし、対物面は全体に凹
型球面で、その中央に、さらに、曲率の小さな凹型球面
を形成することにより達成される。
の形状を組合せたもの、あるいは、メニスカス型と凹型
を組合せた形状とすることにより達成される。すなわち
、メニスカス型と平凸型の組合せは入光側を単一曲率の
凸型の球面（入光面と称す）とし、被加工物側の面（対
物面と称す）は平面中央に、透過レーザ光より小径の凹
形球面を形成することである。また、メニスカス型と凹
型の組合せは入光面を単一曲率とし、対物面は全体に凹
型球面で、その中央に、さらに、曲率の小さな凹型球面
を形成することにより達成される。
すなわち、この形状をとることにより、外周部の光の焦
点距離は内側の加工に使用する光の焦点距離より短くな
り、加工点ではおのずと外周部に広がる光となって、そ
の反射光は加工ヘッド内部に入光する割合を極端に低下
させることができる。
点距離は内側の加工に使用する光の焦点距離より短くな
り、加工点ではおのずと外周部に広がる光となって、そ
の反射光は加工ヘッド内部に入光する割合を極端に低下
させることができる。
この集光レンズの形状は従来の単一レンズの平凸型、あ
るいは、メニスカス型の形状をふまえ、特殊な製造技術
を必要とせずに製造が容易である。
るいは、メニスカス型の形状をふまえ、特殊な製造技術
を必要とせずに製造が容易である。
入光面の形状が単一面であり、集光部がメニスカス型を
しているので、入光面の曲率を大きくすることが出来て
、多少の入光位置、方向のずれでも照射点ずれを小さく
することができる。メニスカス型のため平凸型よりも曲
率収差が小さく、スポット径も小さくできる。対物面の
内側凹部径をビーム径より小さくすることにより、有効
な部分のみ集光し外部を排除できる。特に、対物面全体
を凹型球面とすると有効部のみ集光し、外周部の集光を
低くすることができる。
しているので、入光面の曲率を大きくすることが出来て
、多少の入光位置、方向のずれでも照射点ずれを小さく
することができる。メニスカス型のため平凸型よりも曲
率収差が小さく、スポット径も小さくできる。対物面の
内側凹部径をビーム径より小さくすることにより、有効
な部分のみ集光し外部を排除できる。特に、対物面全体
を凹型球面とすると有効部のみ集光し、外周部の集光を
低くすることができる。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
レーザ加工装置のレーザ発振器から出たレーザ光１を加
工ヘッドの集光レンズを通して照射し、加工する過程で
、レーザ光１をレンズ２の入光面３の中央に透過させる
。この時、入光面はレーザ光の集光された焦点が加工材
６の表面より大きく外れる一定曲率の凸面をもつ。レン
ズ２の対物面は平面５の内側にレーザ光１の直径より小
さい直径の凹みの球面４を構成する。すなわち、入光面
の球面と対物面の球面とが対をなすメニスカス形であり
、レーザ光の外周部にあたる所は平凸形したものである
。これにより、集光部のスポット径を小さくでき、精密
切断を可能にする。
工ヘッドの集光レンズを通して照射し、加工する過程で
、レーザ光１をレンズ２の入光面３の中央に透過させる
。この時、入光面はレーザ光の集光された焦点が加工材
６の表面より大きく外れる一定曲率の凸面をもつ。レン
ズ２の対物面は平面５の内側にレーザ光１の直径より小
さい直径の凹みの球面４を構成する。すなわち、入光面
の球面と対物面の球面とが対をなすメニスカス形であり
、レーザ光の外周部にあたる所は平凸形したものである
。これにより、集光部のスポット径を小さくでき、精密
切断を可能にする。
本発明によれば曲率収差が少なく、集光スポット径が小
さいメニスカス型のレンズが得られ、加工性能の向上が
図れる。また、レンズの入光面の曲率が大きくとれるの
で、入光ビームの変動許容量も大きく設定できる。また
、形状が従来のメニスカス型に類似し、平凸形の外周部
のため、レンズの強度や冷却が充分であり、取扱いも簡
便である。
さいメニスカス型のレンズが得られ、加工性能の向上が
図れる。また、レンズの入光面の曲率が大きくとれるの
で、入光ビームの変動許容量も大きく設定できる。また
、形状が従来のメニスカス型に類似し、平凸形の外周部
のため、レンズの強度や冷却が充分であり、取扱いも簡
便である。
図は本発明の一実施例の縦断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光をレンズで集光して照射するレーザ加工装
置において、 集光する前記レンズの形状を入光する前記レーザ光に向
つて一定曲率の凸形球面をなし、加工物側の面が平面の
中央部に透過する前記レーザ光の直径よりも小さな直径
の凹型球面を形成した光学系により、透過した前記レー
ザ光の中央部が外周部より長焦点位置となる集光レーザ
光の中央部長焦点側集光点で加工することを特徴とする
レーザ加工装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、 加工物側の全体面形状が、凸形または凹形を形成し、そ
の中央に凹型球面を形成したことを特徴とするレーザ加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125888A JPS63290699A (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125888A JPS63290699A (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63290699A true JPS63290699A (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=14921403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125888A Pending JPS63290699A (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63290699A (ja) |
-
1987
- 1987-05-25 JP JP62125888A patent/JPS63290699A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2716397B1 (en) | Optical system for laser working device, laser working head with such optical system, laser working device with such head, laser focusing method, and laser working method using such method | |
| TWI264579B (en) | Method of severing an optical fiber using a laser beam | |
| EP0491192B1 (en) | Laser processing apparatus and laser processing method | |
| JPH02284783A (ja) | ホルダ | |
| JPS63293510A (ja) | レ−ザ−照射装置 | |
| PT1681126E (pt) | Corte laser com lente de duplo foco de peças metálicas de pouca espessura | |
| JPS6159837B2 (ja) | ||
| JPH0436794B2 (ja) | ||
| JPS63290699A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JP2008134468A (ja) | 集光光学系および光加工装置 | |
| JPH09159572A (ja) | 光学装置 | |
| JPS63273806A (ja) | レ−ザ加工用対物レンズ | |
| JPH02284782A (ja) | 波長の異なるレーザの集光方法 | |
| JPS63108318A (ja) | レ−ザ−加工装置 | |
| JP2001009580A (ja) | レーザ光集光装置 | |
| JP2001129679A (ja) | レーザ装置、レーザ加工装置および非球面レンズ | |
| CN118720403B (zh) | 一种两片式带衍射环的贝塞尔光束整形系统 | |
| JPS63273589A (ja) | レ−ザ溶接方法 | |
| JPH03184687A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS6015087A (ja) | レ−ザビ−ム絞り装置 | |
| JPH0348485B2 (ja) | ||
| JPS5829447Y2 (ja) | シユウコウソウチ | |
| JPS5825888A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JP2551253B2 (ja) | レーザビームによる物体の切断方法 | |
| JPS62174790U (ja) |