JPS63300582A - 固体レ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は固体レーザ装置に関し、特にレーザ光を光ファ
イバにより伝達して被照射物に照射する固体レーザ装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の固体レーザ装置は、第３図及び第４図に
示すように、まず、パルス励起ランプのキセノンフラッ
シュランプ１２を発光させて輻射光Ｌｒを放射させ、こ
の輻射光Ｌｒをレーザロッド１４に集光することにより
パルス固体レーザが励起されレーザ光発生部１からレー
ザ光り、が放射される。ファイバスコープ２ａは、レー
ザ光発生部１から放射されたレーザＬｔを集光レンズで
光ファイバに導入して伝達し、先端のファイバヘッドを
目的とする被照射物に向けてレーザ光Ｌ４を照射する構
成となっている。

上述した固体レーザ装置は、直径が５０μｍ〜２００μ
ｍ程度の微細な光ファイバを使用しており、中でも半導
体装置のマーキングや加工用に使用されるものは、１５
０μｍや２００μｍのちのが使用されている。

レーザ光としてはＹＡＧレーザ光が使用され、このＹＡ
Ｇレーザ光を光ファイバに導入する場合には、非常に微
細な光ファイバの入射端面の微妙な位万決めを必要とす
る。また光ファイバにはＹＡＧレーザ光の透過率の優れ
た石英ファイバを用いる場合が多いため、機械的ショッ
クや応力に脆く、外部応力により光ファイバの断線や入
射端面の位置ずれが生じて被照射物へのレーザ光量不足
が発生する。

さらにキセノンフラッシュランプ１２の劣化や高電圧パ
ルス発生部１１の故障が発生した場合には、レーザ光の
照射光量が低下したり照射しなくなることがある。

例えば、半導体ウェーハ試験装置にＹＡＧレーザ装置を
利用した場合、ＩＣペレットが不良と判定されるとＹＡ
Ｇレーザ装置は、マーキングトリガ信号によりレーザ光
を発射してＩＣペレットにマーキングする。

ところがキセノンフラッシュランプ１２の輻射光量の低
下や光ファイバの異状によってレーザ光が不完全に放射
された状態でマーキングされても次工程へ進むことにな
る。

なお、キセノンフラッシュランプ１２に印加する高電圧
パルス発生部１１の電圧を可変して輻射光Ｌｒの光強度
を変化させ、マーキングするのに最適なレーザパワーを
得ることができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の固体レーザ装置は、外部応力に弱い微細
な光ファイバにレーザ光Ｌｘを入射して伝達し被照射物
に照射する構成となっており、かつ照射されるレーザ光
Ｌ２のレベル低下を検出する機能がないので、レーザ光
Ｌｘのレベルが規定値に達していなくてもレーザ光り、
を照射による工程が済んだものとして次工程へ進められ
るため、後工程の検査工程で不良が発見され、その間の
作業工程と経過時間が無駄になるという欠点がある。

また、高電圧パルス発生部、光ファイバ等を含む各部の
異常を検出することができないという欠点がある。

本発明の目的は、レーザ光のレベル低下を検出すること
ができ、従って高電圧パルス発生部、光ファイバ等を含
む各部の異常が検出でき、かつ無駄な作業工程や経過時
間を除去することができる固体レーザ装置を提供するこ
とにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の固体レーザ装置は、パルス励起ランプの輻射光
により励起されたレーザ光を放射するレーザ光発生部と
、前記レーザ光を伝達して先端部から放射し被照射物に
照射するファイバスコープと、光電変換素子を備え前記
ファイバスコープの先端部から前記レーザ光と共に放射
される前記パルス励起ランプの輻射光の一部を、前記レ
ーザ光の照射を妨げることなく検出し電気信号に変換し
て出力する輻射光検出部と、この輻射光検出部の出力信
号のレベルが予め設定された規定値に達しないときエラ
ー信号を出力する比較処理部とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。

レーザ光発生部１は、従来と同様に第４図に示された構
成を有し、パルス励起ランプのキセノンフラッシュラン
プ１２からの輻射光Ｌｒにより励起されたレーザ光Ｌｔ
を放射する。この時、同時にキセノンフラッシュランプ
１２からの輻射光Ｌｒも一部放射される。

ファイバスコープ２は、レーザ光発生部１からのレーザ
光Ｌｔを入射して伝達し、先端部からこのレーザパワー
を被照射物１０に対して照射する。この時、同時に輻射
光Ｌｒも放射される。

輻射光検出部３は光電変換素子を備え、ファイバスコー
プ２の先端部からレーザ光Ｌｌと共に放射される輻射光
Ｌｒの一部を、レーザ光Ｌ２の放射を妨げることなく検
出して電気信号に変換して出力する。

比較処理部４は、基準信号発生部４１．アナログ処理部
４１．比較部４３．論理処理部４４及び警報表示部４５
により構成され、輻射光検出部３の出力信号のレベルが
予め設定された規定値に達しないときエラー信号■Ｅを
出力すると共に、警報表示する。

エラー信号■Ｅは固体レーザ装置に接続されるシステム
を一時停止させる等の機能を含んだ帰還回路を構成する
ことができるや 第２図は第１図に示された実施例のファイバスコープ２
の先端部から輻射光り、を検出するための構造を示す断
面図である。

レーザ光発生部１からのレーザ光Ｌｌ、輻射光Ｌｒは集
光レンズ２１を経て光ファイバ２２に入射され、伝達さ
れて光ファイバ２２の先端部から放射され対物レンズ２
４を経て被照射物１０に照射される。

輻射光検出部３の光電変換素子３１は、ファイバスコー
プ２の先端部のファイバヘッド２３の側壁に設けられ、
光ファイバ２２の先端部からの輻射光Ｌｒを受光し電気
信号に変換する。

この輻射光Ｌｒの光量はキセノンフラッシュランプ１２
から放射される輻射光Ｌｒの光量に比例し、かつレーザ
光Ｌ２の光量はフラッシュランプ１２から放射される輻
射光り、の光量に対応するので、光電変換素子３１から
出力される電気信号のレベルはレーザ光Ｌｔの光量に対
応する。

第２図において、光電変換素子３１の代りに光フアイバ
センサーを用いて輻射光Ｌｒを検出する手段もある。

また対物レンズ２４から放射された輻射光り。

を、この輻射光Ｌｒ特有の波長を検出できる外部に設け
られたセンサーにより検出することもでき、この場合は
より自由度を高くすることができ利用価値を高めること
ができる利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ファイバスコープの先端
部からレーザ光と共に放射される輻射光を検出して電気
信号に変換し、このレベルが規定値に達しないときエラ
ー信号を出力する構成とすることにより、レーザ光のレ
ベル低下を検出することができるので、高電圧パルス発
生部、光ファイバ等の各部の異常を検出することができ
、無駄な作業工程、経過時間等を除去することができる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示された実施例のファイバスコープの先端部か
ら輻射光を検出するための構造を示す断面図、第３図は
従来の固体レーザ装置の一例を示すブロック図、第４図
は第３図に示された固体レーザ装置のレーザ光発生部の
構成を示すブロック図である。 １・・・レーザ光発生部、２．２ａ・・・ファイバスコ
ープ、３・・・輻射光検出部、４・・・比較処理部、１
０・・・被照射物、１１・・・高電圧パルス発生部、１
２・・・キセノンフラッシュランプ、１３・・・集光器
、１４・・・レーザロッド、２１・・・集光レンズ、２
２・・・光ファイバ、２３・・・ファイバヘッド、２４
・・・対物レンズ、３１・・・光電変換素子、４１・・
・基準信号発生部、４２・・・アナログ処理部、４３・
・・比較部、４４・・・論理処理部、４５・・・警報表
示部。 ／″″″− ・　１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. パルス励起ランプの輻射光により励起されたレーザ光を
   放射するレーザ光発生部と、前記レーザ光を伝達して先
   端部から放射し被照射物に照射するファイバスコープと
   、光電変換素子を備え前記ファイバスコープの先端部か
   ら前記レーザ光と共に放射される前記パルス励起ランプ
   の輻射光の一部を、前記レーザ光の照射を妨げることな
   く検出し電気信号に変換して出力する輻射光検出部と、
   この輻射光検出部の出力信号のレベルが予め設定された
   規定値に達しないときエラー信号を出力する比較処理部
   とを有することを特徴とする固体レーザ装置。