JPS6330267A - 潜像形成装置 - Google Patents

潜像形成装置

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JPS6330267A
JPS6330267A JP17415086A JP17415086A JPS6330267A JP S6330267 A JPS6330267 A JP S6330267A JP 17415086 A JP17415086 A JP 17415086A JP 17415086 A JP17415086 A JP 17415086A JP S6330267 A JPS6330267 A JP S6330267A
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JP
Japan
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latent image
electron beam
light
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transmitting member
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Pending
Application number
JP17415086A
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English (en)
Inventor
Masanori Takenouchi
竹之内 雅典
Naoji Hayakawa
早川 直司
Fumitaka Kan
簡 文隆
Kenji Nakamura
憲司 中村
Yasuo Agari
上里 泰生
Isao Hakamata
袴田 勲
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPS6330267A publication Critical patent/JPS6330267A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/385Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective supply of electric current or selective application of magnetism to a printing or impression-transfer material
    • B41J2/41Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective supply of electric current or selective application of magnetism to a printing or impression-transfer material for electrostatic printing
    • B41J2/415Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective supply of electric current or selective application of magnetism to a printing or impression-transfer material for electrostatic printing by passing charged particles through a hole or a slit

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  • Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Electrophotography Using Other Than Carlson'S Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の産業上の利用分野〕 本発明は潜像形成装置に関し、特に固体電子線発生装置
を用いた潜像形成装置に関するものである。     
 。
本発明に用い得る一体電子線発生装置は例えば特公昭5
4− :jO27,4号、特開昭54−111272号
(USP4259678)、特開昭56−15529号
(USP43039,30)、特開昭57−38528
号等に開示されており、本発明はかかる技術もしくはそ
の類似技術を好適に用いることにより従来の難点を解決
、したもので8ある。
〔従来の技術〕
従来、潜像形成方法とじ5では、電子写真法において広
範に実用化されている様な光導電性の感光体に暗所でコ
ロナ、帯電器を利用して均一 帯電させ、その工程が終
了した後、光源によって原稿画像を、光照射し、その反
射画像を前記均一帯電した感光体に投影し光照射された
個所が光導電性となるため感光体の声部電荷かにげ、光
照射されなかった部分のみが感光体4上の電荷像として
得られるという方法を、とるのが一般的であった。この
方法は電子複写機として広範に実用化しているが、通常
は原稿IWi像を感光体の表面に光照射するための光源
や、レンズ系などが大きく装置の容積がますという問題
があった。また、この問題を解決するために光ヘッドが
考案されている。例えば液晶を用いた液晶シャッターア
レイや、LEDアレイなどである。しかしながらこれら
は小型化には適しているが、いずれもやはりレンズ系を
必要としたり応答速度が遅かったり高精細画像が得られ
ないという欠点を克服できていない。
〔発明が解決しようとする技術分野〕
本発明は従来にない全く新しい潜像形成装置を提案する
もので、本発明によれば超高精細な静電潜像が簡単なし
かも小型の装置で得られる。また発明は潜像形成する手
段が真空容器の内部に保持されているため潜像形成装置
の汚染による劣化が全くない潜像形成装置を提供するこ
とを目的とする。
〔実施例〕
以下、本発明を基づいて説明する。なお、これらの図面
は、説明を容易にするためにモデル的に示したものであ
り、寸法、その他実際とlよ一致しない部分もあり、こ
れに限定されるものではない。
第1図は本発明の一実施例であり第2図は潜像担持体の
断面図、第3a図〜第3c図は本発明に用いられる電子
線源の一実施例である固体電子線発生装置の平面図及び
断面図である。
第1図でDEは両端を真空側II−シた回転する潜像担
持体ドラムでありMEBは固体電子線発生装置であり固
定されている。MEBの電子線発生面は誘電体層DEを
有するドラムDHの外周方向を向いて設けられ、MEB
から発生した電子線はDEの内部表面に当たり、蛍光体
を励起する。CHlはDE衣表面設けられた光導電体層
を帯電するための装置であり通常用いられているコロナ
帯電器である。C1はCHIによって形成された電荷で
あり、DEの回転によって、図で示した様に下方に搬送
される。MEBに対向する位置にくると両信号に従い駆
動されたMEBの電子線源から電子線照射されDE内部
に設けられた蛍光体を励起し蛍光体が発光する。DEの
層構成も第2図によってくわしく説明する。DE4は電
子線照射で励起される蛍光体層で、DE3は蛍光体の発
色による光を透過する部材でありDE2は透明導電層で
あり、最外層には光導電性部材が設けられている。
蛍光体としては従来良く知られている電子線励起型の蛍
光体が全て使用できる。例えばZn25+04:Mn、
ZnS:Cu、ZnS、Ag+ (ZnCcl)S :
CuAn 、MgSiO3:M n 、 Z n S 
: A g 、 Y 202 S : T bなどであ
り、硫化亜鉛系蛍光体、希土類蛍光体、ケイ酸亜鉛系蛍
光体等が使用できる。これらは光導電性部材の感光波長
に適するものを選択する。
また、透明導電層としては5n02.ITO等が使用で
きる。
又、光導電性部材としては、従来電子写真法で用いられ
る有機光導電感光体、アモルファスシリコン感光体、セ
レン感光体、Cds感光体などを使用できる。
前述した様に蛍光体DE4に固体電子線発生装置より照
射された電子線が当たると、その部分の蛍光体が発光し
、光透過部材DE3を画信号に応じた光が透過し、既に
帯電された光電性部材DElが導電化し、表面電荷CI
がDEI、DE2を通して消去され、その結果DEIの
表面には両信号に対応した静電荷潜像C2が形成される
第1a図でDは通常電子写真法で用いられる現像器であ
りTは現像剤である。該現像器により常法に従い前記静
電荷潜像が現像される。この際の現像方法としては、公
知の2成分現像法、タッチダウン現像法、1成分現像法
、液体現像法が適用できる。
この様にして現像され可視化された像はCH2の転写装
置によってR1で搬送された被記録媒体Pに転写される
。転写像はR2の定着器を通り残留する現像剤はクリー
ニング装置CLでクリーニングされ最使用に備えられる
。クリーニング後のDE上の残留電荷はランプLと、交
流除電器CH3により除電される。
第1b図は第1a図に図示した潜像形成装置を斜視した
ものであり、ここでD 、P 、CH2などは図中には
記していない、DRは誘電体層を設けた回転ドラム、S
lはMEBをDR内部で固定するための部材、S2はド
ラムDRを回転するための回転導入部材でありGlはド
ラムDRに固定されたギヤG2を駆動するためのギヤで
ありS2の回転によってギヤGlが回転し、G2がそれ
により回転するためG2に固定されたドラムDRが回転
する。ここでDRの両端は約1O−3〜1O−9Tor
rに真空シールが可能となる様封止されている。又、固
定部材Slと回転するギヤG2どの接合部は頁空封1ト
が可能な回転導入端子が設けられている。Cは内部に設
けられたMEBによって形成された静電潜像である。
第3a図から第3C図に本発明に用いられる固定電子線
発生装置の好ましい形態の一例を図示する。第3a図は
基板の平面図、第3b図はX方向の断面図であり、第3
C図はY方向の断面図である。SUは電子線源の本体で
あるところの基板であり、本実施例ではn形のシリコ、
廃板を用いた。EXI 、EX2 、EX3・・・・・
・はX方向の選択を行う電極でありEXI 、EX2.
EX3・・・・・・は接点領域を介して高ドープn影領
域HDI、HD2、HO2・・・・・・とそれぞれ接続
されている。またEYはY電極でやはり接点領域を介し
て高ドープp形通路PPと接続されており、EXI、E
X2、EX、3・・・・・・とEYとによりマトリック
スを構成している。SU上には絶縁層ILIを介して引
き出し電極PEが設けられ、電子線源EBI、EB2.
EB3・・・・・・を形成している。さらにFP上には
PHに対応する位置に絶縁層IL2を介して加速電極A
Eが設けられる。
次に上記構成においてEXI 、EX2 、EX3・・
・・・・とEYとにアバランシェ増幅作用がP−n接合
部で生ずるような電圧を印加し、同時にPEにある大き
さの電圧を与えることによりEBI。
EB2.EB3・・・・・・より電子が流出する。この
時EXI、EX2.EX3・・・・・・を適当に選択す
ることにより任意の電子線源より電子を取り出す事がで
きる。
電子流出のメカニズム等については、例えばUSP42
59678に詳述しであるので割愛する。AEに所定の
電圧を印加しておくことにより、電子線源より流出した
電子は所望のエネルギーまで加速する。該固体電子線発
生装置を内部が真空に維持された回転ドラムDEの内部
に配し、DEの内部表面に所定の間隔で対向して配置す
ることにより、DEの外側表面に選択的に電荷りを与す
ることができた。実施例では5ILmピッ゛チで一次元
に電子線が配列された素子を用いてほぼ5ILmピッチ
の超高精細な帯電パターンをDE−Lに形成できた。
本実施例では電子線源としてP−n接合の7バランシ工
増幅作用を利用する型のものを用いたが本実施例は電子
波山機構は本質的な事柄ではない。したがって、電子線
源として他に知られているP−n接合部7)Negat
ive  WorkFuuntionを用いたものやF
ieldEmission型等の固体電子線源を用いて
も本発明は同様の効果を有する。
また本実施例では、電子線源が一次元アレー状に配置さ
れたものについて述べたが2次元に配置された電子源を
ブロック分割しブロック単位で制御することにより同様
の潜像形成を行う装置を得ることもできる。
又、第2図において回転ドラムDRの一方の端面の一部
に光透過性の窓を設定し、DR内部に該窓に対向する位
置に受光素子を配し、該受光素子の出力信号によってD
H内部の固体電子線発生装置MEBを駆動するようにす
ればDHの外側から発光素子の出力をDH内部の受光素
子に照射することによって得たい画像の画信号をDRの
外部から非接触に入力することができる。
以上説明した本発明の潜像形成装置から可視像を得るに
は常法にしたがって現像処理を行えば良い。例えば従来
公知の電子写真法で用いられているような磁気ブラシ現
像法や液体現像法などが広く用いられる。
〔効果〕
以]−説明したように内部が真空に維持された回転する
無端状に形成された潜像担持体の光導電性部材に静電潜
像を形成する手段として、該潜像担持体の真空中にそれ
ぞれ独立に駆動できる複数の電子線源を有する固体電子
線発生装置を前記誘電体層の内側表面に対向して設けた
ことにより、潜像形成装置のコンパクト化が可能となっ
た。
又電子線による潜像形成のため極めて微細なドツト径に
集束できるため、極微細な潜像パターンが効率良く行え
る。又、前記固体電子線発生装置の複数個の電子線源を
独立に駆動制御することによって階調制御も容易に行え
る。
さらに、大きな効果は潜像形成のためのヘッドが真空内
に設けられているため記録装置に適用した場合にもトナ
ーなどの付着による汚染などが全くなく、極めて高品位
の潜像が安定的に得られることである。
【図面の簡単な説明】
第1a図は本発明の一実施例である潜像形成装置を用い
た記録装置の断面図、第1b図はその斜図において。 DE  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
 潜像担持体ドラム、DEl ・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・ 光導電性部材、DE2 
 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・ 透明導電層、DE3  ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・ 光透過部材、D
E4  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ 蛍光体層、CHI  ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
 帯電器 、CH2・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・ 転写装置、CH3・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・ 除電器、CI  ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 表
面電荷、C2・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・ 静電潜像、D ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・ 現像器、T ・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・ 現像剤、R1・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 搬送ローラ
、R2・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・み・・・・・・・・ 定着器、P ・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・ 被記録媒体、CL  ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・ クリーニング装置、L ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ ランプ、MEB  ・・・・・・
・・・・・・・・・ 固体電子線発生装置、SU  ・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・ 基板、EXI、EX2.
EX3  ・・・・・−;・ x電極、EY  ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・ Y電極、PE  ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 引出
し電極、AE  ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ 加速電極、EB 
l 、EB2 、EB3  ・・・・・・ 電子線源、
ILL、IL2  ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・ 絶縁層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光透過性部材を有し、該光透過性部材の外側に光
    透過性の導電体層を積層し、該導電体層の外側に光導電
    性部材を積層し、前記光透過性部材の内側に蛍光体層を
    配した無端状に形成された潜像担持体を設け、該潜像担
    持体の内部が中空であり、略真空となる様封止され該潜
    像担持体が無端運動する潜像担持手段と、該潜像担持手
    段の真空中に前記蛍光体層と対向する位置に配された基
    板上にそれぞれ独立に駆動する複数の電子線源を有する
    固体電子線発生手段と、前記光導電性部材の表面に電荷
    を付与する手段とを有する潜像形成装置。
JP17415086A 1986-07-24 1986-07-24 潜像形成装置 Pending JPS6330267A (ja)

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