JPS63294286A - アクチユエ−タの駆動方法 - Google Patents
アクチユエ−タの駆動方法Info
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- JPS63294286A JPS63294286A JP62125893A JP12589387A JPS63294286A JP S63294286 A JPS63294286 A JP S63294286A JP 62125893 A JP62125893 A JP 62125893A JP 12589387 A JP12589387 A JP 12589387A JP S63294286 A JPS63294286 A JP S63294286A
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- winding
- windings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、アクチュエータの駆動方法に係り、特に急加
減速運転を必要とするディスク装置の、ヘッド送り用ア
クチュエータに好適なアクチュエ−タの駆動方法に関す
る。
減速運転を必要とするディスク装置の、ヘッド送り用ア
クチュエータに好適なアクチュエ−タの駆動方法に関す
る。
従来のアクチュエータ駆動方法について、第2図を用い
て説明する。1がアクチュエータの断面、2がその駆動
回路である。アクチュエータはA。
て説明する。1がアクチュエータの断面、2がその駆動
回路である。アクチュエータはA。
B2相の巻線4,6を固定子3に設け、可動子8には、
固定子3の歯ピッチλに合せて、N極S極を交互に着磁
した永久磁石をA相、B相の固定子側に面して各々電気
角で90度(歯ピッチλの4分の1)ずらして装着され
ている。駆動回路2は、直流電源31.A相巻線4.B
相巻線6に対して、トランジスタが、各々10,11,
20.21と12.13,22.23の4個ずつ、H形
に接続されている。各トランジスタは制御回路30によ
り、導通(ON)、非導通(OF F)を制御される。
固定子3の歯ピッチλに合せて、N極S極を交互に着磁
した永久磁石をA相、B相の固定子側に面して各々電気
角で90度(歯ピッチλの4分の1)ずらして装着され
ている。駆動回路2は、直流電源31.A相巻線4.B
相巻線6に対して、トランジスタが、各々10,11,
20.21と12.13,22.23の4個ずつ、H形
に接続されている。各トランジスタは制御回路30によ
り、導通(ON)、非導通(OF F)を制御される。
制御回路30には、可動子の位置を検出する検出回路3
2からの信号が入力される。
2からの信号が入力される。
このアクチュエータは、巻線4,6に鎖交する磁束が可
動子8の位置によって方向を反転し、その磁束変化に合
せて電流を巻線4,6に反転して還流することにより、
推進力が可動子に発生する。
動子8の位置によって方向を反転し、その磁束変化に合
せて電流を巻線4,6に反転して還流することにより、
推進力が可動子に発生する。
巻線4,6の鎖交磁束の変化は、永久磁石の位置のずれ
に従って90度位相がずれるので、その位相に合せて、
A相巻線4とB相巻線6の電流を反転することにより、
可動子の位置に対して切れ目なく一方向への推進力が発
生する。2の駆動回路の各H形のトランジスタは、例え
ばある時点でA相巻線4ではトランジスタ10と21が
ONになり、イから口へ電流が通流し、次の時点には1
−ランジスタ11と20がONになり、先とは逆に口
′からイヘ電流が通流する。B相巻線6側のH形1−ラ
ンジスタも同様な動作を行う。これらのトランジスタの
0N−OFF動作により、前述の巻線電流の通流、反転
動作が実現される。このトランジスタの制御は制御回路
30の制御信号により実行される。制御回路30では、
可動子位置を検出する検出回路32からの位置信号を取
り込んで、電流の反転を判断し制御する。また、この位
置信号を用いずとも、制御回路自ら電流の反転を判断し
、アクチュエータを駆動する、いわゆるオープンル−プ
の制御も可能である。
に従って90度位相がずれるので、その位相に合せて、
A相巻線4とB相巻線6の電流を反転することにより、
可動子の位置に対して切れ目なく一方向への推進力が発
生する。2の駆動回路の各H形のトランジスタは、例え
ばある時点でA相巻線4ではトランジスタ10と21が
ONになり、イから口へ電流が通流し、次の時点には1
−ランジスタ11と20がONになり、先とは逆に口
′からイヘ電流が通流する。B相巻線6側のH形1−ラ
ンジスタも同様な動作を行う。これらのトランジスタの
0N−OFF動作により、前述の巻線電流の通流、反転
動作が実現される。このトランジスタの制御は制御回路
30の制御信号により実行される。制御回路30では、
可動子位置を検出する検出回路32からの位置信号を取
り込んで、電流の反転を判断し制御する。また、この位
置信号を用いずとも、制御回路自ら電流の反転を判断し
、アクチュエータを駆動する、いわゆるオープンル−プ
の制御も可能である。
この様なアクチュエータは、推力の大きさが巻線の鎖交
磁束の変化量に比例するので、歯のピッチを微小にする
ことにより、体格を一定で推力のみ大きくできるという
利点がある。従って、この様なアクチュエータの駆動方
法を用いることにより、負荷を高速に移動することがで
きる。そこで、ディスク装置のヘッド送り用のアクチュ
エータ等に適したものと言える。
磁束の変化量に比例するので、歯のピッチを微小にする
ことにより、体格を一定で推力のみ大きくできるという
利点がある。従って、この様なアクチュエータの駆動方
法を用いることにより、負荷を高速に移動することがで
きる。そこで、ディスク装置のヘッド送り用のアクチュ
エータ等に適したものと言える。
なお、この種のアクチュエータとして、関連するものに
は、例えば特開昭56−7480号がある。
は、例えば特開昭56−7480号がある。
上記従来技術は、アクチュエータの大推力駆動は実現で
きるものの、高速時に大推力を維持する駆動法について
は配慮されておらず、アクチュエータが高速になると、
リアクタンスの増加及び誘起電圧の上昇に伴い、巻線電
流が低下する問題があった。
きるものの、高速時に大推力を維持する駆動法について
は配慮されておらず、アクチュエータが高速になると、
リアクタンスの増加及び誘起電圧の上昇に伴い、巻線電
流が低下する問題があった。
電源電圧Esの時、アクチュエータの1相の巻線に流し
得る電流■は、抵抗r、インダクタンスL、速度V、歯
ピッチP、誘起電圧定数Keより、で表わされる。ここ
で、リアクタンスX=2π−りである。
得る電流■は、抵抗r、インダクタンスL、速度V、歯
ピッチP、誘起電圧定数Keより、で表わされる。ここ
で、リアクタンスX=2π−りである。
従って、1相で発生する推力fは、推力定数kz より
、 となる。
、 となる。
この関係により速度の上昇に伴い、巻線電流が減少し、
発生推力が低下する。
発生推力が低下する。
第3図は、このアクチュエータの速度−推力特性を示し
たものである。破線部が(2)式の分子の項による特性
である。誘起電圧ke −■の増加により、直線的に推
力が減少する。更に、(2)式の分母のりアクタンス2
π−りの項により、この推力の減少は実線の様に低速域
でより激しくなる。
たものである。破線部が(2)式の分子の項による特性
である。誘起電圧ke −■の増加により、直線的に推
力が減少する。更に、(2)式の分母のりアクタンス2
π−りの項により、この推力の減少は実線の様に低速域
でより激しくなる。
従って、推力定数が大きいアクチュエータにもかかわら
ず、高速時には、巻線電流が低下し、充分な加速度が得
られない。
ず、高速時には、巻線電流が低下し、充分な加速度が得
られない。
更に、従来例で示した磁極に歯を有する構造のアクチュ
エータは、歯のピッチを微小にすれば大推力化(推力定
数が大)が図れるが、歯のピッチを小さくすると同一の
速度でもリアクタンスの角周波数2π−が高くなる。従
って、大推力化の効果が高速時では、発揮されない。
エータは、歯のピッチを微小にすれば大推力化(推力定
数が大)が図れるが、歯のピッチを小さくすると同一の
速度でもリアクタンスの角周波数2π−が高くなる。従
って、大推力化の効果が高速時では、発揮されない。
本発明の目的は、上述の高速時での巻線電流の低下に伴
う、発生推力の低下を防ぐためのアクチュエータの駆動
方法を提供することにある。
う、発生推力の低下を防ぐためのアクチュエータの駆動
方法を提供することにある。
上記目的は、アクチュエータの巻線を2個以上に分割し
、電流を通流する巻線数を変化させる制御手段を設ける
とともに、アクチュエータの速度を検出し、速度に応じ
て電流を通流する巻線数を変化させることにより、達成
される。
、電流を通流する巻線数を変化させる制御手段を設ける
とともに、アクチュエータの速度を検出し、速度に応じ
て電流を通流する巻線数を変化させることにより、達成
される。
アクチュエータの巻線を各相毎に2個以上に分割し、分
割した巻線に各々に独立して電流を通流できる駆動回路
を設ける。更に、アクチュエータの速度を検出する装置
を設ける。これにより、アクチュエータの速度を検出し
、その速度に応じて電流を通流する巻線数を変化させる
ことができるので、低速時には電流を通流させる巻線数
を多くして推力定数を大にし急加速を行い、高速時には
電流を通流する巻線数を少なくして電流の減少を防止し
て必要推力を確保することができ、必要速度範囲に渡っ
て必要推力を確保し、高速に動作するアクチュエータを
実現する。
割した巻線に各々に独立して電流を通流できる駆動回路
を設ける。更に、アクチュエータの速度を検出する装置
を設ける。これにより、アクチュエータの速度を検出し
、その速度に応じて電流を通流する巻線数を変化させる
ことができるので、低速時には電流を通流させる巻線数
を多くして推力定数を大にし急加速を行い、高速時には
電流を通流する巻線数を少なくして電流の減少を防止し
て必要推力を確保することができ、必要速度範囲に渡っ
て必要推力を確保し、高速に動作するアクチュエータを
実現する。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。1は
アクチュエータの断面であり、2はアクチュエータの駆
動回路を示す。アクチュエータ1には、可動子8に面し
て歯を設けた固定子3にA相巻線34と35.B相巻線
36と37を各々設け、可動子8には、固定子の歯のピ
ッチλと等しく8) いピッチで多極に着磁した永久磁石9を固定子側の両面
に設けている。永久磁石9の着磁の位置はA相側とB相
側が電気角で90度(λの4分の1)ずらしである。
アクチュエータの断面であり、2はアクチュエータの駆
動回路を示す。アクチュエータ1には、可動子8に面し
て歯を設けた固定子3にA相巻線34と35.B相巻線
36と37を各々設け、可動子8には、固定子の歯のピ
ッチλと等しく8) いピッチで多極に着磁した永久磁石9を固定子側の両面
に設けている。永久磁石9の着磁の位置はA相側とB相
側が電気角で90度(λの4分の1)ずらしである。
駆動回路2には、アクチュエータ1のA相巻線34に対
してトランジスター0,11,20゜21がH形に接続
され、同様にA相巻線35に対してトランジスタ11.
14,21.24が、B相巻線36に対してトランジス
ター2,13゜22.23が、B相巻線37に対してト
ランジスタ13,15,23.25が、それぞれH形に
接続されている。これらのトランジスタのベースには制
御回路30からの信号が入力されている。この制御回路
30に位置検出器32からの信号が入力される。
してトランジスター0,11,20゜21がH形に接続
され、同様にA相巻線35に対してトランジスタ11.
14,21.24が、B相巻線36に対してトランジス
ター2,13゜22.23が、B相巻線37に対してト
ランジスタ13,15,23.25が、それぞれH形に
接続されている。これらのトランジスタのベースには制
御回路30からの信号が入力されている。この制御回路
30に位置検出器32からの信号が入力される。
このアクチュエータの駆動方法について説明する。アク
チュエータ1のA相巻線34と35は従来例で示したA
相巻線5の半分の巻数−2B相巻線36,37も同様に
B相巻線6の半分の巻数−とすれば、巻線34と35を
直列、巻線36と37を直列にした状態で、従来例で示
したアクチュエータと同体格、同推力の性能になる。す
なわち、推力定数kf、誘起電圧定数ke、インダクタ
ンスLは次式となる。
チュエータ1のA相巻線34と35は従来例で示したA
相巻線5の半分の巻数−2B相巻線36,37も同様に
B相巻線6の半分の巻数−とすれば、巻線34と35を
直列、巻線36と37を直列にした状態で、従来例で示
したアクチュエータと同体格、同推力の性能になる。す
なわち、推力定数kf、誘起電圧定数ke、インダクタ
ンスLは次式となる。
(kl、kz :定数)
アクチュエータ1が低速で動作している場合は、駆動回
路2のトランジスター0と24の組合せと、トランジス
ター4と20の組合せを交互にON。
路2のトランジスター0と24の組合せと、トランジス
ター4と20の組合せを交互にON。
OFFさせ、巻線34,35にイ→ロ→ハ→二あるいは
二→ハ→口→イの方向に電流を通流させる。
二→ハ→口→イの方向に電流を通流させる。
B相側も同様に、トランジスター2と25の組合せと、
トランジスター5と22の組合せを交互にON、OFF
させ、巻線36.37にホ→へ→ト→チあるいはチ→ト
→へ→ホの方向に電流を通流させる。位置検出器32に
より可動子8の位置を検出して、永久磁石9の位置に応
じて巻線34゜35、及び巻線36.37に鎖交する磁
束が反転するのに合せて、巻線34〜37の電流の方向
を切換えることにより、一方向に指刀が発生し、可動子
が移動する。
トランジスター5と22の組合せを交互にON、OFF
させ、巻線36.37にホ→へ→ト→チあるいはチ→ト
→へ→ホの方向に電流を通流させる。位置検出器32に
より可動子8の位置を検出して、永久磁石9の位置に応
じて巻線34゜35、及び巻線36.37に鎖交する磁
束が反転するのに合せて、巻線34〜37の電流の方向
を切換えることにより、一方向に指刀が発生し、可動子
が移動する。
加速されて、可動子の速度が上昇し、位置検出器32か
らの位置信号を元に制御回路30で算出された検出速度
がある速度に達すると、制御回路30はON、OFFを
繰返すトランジスタを変更する。A相側では、トランジ
スタ10.24の組合せとトランジスタ14.20の組
合せから、トランジスタ11.24の組合せとトランジ
スタ14.21の組合せに変更される。B相側では、ト
ランジスタ12.25の組合せとトランジスタ15.2
2の組合せから、トランジスタ13゜25の組合せとト
ランジスタ15.23の組合せに変更される。従って、
A相巻線は35のみ、B相巻線は37のみに電流が通流
する。この場合、アクチュエータの推力定数に、′、誘
起電圧定数k。′インダクタンスL /、抵抗r′は、 となる。
らの位置信号を元に制御回路30で算出された検出速度
がある速度に達すると、制御回路30はON、OFFを
繰返すトランジスタを変更する。A相側では、トランジ
スタ10.24の組合せとトランジスタ14.20の組
合せから、トランジスタ11.24の組合せとトランジ
スタ14.21の組合せに変更される。B相側では、ト
ランジスタ12.25の組合せとトランジスタ15.2
2の組合せから、トランジスタ13゜25の組合せとト
ランジスタ15.23の組合せに変更される。従って、
A相巻線は35のみ、B相巻線は37のみに電流が通流
する。この場合、アクチュエータの推力定数に、′、誘
起電圧定数k。′インダクタンスL /、抵抗r′は、 となる。
巻線34,35,36.37に電流を通流した場合の1
相での推力は先に示した(2)式で表わされる。巻線3
5.37にのみ電流を通流する場合は、 となる。
相での推力は先に示した(2)式で表わされる。巻線3
5.37にのみ電流を通流する場合は、 となる。
(2) 、 (5)式より、V=Oでの起動推力は1巻
線34,35,36.37に電流通流時、k! f−= Es ・・・ (6
)巻線35.37に電流通流時、 k。
線34,35,36.37に電流通流時、k! f−= Es ・・・ (6
)巻線35.37に電流通流時、 k。
fm’= Es ・・・ (7)
となる。f=○となる最大速度は、巻線34゜35.3
6.37に電流通流時、 Es ・・・ (8) e 巻線35.37に電流通流時、 Es ・・・ (9) ) k・ となる。
となる。f=○となる最大速度は、巻線34゜35.3
6.37に電流通流時、 Es ・・・ (8) e 巻線35.37に電流通流時、 Es ・・・ (9) ) k・ となる。
第4図に、巻線34.35,36.37に電流を通流し
た場合の速度−推力特性(a)と巻線35.37にのみ
電流を通流した場合の速度−推力特性(b)を示す。(
b)の場合、抵抗r′が(a)の場合の2分の1なので
、V=Oでは(a)の場合の2倍の電流が流れる。従っ
て、巻線及び回路の電流容量が(a)の場合の電流容量
に規制されるので、(b)の最大推力はf、/2になり
、一点鎖線の特性曲線となる。
た場合の速度−推力特性(a)と巻線35.37にのみ
電流を通流した場合の速度−推力特性(b)を示す。(
b)の場合、抵抗r′が(a)の場合の2分の1なので
、V=Oでは(a)の場合の2倍の電流が流れる。従っ
て、巻線及び回路の電流容量が(a)の場合の電流容量
に規制されるので、(b)の最大推力はf、/2になり
、一点鎖線の特性曲線となる。
この様に、巻線34,35,36.37に電流を通流す
る場合と、巻線35.37に電流を通流する場合では速
度により、推力の大小関係が逆転する。すなわち、VC
により低速側では、巻線数多い方が、Vcより高速側で
は、巻線数少ない方が推力が大となる。
る場合と、巻線35.37に電流を通流する場合では速
度により、推力の大小関係が逆転する。すなわち、VC
により低速側では、巻線数多い方が、Vcより高速側で
は、巻線数少ない方が推力が大となる。
従って、VCよりも低速時に巻線34,35゜36.3
7に電流通流、速度Vcより高速時に巻線35.37の
みに電流通流する様に制御すれば、速度−推力特性は(
a)、(b)の大推力、高速側の特性曲線上を推移する
。
7に電流通流、速度Vcより高速時に巻線35.37の
みに電流通流する様に制御すれば、速度−推力特性は(
a)、(b)の大推力、高速側の特性曲線上を推移する
。
第5図に、本発明の実施例による、アクチュエータの速
度の立上り特性を示す。(a)、(b)は、第4図の(
a)、(b)の速度−推力特性で推移した場合の速度の
立上りを示す。全巻線に電流を通流した(a)の場合は
、推力が大なため速度の立上りは急峻であるが、最高速
度が低い、半分の巻線に電流を通流した(b)の場合は
、推力が小なため速度の立上りはゆるやかであるが、最
高速度が高い。従って、速度vcで電流通流巻線を全数
から半数に切換えることにより、最高速度の立上りが急
峻で、かつ高速まで達する一点鎖線のような速度の立上
り特性が得られる。
度の立上り特性を示す。(a)、(b)は、第4図の(
a)、(b)の速度−推力特性で推移した場合の速度の
立上りを示す。全巻線に電流を通流した(a)の場合は
、推力が大なため速度の立上りは急峻であるが、最高速
度が低い、半分の巻線に電流を通流した(b)の場合は
、推力が小なため速度の立上りはゆるやかであるが、最
高速度が高い。従って、速度vcで電流通流巻線を全数
から半数に切換えることにより、最高速度の立上りが急
峻で、かつ高速まで達する一点鎖線のような速度の立上
り特性が得られる。
この様に、本実施例によれば、アクチュエータの各相の
巻合を2分割し、低速域で全巻線に電流を通流し、高速
域で半分の巻線に電流を通流する様に制御することによ
り、大推力でかつ高速まで駆動できるアクチュエータを
実現できる。
巻合を2分割し、低速域で全巻線に電流を通流し、高速
域で半分の巻線に電流を通流する様に制御することによ
り、大推力でかつ高速まで駆動できるアクチュエータを
実現できる。
この実施例では、巻線の分割数を2個としたが、3個以
上にすることにより、一層、高速性能を向上することが
できる。ただし、巻線の分割数を多くした場合、アクチ
ュエータの巻線の引き出し線数が増加しその処理が複雑
になる点、トランジスタ等半導体素子が増加する点、そ
のトランジスタ等の制御が複雑になる点等の欠点も生じ
てくる。
上にすることにより、一層、高速性能を向上することが
できる。ただし、巻線の分割数を多くした場合、アクチ
ュエータの巻線の引き出し線数が増加しその処理が複雑
になる点、トランジスタ等半導体素子が増加する点、そ
のトランジスタ等の制御が複雑になる点等の欠点も生じ
てくる。
従って、それらの得失を考慮して、巻線の分割数を決定
することが肝要である。
することが肝要である。
また、本実施例はリニアアクチュエータを取り上げたが
、回転型のモータにも同様の手段を設けることにより、
同様の高速駆動の効果が実現できる。
、回転型のモータにも同様の手段を設けることにより、
同様の高速駆動の効果が実現できる。
本発明によれば、アクチュエータの巻線を2つ以上に分
割し、低速時には電流を通流する巻線数を多くすること
により推力定数を大きくして大推力を発生させ高速時に
は電流を通流する巻線数を少なくすることにより、誘起
電圧定数、インダクタンスを小さくして、通流電流の低
下を防いで推力を維持できるので、アクチュエータを高
速動作できるという効果がある。
割し、低速時には電流を通流する巻線数を多くすること
により推力定数を大きくして大推力を発生させ高速時に
は電流を通流する巻線数を少なくすることにより、誘起
電圧定数、インダクタンスを小さくして、通流電流の低
下を防いで推力を維持できるので、アクチュエータを高
速動作できるという効果がある。
第1図(A)および(B)は本発明の一実施例のアクチ
ュエータの断面図および回路図、第2図(A)および(
B)は従来例のアクチュエータの断面図および回路図、
第3図は従来例のアクチュエータの速度−推力特性図、
第4図は本発明の一実施例のアクチュエータの速度−推
力特性図、第5図は本発明の一実施例のアクチュエータ
の速度の立上り特性図である。 1・・・アクチュエータ、2・・・駆動回路、3・・・
固定子、狛 1 図 (△) (B) 第 2 図 (ハ) (B) 第 3 図 第 5 図
ュエータの断面図および回路図、第2図(A)および(
B)は従来例のアクチュエータの断面図および回路図、
第3図は従来例のアクチュエータの速度−推力特性図、
第4図は本発明の一実施例のアクチュエータの速度−推
力特性図、第5図は本発明の一実施例のアクチュエータ
の速度の立上り特性図である。 1・・・アクチュエータ、2・・・駆動回路、3・・・
固定子、狛 1 図 (△) (B) 第 2 図 (ハ) (B) 第 3 図 第 5 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、永久磁石によつて発生する磁束が、電流の通流する
巻線を鎖交し、可動部と固定部の相対位置の変化により
、前記巻線を鎖交する磁束量が変化することによつて、
前記可動部に推力を発生せしめるアクチュエータにおい
て、前記巻線の1相の巻線を2個以上に分割し、各々の
分割した巻線に独立に電流を通流する手段を設けたこと
を特徴とするアクチュエータの駆動方法。 2、特許請求の範囲第1項において、アクチュエータの
可動部の速度を検出する手段を備え、この手段により検
出した速度に応じて、高速になるに従い、前記分割巻線
の中で電流を通流する分割巻線数を減少させる様に制御
する制御回路を設けたことを特徴とするアクチュエータ
の駆動方法。 3、特許請求の範囲第2項において、固定部または可動
部の少なくとも一方に、歯を設けたことを特徴とするア
クチュエータの駆動方法。 4、特許請求の範囲第1項において、前記分割巻線の両
端と駆動直流電源の正負端間の4経路を各経路に少なく
とも1つのスイッチング素子を用いて接続したことを特
徴とするアクチュエータの駆動方法。 5、特許請求の範囲第1項において、前記分割巻線の2
つの分割巻線の各々一端を残して、すべての分割巻線を
直列に接続し、前記2つの分割巻線の残つた各々一端と
、すべての分割巻線の接続端とを、駆動直流電源の正負
両端との間の各々2経路を少なくとも1つのスイッチン
グ素子で接続したことを特徴とするアクチュエータの駆
動方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125893A JPS63294286A (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | アクチユエ−タの駆動方法 |
| US07/178,213 US4857786A (en) | 1987-04-06 | 1988-04-06 | Structure of stepping motor and method of driving the stepping motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62125893A JPS63294286A (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | アクチユエ−タの駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63294286A true JPS63294286A (ja) | 1988-11-30 |
Family
ID=14921521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62125893A Pending JPS63294286A (ja) | 1987-04-06 | 1987-05-25 | アクチユエ−タの駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63294286A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03169206A (ja) * | 1989-11-25 | 1991-07-22 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | リニア誘導モータによる駆動装置 |
| JP2023026703A (ja) * | 2021-08-14 | 2023-02-27 | イノビータ ピーティーイー リミテッド | ゲートバルブ用の駆動装置 |
-
1987
- 1987-05-25 JP JP62125893A patent/JPS63294286A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03169206A (ja) * | 1989-11-25 | 1991-07-22 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | リニア誘導モータによる駆動装置 |
| JP2023026703A (ja) * | 2021-08-14 | 2023-02-27 | イノビータ ピーティーイー リミテッド | ゲートバルブ用の駆動装置 |
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