JPS6329202Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6329202Y2 JPS6329202Y2 JP1981091200U JP9120081U JPS6329202Y2 JP S6329202 Y2 JPS6329202 Y2 JP S6329202Y2 JP 1981091200 U JP1981091200 U JP 1981091200U JP 9120081 U JP9120081 U JP 9120081U JP S6329202 Y2 JPS6329202 Y2 JP S6329202Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- strain
- strain gauge
- moisture
- load cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は秤などに用いられるオープン型ロー
ドセルのストレインゲージの防湿構造に関するも
のである。
ドセルのストレインゲージの防湿構造に関するも
のである。
従来のストレインゲージ方式のロードセルには
金属シールド型ロードセルと、オープン型ロード
セルがあり、起歪部にストレインゲージを接着し
てある。そのストレインゲージの接着剤は高分子
系であり、カバーもまた高分子系の材料である。
オープン型のロードセルではカバーもしくはコー
トのないものは何らかの防湿対策を施こす必要が
ある。すなわち、ある程度湿気のある雰囲気中に
長時間曝されると絶縁劣化が起こり、出力が変化
するからである。従つて、従来の例えば第１図に
示すようなロードセルにおいて弾性体１の薄肉部
６の表面の起歪部に、ストレインゲージ７が貼着
され、第２図あるいは第３図に示すような防湿構
造が採用されていた。第２図のものは、起歪部に
エポキシ樹脂、フエノール樹脂、シアノアクリレ
ートなどの高分子系接着剤１２で、ストレインゲ
ージ７が貼着されている。ストレインゲージ７は
金属薄膜抵抗１０と絶縁フイルム１１とから形成
されているものである。その上面に防湿カバー１
３が設けられている。防湿カバー１３には硬化型
樹脂のエポキシ、フエノール、エラストマーのシ
リコンゴム、合成ゴム、ブチルゴム、フイルムの
テフロン、塩化ビニリデン、パリレンなどが用い
られている。この防湿カバー１３は接着剤又は加
硫加圧、溶剤塗布などの方法でコートされる。図
中１４はリード線でストレインゲージ７から引出
されている。第３図のものは、金属薄膜抵抗１０
が、２枚の絶縁フイルム１１で一体にパツクされ
たストレインゲージ７が、弾性体１の起歪部に前
述の接着剤などで貼着され、ストレインゲージ７
にリード線１４が直接接続されて外部に引出され
ている。リード線１４が直接接続されていないも
のもあるが、その場合は端子を介して接続され
る。上部絶縁フイルム１１の上部には、非接着性
の部分１５が重ねられ、さらにその部分１５を覆
うように絶縁フイルム１６が重ねられて一体にし
て接着されている。（この種の技術は特開昭55−
39043号公報に開示されている。）そしてさらに絶
縁フイルム１６の上に金属薄板、金属箔、ゴムシ
ートなどの保護膜１７を重ね合わせ貼着してあ
る。このように防湿対策が施こされたものであつ
ても、上記第２図のものではHR90％以下、第３
図のものではHR95％以下が限度で、これ以上の
高湿度雰囲気中に長時間置かれると除々に出力の
変化が起こる。また、コートに使用する樹脂が硬
化型である場合には検出信号特性を劣化させる難
点がある。コートをシリコンゴム又は合成ゴムで
形成する場合には厚さが問題で、厚くすれば防湿
効果が大きくなるが、出力信号の特性が著しく劣
化する難点がある。そしてさらに、第２図及び第
３図に示したいずれの場合でも、高温（50℃程
度）、多湿中では絶縁が不完全であるとか、特性
の維持の問題などに難点がある。このように従来
は、オープン型ロードセルの防湿対策としてのカ
バーを出力信号の特性を損わないように施工する
ことは非常に困難であつた。
金属シールド型ロードセルと、オープン型ロード
セルがあり、起歪部にストレインゲージを接着し
てある。そのストレインゲージの接着剤は高分子
系であり、カバーもまた高分子系の材料である。
オープン型のロードセルではカバーもしくはコー
トのないものは何らかの防湿対策を施こす必要が
ある。すなわち、ある程度湿気のある雰囲気中に
長時間曝されると絶縁劣化が起こり、出力が変化
するからである。従つて、従来の例えば第１図に
示すようなロードセルにおいて弾性体１の薄肉部
６の表面の起歪部に、ストレインゲージ７が貼着
され、第２図あるいは第３図に示すような防湿構
造が採用されていた。第２図のものは、起歪部に
エポキシ樹脂、フエノール樹脂、シアノアクリレ
ートなどの高分子系接着剤１２で、ストレインゲ
ージ７が貼着されている。ストレインゲージ７は
金属薄膜抵抗１０と絶縁フイルム１１とから形成
されているものである。その上面に防湿カバー１
３が設けられている。防湿カバー１３には硬化型
樹脂のエポキシ、フエノール、エラストマーのシ
リコンゴム、合成ゴム、ブチルゴム、フイルムの
テフロン、塩化ビニリデン、パリレンなどが用い
られている。この防湿カバー１３は接着剤又は加
硫加圧、溶剤塗布などの方法でコートされる。図
中１４はリード線でストレインゲージ７から引出
されている。第３図のものは、金属薄膜抵抗１０
が、２枚の絶縁フイルム１１で一体にパツクされ
たストレインゲージ７が、弾性体１の起歪部に前
述の接着剤などで貼着され、ストレインゲージ７
にリード線１４が直接接続されて外部に引出され
ている。リード線１４が直接接続されていないも
のもあるが、その場合は端子を介して接続され
る。上部絶縁フイルム１１の上部には、非接着性
の部分１５が重ねられ、さらにその部分１５を覆
うように絶縁フイルム１６が重ねられて一体にし
て接着されている。（この種の技術は特開昭55−
39043号公報に開示されている。）そしてさらに絶
縁フイルム１６の上に金属薄板、金属箔、ゴムシ
ートなどの保護膜１７を重ね合わせ貼着してあ
る。このように防湿対策が施こされたものであつ
ても、上記第２図のものではHR90％以下、第３
図のものではHR95％以下が限度で、これ以上の
高湿度雰囲気中に長時間置かれると除々に出力の
変化が起こる。また、コートに使用する樹脂が硬
化型である場合には検出信号特性を劣化させる難
点がある。コートをシリコンゴム又は合成ゴムで
形成する場合には厚さが問題で、厚くすれば防湿
効果が大きくなるが、出力信号の特性が著しく劣
化する難点がある。そしてさらに、第２図及び第
３図に示したいずれの場合でも、高温（50℃程
度）、多湿中では絶縁が不完全であるとか、特性
の維持の問題などに難点がある。このように従来
は、オープン型ロードセルの防湿対策としてのカ
バーを出力信号の特性を損わないように施工する
ことは非常に困難であつた。
この考案の目的は、高温、多湿の雰囲気に曝露
されていても出力信号が殆んど変化しないような
オープン型ロードセルの製作が可能なストレイン
ゲージの防湿構造を提供するにある。このような
目的を達成するためのこの考案の手段は、絶縁層
と金属薄膜抵抗とを一体に形成したストレインゲ
ージを起歪部に接着し、そのストレインゲージの
上面を保護層で覆い、その保護層の周囲をガム状
物質による細幅の垣状部で包囲し、その垣状部及
び垣状部内側の全域を覆うようにガス滲透性のな
いもしくはガス滲透性のきわめて少ない第１のカ
バーを被着し、さらにその第１のカバー及び上記
垣状部を外界から保護する第２のカバーを被着し
てなることを特徴とする。
されていても出力信号が殆んど変化しないような
オープン型ロードセルの製作が可能なストレイン
ゲージの防湿構造を提供するにある。このような
目的を達成するためのこの考案の手段は、絶縁層
と金属薄膜抵抗とを一体に形成したストレインゲ
ージを起歪部に接着し、そのストレインゲージの
上面を保護層で覆い、その保護層の周囲をガム状
物質による細幅の垣状部で包囲し、その垣状部及
び垣状部内側の全域を覆うようにガス滲透性のな
いもしくはガス滲透性のきわめて少ない第１のカ
バーを被着し、さらにその第１のカバー及び上記
垣状部を外界から保護する第２のカバーを被着し
てなることを特徴とする。
この手段によれば、ガム状物質による垣状部
と、第１のカバーと、第２のカバーとでストレイ
ンゲージが外界から隔離されており、この２重構
造によつて防湿作用が確保されている。そして、
第１のカバーはガム状物質の垣状部を介して起歪
部を構成している弾性体に接着されているので、
起歪部に歪を生じさせる力の第１のカバーの存在
による力損失がきわめて小さい。従つて、この第
１のカバーにガス滲透性のないもしくはガス滲透
性のきわめて少ない材質のものを使用して、
H2Oガスの滲透を確実に防止すると共にロード
セルの検出精度に殆ど悪影響を与えないものとす
ることができる。
と、第１のカバーと、第２のカバーとでストレイ
ンゲージが外界から隔離されており、この２重構
造によつて防湿作用が確保されている。そして、
第１のカバーはガム状物質の垣状部を介して起歪
部を構成している弾性体に接着されているので、
起歪部に歪を生じさせる力の第１のカバーの存在
による力損失がきわめて小さい。従つて、この第
１のカバーにガス滲透性のないもしくはガス滲透
性のきわめて少ない材質のものを使用して、
H2Oガスの滲透を確実に防止すると共にロード
セルの検出精度に殆ど悪影響を与えないものとす
ることができる。
以下この考案を図示の１実施例に基いて説明す
る。第４図において、金属薄膜抵抗１０を絶縁フ
イルム１１と一体に形成したストレインゲージ７
を接着剤１２を介して弾性体１の起歪部に接着し
てある点は第２図に示した従来のものと同様であ
る。
る。第４図において、金属薄膜抵抗１０を絶縁フ
イルム１１と一体に形成したストレインゲージ７
を接着剤１２を介して弾性体１の起歪部に接着し
てある点は第２図に示した従来のものと同様であ
る。
そのストレインゲージ７の上面を弾性係数の小
さい保護層２２で覆う。この保護層２２には、例
えばシリコンゴム、絶縁ワニスなどを用いる。こ
れは、ストレインゲージ７の保護と製作作業中の
汚染を防止するためである。
さい保護層２２で覆う。この保護層２２には、例
えばシリコンゴム、絶縁ワニスなどを用いる。こ
れは、ストレインゲージ７の保護と製作作業中の
汚染を防止するためである。
保護層２２の周囲を細紐状のガム状の物質、例
えばブチル樹脂で包囲して垣状部２１を形成す
る。その垣状部２１で包囲した全域を覆うように
第１のカバー２３を被着する。すなわち、第１の
カバー２３は垣状部２１に接着して内部を密封状
態とする。第１のカバー２３としては、ガス滲透
性のない金属箔またはテフロンフイルムを用い
る。完全を期す必要がない場合は、僅かに効果が
劣る塩化ビニリデンなどを用いてもよい。また、
垣状部２１をある程度太く大きくしてもよい場合
は、第１のカバー２３として耐蝕性金属薄板を使
用することも可能である。保護層２２と第１のカ
バー２３との間は弾性係数の小さい材料で充填し
てもよいが、充填または接着に伴い、防湿に影響
するガス発生がある場合は空隙のままでもよい。
さらに小容量ロードセルの場合には第１のカバー
２３は波状またはアコーデオン状に形成するとよ
い。
えばブチル樹脂で包囲して垣状部２１を形成す
る。その垣状部２１で包囲した全域を覆うように
第１のカバー２３を被着する。すなわち、第１の
カバー２３は垣状部２１に接着して内部を密封状
態とする。第１のカバー２３としては、ガス滲透
性のない金属箔またはテフロンフイルムを用い
る。完全を期す必要がない場合は、僅かに効果が
劣る塩化ビニリデンなどを用いてもよい。また、
垣状部２１をある程度太く大きくしてもよい場合
は、第１のカバー２３として耐蝕性金属薄板を使
用することも可能である。保護層２２と第１のカ
バー２３との間は弾性係数の小さい材料で充填し
てもよいが、充填または接着に伴い、防湿に影響
するガス発生がある場合は空隙のままでもよい。
さらに小容量ロードセルの場合には第１のカバー
２３は波状またはアコーデオン状に形成するとよ
い。
この第１のカバー２３及び垣状部２１に対し、
その全体を覆うように第２のカバー１３を被着す
る。カバー１３はシリコンゴムなどのエラストマ
ーで形成する。
その全体を覆うように第２のカバー１３を被着す
る。カバー１３はシリコンゴムなどのエラストマ
ーで形成する。
このように設けられたストレインゲージ７は、
第２のカバー１３が防水作用し、第１のカバー２
３がH2Oガスを完全に遮断しているので、外界
の湿気の影響が全くないものとなつている。そし
て、起歪部のストレインゲージへの歪伝達につい
ては、最も大きな影響が考えられるのが第１のカ
バー２３であるが、その第１のカバー２３がガム
状の物質で形成された垣状部２１を介して弾性体
１に接着されているので、弾性体１の歪が第１の
カバー２３へ伝達されないで垣状部２１に吸収さ
れ、換言すれば垣状部２１を設けたことによつて
弾性体１に歪を生じさせる力の第１のカバー２３
の存在による力損失がきわめて小さくなつてお
り、従つてストレインゲージに生じる歪は第１の
カバー２３の存在が殆ど影響しない。テスト結果
によれば、この実施例のロードセルは、クリー
プ、ヒステリシスが１万分の１以下であつた。ま
たその直線性も無視できる測定誤差であつた。さ
らに、従来のブチレンゴムによる防湿構造のスト
レインゲージは、温度変化に効果があるが、クリ
ープに対し、精度の劣化があつて高精度のロード
セルには不向きであつたのであるが、この実施例
のものでは、55℃、HR100％、40時間のテストで
も3μVの変化があつたのみであり、きわめて秀れ
た防湿構造であると言える。
第２のカバー１３が防水作用し、第１のカバー２
３がH2Oガスを完全に遮断しているので、外界
の湿気の影響が全くないものとなつている。そし
て、起歪部のストレインゲージへの歪伝達につい
ては、最も大きな影響が考えられるのが第１のカ
バー２３であるが、その第１のカバー２３がガム
状の物質で形成された垣状部２１を介して弾性体
１に接着されているので、弾性体１の歪が第１の
カバー２３へ伝達されないで垣状部２１に吸収さ
れ、換言すれば垣状部２１を設けたことによつて
弾性体１に歪を生じさせる力の第１のカバー２３
の存在による力損失がきわめて小さくなつてお
り、従つてストレインゲージに生じる歪は第１の
カバー２３の存在が殆ど影響しない。テスト結果
によれば、この実施例のロードセルは、クリー
プ、ヒステリシスが１万分の１以下であつた。ま
たその直線性も無視できる測定誤差であつた。さ
らに、従来のブチレンゴムによる防湿構造のスト
レインゲージは、温度変化に効果があるが、クリ
ープに対し、精度の劣化があつて高精度のロード
セルには不向きであつたのであるが、この実施例
のものでは、55℃、HR100％、40時間のテストで
も3μVの変化があつたのみであり、きわめて秀れ
た防湿構造であると言える。
以上のようにこの考案によるときは、第１のカ
バーと弾性体との間がガム状物質の垣状部で形成
されているから、双方の間で力の伝達が殆どな
く、これによつてロードセルの精度に悪影響を与
えないように第１のカバーにガス遮断作用の秀れ
た材料を使用できることになり、そしてさらに第
２のカバーを設けて２重の保護構造としてあるか
ら、高精度ロードセルに適用でき、オープン型ロ
ードセルであるにもかかわらず、金属シールド型
ロードセルに匹敵する秀れた防湿性を具備したロ
ードセルとすることができ、従つて従来使用雰囲
気が悪条件で金属シールド型ロードセルでなけれ
ば適用できなかつた所にでもオープン型ロードセ
ルが適用可能となり、また金属シールド型に形成
できなかつたロードセルに適用することでその使
用範囲を拡大できるストレインゲージの防湿構造
を提供できる。
バーと弾性体との間がガム状物質の垣状部で形成
されているから、双方の間で力の伝達が殆どな
く、これによつてロードセルの精度に悪影響を与
えないように第１のカバーにガス遮断作用の秀れ
た材料を使用できることになり、そしてさらに第
２のカバーを設けて２重の保護構造としてあるか
ら、高精度ロードセルに適用でき、オープン型ロ
ードセルであるにもかかわらず、金属シールド型
ロードセルに匹敵する秀れた防湿性を具備したロ
ードセルとすることができ、従つて従来使用雰囲
気が悪条件で金属シールド型ロードセルでなけれ
ば適用できなかつた所にでもオープン型ロードセ
ルが適用可能となり、また金属シールド型に形成
できなかつたロードセルに適用することでその使
用範囲を拡大できるストレインゲージの防湿構造
を提供できる。
第１図はロードセルの１例を示す斜視図、第２
図は従来のストレインゲージ防湿構造の１例を示
しａは主要部概略平面図、ｂはａのＡ−Ａ断面
図、第３図は従来のストレインゲージ防湿構造の
他の例を示す第２図ｂに対応する断面図、第４図
はこの考案の１実施例の概略を示しａはロードセ
ルの主要部の部分破断平面図、ｂはａのＢ−Ｂ断
面図である。 １……弾性体、７……ストレインゲージ、１０
……金属薄膜抵抗、１１……絶縁層、１２……接
着剤、２２……保護層、２１……垣状部、２３…
…第１のカバー、１３……第２のカバー、１４…
…リード線。
図は従来のストレインゲージ防湿構造の１例を示
しａは主要部概略平面図、ｂはａのＡ−Ａ断面
図、第３図は従来のストレインゲージ防湿構造の
他の例を示す第２図ｂに対応する断面図、第４図
はこの考案の１実施例の概略を示しａはロードセ
ルの主要部の部分破断平面図、ｂはａのＢ−Ｂ断
面図である。 １……弾性体、７……ストレインゲージ、１０
……金属薄膜抵抗、１１……絶縁層、１２……接
着剤、２２……保護層、２１……垣状部、２３…
…第１のカバー、１３……第２のカバー、１４…
…リード線。
Claims (1)
- 絶縁層と金属薄膜抵抗とを一体に形成したスト
レインゲージを起歪部に接着し、そのストレイン
ゲージの上面を保護層で覆い、その保護層の周囲
をガム状物質による細幅の垣状部で包囲し、その
垣状部及び垣状部内側の全域を覆うようにガス滲
透性のないもしくはガス滲透性のきわめて少ない
第１のカバーを被着し、さらにその第１のカバー
及び上記垣状部を外界から保護する第２のカバー
を被着してなるストレインゲージの防湿構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981091200U JPS6329202Y2 (ja) | 1981-06-19 | 1981-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981091200U JPS6329202Y2 (ja) | 1981-06-19 | 1981-06-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57201909U JPS57201909U (ja) | 1982-12-22 |
| JPS6329202Y2 true JPS6329202Y2 (ja) | 1988-08-05 |
Family
ID=29886293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981091200U Expired JPS6329202Y2 (ja) | 1981-06-19 | 1981-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329202Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59128540U (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-29 | 株式会社寺岡精工 | ロ−ドセル |
| JP2005179442A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Geotechnos Co Ltd | 水中下における接着方法及びその装置 |
| JP4496095B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2010-07-07 | 日本原子力発電株式会社 | 弁開閉検出用センサ |
| JP4379360B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-12-09 | 株式会社日立製作所 | 力学量測定装置 |
| JP2022086254A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | 株式会社イシダ | 歪みゲージ及び歪みゲージの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5018608Y2 (ja) * | 1971-08-31 | 1975-06-06 | ||
| JPS5542157U (ja) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | ||
| JPS5539043A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Tokyo Electric Co Ltd | Strain gauge and its adhesion |
| JPS55140112A (en) * | 1979-04-19 | 1980-11-01 | Tokyo Electric Co Ltd | Weighing device employing load cell |
-
1981
- 1981-06-19 JP JP1981091200U patent/JPS6329202Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57201909U (ja) | 1982-12-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1146772A (en) | Load-cell balance | |
| US5631622A (en) | Strain gage and measuring transducer and method of producing the same | |
| AU758052B2 (en) | Pressure sensor | |
| US5052505A (en) | Load cell | |
| US7444879B2 (en) | Displacement transducer | |
| EP0107966B1 (en) | Load cell and method for its manufacture | |
| JPH0264430A (ja) | 半導体圧力変換装置 | |
| JP7820484B2 (ja) | 湿気絶縁ひずみゲージ、および湿気の侵入に対してひずみゲージを絶縁する方法 | |
| US7183620B2 (en) | Moisture resistant differential pressure sensors | |
| US4549439A (en) | Moistureproof load cell for food processing applications and method for making the same | |
| JPS6329202Y2 (ja) | ||
| US4464419A (en) | Process for a low back-action, quasi-hermetic covering of susceptible physical structures | |
| US4674342A (en) | Load cell | |
| JPS6140137B2 (ja) | ||
| CN110873616A (zh) | 防潮应变片及其制备方法 | |
| JP3897629B2 (ja) | 疲労センサーおよびその保護方法 | |
| JPS6141252Y2 (ja) | ||
| JPS59154332A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| Krassow et al. | Novel packaging technique and its application to a wet/wet differential pressure silicon sensor | |
| JPH03251704A (ja) | ストレインゲージの製造方法 | |
| JPH052085B2 (ja) | ||
| JPH0350434Y2 (ja) | ||
| JPS6222466B2 (ja) | ||
| JPH0220046B2 (ja) | ||
| JPS61160783A (ja) | 表示パネル |